CN106062365A - 隔膜的固定构造、具备其的隔膜泵以及阀装置 - Google Patents
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Abstract
本发明在内部形成有空间(20)的壳体(2)利用固定构造(4)固定将空间(20)分隔为第1室(21)与第2室(22)的隔膜(3)。壳体(2)具备:具有形成第1室(21)侧的第1凹部(50)的第1框架(5)、以及具有形成第2室(22)侧的第2凹部(60)的第2框架(6)。通过第1框架(5)与第2框架(6)嵌合,从而在第1框架(5)与第2框架(6)之间压缩并保持隔膜(3)的周缘部(32)。第1框架(5)具有通过所述嵌合而将第2框架(6)保持为防脱状态的第1卡止部(52)。
Description
技术领域
本发明涉及在内部形成有空间的壳体固定将空间分隔为第1室与第2室的隔膜的隔膜的固定构造、具备该隔膜的固定构造的隔膜泵以及阀装置。
背景技术
在化学检查、环境分析或者生命工程研究等各种分析中,为了以准确的分量输出被处理流体,而使用具备隔膜的隔膜泵、阀装置。例如,在专利文献1中,公开了利用一对框架夹持并固定隔膜的构造的隔膜泵。在该隔膜泵中,为了抑制隔膜的周缘部处的流体的泄漏,而利用多对螺栓以及螺母将各框架彼此结合起来
专利文献1:日本特开平11-183359号公报
上述流体的泄漏起因于一对框架压缩隔膜的力整体或者局部不足。因此,在上述隔膜的固定构造中,为了以足够的力均衡地压缩隔膜,而使用多个螺栓以及螺母。
然而,在上述隔膜的固定构造中,部件件数增加,成为阻碍隔膜泵、阀装置的成本降低的一个因素。另外,螺栓以及螺母的紧固作业耗时,给作业者增加了负担,并且隔膜泵、阀装置的组装所需的工时增加。
发明内容
本发明是鉴于以上那样的实际情况而提出的,其主要目的在于提供通过减少部件件数且容易组装,从而能够实现成本降低的隔膜的固定构造等。
本发明涉及一种在内部形成有空间的壳体固定将上述空间分隔为第1室与第2室的隔膜的隔膜的固定构造,其特征在于,
上述壳体具备第1框架和第2框架,上述第1框架具有形成上述第1室侧的第1凹部,上述第2框架具有形成上述第2室侧的第2凹部,
通过使上述第1框架与上述第2框架嵌合,而在上述第1框架与上述第2框架之间压缩并保持上述隔膜的周缘部,
上述第1框架具有通过上述嵌合而将上述第2框架保持为防脱状态的第1卡止部。
在本发明的上述固定构造中,优选上述第1框架具有与上述第2框架对置的第1框架主体,上述第1卡止部包括第1突片和第1爪状片,上述第1突片能够弹性变形,其从上述第1框架主体的外缘向上述第2框架侧延伸,上述第1爪状片设置于上述第1突片的端部侧并且与上述第2框架卡合。
在本发明的上述固定构造中,优选上述第2框架具有第2卡止部,该第2卡止部通过上述嵌合而将上述第1框架保持为防脱状态。
在本发明的上述固定构造中,优选上述第2框架具有与上述第1框架对置的第2框架主体,上述第2卡止部包括第2突片以及第2爪状片,上述第2突片能够弹性变形,其从上述第2框架主体的外缘向上述第1框架侧延伸,上述第2爪状片设置于上述第2突片的端部侧并且与上述第1框架卡合。
在本发明的上述固定构造中,优选上述第1卡止部与第2卡止部沿上述壳体的外周交替设置。
在本发明的上述固定构造中,优选上述第1卡止部与第2卡止部沿上述壳体的外周连续设置。
在本发明的上述固定构造中,优选上述隔膜的上述周缘部连续设置有厚度大的厚壁部。
在本发明的上述固定构造中,优选在上述第1框架以及/或者上述第2框架设置有供上述厚壁部配置的定位用凹槽。
