CN106086791A - 一种具有ag+ar+af镀膜的视窗保护面板的制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板的制造方法,属于视窗表面处理技术领域。为了解决现有视窗保护面板不能同时兼具高透光率、低色差和高耐磨的问题,提供一种具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板的制造方法,该方法包括选基材、加工AG膜层、镀AR膜层、镀Al2O3膜和镀AF膜层,最终得到相应的具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板。本发明实现既具有高透光率的效果,又具有低色差值的效果,且各膜层之间的结合力好,同时还兼具防指纹、防眩光和抗污的高性能要求。镀AR膜和镀Al2O3膜及镀AF膜都在真空镀膜腔内进行,减少了中间过程转换,简化了工艺操作,提高了效率。
Description
技术领域
本发明涉及一种具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板的制造方法,属于视窗表面处理技术领域。
背景技术
随着科学技术的迅速发展,在诸如手机、掌上电脑、车载导航仪、笔记本电脑等电子产品上广泛地应用了触摸屏(视窗保护面板),各种视窗保护屏对镀膜的性能也提出了特殊的光学需求。如现有的保护面板(如显示器保护屏、手机视窗保护屏等)一般采用一些玻璃或PMMA等基板表面进行的表面再加工后使具有一些特殊的效果。具体来说,防眩光玻璃视窗保护屏具有防眩光效果、减反射玻璃具有高透光率和低反射的效果以及防指纹玻璃具有抗指纹、抗脏污的效果。也有通过使同时兼具上述几种效果的视窗保护屏。如中国专利(公开号:CN103950248A)公开的一种防眩光减反射抗指纹玻璃的制备方法,该方法具体为先提供玻璃基材1;然后在玻璃基材1的表面喷涂防眩光膜层2;将喷涂有防眩光膜层2的玻璃基材1置于150℃~400℃温度下烘烤20分钟~60分钟;利用真空镀膜线在防眩光膜层2上溅镀AR减反射膜层3,其减反射膜层3具体为依次溅镀第一TiO2层30、第一SiO2层31、第二TiO2层32和第二SiO2层33;最后在AR减反射膜层3上喷涂防***层4;将喷涂有防***层4的玻璃基材1置100℃~180℃温度下烘烤20分钟~60分钟。该方法得到得防眩光减反射抗指纹玻璃虽然也具有防眩光减反射及抗指纹和抗污的效果,但由于其防指纹层是通过喷涂形成,存在结合力不足的问题,容易使膜层之间形成空隙或脱落现象,从而影响产品的透光率和色差性能差的问题,同时采用TiO2与SiO2交替形成的膜层在色差表现方面也不是很理想,而表面耐磨性能的好坏也会影响到增透膜层是否被磨损而影响透光率和色差的性能。
发明内容
本发明针对以上现有技术中存在的缺陷,提供一种具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板的制造方法,使该视窗保护面板同时兼具高透光率、低色差和高耐磨的效果。
本发明的目的是通过以下技术方案得以实现的,一种具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板的制造方法,该方法包括以下步骤:
A、选基材:根据视窗保护面板的尺寸大小,选取相应的透光基材进行加工成相应尺寸大小的透光基板;
B、加工AG膜层:将透光基板的上表面进行加工处理使在透光基板的上表面上形成AG膜层,用于下一步镀膜;
C、镀AR膜层:经过步骤B镀膜之后,放入真空镀膜机中的镀膜腔室内,先在AG膜层的表面蒸镀ZrO2膜,再在ZrO2膜的表面蒸镀Si3N4膜;再在Si3N4膜的表面蒸镀SiO2膜,重复上述步骤若干次,使形成排列次序为“ZrO2膜-Si3N4膜-SiO2膜”的重复交替镀设方式形成的AR膜层;
D、镀Al2O3膜:镀AR膜层结束后,在AR膜层的表面蒸镀Al2O3膜;
