CN106190129B - 三氯化铁ito刻蚀液配制*** - Google Patents

三氯化铁ito刻蚀液配制*** Download PDF

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Abstract

本发明涉及一种三氯化铁ITO刻蚀液配制***，其特征是：包括混配罐、溶解桶和抽料循环泵，混配罐的顶部设有第一进料口，溶解桶的出料口通过抽料管连接混配罐顶部的第二进料口，抽料循环泵的一端通过第一管道连接混配罐的底部，抽料循环泵的出料端分别连接混配罐的第二进料口和第二管道，第二管道的输出端连接过滤灌装设备，在抽料循环泵的出料端设置取样支路，在取样支路上设置取样阀。在所述混配罐的中部连接第三管道，第三管道分别连接抽料循环泵的出料端管道和溶解桶。在所述溶解桶的底部安装称重秤。本发明自动化程度高，混配效果好，保证产品精度。

Description

三氯化铁ITO刻蚀液配制***
技术领域
本发明涉及一种配制***，尤其是一种三氯化铁ITO刻蚀液配制***，属于化工设备技术领域。
背景技术
铟锡氧化物（ITO）导电膜具有电阻率低、透光性好、高温稳定性好及制备和图形加工工艺简单等诸多优点，是一种理想的透明电极材料，被广泛应用于LCD、PDP、FED、OLED/PLED等平板显示器上作为透明电极。
为制备所需要的电极图形，就要对ITO导电膜进行蚀刻。蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术分为湿蚀刻和干蚀刻，其中，湿蚀刻是采用化学试剂，经由化学反应达到蚀刻的目的。FeCl3系ITO蚀刻液，为黄褐色液体，有气味酸性，在现有技术中，主要由盐酸或硝酸、FeCl3、纯水经搅拌混匀过滤制得。在现有的FeCl3系ITO蚀刻液制备过程中，一般就是采用人工进行操作，自动化程度较低，物料混配效果较差，产品配制的精度不够。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种三氯化铁ITO刻蚀液配制***，自动化程度高，混配效果好，保证产品精度。
按照本发明提供的技术方案，所述三氯化铁ITO刻蚀液配制***，其特征是：包括混配罐、溶解桶和抽料循环泵，混配罐的顶部设有第一进料口，溶解桶的出料口通过抽料管连接混配罐顶部的第二进料口，抽料循环泵的一端通过第一管道连接混配罐的底部，抽料循环泵的出料端分别连接混配罐的第二进料口和第二管道，第二管道的输出端连接过滤灌装设备，在抽料循环泵的出料端设置取样支路，在取样支路上设置取样阀。
进一步的，在所述混配罐的中部连接第三管道，第三管道分别连接抽料循环泵的出料端管道和溶解桶。
进一步的，在所述溶解桶的底部安装称重秤。
进一步的，在所述混配罐上安装压力表和液位计。
进一步的，在所述抽料管、第一管道和第二管道上均设有阀体。
本发明具有以下优点：（1）本发明能够实现三氯化铁ITO刻蚀液的自动化配制；（2）本发明能够通过称重秤对FeCl3、纯水进行称重，保证混配的精度；（3）本发明通过抽料循环泵实现混配罐中物料的混配，混配效果好，以保证产品精度。
附图说明
图1为本发明所述三氯化铁ITO刻蚀液配制***的结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体附图对本发明作进一步说明。
如图1所示：所述三氯化铁ITO刻蚀液配制***包括混配罐1、溶解桶2、抽料循环泵3、称重秤4、第一进料口5、抽料管6、第二进料口7、第一管道8、第二管道9、取样阀10、回流管道11、调节阀12、压力表13、液位计14等。
如图1所示，本发明所述三氯化铁ITO刻蚀液配制***，包括混配罐1、溶解桶2和抽料循环泵3，混配罐1的顶部设有第一进料口5，溶解桶2的出料口通过抽料管6连接混配罐1顶部的第二进料口7，抽料循环泵3的一端通过第一管道8连接混配罐1的底部，抽料循环泵3的出料端分别连接混配罐1的第二进料口和第二管道9，第二管道9的输出端连接过滤灌装设备，在抽料循环泵3的出料端设置取样支路，在取样支路上设置取样阀10，通过取样阀10以确定抽料循环泵3出料口的物料是回混配罐1继续搅拌混合还是出样至过滤灌装设备。
在所述混配罐1的顶部和第二管道9的输出端之间连接回流管道11，回流管道11上设置调节阀12，调节阀12用以调节压力和流量，并且回流管道11能够将第二管道9中多余的物料回流至混配罐1。
在所述混配罐1的中部连接第三管道，第三管道分别连接抽料循环泵3的出料端管道和溶解桶2，用于对混配罐1内的物料进行放液排空。
在所述溶解桶2的底部安装称重秤4，用于对FeCl3、纯水进行称重。
在所述混配罐1上安装压力表13和液位计14。
在所述抽料管6、第一管道8和第二管道9上均设有阀体。
本发明的工作过程：FeCl3、纯水在溶解桶2中溶解后由抽料管6送入混配罐1中，混配罐1由顶部的第一进料口5加入盐酸；抽料循环泵3能够将混配罐1内的物料由底部抽出再由顶部送入，以实现混配罐1中物料的混合均匀；当从抽料循环泵3的出料口的取样阀10取样得到物料混配符合要求时，抽料循环泵3的出料口由第二管道9将物料排至过滤灌装设备。

Claims (1)

1.一种三氯化铁ITO刻蚀液配制***，其特征是：包括混配罐（1）、溶解桶（2）和抽料循环泵（3），混配罐（1）的顶部设有第一进料口（5），溶解桶（2）的出料口通过抽料管（6）连接混配罐（1）顶部的第二进料口（7），抽料循环泵（3）的一端通过第一管道（8）连接混配罐（1）的底部，抽料循环泵（3）的出料端分别连接混配罐（1）的第二进料口和第二管道（9），第二管道（9）的输出端连接过滤灌装设备，在抽料循环泵（3）的出料端设置取样支路，在取样支路上设置取样阀（10）；
在所述混配罐（1）的中部连接第三管道，第三管道分别连接抽料循环泵（3）的出料端管道和溶解桶（2）；
在所述溶解桶（2）的底部安装称重秤（4）；
在所述混配罐（1）上安装压力表（13）和液位计（14）；
在所述抽料管（6）、第一管道（8）和第二管道（9）上均设有阀体。
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