本发明涉及具备上述固定构造的隔膜泵,其特征在于,上述第1框架形成有与上述第1室连通的第1端口,上述第2框架形成有与上述第2室连通的第2端口,经由上述第1端口向上述第1室供给用于驱动上述隔膜的流体,经由上述第2端口在上述第2室流出流入被处理流体。
本发明涉及具备上述固定构造的阀装置,其特征在于,在上述第1框架的上述第1室设置有用于驱动上述隔膜的驱动机构,上述第2框架具有:使流体向上述第2室流入的流入端口;以及使流体从上述第2室流出的流出端口,上述流出端口具有在周围形成有阀座的开口,上述隔膜相对于上述阀座落座或者分离,从而开闭上述流出端口。
本发明涉及在内部形成有空间的壳体固定将空间分隔为第1室与第2室的隔膜的隔膜的固定构造,壳体具备第1框架以及第2框架,第1框架具有形成第1室侧的第1凹部,第2框架具有形成第2室侧的第2凹部。通过使第1框架与第2框架嵌合,而在第1框架与第2框架之间压缩并保持隔膜的周缘部。由此,抑制隔膜的周缘部处的被处理流体的泄漏。第1框架具有通过上述嵌合而将第2框架保持为防脱状态的第1卡止部,因此无需紧固螺栓以及螺母,就能够将第1框架与第2框架嵌合。因此,减少隔膜的固定构造的部件件数且容易组装,从而能够实现成本降低。
本发明的隔膜泵具备上述隔膜的固定构造,经由第1端口向第1框架的第1室供给用于驱动隔膜的流体,经由第2端口在第2框架的第2室流出流入被处理流体。由此,能够利用简单且廉价的结构的隔膜泵以准确的分量输出被处理流体。
本发明的阀装置具备上述隔膜的固定构造,在第1框架的第1室设置有用于驱动隔膜的驱动机构,第2框架具有:使流体向上述第2室流入的流入端口;以及使流体从上述第2室流出的流出端口。流出端口具有在周围形成有阀座的开口,隔膜相对于阀座落座或者分离,从而开闭流出端口。由此,能够利用简单且廉价的结构的阀装置以准确的分量输出被处理流体。
附图说明
图1是表示具备本发明的一个实施方式的隔膜泵的分析装置的局部结构的说明图。
图2是图1的隔膜泵的立体图。
图3是图2的隔膜泵的俯视图。
图4是图3的隔膜的A-A线剖视图。
图5是图3的隔膜的B-B线剖视图。
图6是图2的隔膜泵的组装立体图。
图7是图6的第1壳体或者第2壳体的立体图。
图8是图6的隔膜的剖视图。
图9是表示本发明的其他实施方式的阀装置的结构的剖视图。
图10是对图9的电磁圈进行了通电的状态下的阀装置的剖视图。
图11是图9的壳体的组装立体图。
具体实施方式
以下,基于附图对本发明的实施方式进行说明。
(第1实施方式)
图1表示本发明的第1实施方式的隔膜泵1的简要结构。隔膜泵1定量输出试料等被处理流体。隔膜泵1具有:在内部形成有空间20的壳体2;以及将空间20分隔为第1室21与第2室22的隔膜3。通过将气体等流体向第1室21填充排出,而将被处理流体从第2室22输出。
也就是说,利用向第1室21填充排出的气体来驱动隔膜3而使之变形,由此将定量的流体从第2室22输出。所输出的流体的体积由空间20的容积以及隔膜3占据空间20内的体积等决定。
在图2以及3示出了隔膜泵1的外观。在图4以及图5示出了图3所示的隔膜泵1的A-A线剖视图以及B-B线剖视图。在图6示出了隔膜泵1的组装立体图。隔膜3通过固定构造4固定于壳体2。
隔膜泵1的壳体2具备:具有第1凹部50的第1框架5;以及具有第2凹部60的第2框架6。第1凹部50形成第1室21侧的空间20a。第2凹部60形成第2室22侧的空间20b。第1凹部50与第2凹部60被配置为相互对置。第1凹部50以及第2凹部60形成为圆锥状。