F、镀AF膜层:再控制温度在350℃~450℃的条件下使在Al2O3膜的表面镀上AF膜层,得到相应的具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板。
本具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板的制造方法,通过蒸镀ZrO2膜、Si3N4膜与SiO2膜,并使它们之间形成“ZrO2膜-Si3N4膜-SiO2膜”的重复交替镀膜的方式,不仅具有高透光率和低反射性能的效果,最重要的是采用“ZrO2膜-Si3N4膜-SiO2膜”交替形成的增透膜层还能够使形成的视窗保护面板具有低色差值的效果;另一方面,由于SiO2膜本来可以作为过渡材料使用能够起到一定的粘结作用,也能够提高膜层之间的结合力,从而使形成的膜层具有更好的稳定性,不易出现空隙或脱落现象,保证了透光率的性能以及色差效果;而通过在增透膜层外表面镀Al2O3膜既能够提高耐磨性能;同时,通过蒸镀的方式在350℃~450℃的条件下能够使AF膜层更好的粘结在Al2O3膜的表面,使各膜层之间不易出现孔隙等现象,从而实现兼具高透光率、低色差和高耐磨的效果;同时,还兼具防眩光和防指纹及防污的效果。
在上述具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板的制造方法中,作为优先,步骤C中所述镀AR膜层具体为:
a、经过步骤B镀膜之后,将具有AG膜层的透光基板放入真空镀膜机中的镀膜腔室内,抽真空后,向镀膜腔室内通入氧气和氩气,再打开ZrO2靶源,在AG膜层的表面蒸镀ZrO2膜;镀ZrO2膜结束后,先关闭ZrO2靶源以及停止氧气通入,再打开硅靶源,并通入氮气,使在ZrO2膜的表面蒸镀Si3N4膜;镀Si3N4膜结束后,直接停止氮气通入,并关闭硅靶源,再重新通入氧气和打开SiO2靶源,使在Si3N4膜的表面蒸镀SiO2膜,整个镀膜过程中保护氩气通入。
b、重复步骤a两次,使最终形成的AR膜层中各膜的排列次序为“ZrO2膜-Si3N4膜-SiO2膜-ZrO2膜-Si3N4膜-SiO2膜-ZrO2膜-Si3N4膜-SiO2膜”。通过采用该结构的增透膜层不仅能够使产品具有低色差值和高透光率的效果。
在上述具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板的制造方法中,作为优选,步骤C中所述镀膜腔室内的环境温度为90℃~110℃,且真空度为1.5x10-3Pa~2.0x10-3Pa。目的是为了使镀膜过程中提高稳定性,使镀膜材料均匀的蒸镀表面,形成厚度较均匀,从而也能够提高对色差的要求和透光率的性能。
在上述具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板的制造方法中,作为优选,步骤F中镀AF膜层之后还包括在温度为70℃~90℃,且湿度为80%以上的条件下放置处理30分钟~70分钟。目的是为了使防***层更好的附着在增透膜层的表面,提高附着力的作用,从而使不易出现脱落或局部出现孔隙的现象,提高透光率和对色差的要求。
在上述具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板的制造方法中,作为优选,步步骤B中所述透光基板采用钢化玻璃加工而成,且步骤B中所述AG膜层具体为:通过在透光基板的上表面进行蚀刻处理后得到相应的AG膜层。通过直接在透光基板的表面进行蚀度处理后,使表面具有一定的雾度、光泽度和粗糙度,从而能够达到防眩光的要求,同时,由于表面具有一定的粗糙度,又能够使增透膜层与AG膜层之间具有更好的结合力,也保证了增透膜层的光学性能,有利于提高透光率和对色差的要求。作为进一步的优选,所述AG膜层的表面粗糙度≤0.03。提高膜层之间的结合力。
