CN106167891B - 一种可调节式全角度蒸镀机构视窗 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种可调节式全角度蒸镀机构视窗，包括：第一、第二旋转挡板及旋转视窗，第一、第二旋转挡板及旋转视窗通过同轴连接器依次同轴并列设置，第一、第二旋转挡板呈两个互补的扇形结构并结合组成圆形结构，第二旋转挡板通过转动调节其闭合与开启状态，旋转视窗通过视窗旋转轴控制，两个旋转挡板与旋转视窗通过固定轴连接。本发明通过可调节旋转挡板来全角度观察到蒸镀机腔室内部的运行情况，避免了在非观察期间旋转视窗造成的损伤，延长旋转视窗使用周期。本发明所述旋转挡板与旋转视窗的结构简单紧凑，使用方法简便，可视化窗口观察角度全面，易于更换和维护，延长了使用周期，降低成本。
Description
技术领域
本发明涉及发光二极管镀膜设备领域，特别是涉及一种镀膜设备可视化的观察视窗结构。
背景技术
高亮度AlGaInP发光二极管已广泛应用于高效固态照明领域中,如显示屏、汽车用灯、背光源、交通信号灯、景观照明等。蒸镀机是制造高亮度发光二极管器件镀膜工艺的常用设备，发光二极管的蒸镀工艺技术是其大规模生产的关键技术，其工作原理是在高真空的镀膜腔室内，利用高能电子束或热阻对待镀膜的材料进行加热，从而使待镀膜的材料形成蒸汽，沉积在晶片表面并形成一定厚度的薄膜镀层。
在实际的生产使用过程中，为了监控蒸镀机的运行情况与保证镀膜的质量，蒸镀机腔室内部各部件的运行状况需要实时去观察和监控，包括镀锅伞架的旋转情况、石英灯加热情况电子束聚焦情况及热阻的连通情况等，特别是待蒸镀材料会不断地被消耗，需要适时观察和调整电子束的聚焦，以期获得均匀的镀膜层，并提高镀膜材料的利用率。
蒸镀机一般会通过设置观察窗口来观察蒸镀机腔室内部的运行状况，但是目前现有的发光二极管蒸镀机的观察窗口是通过二次反射镜来观察的，其可观察到的区域较狭窄，无法全角度观察到蒸镀机腔室内部的运行情况，而且反射镜装置的调节过程较繁琐，对使用人员的要求较高，当反射镜角度调节偏时会导致观察不到蒸镀机腔室的内部情况，此外通过反射镜观察到的图像存在形变失真和模糊不清的问题，使用周期短，机器维护繁琐，维护成本高。
发明内容
本发明的目的在于克服以上技术的不足，提供一种结构简单、安装方便、可调节式全角度的蒸镀机观察视窗机构。
本发明的目的通过以下技术方案来实现 ：包括：第一旋转挡板、第二旋转挡板及旋转视窗，第一旋转挡板、第二旋转挡板及旋转视窗通过同轴连接器依次同轴并列设置，第一旋转挡板、第二旋转挡板呈两个互补的扇形结构并结合组成圆形结构，通过转动第二旋转挡板调节其闭合与开启状态，旋转视窗通过视窗旋转轴控制，两个旋转挡板与旋转视窗通过固定轴连接。
本发明所述固定轴为中空结构，固定轴内部为同轴螺杆。
本发明所述第一旋转挡板、第二旋转挡板与旋转视窗依次等间距均匀布置。
本发明所述旋转视窗由石英玻璃制成，呈圆形，厚度1-3mm，最佳为2mm。
本发明所述第一旋转挡板为锐角扇形，第二旋转挡板为钝角扇形。所述第一旋转挡板、第二旋转挡板均由316L不锈钢材料制成。
本发明所述第一旋转挡板呈锐角扇形的角度≥30度，且＜90度，最佳角度为60度。第二旋转挡板呈钝角扇形的角度为270-330度，最佳角度为300度。
本发明所述第一旋转挡板、第二旋转挡板与旋转视窗的三者均布间距为1-4mm范围。第一旋转挡板、第二旋转挡板半径为50-75mm，厚度为1-3mm。
本发明与现有的技术相比具有以下明显优点：本发明通过可调节旋转挡板来全角度观察到蒸镀机腔室内部的运行情况，通过调节旋转挡板闭合状态，遮挡金属颗粒对旋转视窗的轰击和表面沉积，避免在非观察期间旋转视窗造成的损伤，延长旋转视窗的使用周期，通过旋转视窗分立式卡位结构定量调节旋转视窗使用及观察区域，旋转挡板与旋转视窗的使用方法简便，避免人为调节出错，提高了生产效率和质量，旋转挡板与旋转视窗的结构简单紧凑，易于更换和维护，延长了使用周期，提高了机台稼动率，降低成本。