考虑耐化学性等来设定构成第1框架5以及第2框架6的材料。例如,使用PP(聚丙烯)、POM(聚甲醛)、PEEK(聚醚醚酮)、PPS(聚苯硫醚)或者PTFE(聚四氟乙烯)等。在本实施方式中,第1框架5与第2框架6不通过粘合等,而是通过机械嵌合来接合,因此能够应用难粘合材料,从而能够提高材料选择的自由度。
如图4以及图5所示,隔膜3具有:将空间20分隔为第1室21与第2室22的膜部31;以及形成于膜部31的外周缘的周缘部32。周缘部32由第1框架5与第2框架6夹持。膜部31弹性变形,从而第1室21以及第2室22的容积交替增减。
通过使第1框架5与第2框架6嵌合而在第1框架5与第2框架6之间压缩并保持隔膜3的周缘部32。由此,抑制隔膜3的周缘部32处的被处理流体的泄漏。
隔膜3例如作为橡胶成分而由包含乙烯-丙烯-二烯(EPDM)、氟类橡胶(FKM、FPM、FFKM)、氢化丁腈橡胶(HNBR)、丁烯系橡胶(IIR)或者硅酮橡胶(VMQ)的1种以上的弹性材料构成。在对于聚合物主链使用了包含双键的橡胶材料的情况下,在经过长期间使用时,聚合物主链被切断,存在无法维持隔膜3的耐久性能的顾虑。在上述橡胶成分之中,从阻气性、耐热性、耐化学性以及制造成本的观点来看,特别优选乙烯-丙烯-二烯。
图7表示第1框架5。如图2、图3、图5以及图7等所示,第1框架5具有:上述第1凹部50;与第2框架6对置的第1框架主体51;以及将第2框架6保持为防脱状态的第1卡止部52。第1凹部50隔着隔膜3而形成于第1框架主体51的与第2框架6对置的内端面。第1框架主体51形成为大致圆柱状。沿第1框架主体51的外缘间断地设置有多个第1卡止部52。在上述的第1框架5与第2框架6嵌合时,通过在第1卡止部52与第2框架6之间产生的摩擦力,将第1框架5与第2框架6稳固地嵌合为一体。因此,抑制隔膜3的周缘部32处的被处理流体的泄漏。
如图5、图7所示,在本实施方式中,第1卡止部52具有:从第1框架主体51的外缘向第2框架6侧延伸的第1突片53;以及设置于第1突片53的端部侧的第1爪状片54。第1突片53形成为能够弹性变形的臂状。第1爪状片54形成为向第2框架6的内侧突出,并与第2框架6卡合。第1爪状片54与第2框架6卡合,并且弹性变形的第1突片53产生弹力,从而第1框架5与第2框架6的嵌合变得稳固,由此进一步抑制隔膜3的周缘部32处的被处理流体的泄漏。
如图4、图7所示,在第1框架5形成有与第1室21连通的第1端口57。在第1端口57的前端部形成有用于连接配管(未图示)的螺纹接头58。经由配管以及第1端口57而在第1室21流入或流出用于驱动隔膜3的气体。此外,第1卡止部52被设置为避免与螺纹接头58的干扰。
在本实施方式中,第1端口57沿圆柱状的第1框架5的端面延伸,并与形成于侧面的螺纹接头58连通,但第1端口57也可以为朝向圆柱状的第1框架5的端面延伸的形态。在该情况下,螺纹接头58形成于第1框架5的端面。
如图6、图7所示,在本实施方式中,第1框架5与第2框架6形成为相同的形状。因此,能够利用相同的金属模制造第1框架5与第2框架6,从而能够降低隔膜泵1的制造成本。
第2框架6具有:与第1框架5对置的第2框架主体61;以及将第1框架5保持为防脱状态的第2卡止部62。在第2框架主体61的与第1框架5对置的内端面形成有第2凹部60。第2框架主体61形成为大致圆柱状。在第2框架主体61的外缘间断地设置有多个第2卡止部62。在上述的第1框架5与第2框架6嵌合时,通过在第2卡止部62与第1框架5之间产生的摩擦力,将第1框架5与第2框架6进一步稳固地嵌合而形成为一体。因此,进一步抑制隔膜3的周缘部32处的被处理流体的泄漏。