在上述具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板的制造方法中,作为另一种实施方式,步骤B中所述透光基板采用钢化玻璃、PMMA或PC材料制成;且步骤B中所述AG膜层具体为:通过在透光基板上表面喷涂防眩光药液使在透光基板的上表面形成一层薄膜,再通过UV固化,得到相应的AG膜层。同样能够实现防眩光的效果。作为进一步的优选,所述防眩光药液有效成分为二氧化硅,且二氧化硅的质量含量为0.01wt%~5.0wt%。使防眩光药液中有效成分为二氧化硅,既能够保证具有较好的防眩光效果,同时由于二氧化硅成分在后续的镀膜过程中能够使防眩光膜层与增透膜层和基板之间更好的结合,提高结合力,使不易出现脱落或出现缝隙的现象,作为优选,所述防眩光药液包括以下成分的质量百分比:
二氧化硅:0.01wt%~5.0wt%;盐酸:0.4wt%~0.5wt%;硝酸:0.2wt%~3.0wt%;其余为溶剂。所述溶剂如甲醇、乙醇或异丙醇等挥发性溶剂均可采用,还可以在防眩光药液中加入少量的助剂,如粘合剂等。
综上所述,本具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板的制造方法与现有技术相比,具有以下优点:
1.本具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板的制造方法,通过采用镀ZrO2膜、Si3N4膜与镀SiO2膜交替进行的方式使形成交替膜,实现既具有高透光率的效果,又具有低色差值的效果,同时,还能够使各膜层之间的结合力好,膜层之间基本上不会出现脱落或缝隙现象,也间接提高了透光率和低色差值的性能,实现了整体性能的提高,除达到以上效果的同时还兼具防指纹、防眩光和抗污的高性能要求。
2.本具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板的制造方法,由于镀AR膜的整个过程和镀Al2O3膜及镀AF膜的整个过程都在真空镀膜腔内进行,减少了中间的转换过程,大大的简化了工艺,也有利于形成高精度的膜层结构,提高和保证产品的整体性能。
附图说明
图1是本发明得到的具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板的结构示意图。
图2是比较例1中得到的具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板的结构示意图。
图中,1、透光基板;2、AG膜层;3、AR膜层;31、ZrO2膜;32、Si3N4膜;33、SiO2膜;4、Al2O3膜;5、AF膜层。
具体实施方式
下面通过具体实施例和附图,对本发明的技术方案作进一步具体的说明,但是本发明并不限于这些实施例。
实施例1
本实施例中具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板采用以下方法制造得到:
根据视窗保护面板的尺寸大小,其的视窗保护面板可以是手机视窗保护屏,也可以是电脑显示屏,选取透光的钢化玻璃进行加工成相应尺寸大小的透光基板1,再进行清洗,采用弱碱性的碳酸氢钠水溶液进行碱洗10分钟,然后,采用清水冲洗干净后干燥进行,干燥后用于下一步骤;
将透光基板1的上表面采用蚀刻液进行蚀刻处理,通过检测使钢化玻璃的上表面的雾度达到8%,粗糙度Ra达到≤0.03,其中,蚀刻液为HF和HCl的水溶液,且HF的质量含量为12%,HCl的含量为5%,其余为水,达到要求后,具有AG膜层2的透光基板1;
然后,在AG膜层2的表面蒸镀AR膜层3,具体为:将具有AG膜层2的透光基板1放入真空镀膜机中的镀膜腔室内,然后,进行抽真空和加热,使镀膜腔室内的环境温度达到90℃,真空度达到2.0x10-3Pa,再通入氩气和氧气,控制氩气的通入流量为10sccm,氧气的流量为40sccm,然后,打开ZrO2靶源进行蒸镀使在AG膜层2的表面蒸镀上一层ZrO2膜31,镀ZrO2膜31结束后,先关闭ZrO2靶源以及停止氧气通入,再打开硅靶源,并通入氮气,使氮气的流量为20sccm,使在ZrO2膜31的表面蒸镀Si3N4膜32;然后,停止氮气通入,并关闭硅靶源,重新通入氧气,使氧气的流量为20sccm,并打开SiO2靶源,使在Si3N4膜32的表面蒸镀SiO2膜33,整个镀膜过程中始终保持氩气通入,