CN106325639A - 触控面板与其制作方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种触控面板及其制作方法，该方法包含下列步骤。形成多个第一感应电极与多个第二感应电极于第一基板上。形成第一绝缘层覆盖第一感应电极与第二感应电极。于第一绝缘层形成多个通孔，通孔暴露至少部分第一感应电极。形成导体层于第一绝缘层上及通孔内。图案化导体层为桥接电极及遮蔽电极，其中桥接电极透过通孔电性连接第一感应电极，遮蔽电极于第一基板的垂直投影与第一感应电极及第二感应电极的其中至少一者于第一基板的垂直投影至少部分重迭。

Description

触控面板与其制作方法
技术领域
本发明是有关于一种触控面板与其制作方法。
背景技术
于家用电器设备的各式电子产品之中，应用薄膜晶体管(thin film transistor；TFT)的液晶显示器已经被广泛地使用，其中薄膜晶体管阵列基板设置有多个以阵列排列的薄膜晶体管，以及与薄膜晶体管对应配置的像素电极(pixel electrode)。随着消费市场的需求，结合液晶显示器的触控面板也因应而生，其包含有外挂式及内嵌式两种。于此两种形式的触控面板之中，内嵌式触控面板现已成为市场主流的产品之一。
然而，于内嵌式触控面板之中，对于邻近且带有不同电性信号的结构层而言，不同的结构层可能会产生交互作用，而导致无法预期的现象。例如，带有不同电性信号的结构层可能会于其间产生寄生电容，使得触控面板无法正常呈现信号。进一步而言，当结构层互相影响的时候，液晶显示器的画面品质可能会降低，且也可能会使液晶显示器的画面产生亮暗不均的问题。
发明内容
本发明的一实施方式提供一种触控面板，包含第一基板、第二基板、感应电极与遮蔽电极，其中感应电极与遮蔽电极位于第一基板与第二基板之间。于触控面板的结构之中，遮蔽电极可位于感应电极与第二基板之间，且遮蔽电极于第一基板的垂直投影与感应电极于第一基板的垂直投影至少部分重迭，故遮蔽电极可防止感应电极受到来自第二基板一侧的干扰。此外，透过本发明的触控面板的制作方法，触控面板的制作流程不会因制作遮蔽电极而需再额外进行另一道光罩制程，故其可在不增加制程复杂度的情况下，将遮蔽电极形成于其中。
本发明的一实施方式提供一种触控面板的制作方法，包含下列步骤。形成多个第一感应电极与多个第二感应电极于第一基板上。形成第一绝缘层覆盖第一感应电极与第二感应电极。于第一绝缘层形成多个通孔，并透过通孔暴露至少部分第一感应电极。形成导体层于第一绝缘层上及通孔内。图案化导体层为桥接电极及遮蔽电极，其中桥接电极透过通孔，电性连接第一感应电极，且遮蔽电极于第一基板的垂直投影与第一感应电极及第二感应电极的其中至少一者于第一基板的垂直投影至少部分重迭。
于部分实施方式中，遮蔽电极不与桥接电极电性连接。
于部分实施方式中，触控面板的制作方法更包含下列步骤。形成第二绝缘层覆盖桥接电极及遮蔽电极。形成电极层于第二绝缘层上。形成至少一液晶材料于电极层与第二基板之间。
于部分实施方式中，形成第二绝缘层的步骤包含形成色阻层，色阻层至少覆盖桥接电极及遮蔽电极，以使色阻层成为第二绝缘层。
于部分实施方式中，触控面板的制作方法更包含形成至少一虚拟电极于第一基板上，其中第一感应电极及第二感应电极的其中至少一者与虚拟电极彼此电性绝缘。
于部分实施方式中，触控面板的制作方法更包含形成色阻层于第一基板上，其中形成色阻层的步骤早于形成第一感应电极与第二感应电极的步骤。
于部分实施方式中，触控面板的制作方法更包含形成色阻层于第一基板上，其中形成色阻层的步骤晚于形成第一感应电极与第二感应电极的步骤。
于部分实施方式中，触控面板的制作方法更包含形成色阻层于第一基板上，其中形成色阻层的步骤晚于图案化导体层的步骤。
于部分实施方式中，形成第一绝缘层的步骤包含形成色阻层，色阻层至少覆盖第一感应电极与第二感应电极，以使色阻层成为第一绝缘层。
本发明的一实施方式提供一种触控面板的制作方法，包含下列步骤。形成第一感应电极于第一基板上。形成第一绝缘层，第一绝缘层至少覆盖第一感应电极。形成导体层于第一绝缘层上。图案化导体层为第二感应电极及遮蔽电极，其中遮蔽电极于第一基板的垂直投影与第一感应电极于第一基板的垂直投影至少部分重迭。