如图5、图7所示,在本实施方式中,第2卡止部62具有:从第1框架主体61的外缘向第1框架5侧延伸的第2突片63;以及设置于第2突片63的端部侧的第2爪状片64。第2突片63形成为能够弹性变形的臂状。第2爪状片64形成为向第1框架5的内侧突出,并与第1框架5卡合。第2爪状片64与第1框架5卡合,并且弹性变形的第2突片63产生弹力,从而第1框架5与第2框架6的嵌合变得稳固,从而进一步抑制隔膜3的周缘部32处的被处理流体的泄漏。
如图4、图7所示,在第2框架6形成有与第2室22连通的第2端口67。在第2端口67的前端部形成有用于连接配管(未图示)的螺纹接头68。经由配管以及第2端口67为在第2室22流入或流出被处理流体。此外,第2卡止部62被设置为避免与螺纹接头68的干扰。第1框架5和第2框架6以使螺纹接头58与螺纹接头68在俯视下重叠的方式对齐位置并嵌合。
在本实施方式中,第2端口67沿圆柱状的第2框架6的端面延伸,并与形成于侧面的螺纹接头68连通,但第2端口67也可以为朝向圆柱状的第2框架6的端面延伸的形态。在该情况下,螺纹接头68形成于第2框架6的端面。
如图2、图6所示,第1卡止部52与第2卡止部62沿壳体2的外周交替设置。由此,能够均衡地压缩隔膜3的周缘部32,从而进一步抑制隔膜3的周缘部32处的被处理流体的泄漏。
并且,在本实施方式中,第1卡止部52与第2卡止部62沿壳体2的外周连续设置。由此,能够以足够的力均衡地压缩隔膜3的周缘部32,从而进一步抑制隔膜3的周缘部32处的被处理流体的泄漏。
如图6、图7所示,在第1框架5的相邻的第1卡止部52之间形成有第3凹部59。第3凹部59以与第2框架6的第2突片63以及第2爪状片64对应的形状形成为阶梯状。第3凹部59与第2框架6的第2卡止部62嵌合。通过上述嵌合而将第2框架6保持为防脱状态。由此,无需紧固螺栓以及螺母,就能够将第1框架5与第2框架6嵌合为一体。因此,减少隔膜3的固定构造4的部件件数且容易组装,从而能够实现成本降低。此外,能够将隔膜泵1的结构形成为简单并且廉价的结构。
另一方面,在第2框架6的相邻的第2卡止部62之间形成有第4凹部69。第4凹部69以与第1框架5的第1突片53以及第1爪状片54对应的形状而形成为阶梯状。第4凹部69与第1框架5的第1卡止部52嵌合。通过上述嵌合而将第1框架5保持为防脱状态。由此,将第1框架5与第2框架6进一步稳固地嵌合,从而形成为一体。因此,进一步抑制隔膜3的周缘部32处的被处理流体的泄漏。
图8表示隔膜3的A-A线截面。隔膜3的周缘部32连续设置有比膜部31厚度大的厚壁部33。由此,在充分确保隔膜3的耐久性的基础上,第1框架5以及第2框架6能够对厚壁部33施加足够的压力来保持隔膜3,从而进一步抑制隔膜3的周缘部32处的被处理流体的泄漏。
如图7所示,在第1框架5形成有供厚壁部33嵌合的凹槽55。同样,在第2框架6形成有供厚壁部33嵌合的凹槽65。凹槽55与凹槽65的深度总和被设定为比厚壁部33的厚度小。利用这种凹槽55以及凹槽65来适度地压缩厚壁部33,从而进一步抑制隔膜3的周缘部32处的被处理流体的泄漏。另外,凹槽55以及凹槽65在将隔膜3组装于第1框架5以及第2框架6的内部时作为定位用槽而发挥功能,从而提高隔膜泵1的生产效率。
(第2实施方式)
图9表示本发明的第2实施方式的阀装置。阀装置7具有:在内部形成有空间20A的壳体2A;以及将空间20A分隔为第1室21A与第2室22A的隔膜3A。隔膜3A利用固定构造4A固定于壳体2A。
