CN1059791A - 一种无参考平面的测量三维形状的光学方法及装置 - Google Patents

一种无参考平面的测量三维形状的光学方法及装置 Download PDF

Info

Publication number
CN1059791A
CN1059791A CN 90107529 CN90107529A CN1059791A CN 1059791 A CN1059791 A CN 1059791A CN 90107529 CN90107529 CN 90107529 CN 90107529 A CN90107529 A CN 90107529A CN 1059791 A CN1059791 A CN 1059791A
Authority
CN
China
Prior art keywords
reference planes
measurement
optical means
shape
testee
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN 90107529
Other languages
English (en)
Other versions
CN1020503C (zh
Inventor
金观昌
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tsinghua University
Original Assignee
Tsinghua University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tsinghua University filed Critical Tsinghua University
Priority to CN 90107529 priority Critical patent/CN1020503C/zh
Publication of CN1059791A publication Critical patent/CN1059791A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1020503C publication Critical patent/CN1020503C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

一种无参考平面的测量三维形状的光学方法及 装置,它具有一个自动位相移动光栅结构的投射光 源,电视摄象机,计算机图象处理***,并设有多种输 出。本发明首次提出虚参考平面测量物体表面绝对 高度的投射方法。并采用自动相移,使求相位时间较 常用的快速傅里叶变换要快且精确。本发明的方法 及装置测量精度高,测量物体大小不受限制,方便用 户,适用于工业生产在位检测实时处理。

Description

本发明所属领域为光学计量技术。
测量物体表面三维形状的光学方法及装置,目前国际上有两大类,一类是采用影子云纹法,第二类是采用和本发明相似的投射条纹法。影子云纹法有关文献登在1984年应用光学杂志第10期及1989年光学工程第11期上。由于该方法需要在被测表面前方放置一光栅,给使用带来不便,且云纹技术测量形状尺寸精度不高。第二种方法即已有技术的投射条纹法,它需要一个实际参考平面,测量时把被测物体放在参考面上,用以比较物体和参考平面的条纹级数位置差,获得物体相对高度,测量精度低,只适用测量小的物体,其文章发表在1985年应用光学杂志第二期上。
本发明的目的,为了解决现有技术存在的上述缺点,而发明一种无需设置一个实际参考平面的投射条纹方法来测量物体表面三维形状的光学方法及其装置。
本发明测量三维形状的光学方法及装置的基本点。其发明的方法是首先提出虚参考平面投射方法测量物体的绝对高度,即通过投射中心线(1)与摄象机中心线(2)的交点(3),并与摄象机中心线(2)垂直的平面作为坐标***XY平面称谓虚参考平面(4),在测量物体三维形状时,无需放置实际参考平面,物体只要放在投射条纹空间即可,见图2。并采用自动相移方法求相位时间较常用的快速傅里叶变换要快,再根据条纹相位与物体(5)空间几何关系经过计算机处理求出物体绝对高度。
本方法的测量装置见图1。它有一个自动位相移动光栅结构的投射光源(6),电视摄象机(7),计算机图象处理***(8),整个装置设有多种输出,能自动地,精确地,准实时地测量物体(5)表面的三维绝对坐标值。
附图:
图1  一种无参考测量平面的三维形状的光学方法及装置的示意图。
图2  自动位相移动光栅结构的投射光源及虚参考平面的示意图。
下面结合附图说明本发明的方法及其装置。
本发明的方法摒弃现有技术中的被测物体放在一个实际参考平面上测量物体形状与相对高度的投射方法,而提出虚参考平面(4)测量物体(5)形状绝对高度的投射方法。其虚参考平面(4)是通过投射光源的中心线(1)与摄象机中心线(2)的交点(3),并与摄象机中心线(2)垂直的平面,并将该平面作为坐标***XY平面,其交点(3)是坐标原点。该交点(3)或虚参考平面(4)可以位于被测物体(5)表面或被测物体(5)前,后某一位置。该虚参考平面(4)由输入参数经计算而得,因而在测量物体形状时无需放置一个实际参考平面。该方法可以测量较大物体的表面形状,并且可以实现对大物体的分块测量后联接而得到整个物体的三维尺寸。本方法采用自动相移方法使求相位时间较过去常用的快速傅里叶变换要快且精确。
本发明的测量装置是采用一种专门设计具有自动位相移动光栅结构的投射光源(6),见图2。它是由白光光源(9)经光纤,两个半凸透镜(10)投射到石英玻璃刻制的正弦光栅片(11),再经透镜(12)将条纹投射到被测物体(5)上,光栅片(11)置于自动相移调节架上,由计算机图象处理***(8)控制步进电机(13)使丝杠(14)移动,而带动栅片(11)移动,每次移动1/3或1/4条纹间距。这个投射***均匀地把条纹图投向放在定位架(15)上的被测物体(5)表面,摄象机(7)仔细对焦到投射光源中心线(1)和摄象机中心线(2)交点(3)所在的虚参考平面(4)(两中心线之间的夹角为θ),被测物体(5)放在该坐标***内,物体(5)在投射空间所占位置决定了条纹在投射坐标***相位值,根据空间几何关系同样建立了在观察(摄象机)***中条纹相位与物体(5)高度的关系。摄象机(7)摄取记录物体(5)条纹图,相移的多幅条纹图输入到计算机图象处理***(8),经滤波和相移处理求解得到物体(5)表面各点的条纹相位值,再根据条纹相位与物体(5)空间几何关系,经计算机处理求出物体(5)表面各点绝对高度。除此之外,本装置对由于物体(5)偏离摄象机焦平面而产生误差进行补偿。该装置设有多种输出,即物体(5)表面三维坐标打印输出(16),任意截面形状曲线最大,最小高度及周长输出,三维立体示图,假彩色轮廓图及数控机床相联的接口(17)。
本发明一种无参考平面的测量三维形状光学方法及装置,设有虚参考平面,因此测量不受物体大小的限制,测量精度高,有多种信息输出,适用于工业生产在位检测。