附图说明
图1是本发明结构示意图。
具体实施方式
为了加深对本发明的理解，下面将结合实施例和附图对本发明作进一步详述，该实施例仅用于解释本发明，并不构成对本发明保护范围的限定。
如图1示出了本发明可调节式蒸镀机视窗的一种具体实施方式，包括第一旋转挡板1、第二旋转挡板2及旋转视窗3，第一旋转挡板1、第二旋转挡板2及旋转视窗3通过同轴连接器4依次同轴并列设置，第一旋转挡板1、第二旋转挡板2呈两个互补的扇形结构并结合组成圆形结构，通过转动第二旋转挡板2调节其闭合与开启状态，旋转视窗3通过视窗旋转轴5控制，第一旋转挡板1通过第一旋转轴6控制，第二旋转挡板2通过第二旋转轴7控制。固定轴为中空结构，固定轴内部为同轴螺杆。
所述第一旋转挡板1为锐角扇形，角度为≥30度，且＜90度，最佳度数为60度，半径为50-75mm，最佳为60mm。第二旋转挡板2为钝角扇形，钝角扇形的角度为270-330度，最佳角度为300度，半径为50-75mm，最佳为60mm。所述第一旋转挡板1、第二旋转挡板2均由316L不锈钢材料制成，厚度为1-3mm，最佳厚度为2mm。本发明所述第一旋转挡板、第二旋转挡板均由316L不锈钢材料制成。所述的旋转视窗由石英玻璃制成，呈圆形，厚度为1-3mm，最佳厚度为2mm，具有高透明度、高硬度、耐高温特性，通过分立式卡位结构转动调节可以直接全面观察到蒸镀机腔室内部的运行情况。所述第一旋转挡板1、第二旋转挡板2与旋转视窗3之间等间距均匀布置，间距为1-4mm，最佳间距为2mm，从而可以减少在蒸镀机使用期间金属颗粒沉积在旋转视窗表面，延长旋转视窗使用周期。
可以理解的是，对于本领域的技术人员来说，可以根据本发明的技术构思做出其它各种相应的变形与改变，而所有这些变形与改变都应属于本发明权利要求的保护范围。
Claims (10)
1.一种可调节式全角度蒸镀机构视窗，包括：第一旋转挡板，第二旋转挡板及旋转视窗，第一旋转挡板，第二旋转挡板及旋转视窗通过同轴连接器依次同轴并列设置，第一旋转挡板、第二旋转挡板呈两个互补的扇形结构并结合组成圆形结构，通过转动第二旋转挡板调节其闭合与开启状态，旋转视窗通过视窗旋转轴控制，两个旋转挡板与旋转视窗通过固定轴连接。
2.根据权利要求1所述的可调节式全角度蒸镀机构视窗，其特征在于：固定轴为中空结构，固定轴内部为同轴螺杆。
3.根据权利要求1所述的可调节式全角度蒸镀机构视窗，其特征在于：所述第一旋转挡板、第二旋转挡板与旋转视窗依次等间距均匀布置。
4.根据权利要求1所述的可调节式全角度蒸镀机构视窗，其特征在于：旋转视窗由石英玻璃制成，厚度为1-3mm。
5.根据权利要求1所述的可调节式全角度蒸镀机构视窗，其特征在于：第一旋转挡板为锐角扇形，第二旋转挡板为钝角扇形。
6.根据权利要求1所述的可调节式全角度蒸镀机构视窗，其特征在于：第一旋转挡板、第二旋转挡板均由316L不锈钢材料制成。
7.根据权利要求5所述的可调节式全角度蒸镀机构视窗，其特征在于：第一旋转挡板呈锐角扇形的角度≥30度，且＜90度。
8.根据权利要求5所述的可调节式全角度蒸镀机构视窗，其特征在于：第二旋转挡板呈钝角扇形的角度为270-330度。
9.根据权利要求3所述的可调节式全角度蒸镀机构视窗，其特征在于：所述第一旋转挡板、第二旋转挡板与旋转视窗的三者均布间距为1-4mm范围。
10.根据权利要求7或8或9所述的可调节式全角度蒸镀机构视窗，其特征在于：第一旋转挡板、第二旋转挡板半径为50-75mm，厚度为1-3mm。
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