于部分实施方式中，第二感应电极不与遮蔽电极电性连接。
本发明的一实施方式提供一种触控面板，包含第一基板、第一感应电极、第二感应电极、第一绝缘层、桥接电极及遮蔽电极。第一感应电极设置于第一基板上。第二感应电极设置于第一基板上。第一绝缘层至少覆盖第一感应电极与第二感应电极，其中第一绝缘层具有多个通孔，且通孔暴露至少部分第一感应电极。桥接电极设置于第一绝缘层上，并透过通孔电性连接第一感应电极。遮蔽电极设置于第一绝缘层上，其中遮蔽电极于第一基板的垂直投影与第一感应电极及第二感应电极的其中至少一者于第一基板的垂直投影至少部分重迭，其中桥接电极以及遮蔽电极系由同一膜层所形成。
于部分实施方式中，第一感应电极的形状与第二感应电极的形状不同。
于部分实施方式中，第一感应电极及第二感应电极的其中至少一者于第二基板的垂直投影位于遮蔽电极于第二基板的垂直投影内。
于部分实施方式中，触控面板更包含第二绝缘层、电极层、液晶层与第二基板。第二绝缘层设置于第一绝缘层上，并覆盖桥接电极与遮蔽电极。电极层设置于第二绝缘层上。液晶层设置于电极层上。第二基板设置于第一基板的一侧，其中液晶层位于电极层与第二基板之间。
本发明的一实施方式提供一种触控面板，包含第一基板、第一感应电极、第一绝缘层、第二感应电极及遮蔽电极。第一感应电极设置于第一基板上。第一绝缘层覆盖第一感应电极。第二感应电极设置于第一绝缘层上。遮蔽电极设置于第一绝缘层上，其中遮蔽电极于第一基板的垂直投影与第一感应电极于第一基板的垂直投影至少部分重迭，其中第二感应电极以及遮蔽电极系由同一膜层所形成。
附图说明
图1A绘示本发明第一实施方式的触控面板的第一感应电极及第二感应电极的上视图。
图1B绘示对应图1A的线段BB’的剖面图。
图1C绘示对应图1A的线段CC’的剖面图。
图2A、图2C、图2E、图2G、图2I、图2K绘示本发明第一实施方式的触控面板于制作流程的不同阶段的剖面图，其剖面位置为对应图1A的线段BB’。
图2B、图2D、图2F、图2H、图2J、图2L绘示本发明第一实施方式的触控面板于制作流程的不同阶段的剖面图，其剖面位置为对应图1A的线段CC’。
图3绘示本发明第二实施方式的触控面板的剖面图，其剖面位置与图1B相同。
图4绘示本发明第三实施方式的触控面板的剖面图，其剖面位置与图1B相同。
图5A、图5C、图5E绘示图4的触控面板于制作流程的不同阶段的剖面图，其剖面位置与图1B相同。
图5B、图5D、图5F绘示图4的触控面板于制作流程的不同阶段的剖面图，其剖面位置与图1C相同。
图6绘示本发明第四实施方式的触控面板的剖面图，其剖面位置与图4相同。
其中，附图标记：
100A、100B、100C、100D 触控面板
102 第一基板
104 遮光层
106 像素区
108 色阻层
110、110a、110b、110c 色阻
112 第一感应电极
114 第二感应电极
116 第一绝缘层
117 通孔
118 导体层
120 桥接电极
122 遮蔽电极
124 第二绝缘层
126 液晶层
128 液晶材料
130 第二基板
132 间隙结构
134 电极层
BB’、CC’ 线段
D 虚拟电极
Tx 发射电极
Rx 接收电极
具体实施方式
以下将以附图公开本发明的多个实施方式，为明确说明起见，许多实务上的细节将在以下叙述中一并说明。然而，应了解到，这些实务上的细节不应用以限制本发明。也就是说，在本发明部分实施方式中，这些实务上的细节是非必要的。此外，为简化图式起见，一些习知惯用的结构与元件在图式中将以简单示意的方式绘示之。
在触控面板的结构之中，当结构层互相影响时，液晶显示器的画面品质将可能会受影响，有鉴于此，本发明的一实施方式提供一种触控面板，包含第一基板、第二基板、感应电极与遮蔽电极，其中感应电极与遮蔽电极位于第一基板与第二基板之间。于触控面板的结构之中，遮蔽电极可位于感应电极与第二基板之间，且遮蔽电极至第一基板的垂直投影与感应电极至第一基板的垂直投影至少部分重迭，故遮蔽电极可防止感应电极受到来自第二基板一侧的干扰，并可降低感应电极与第二基板之间所产生的寄生电容。此外，透过本发明的触控面板的制作方法，触控面板的制作流程不会因制作遮蔽电极而需再额外进行另一道光罩制程，故其可在不增加制程复杂度的情况下，将遮蔽电极形成于其中。