重复上述蒸镀ZrO2膜31、Si3N4膜32与SiO2膜33的步聚2次,使最终形成的AR膜层3中各膜的排列次序为“ZrO2膜31-Si3N4膜32-SiO2膜33-ZrO2膜31-Si3N4膜32-SiO2膜33-ZrO2膜31-Si3N4膜32-SiO2膜33”;无需另外取出半成品材料,直接在真空镀膜机的同一镀膜室内进行蒸镀,即将蒸镀AR膜层3时最后一次镀SiO2膜33对应的SiO2靶源关闭,再打开Al2O3靶源进行蒸镀使在AR膜层3的表面蒸镀一层Al2O3膜4,蒸镀结束后,将Al2O3靶源关闭,并停止通入氧气,先将镀膜腔室内的温度升温至350℃,再打开AF膜5对应的靶源,使在Al2O3膜4的表面镀上一层AF膜层5,再关闭氩气和AF膜5对应的靶源,排真空及冷却后,取出相应的半成品放入温度为90℃,且湿度为80%以上的条件下放置处理30分钟,处理结束后,冷却,得到相应的具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板。
实施例2
本实施例中具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板的具体制备方法同实施例1一致,这里不再赘述,区别仅在于其中的镀AR膜层3、镀Al2O3膜4和镀AF膜层5与实施例1不同,具体的镀膜方式如下:
在AG膜层2的表面蒸镀AR膜层3,具体为:将具有AG膜层2的透光基板1放入真空镀膜机中的镀膜腔室内,然后,进行抽真空和加热,使镀膜腔室内的环境温度达到110℃,真空度达到1.5x10-3Pa,再通入氩气和氧气,控制氩气的通入流量为10sccm,氧气的流量为40sccm,然后,打开ZrO2靶源进行蒸镀使在AG膜层2的表面蒸镀上一层ZrO2膜31,使ZrO2膜31的厚度为10.5nm,镀ZrO2膜31结束后,先关闭ZrO2靶源以及停止氧气通入,再打开硅靶源,并通入氮气,使氮气的流量为20sccm,使在ZrO2膜31的表面蒸镀Si3N4膜32,Si3N4膜32的厚度为12.2nm;然后,停止氮气通入,并关闭硅靶源,重新通入氧气,使氧气的流量为20sccm,并打开SiO2靶源,使在Si3N4膜32的表面蒸镀SiO2膜33,SiO2膜33的厚度为15.1nm,整个镀膜过程中始终保持氩气通入,重复上述蒸镀ZrO2膜31、Si3N4膜32与SiO2膜33的步聚2次,但各层的厚度不同,使最终形成的AR膜层3中各膜的排列次序为“厚度为10.5nm的ZrO2膜31-厚度为12.2nm的Si3N4膜32-厚度为15.1nm的SiO2膜33-厚度为20nm的ZrO2膜31-厚度为30.87nm的Si3N4膜32-厚度为10nm的SiO2膜33-厚度为11.5nm的ZrO2膜31-厚度为18.6nm的Si3N4膜32-厚度为85.4nm的SiO2膜33”;无需另外取出半成品材料,直接在真空镀膜机的同一镀膜室内进行蒸镀,即将蒸镀AR膜层3时最后一次镀SiO2膜33对应的SiO2靶源关闭,再打开Al2O3靶源进行蒸镀使在AR膜层3的表面蒸镀一层Al2O3膜4,使Al2O3膜4的厚度为1μm,蒸镀结束后,将Al2O3靶源关闭,并停止通入氧气,先将镀膜腔室内的温度升温至350℃,再打开AF膜5对应的靶源,使在Al2O3膜4的表面镀上一层AF膜层5,再关闭氩气和AF膜5对应的靶源,排真空及冷却后,取出相应的半成品放入温度为70℃,且湿度为80%以上的条件下放置处理30分钟,处理结束后,冷却,得到相应的具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板。将得到的进行相关性能的测试,具体测试结果为产品对波长为400nm-700nm波长范围段的反射率≤0.5%,也就是实现透光率达到99.5%以上,实现高透光率的效果,色差值能够保证在-1≤La*≤1,-2≤Lb*≤2的高要求,具有高精度的效果。同时,本具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板兼具抗指纹和抗脏效果,其初始水滴角在120度以上,最高能够达到130度以上,具有抗指纹和抗脏的特性。另外,在抗摩擦试验中,通过采用直径为20mm的000#钢丝绒加500g压力来回摩擦能够达到2500次以上,频率达到50次/分钟。