壳体2A具备:具有第1凹部50A的第1框架5A;以及具有第2凹部60A的第2框架6A。第1凹部50A形成第1室21A侧的空间20A。第2凹部60A形成第2室22A侧的空间20A。
隔膜3A具有:将空间20A分隔为第1室21A与第2室22A的膜部31A;以及形成于膜部31A的外周缘的周缘部32A。周缘部32A由第1框架5A与第2框架6A夹持。膜部31A弹性变形,从而隔膜3A能够摆动。
通过第1框架5A与第2框架6A嵌合而在第1框架5A与第2框架6A之间压缩并保持隔膜3A的周缘部32A。由此,抑制隔膜3A的周缘部32A处的被处理流体的泄漏。
构成第1框架5A以及第2框架6A的材料与第1实施方式的第1框架5以及第2框架6相同。构成隔膜3A的材料也与第1实施方式的隔膜3相同。
在第1框架5A的第1凹部50A亦即第1室21A设置有驱动隔膜3A的驱动机构8。隔膜3A由驱动机构8驱动而进行摆动。驱动机构80具有:与隔膜3A一体地摆动的摆动部件81;按压摆动部件81的一端部的第1柱塞(可动铁心)82;以及按压摆动部件81的另一端部的第2柱塞83等。摆动部件81收容于空间20A。摆动部件81被轴部件81a支承为能够转动。轴部件81a的两端被支承于第1框架5A。
第1柱塞82通过第1螺旋弹簧84、电磁圈85以及固定铁心86驱动,并将其驱动力传递至摆动部件81。第2柱塞83由第2螺旋弹簧87驱动,并将其驱动力传递至摆动部件81。第1螺旋弹簧84的弹簧载荷被设定为比第2螺旋弹簧87的弹簧载荷大。摆动部件81以及隔膜3A承受由第1柱塞82以及第2柱塞83传递的驱动力而以轴部件81a为旋转轴跷板状地转动。
第2框架6A具有:使流体向第2室22A流入的流入端口(通用端口:Common Port)71;使流体从第2室22A流出的NC(常闭:Normally Close)流出端口72以及NO(常开:NormallyOpen)流出端口73。NC流出端口72具有在周围形成有阀座72a的开口72b。隔膜3A相对于阀座72a落座或者分离,由此开闭NC流出端口72。NO流出端口73具有在周围形成有阀座73a的开口73b。隔膜3A相对于阀座73a落座或者分离,由此开闭NO流出端口73。摆动部件81转动,从而NC流出端口72或者NO流出端口73中的任一方的端口关闭,而另一方的端口开放。由此,各端***替开闭。本实施方式的阀装置7是通过驱动机构8的电磁圈85所产生的电磁力来驱动隔膜3A,由此开闭NC流出端口72以及NO流出端口73,从而切换流路的所谓的电磁阀。
以下,对阀装置7的开闭动作进行说明。流入端口71平时开放,从流入端口71向第2室22A内供给流体。如已经叙述那样,第1螺旋弹簧84的弹簧载荷比第2螺旋弹簧87的弹簧载荷大,因此第1螺旋弹簧84所产生的弹力比第2螺旋弹簧87所产生的弹力大。因此,在通常时,摆动部件81以及隔膜3A的姿势如图9所示那样被维持为绕图中逆时针转动的姿势,从而NC流出端口72关闭,NO流出端口73开放。与此相伴,如箭头A所示,从NO流出端口73输出从流入端口71流入至第2室22A的流体。
图10表示对电磁圈85进行了通电的状态下的阀装置7。若向电磁圈85流动规定的电流,则第1柱塞82因其电磁力而向压缩第1螺旋弹簧84的方向移动。此时,第2柱塞83按压摆动部件81,因此摆动部件81以及隔膜3A顺时计转动,从而NO流出端口73关闭,NC流出端口72开放。与此相伴,如箭头B所示,从NC流出端口72输出从流入端口71流入至第2室22A的流体。