请参照图1A、图1B及图1C，其中图1A绘示本发明第一实施方式的触控面板100A的第一感应电极112及第二感应电极114的上视图，图1B绘示对应图1A的线段BB’的剖面图，而图1C绘示对应图1A的线段CC’的剖面图。为了不使附图过于复杂，图1A仅绘示触控面板100A的第一感应电极112及第二感应电极114，其为用以辅助表示图1B及图1C所绘的结构在触控面板100A之中所对应的位置。此外，为了方便说明，于图1B及图1C所绘的结构中，第二基板130为位于第一基板102的上方，然而本发明的触控面板100A不以此为限，实务上第二基板130也可以是位于第一基板102的下方，合先叙明。
触控面板100A包含第一基板102、遮光层104、色阻层108、第一感应电极112、第二感应电极114、第一绝缘层116、桥接电极120、遮蔽电极122、第二绝缘层124、液晶层126、间隙结构132及第二基板130。第二基板130设置于第一基板102的一侧，并可包含薄膜晶体管阵列(未绘示)，其中遮光层104、色阻层108、第一感应电极112、第二感应电极114、第一绝缘层116、桥接电极120、遮蔽电极122、第二绝缘层124、液晶层126及间隙结构132设置于第一基板102与第二基板130之间。
遮光层104设置于第一基板102上，并可定义出像素区106。色阻层108设置于第一基板102上，并包含多个色阻110a、110b及110c，其中色阻110a、110b及110c分别位于对应的像素区106内。色阻110a、110b及110c举例可分别为红色、绿色及蓝色，但不以此为限。
第一感应电极112及第二感应电极114设置于第一基板102及遮光层104上，其中第一感应电极112及第二感应电极114至第一基板102的垂直投影落于遮光层104至第一基板102的垂直投影内。本实施方式中，第一感应电极112及第二感应电极114可分别为发射电极Tx及接收电极Rx，然而，于其他实施方式中，第一感应电极112及第二感应电极114也可以分别是接收电极及发射电极。此外，触控面板100A可更包含虚拟电极D，虚拟电极D举例与第一感应电极112和/或第二感应电极114同时形成，亦即虚拟电极D、第一感应电极112和第二感应电极114由同一导电层图案化所形成，但不以此为限。虚拟电极D设置于第一基板102及遮光层104上，其中透过虚拟电极D的设计，在观察显示画面时的视觉效果上可具有较佳均匀性。图1A所绘的虚拟电极D的配置仅为例示，本发明所属领域的技术人员可依实际需求而弹性调整虚拟电极D的配置。
第一绝缘层116至少覆盖第一感应电极112与第二感应电极114，其中第一绝缘层116可具有多个通孔117，以暴露至少部分第一感应电极112。桥接电极120设置于第一绝缘层116上，并透过通孔117，以跨接的方式电性连接第一感应电极112。举例来说，桥接电极120可跨过至少一个第二感应电极114，并以其相对两端分别电性连接两个第一感应电极112。
遮蔽电极122设置于第一绝缘层116上，其中遮蔽电极122至第一基板102的垂直投影与第一感应电极112及第二感应电极114的其中至少一者至第一基板102的垂直投影至少部分重迭。进一步而言，本实施方式中，至少一部分的第一感应电极112至第一基板102的垂直投影落于遮蔽电极122至第一基板102的垂直投影内，且至少一部分的第二感应电极114至第一基板102的垂直投影也落于遮蔽电极122至第一基板102的垂直投影内。此外，第一感应电极112及第二感应电极114的其中至少一者至第二基板130的垂直投影也位于遮蔽电极122至第二基板130的垂直投影内。