实施例3
本实施例中具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板的具体制备方法同实施例2一致,这里不再赘述,区别仅在于其中的镀AR膜层中各膜的交替重复次数不同,具体的AR镀膜方式如下:
在AG膜层2的表面蒸镀AR膜层3,具体为:将具有AG膜层2的透光基板1放入真空镀膜机中的镀膜腔室内,然后,进行抽真空和加热,使镀膜腔室内的环境温度达到100℃,真空度达到1.8x10-3Pa,再通入氩气和氧气,控制氩气的通入流量为10sccm,氧气的流量为40sccm,然后,打开ZrO2靶源进行蒸镀使在AG膜层2的表面蒸镀上一层ZrO2膜31,使ZrO2膜31的厚度为10.5nm,镀ZrO2膜31结束后,先关闭ZrO2靶源以及停止氧气通入,再打开硅靶源,并通入氮气,使氮气的流量为20sccm,使在ZrO2膜31的表面蒸镀Si3N4膜32,Si3N4膜32的厚度为7.2nm;然后,停止氮气通入,并关闭硅靶源,重新通入氧气,使氧气的流量为20sccm,并打开SiO2靶源,使在Si3N4膜32的表面蒸镀SiO2膜33,SiO2膜33的厚度为30.5nm,整个镀膜过程中保持氩气通入,重复上述蒸镀ZrO2膜31、Si3N4膜32与SiO2膜33的步聚2次,但各层的厚度不同,使最终形成的AR膜层3中各膜的排列次序为“厚度为10.5nm的ZrO2膜31-厚度为7.2nm的Si3N4膜32-厚度为30.5nm的SiO2膜33-厚度为14.1nm的ZrO2膜31-厚度为36.5nm的Si3N4膜32-厚度为11.6nm的SiO2膜33-厚度为15.1nm的ZrO2膜31-厚度为28.9nm的Si3N4膜32-厚度为175.3nm的SiO2膜33-厚度为7.1nm的ZrO2膜31-厚度为99.5nm的Si3N4膜32-厚度为155.3nm的SiO2膜33-厚度为16.4nm的ZrO2膜31-厚度为89.7nm的Si3N4膜32-厚度为78.9nm的SiO2膜33”;无需另外取出半成品材料,直接在真空镀膜机的同一镀膜室内进行蒸镀,即将蒸镀AR膜层3时最后一次镀SiO2膜33对应的SiO2靶源关闭,继续后续的操作,其中,后续的操作同实施例3一致,最终得到相应的具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板。将得到的进行相关性能的测试,具体测试结果为产品对波长为400nm-700nm波长范围段的反射率≤0.5%,也就是实现透光率达到99.5%以上,实现高透光率的效果,色差值能够保证在-1≤La*≤1,-2≤Lb*≤2的高要求,具有高精度的效果。同时,本具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板兼具抗指纹和抗脏效果,其初始水滴角在120度以上,最高能够达到130度以上,具有抗指纹和抗脏的特性。另外,在抗摩擦试验中,通过采用直径为20mm的000#钢丝绒加500g压力来回摩擦能够达到2500次以上,频率达到50次/分钟。
实施例4
本实施例中具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板采用以下方法制造得到:
根据视窗保护面板的尺寸大小,其的视窗保护面板可以是手机视窗保护屏,也可以是电脑显示屏,选取透光的钢化玻璃板材进行加工成相应尺寸大小的透光基板1,再进行清洗,采用弱碱性的碳酸氢钠水溶液进行碱洗10分钟,然后,采用清水冲洗干净后干燥进行,干燥后用于下一步骤;