图11是表示阀装置7所具备的壳体2A与隔膜3A的组装立体图。第1框架5A具有:上述第1凹部50A;与第2框架6A对置的第1框架主体51A;以及将第2框架6A保持为防脱状态的第1卡止部52A。如图9所示,第1凹部50A形成于第1框架主体51A的与第2框架6A对置的内端面。沿第1框架主体51A的外缘设置有多个第1卡止部52A。在上述的第1框架5A与第2框架6A嵌合时,通过在第1卡止部52A与第2框架6A之间产生的摩擦力,将第1框架5A与第2框架6A稳固地嵌合为一体。因此,抑制隔膜3A的周缘部32A处的被处理流体的泄漏。
在本实施方式中,第1卡止部52A具有:从第1框架主体51A的外缘向第2框架6A侧延伸的第1突片53A;以及设置于第1突片53A的端部侧的第1爪状片54A。第1突片53A构成为能够弹性变形。第1爪状片54A形成为向第2框架6A的内侧突出,并与第2框架6A卡合。第1爪状片54A与第2框架6A卡合,并且弹性变形的第1突片53A产生弹力,从而第1框架5A与第2框架6A的嵌合变得稳固,由此进一步抑制隔膜3A的周缘部32A处的被处理流体的泄漏。
第2框架6A具有:与第1框架5A对置的第2框架主体61A;以及将第1框架5A保持为防脱状态的第2卡止部62A。在第2框架主体61A的与第1框架5A对置的内端面形成有第2凹部60A。沿第2框架主体61A的外缘设置有多个第2卡止部62A。在上述的第1框架5A与第2框架6A嵌合时,通过在第2卡止部62A与第1框架5A之间产生的摩擦力,将第1框架5A与第2框架6A进一步稳固地嵌合为一体。因此,进一步抑制隔膜3A的周缘部32A处的被处理流体的泄漏。
在本实施方式中,第2卡止部62A具有:从第1框架主体61A的外缘向第1框架5A侧延伸的第2突片63A;以及设置于第2突片63A的端部侧的第2爪状片64A。第2突片63A构成为能够弹性变形。第2爪状片64A形成为向第1框架5A的内侧突出,并与第1框架5A卡合。第2爪状片64A与第1框架5A卡合,并且弹性变形的第2突片63A产生弹力,从而第1框架5A与第2框架6A的嵌合变得稳固,由此进一步抑制隔膜3A的周缘部32A处的被处理流体的泄漏。
第1卡止部52A与第2卡止部62A沿壳体2A的外周交替设置。由此,能够均衡地压缩隔膜3A的周缘部32A,从而进一步抑制隔膜3A的周缘部32A处的被处理流体的泄漏。
并且,在本实施方式中,第1卡止部52A与第2卡止部62A沿壳体2A的外周连续设置。由此,能够以足够的力均衡地压缩隔膜3A的周缘部32A,从而进一步抑制隔膜3A的周缘部32A处的被处理流体的泄漏。
在第1框架5A的相邻的第1卡止部52A之间形成有第3凹部59A。第3凹部59A以与第2框架6A的第2突片63A以及第2爪状片64A对应的形状形成为阶梯状。第3凹部59A与第2框架6A的第2卡止部62A嵌合。通过上述嵌合将第1框架5A与第2框架6A保持为防脱状态。由此,无需紧固螺栓以及螺母,就能够将第1框架5A与第2框架6A嵌合,从而形成为一体。因此,减少隔膜3A的固定构造4A的部件件数且容组装,从而能够实现成本降低。此外,能够将阀装置7的结构形成为简单并且廉价的结构。
另一方面,在第2框架6A的相邻的第2卡止部62A之间形成有第4凹部69A。第4凹部69A以与第1框架5A的第1突片53A以及第1爪状片54A对应的形状形成为阶梯状。第4凹部69A与第1框架5A的第1卡止部52A嵌合。通过上述嵌合将第1框架5A保持为防脱状态。由此,将第1框架5A与第2框架6A进一步稳固地嵌合为一体。因此,进一步抑制隔膜3A的周缘部32A处的被处理流体的泄漏。
隔膜3A的周缘部32A连续设置有比膜部31A厚度大的厚壁部33A。由此,在充分确保隔膜3A的耐久性的基础上,第1框架5A以及第2框架6A能够对厚壁部33A施加足够的压力来保持隔膜3A,从而进一步抑制隔膜3A的周缘部32A处的被处理流体的泄漏。