于其他实施方式中，可以是只有一部分的第一感应电极112至第一基板102的垂直投影落于遮蔽电极122至第一基板102的垂直投影内，或是只有一部分的第二感应电极114至第一基板102的垂直投影落于遮蔽电极122至第一基板102的垂直投影内。同样地，可以是只有一部分的第一感应电极112至第二基板130的垂直投影落于遮蔽电极122至第二基板130的垂直投影内，或是，只有一部分的第二感应电极114至第二基板130的垂直投影落于遮蔽电极122至第二基板130的垂直投影内。此外，遮蔽电极122可以连接至接地电位，以成为接地电极。
于桥接电极120以及遮蔽电极122的配置关系中，桥接电极120以及遮蔽电极122可由同一膜层所形成，亦即，桥接电极120以及遮蔽电极122可以是由相同材料组成，且桥接电极120的位于第一绝缘层116上方的部分及遮蔽电极122也可具有相同的厚度。此外，桥接电极120以及遮蔽电极122皆至少接触于第一绝缘层116的同一面。例如，桥接电极120以及遮蔽电极122皆有接触于第一绝缘层116的上表面，其中此第一绝缘层116的上表面与第一基板102相对。更进一步而言，桥接电极120以及遮蔽电极122分别以其下表面接触于第一绝缘层116的上表面，且桥接电极120的下表面以及遮蔽电极122的下表面实质上为位于同一水平面。
第二绝缘层124设置于第一绝缘层116上，并覆盖桥接电极120与遮蔽电极122。由于桥接电极120以及遮蔽电极122可由同一膜层所形成，故桥接电极120以及遮蔽电极122皆至少接触于第二绝缘层124的同一面，例如，桥接电极120以及遮蔽电极122皆有接触第二绝缘层124的下表面，其中此第二绝缘层124的下表面朝向第一基板102。更进一步而言，桥接电极120以及遮蔽电极122分别以其上表面接触第二绝缘层124的下表面，且桥接电极120的上表面以及遮蔽电极122的上表面实质上为位于同一水平面。
液晶层126及间隙结构132设置于第二绝缘层124上，并位于第二绝缘层124与第二基板130之间，其中液晶层126包含液晶材料128。
藉由以上配置，由于遮蔽电极122位于至少一部分的第一感应电极112与第二基板130之间，且此至少一部分的第一感应电极112至第一基板102的垂直投影落于遮蔽电极122至第一基板102的垂直投影内，故遮蔽电极122可防止第一感应电极112受到来自第二基板130一侧的干扰。例如，遮蔽电极122可防止第一感应电极112受到来自第二基板130的薄膜晶体管阵列所具有的电信号的干扰，以提升触控信号的正确性。
同样地，由于遮蔽电极122位于至少一部分的第二感应电极114与第二基板130之间，且此至少一部分的第二感应电极114至第一基板102的垂直投影落于遮蔽电极122至第一基板102的垂直投影内，故遮蔽电极122可防止第二感应电极114受到来自第二基板130一侧的干扰，或/且降低第二感应电极114与第二基板130之间所产生的寄生电容。
另一方面，由于桥接电极120以及遮蔽电极122可由同一膜层所形成，故桥接电极120以及遮蔽电极122可由同一道光罩制程制作完成，使得触控面板100A的制作流程不会因制作遮蔽电极122而增加复杂度。换言之，于本实施方式的触控面板100A的结构中，可在不增加制程复杂度的情况下，形成此遮蔽电极122于其中。以下将对本实施方式的触控面板100A的制作流程作进一步说明。
请看到图2A至图2L。图2A、图2C、图2E、图2G、图2I、图2K绘示本发明第一实施方式的触控面板100A于制作流程的不同阶段的剖面图，其剖面位置为对应图1A的线段BB’。而图2B、图2D、图2F、图2H、图2J、图2L绘示本发明第一实施方式的触控面板于制作流程的不同阶段的剖面图，其剖面位置为对应图1A的线段CC’。
图2A与图2B中，形成遮光层104与色阻层108于第一基板102上。举例来说，可先形成遮光层104于第一基板102上，其中所形成的遮光层104可定义出多个像素区106。接着，再形成色阻层108于第一基板102上，其中形成色阻层108的步骤可透过形成多个色阻110a、110b及110c完成，且多个色阻110a、110b及110c分别设置于对应的像素区106内。