然后在透光基板1的上表面喷涂防眩光药液使在透光基板1的上表面形成一层薄膜,再通过UV固化,UV的能量为150mJ/cm3,得到相应的具有AG膜层2的透光基板1;其中,防眩光药液中二氧化硅的含量为5.0wt%,甲醇的含量为15.0wt%,异丙醇的含量为35wt%,其余为助剂,质量浓度为0.5wt%的盐酸溶液的含量为0.5wt%,质量浓度为0.3wt%的HNO3溶液的含量为0.2wt%,其余为乙醇。当然还可以加入少量的粘合剂等。溶剂能够有效挥发,且加入的盐酸和硝酸能够更有效的与基板上的成分进行反应或部分腐蚀,从而使防眩光膜层与玻璃基板之间形成更好的结合。
然后,在AG膜层2的表面蒸镀AR膜层3,具体为:将具有AG膜层2的透光基板1放入真空镀膜机中的镀膜腔室内,然后,进行抽真空和加热,使镀膜腔室内的环境温度达到100℃,真空度达到1.5x10-3Pa,再通入氩气和氧气,控制氩气的通入流量为10sccm,氧气的流量为40sccm,然后,打开ZrO2靶源进行蒸镀使在AG膜层2的表面蒸镀上一层ZrO2膜31,使ZrO2膜31的厚度为10.5nm,镀ZrO2膜31结束后,先关闭ZrO2靶源以及停止氧气通入,再打开硅靶源,并通入氮气,使氮气的流量为20sccm,使在ZrO2膜31的表面蒸镀Si3N4膜32,Si3N4膜32的厚度为12.2nm;然后,停止氮气通入,并关闭硅靶源,重新通入氧气,使氧气的流量为20sccm,并打开SiO2靶源,使在Si3N4膜32的表面蒸镀SiO2膜33,SiO2膜33的厚度为15.1nm,整个镀膜过程中保持氩气通入,重复上述蒸镀ZrO2膜31、Si3N4膜32与SiO2膜33的步聚2次,但各层的厚度不同,使最终形成的AR膜层3中各膜的排列次序为“厚度为10.5nm的ZrO2膜31-厚度为12.2nm的Si3N4膜32-厚度为15.1nm的SiO2膜33-厚度为20nm的ZrO2膜31-厚度为30.87nm的Si3N4膜32-厚度为10nm的SiO2膜33-厚度为11.5nm的ZrO2膜31-厚度为18.6nm的Si3N4膜32-厚度为85.4nm的SiO2膜33”;无需另外取出半成品材料,直接在真空镀膜机的镀膜室内进行蒸镀,即将蒸镀AR膜层3时最后一次镀SiO2膜33对应的SiO2靶源关闭,再打开Al2O3靶源进行蒸镀使在AR膜层的表面蒸镀一层Al2O3膜4,使Al2O3膜4的厚度为3μm,蒸镀结束后,将Al2O3靶源关闭,并停止通入氧气,先将镀膜腔室内的温度升温至450℃,再打开AF膜5对应的靶源,使在Al2O3膜4的表面镀上一层AF膜层5,再关闭氩气和AF膜对应的靶源,排真空及冷却后,取出相应的半成品放入温度为80℃,且湿度为80%以上的条件下放置处理70分钟,处理结束后,冷却,得到相应的具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板。将得到的进行相关性能的测试,具体测试结果为产品对波长为400nm-700nm波长范围段的反射率≤0.5%,也就是实现透光率达到99.5%以上,实现高透光率的效果,色差值能够保证在-1≤La*≤1,-2≤Lb*≤2的高要求,具有高精度的效果。同时,本具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板兼具抗指纹和抗脏效果,其初始水滴角在120度以上,最高能够达到130度以上,具有抗指纹和抗脏的特性。另外,在抗摩擦试验中,通过采用直径为20mm的000#钢丝绒加500g压力来回摩擦能够达到2500次以上,频率达到50次/分钟。
实施例5
本实施例的本实施例中具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板的具体制备方法同实施例4一致,这里不再赘述,区别仅在于其中透光基板1采用PC材料或PMMA材料制成,且其中的防眩光药液中二氧化硅的含量为0.01wt%,甲醇的含量为20.0wt%,异丙醇的含量为40wt%,其余为助剂,质量浓度为0.5wt%的盐酸溶液的含量为0.4wt%,质量浓度为0.2wt%的HNO3溶液的含量为0.3wt%,其余为乙醇。将得到的进行相关性能的测试,具体测试结果为产品对波长为400nm-700nm波长范围段的反射率≤0.5%,也就是实现透光率达到99.5%以上,实现高透光率的效果,色差值能够保证在-1≤La*≤1,-2≤Lb*≤2的高要求,具有高精度的效果。同时,本具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板兼具抗指纹和抗脏效果,其初始水滴角在120度以上,最高能够达到130度以上,具有抗指纹和抗脏的特性。另外,在抗摩擦试验中,通过采用直径为20mm的000#钢丝绒加500g压力来回摩擦能够达到2500次以上,频率达到50次/分钟。