在第2框架6A形成有供厚壁部33A嵌合的凹槽65A。
以上,对本发明的阀装置详细地进行了说明,但本发明并不限定于上述的具体实施方式而能够变更为各种方式进行实施。
附图标记说明:
1…隔膜泵;2…壳体;3…隔膜;4…固定构造;5…第1框架;6…第2框架;7…阀装置;8…驱动机构;20…空间;21…第1室;22…第2室;32…周缘部;33…厚壁部;50…第1凹部;51…第1框架主体;52…第1卡止部;53…第1突片;54…第1爪状片;60…第2凹部;61…第2框架主体;62…第2卡止部;63…第2突片;64…第2爪状片;71…流入端口;72…NC流出端口;73…NO流出端口。
Claims (10)
1.一种隔膜的固定构造,其在内部形成有空间的壳体固定隔膜,该隔膜将所述空间分隔为第1室与第2室,
所述隔膜的固定构造的特征在于,
所述壳体具备第1框架和第2框架,所述第1框架具有形成所述第1室侧的第1凹部,所述第2框架具有形成所述第2室侧的第2凹部,
通过所述第1框架与所述第2框架嵌合,从而在所述第1框架与所述第2框架之间压缩并保持所述隔膜的周缘部,
所述第1框架具有通过所述嵌合而将所述第2框架保持为防脱状态的第1卡止部。
2.根据权利要求1所述的隔膜的固定构造,其特征在于,
所述第1框架具有与所述第2框架对置的第1框架主体,
所述第1卡止部包括:从所述第1框架主体的外缘向所述第2框架侧延伸的能够弹性变形的第1突片;以及设置于所述第1突片的端部侧并与所述第2框架卡合的第1爪状片。
3.根据权利要求1或2所述的隔膜的固定构造,其特征在于,
所述第2框架具有通过所述嵌合而将所述第1框架保持为防脱状态的第2卡止部。
4.根据权利要求3所述的隔膜的固定构造,其特征在于,
所述第2框架具有与所述第1框架对置的第2框架主体,
所述第2卡止部包括:从所述第2框架主体的外缘向所述第1框架侧延伸的能够弹性变形的第2突片;以及设置于所述第2突片的端部侧并与所述第1框架卡合的第2爪状片。
5.根据权利要求3或4所述的隔膜的固定构造,其特征在于,
所述第1卡止部与所述第2卡止部沿所述壳体的外周交替设置。
6.根据权利要求3~5中的任一项所述的隔膜的固定构造,其特征在于,
所述第1卡止部与所述第2卡止部沿所述壳体的外周连续设置。
7.根据权利要求1~6中的任一项所述的隔膜的固定构造,其特征在于,
所述隔膜的所述周缘部连续设置有厚度大的厚壁部。
8.根据权利要求7所述的隔膜的固定构造,其特征在于,
在所述第1框架以及/或者所述第2框架形成有供所述厚壁部配置的定位用凹槽。
9.一种隔膜泵,其具备权利要求1~8中的任一项所述的隔膜的固定构造,
所述隔膜泵的特征在于,
所述第1框架形成有与所述第1室连通的第1端口,
所述第2框架形成有与所述第2室连通的第2端口,
经由所述第1端口向所述第1室供给用于驱动所述隔膜的流体,
经由所述第2端口在所述第2室流出流入被处理流体。
10.一种阀装置,其具备权利要求1~8中的任一项所述的隔膜的固定构造,
所述阀装置的特征在于,
在所述第1框架的所述第1室设置有用于驱动所述隔膜的驱动机构,
所述第2框架具有:使流体向所述第2室流入的流入端口;以及使流体从所述第2室流出的流出端口,
所述流出端口具有在周围形成有阀座的开口,
所述隔膜相对于所述阀座落座或者分离,从而开闭所述流出端口。
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