图2C与图2D中，形成多个第一感应电极112、多个第二感应电极114与至少一虚拟电极D于第一基板102上，其中第一感应电极112、第二感应电极114与虚拟电极D可透过图案化同一膜层所形成，例如，其可由同一金属层或同一透明导电层，透过同一道光罩制程而形成。进一步而言，第一感应电极112、第二感应电极114与虚拟电极D是形成于遮光层104上，且第一感应电极112、第二感应电极114与虚拟电极D的其中任两者彼此电性绝缘，例如，第一感应电极112与第二感应电极114彼此电性绝缘。第一感应电极112的形状可与第二感应电极114的形状不同，以分别做为发射电极Tx与接收电极Rx，其电极形状可如图1A所示。此外，于其他变化例中，虚拟电极D可以被省略。
图2E与图2F中，形成第一绝缘层116覆盖第一感应电极112、第二感应电极114与色阻层108，接着，于第一绝缘层116形成多个通孔117，并透过通孔117暴露至少部分第一感应电极112，且至少一个第二感应电极114会位于所形成的一对通孔117之间。例如，如图2F所示，其中接收电极Rx可位于一对通孔117之间，且此对通孔117分别暴露不同的发射电极Tx。
图2G与图2H中，形成导体层118于第一绝缘层116上及通孔117内，其中位于通孔117内的导体层118可与所对应的发射电极Tx电性连接。导体层118可以是金属层，或是，也可以是透明导电层，例如可由金属氧化物构成。图2I与图2J中，图案化图2G与图2H之中所形成的导体层118为遮蔽电极122及桥接电极120，分别如图2I与图2J所示，其中遮蔽电极122不与桥接电极120电性连接，换言之，遮蔽电极122与桥接电极120彼此为电性绝缘关系。
于遮蔽电极122形成后，至少一部分的第一感应电极112至第一基板102的垂直投影落于所形成的遮蔽电极122至第一基板102的垂直投影内，且至少一部分的第二感应电极114至第一基板102的垂直投影也落于所形成的遮蔽电极122至第一基板102的垂直投影内。另一方面，所形成的桥接电极120可透过通孔117，而电性连接至对应的第一感应电极112，其中桥接电极120可藉由跨接的方式，电性连接至位于第二感应电极114相对两侧的第一感应电极112。
图2K与图2L中，形成第二绝缘层124覆盖遮蔽电极122及桥接电极120。由于遮蔽电极122及桥接电极120是由同一导体层118(请见图2G与图2H)形成，因此其对于其他层结构会具有相同的相对位置关系。例如，对遮蔽电极122而言，遮蔽电极122会具有分别接触第一绝缘层116及第二绝缘层124的下表面以及上表面，而对桥接电极120而言，桥接电极120也会具有分别接触第一绝缘层116及第二绝缘层124的下表面以及上表面，其中遮蔽电极122的下表面与桥接电极120的下表面实质上位于同一水平面，且遮蔽电极122的上表面与桥接电极120的上表面实质上也位于同一水平面。当图2K与图2L的步骤完成后，再形成间隙结构于第二绝缘层124上，并提供液晶材料，以形成液晶层。接着，再将第一基板102及其上的结构与第二基板130接合，即可完成如图1B与图1C所示的触控面板100A的结构。
本实施方式中，藉由以上所述的制作方法，触控面板的桥接电极以及遮蔽电极可由同一道光罩制程制作完成，使得触控面板的制作流程不会因制作遮蔽电极而需再额外进行另一道光罩制程，因此，于触控面板的制作方法之中，其结构可在不增加制程复杂度的情况下，将可用以降低寄生电容的遮蔽电极形成于其中。
此外，于本实施方式中，形成色阻层的步骤虽早于形成第一感应电极与第二感应电极的步骤，然而，于其他实施方式中，形成色阻层的步骤可以弹性作调整。例如，形成色阻层的步骤可晚于形成第一感应电极与第二感应电极的步骤，或是，形成色阻层的步骤也可晚于图案化导体层的步骤。
另一方面，于本实施方式中，虽色阻层、第一绝缘层及第二绝缘层为独立的三层结构，然而，于其他实施方式中，第一绝缘层或第二绝缘层可被色阻层取代。例如，可以于形成第一感应电极与第二感应电极的步骤后再形成色阻层，且所形成的色阻层覆盖第一感应电极与第二感应电极，以使色阻层成为绝缘层，并取代原本的第一绝缘层。或者，也可以于形成桥接电极及遮蔽电极的步骤后再形成色阻层，且所形成的色阻层覆盖桥接电极及遮蔽电极，以使色阻层成为绝缘层，并取代原本的第二绝缘层。