比较例1
本实施例中具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板的具体制备方法同实施例2一致,这里不再赘述,区别仅在于其中的镀AR膜层3与实施例2不同,具体的镀膜方式如下:
在AG膜层2的表面蒸镀AR膜层3,具体为:将具有AG膜层2的透光基板1放入真空镀膜机中的镀膜腔室内,然后,进行抽真空和加热,使镀膜腔室内的环境温度达到110℃,真空度达到1.5x10-3Pa,再通入氩气和氧气,控制氩气的通入流量为10sccm,氧气的流量为40sccm,然后,打开ZrO2靶源进行蒸镀使在AG膜层2的表面蒸镀上一层ZrO2膜31,使ZrO2膜31的厚度为9.8nm,镀ZrO2膜31结束后,先关闭ZrO2靶源,并打开SiO2靶源,使在ZrO2膜31的表面蒸镀SiO2膜33,SiO2膜33的厚度为35.1nm,整个镀膜过程中始终保持氩气通入,重复上述蒸镀ZrO2膜31与SiO2膜33的步聚2次,但各层的厚度不同,使最终形成的AR膜层3中各膜的排列次序为“厚度为9.8nm的ZrO2膜31-厚度为35.1nm的SiO2膜33-厚度为39.5nm的ZrO2膜31-厚度为12.2nm的SiO2膜33-厚度为42.4nm的ZrO2膜31-厚度为80.3nm的SiO2膜33”;无需另外取出半成品材料,直接在真空镀膜机的同一镀膜室内进行蒸镀,即将蒸镀AR膜层3时最后一次镀SiO2膜33对应的SiO2靶源关闭,再打开Al2O3靶源进行蒸镀使在AR膜层3的表面蒸镀一层Al2O3膜4,使Al2O3膜4的厚度为1μm,蒸镀结束后,将Al2O3靶源关闭,并停止通入氧气,先将镀膜腔室内的温度升温至350℃,再打开AF膜5对应的靶源,使在Al2O3膜4的表面镀上一层AF膜层5,再关闭氩气和AF膜5对应的靶源,排真空及冷却后,取出相应的半成品放入温度为70℃,且湿度为80%以上的条件下放置处理30分钟,处理结束后,冷却,得到相应的具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板。将得到的进行相关性能的测试,具体测试结果为产品对波长为400nm-700nm范围段的透光率≥98.4%,色差值在-3≤La*≤3,-4≤Lb*≤4。可见,单独采用ZrO2膜31与SiO2膜33交替镀设作为增透膜层,虽然具有较好的透光率,但在色差值性能方面还是相对较差,精度较差,也说明了本发明通过再加入Si3N4膜32对色差值性能有较大的影响,能够实现低色差和高精度的效果,也说明了通过本发明的镀AR膜层3的镀膜方式能够有效提高色差的性能,实现了高精度的优点。
本发明中所描述的具体实施例仅是对本发明精神作举例说明。本发明所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代,但并不会偏离本发明的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。
尽管对本发明已作出了详细的说明并引证了一些具体实施例,但是对本领域熟练技术人员来说,只要不离开本发明的精神和范围可作各种变化或修正是显然的。
Claims (8)
1.一种具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板的制造方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:
A、选基材:根据视窗保护面板的尺寸大小,选取相应的透光基材进行加工成相应尺寸大小的透光基板(1);