请参照图3，其中图3绘示本发明第二实施方式的触控面板100B的剖面图，其剖面位置与图1B相同。本实施方式与第一实施方式的至少一差异为，本实施方式的触控面板100B更包含电极层134，其中电极层134设置于第二绝缘层124上，并位于第二绝缘层124与液晶层126之间。于本实施方式的触控面板100B的制作方法之中，形成电极层134的步骤可接续于形成第二绝缘层124之后，接着，所接续的制作流程可与第一实施方式相似，在此不再赘述。电极层134可用以与第二基板130一起控制液晶层126中的液晶材料128，然而，本发明所属技术领域的技术人员，可依所设计的触控面板100B属性，弹性选择是否形成并设置此层电极层134。
请再看到图4，其中图4绘示本发明第三实施方式的触控面板100C的剖面图，其剖面位置与图1B相同。本实施方式与第一实施方式的至少一差异为，本实施方式的第一感应电极112为接收电极Rx，而第二感应电极114为发射电极Tx，其中做为接收电极Rx的第一感应电极112及做为发射电极Tx的第二感应电极114分别位于第一绝缘层116的相对两侧。此外，遮蔽电极122及第一感应电极112分别位于第一绝缘层116的相对两侧，而遮蔽电极122及第二感应电极114为位于第一绝缘层116的同一侧。
进一步而言，第一感应电极112与虚拟电极D可设置于第一绝缘层116与第一基板102之间，且第一绝缘层116覆盖第一感应电极112与虚拟电极D。第二感应电极114及遮蔽电极122设置于第一绝缘层116上，其中遮蔽电极122至第一基板102的垂直投影与第一感应电极112至第一基板102的垂直投影至少部分重迭。进一步而言，至少一部份的第一感应电极112至第一基板102的垂直投影会落于遮蔽电极122至第一基板102的垂直投影内。
于本实施方式的第二感应电极114以及遮蔽电极122的配置关系中，第二感应电极114以及遮蔽电极122可由同一膜层所形成，亦即，第二感应电极114以及遮蔽电极122可以是由相同材料组成，且第二感应电极114及遮蔽电极122也可具有相同厚度。此外，第二感应电极114以及遮蔽电极122皆接触于第一绝缘层116的同一面。例如，第二感应电极114以及遮蔽电极122皆接触于第一绝缘层116的上表面，其中此第一绝缘层116的上表面与第一基板102相对。更进一步而言，第二感应电极114以及遮蔽电极122分别以其下表面接触第一绝缘层116的上表面，且第二感应电极114的下表面以及遮蔽电极122的下表面实质上为位于同一水平面。
同样地，第二感应电极114以及遮蔽电极122皆接触于第二绝缘层124的同一面，例如，第二感应电极114以及遮蔽电极122皆接触于第二绝缘层124的下表面，其中此第二绝缘层124的下表面朝向第一基板102。更进一步而言，第二感应电极114以及遮蔽电极122分别以其上表面接触于第二绝缘层124的下表面，且第二感应电极114的上表面以及遮蔽电极122的上表面实质上为位于同一水平面。
藉由以上配置，由于遮蔽电极122位于至少一部分的第一感应电极112与第二基板130之间，且此至少一部份的第一感应电极112至第一基板102的垂直投影会落于遮蔽电极122至第一基板102的垂直投影内，故遮蔽电极122可防止第一感应电极112受到来自第二基板130一侧的干扰，并可降低第一感应电极112与第二基板130之间所产生的寄生电容。
另一方面，由于第二感应电极114以及遮蔽电极122可由同一膜层所形成，故本实施方式的结构仍可在不增加制程复杂度的情况下，形成可用以降低寄生电容的遮蔽电极122于其中。以下将对本实施方式的触控面板100C的制作流程作进一步说明。
请看到图5A至图5F。图5A、图5C、图5E绘示图4的触控面板100C于制作流程的不同阶段的剖面图，其剖面位置与图1B相同，而图5B、图5D、图5F绘示图4的触控面板100C于制作流程的不同阶段的剖面图，其剖面位置与图1B相同。此外，本实施方式的形成遮光层104与色阻层108的步骤与第一实施方式相同，关于此的相同步骤将不再赘述。
图5A与图5B中，形成多个第一感应电极112与至少一虚拟电极D于第一基板102上，其中第一感应电极112与虚拟电极D可透过同一膜层形成。进一步而言，第一感应电极112与虚拟电极D是形成于遮光层104上，且第一感应电极112与虚拟电极D彼此电性绝缘。此外，第一感应电极112可做为接收电极Rx。于其他实施方式中，虚拟电极D可以被省略。于形成第一感应电极112与虚拟电极D的步骤后，再形成第一绝缘层116，其中第一绝缘层116覆盖第一感应电极112与虚拟电极D。接着，图5C与图5D中，于形成第一绝缘层116的步骤后，再形成导体层118于第一绝缘层上。导体层118可以是金属层，或是，也可以是透明导电层，例如可由金属氧化物构成。
图5E与图5F中，图案化图5C与图5D所形成的导体层118为第二感应电极114及遮蔽电极122，其中第二感应电极114可做为发射电极Tx。第二感应电极114不与遮蔽电极122电性连接，换言之，第二感应电极114与遮蔽电极122彼此为电性绝缘关系。于第二感应电极114与遮蔽电极122形成后，遮蔽电极122至第一基板102的垂直投影会与第一感应电极112至第一基板102的垂直投影至少部分重迭。进一步而言，至少一部分的第一感应电极112至第一基板102的垂直投影会落于所形成的遮蔽电极122至第一基板102的垂直投影内。当图5E与图5F的步骤完成后，再如同第一实施方式，形成第二绝缘层、间隙结构、液晶层，接着再将第一基板102及其上的结构与第二基板130接合，即可完成如图4所示的触控面板100C的结构。
本实施方式中，藉由以上所述的制作方法，触控面板的第二感应电极以及遮蔽电极可由同一道光罩制程制作完成，因此，于触控面板的制作方法之中，其结构可在不增加制程复杂度的情况下，将用以降低寄生电容的遮蔽电极形成于其中。此外，形成色阻层的步骤的顺序也可弹性作调整，此已于第一实施方式说明，在此不再赘述。另一方面，同样似于第一实施方式，本实施方式中，第一绝缘层或第二绝缘层可被色阻层取代，在此也不再赘述。
请再看到图6，其中图6绘示本发明第四实施方式的触控面板100D的剖面图，其剖面位置与图4相同。本实施方式与第三实施方式的至少一差异为，本实施方式的触控面板100D更包含电极层134，其中电极层134设置于第二绝缘层124上，并位于第二绝缘层124与液晶层126之间。本实施方式中，于触控面板100D的制作方法之中，形成电极层134的步骤可接续于形成第二绝缘层124之后，接着，所接续的制作流程可与第一实施方式相似，在此不再赘述。电极层134可用以与第二基板130一起控制液晶层126中的液晶材料128，然而，本发明所属技术领域的技术人员，可依所设计的触控面板100D属性，弹性选择是否形成并设置此层电极层134。
综上所述，于本发明的触控面板的结构之中，遮蔽电极可位于感应电极与第二基板之间，且遮蔽电极至第一基板的垂直投影与感应电极至第一基板的垂直投影至少部分重迭，故遮蔽电极可防止感应电极受到来自第二基板一侧的干扰，并可降低感应电极与第二基板之间所产生的寄生电容。
此外，透过本发明的触控面板的制作方法，触控面板的遮蔽电极可与桥接电极或感应电极由同一道光罩制程制作完成，使得触控面板的制作流程不会因制作遮蔽电极而需再额外进行另一道光罩制程，故其可在不增加制程复杂度的情况下，将遮蔽电极形成于其中。
虽然本发明已以多种实施方式公开如上，然其并非用以限定本发明，任何本领域的技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与修改，因此本发明的保护范围当视后附的权利要求书保护范围所界定者为准。

Claims (16)

1.一种触控面板的制作方法，其特征在于，包含：
形成多个第一感应电极与多个第二感应电极于一第一基板上；
形成一第一绝缘层覆盖该些第一感应电极与该些第二感应电极；
于该第一绝缘层形成多个通孔，并透过该些通孔暴露至少部分该些第一感应电极；
形成一导体层于该第一绝缘层上及该些通孔内；以及