B、加工AG膜层(2):将透光基板(1)的上表面进行加工处理使在透光基板(1)的上表面上形成AG膜层(2),用于下一步镀膜;
C、镀AR膜层(3):经过步骤B镀膜之后,放入真空镀膜机中的镀膜腔室内,先在AG膜层(2)的表面蒸镀ZrO2膜(31),再在ZrO2膜(31)的表面蒸镀Si3N4膜(32);再在Si3N4膜(32)的表面蒸镀SiO2膜(33),重复上述步骤若干次,使形成排列次序为“ZrO2膜(31)-Si3N4膜(32)-SiO2膜(33)”的重复交替镀设方式形成的AR膜层(3);
D、镀Al2O3膜(4):镀AR膜层(3)结束后,在AR膜层(3)的表面蒸镀Al2O3膜(4);
F、镀AF膜层(5):再控制温度在350℃~450℃的条件下使在Al2O3膜(4)的表面镀上AF膜层(5),得到相应的具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板。
2.根据权利要求1所述具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板的制造方法,其特征在于,步骤C中所述镀AR膜层(3)具体为:
a、经过步骤B镀膜之后,放入真空镀膜机中的镀膜腔室内,抽真空后,向镀膜腔室内通入氧气和氩气,再打开ZrO2靶源,在AG膜层(2)的表面蒸镀ZrO2膜(31);镀ZrO2膜(31)结束后,先关闭ZrO2靶源以及停止氧气通入,再打开硅靶源,并通入氮气,使在ZrO2膜(31)的表面蒸镀Si3N4膜(32);镀Si3N4膜(32)结束后,停止氮气通入,并关闭硅靶源,再重新通入氧气和打开SiO2靶源,使在Si3N4膜(32)的表面蒸镀SiO2膜(33),整个镀膜过程中保持氩气通入。
b、重复步骤a两次,使最终形成的AR膜层3中各膜的排列次序为“ZrO2膜(31)-Si3N4膜(32)-SiO2膜(33)-ZrO2膜(31)-Si3N4膜(32)-SiO2膜(33)-ZrO2膜(31)-Si3N4膜(32)-SiO2膜(33)”。
3.根据权利要求1或2所述具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板的制造方法,其特征在于,步骤C中所述镀膜腔室内的环境温度为90℃~110℃,且真空度为1.5x10-3Pa~2.0x10- 3Pa。
4.根据权利要求1或2所述具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板的制造方法,其特征在于,步骤F中镀AF膜层(5)之后还包括在温度为70℃~90℃,且湿度为80%以上的条件下放置处理30分钟~70分钟。
5.根据权利要求1或2所述具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板的制造方法,其特征在于,步骤B中所述透光基板(1)采用钢化玻璃加工而成,且步骤B中所述AG膜层(2)具体为:通过在透光基板(1)的上表面进行蚀刻处理后得到相应的AG膜层(2)。
6.根据权利要求5所述具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板的制造方法,其特征在于,所述AG膜层(2)的表面粗糙度≤0.03。
7.根据权利要求1所述具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板的制造方法,其特征在于,步骤B中所述透光基板(1)采用钢化玻璃、PMMA或PC材料制成;且步骤B中所述AG膜层(2)具体为:通过在透光基板(1)上表面喷涂防眩光药液使在透光基板(1)的上表面形成一层薄膜,再通过UV固化,得到相应的AG膜层(2)。
8.根据权利要求7所述具有AG+AR+AF镀膜的视窗保护面板的制造方法,其特征在于,所述防眩光药液有效成分为二氧化硅,且二氧化硅的质量含量为0.01wt%~5.0wt%。
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