图案化该导体层为至少一桥接电极及至少一遮蔽电极，其中该桥接电极透过该些通孔，电性连接该些第一感应电极，且该遮蔽电极于该第一基板的垂直投影与该些第一感应电极及该些第二感应电极的其中至少一者于该第一基板的垂直投影至少部分重迭。
2.如权利要求1所述的触控面板的制作方法，其特征在于，该遮蔽电极不与该桥接电极电性连接。
3.如权利要求1所述的触控面板的制作方法，其特征在于，还包含：
形成一第二绝缘层覆盖该桥接电极及该遮蔽电极；
形成一电极层于该第二绝缘层上；以及
形成至少一液晶材料于该电极层与一第二基板之间。
4.如权利要求3所述的触控面板的制作方法，其特征在于，形成该第二绝缘层的步骤包含：
形成一色阻层，该色阻层至少覆盖该桥接电极及该遮蔽电极，以使该色阻层成为该第二绝缘层。
5.如权利要求1所述的触控面板的制作方法，其特征在于，还包含：
形成至少一虚拟电极于该第一基板上，其中该些第一感应电极及该些第二感应电极的其中至少一者与该虚拟电极彼此电性绝缘。
6.如权利要求1所述的触控面板的制作方法，其特征在于，还包含：
形成一色阻层于该第一基板上，其中形成该色阻层的步骤早于形成该些第一感应电极与该些第二感应电极的步骤。
7.如权利要求1所述的触控面板的制作方法，其特征在于，还包含：
形成一色阻层于该第一基板上，其中形成该色阻层的步骤晚于形成该些第一感应电极与该些第二感应电极的步骤。
8.如权利要求1所述的触控面板的制作方法，其特征在于，还包含：
形成一色阻层于该第一基板上，其中形成该色阻层的步骤晚于图案化该导体层的步骤。
9.如权利要求1所述的触控面板的制作方法，其特征在于，形成该第一绝缘层的步骤包含：
形成一色阻层，该色阻层至少覆盖该些第一感应电极与该些第二感应电极，以使该色阻层成为该第一绝缘层。
10.一种触控面板的制作方法，其特征在于，包含：
形成至少一第一感应电极于一第一基板上；
形成一第一绝缘层，该第一绝缘层至少覆盖该第一感应电极；
形成一导体层于该第一绝缘层上；以及
图案化该导体层为至少一第二感应电极及至少一遮蔽电极，其中该遮蔽电极于该第一基板的垂直投影与该第一感应电极于该第一基板的垂直投影至少部分重迭。
11.如权利要求10所述的触控面板的制作方法，其特征在于，该第二感应电极不与该遮蔽电极电性连接。
12.一种触控面板，其特征在于，包含：
一第一基板；
多个第一感应电极，设置于该第一基板上；
多个第二感应电极，设置于该第一基板上；
一第一绝缘层，至少覆盖该些第一感应电极与该些第二感应电极，其中该第一绝缘层具有多个通孔，且该些通孔暴露至少部分该些第一感应电极；
至少一桥接电极，设置于该第一绝缘层上，并透过该些通孔电性连接该些第一感应电极；以及
至少一遮蔽电极，设置于该第一绝缘层上，其中该遮蔽电极于该第一基板的垂直投影与该些第一感应电极及该些第二感应电极的其中至少一者于该第一基板的垂直投影至少部分重迭，其中该至少一桥接电极以及该至少一遮蔽电极由同一膜层所形成。
13.如权利要求12所述的触控面板，其特征在于，该些第一感应电极的形状与该些第二感应电极的形状不同。
14.如权利要求12所述的触控面板，其特征在于，该些第一感应电极及该些第二感应电极的其中至少一者于该第二基板的垂直投影位于该遮蔽电极于该第二基板的垂直投影内。
15.如权利要求12所述的触控面板，其特征在于，还包含：
一第二绝缘层，设置于该第一绝缘层上，并覆盖该桥接电极与该些遮蔽电极；
一电极层，设置于该第二绝缘层上；
一液晶层，设置于该电极层上；以及
一第二基板，设置于该第一基板的一侧，其中该液晶层位于该电极层与该第二基板之间。
16.一种触控面板，其特征在于，包含：
一第一基板；
多个第一感应电极，设置于该第一基板上；
一第一绝缘层，覆盖该些第一感应电极；
多个第二感应电极，设置于该第一绝缘层上；以及
至少一遮蔽电极，设置于该第一绝缘层上，其中该遮蔽电极至该第一基板的垂直投影与该些第一感应电极至该第一基板的垂直投影至少部分重迭，其中该些第二感应电极以及该至少一遮蔽电极由同一膜层所形成。
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