Claims (6)

1、一种无需参考平面的测量三维形状的光学方法,其特征在于:
a、它设一个虚参考平面(4),即通过投射光源中心线(1)与摄象机中心线(2)交点(3),并与摄象机中心线(2)垂直的平面,交点(3)为参考平面(4)坐标***原点,
b根据条纹相位与物体(5)在空间所占位置的几何关系,经计算机处理,求出物体(5)表面绝对高度,
c本方法采用自动相移方法求相位。
2、按照权利要求1所说的光学方法,其特征在于交点(3),虚参考平面(4)可在被测物体表面,也可在被测物体(5)的前、后。
3、按照权利要求1所说的一种无参考平面的测量三维形状的光学方法,其特征在于对被测物体(5)偏离摄象机焦平面而产生的误差进行补偿;
4、一种用于权利要求1所说的无需参考平面的测量三维形状的光学方法的装置,其特征在于该装置它具有一个自动位相移动光栅结构的投射光源(6),电视摄象机(7),计算机图象处理***(8),打印输出(16)和数控机床相联接口(17)构成,整个装置设有多种输出。
5、按照权利要求4所说的装置,其特征在于所说的投射光源(6),它由白光光源(9),经光纤,两个半凸透镜(10),光栅片(11),透镜(12)及丝杠(14),步进电机(13)组成的,计算机图象处理***(8)控制步进电机(13)使丝杠(14)移动从而带动栅片(11)精确位移;
6、按照权利要求4所说的装置其特征在于所说的多种输出,即表面三维坐标打印输出(16),任意截面形状曲线最大,最小高度及周长输出,三维立体示图,假彩色轮廓图与数控机床相联接口(17)。
CN 90107529 1990-09-13 1990-09-13 一种无参考平面的测量三维形状的光学方法及装置 Expired - Fee Related CN1020503C (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 90107529 CN1020503C (zh) 1990-09-13 1990-09-13 一种无参考平面的测量三维形状的光学方法及装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 90107529 CN1020503C (zh) 1990-09-13 1990-09-13 一种无参考平面的测量三维形状的光学方法及装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1059791A true CN1059791A (zh) 1992-03-25
CN1020503C CN1020503C (zh) 1993-05-05

Family

ID=4880592

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 90107529 Expired - Fee Related CN1020503C (zh) 1990-09-13 1990-09-13 一种无参考平面的测量三维形状的光学方法及装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN1020503C (zh)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1115546C (zh) * 1999-12-29 2003-07-23 宝山钢铁股份有限公司 表面三维形貌检测方法和装置
CN1295522C (zh) * 2003-12-19 2007-01-17 上海交通大学 光学三维测量用高精密组合光栅器件
CN102261896A (zh) * 2011-04-19 2011-11-30 长春东瑞科技发展有限公司 一种基于相位测量的物体三维形貌测量方法及***
CN104034280A (zh) * 2009-05-21 2014-09-10 株式会社高永科技 形状测量设备和形状测量方法
CN106979758A (zh) * 2017-06-08 2017-07-25 北京邮电大学 一种三维测量装置和方法
CN109341590A (zh) * 2018-11-07 2019-02-15 南京工业大学 一种筒节形状偏差投影检测及自调圆度装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1630252A1 (de) * 2004-08-27 2006-03-01 ATOTECH Deutschland GmbH Verfahren zur beschichtung von Substraten enthaltend Antimonverbindungen mit Zinn und Zinnlegierungen

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1115546C (zh) * 1999-12-29 2003-07-23 宝山钢铁股份有限公司 表面三维形貌检测方法和装置
CN1295522C (zh) * 2003-12-19 2007-01-17 上海交通大学 光学三维测量用高精密组合光栅器件
CN104034280A (zh) * 2009-05-21 2014-09-10 株式会社高永科技 形状测量设备和形状测量方法
CN104034280B (zh) * 2009-05-21 2017-09-08 株式会社高永科技 形状测量设备和形状测量方法
CN102261896A (zh) * 2011-04-19 2011-11-30 长春东瑞科技发展有限公司 一种基于相位测量的物体三维形貌测量方法及***
CN106979758A (zh) * 2017-06-08 2017-07-25 北京邮电大学 一种三维测量装置和方法
CN109341590A (zh) * 2018-11-07 2019-02-15 南京工业大学 一种筒节形状偏差投影检测及自调圆度装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN1020503C (zh) 1993-05-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3894802A (en) Stereoscopic gage and gaging system
US5347363A (en) External lead shape measurement apparatus for measuring lead shape of semiconductor package by using stereoscopic vision
US7548324B2 (en) Three-dimensional shape measurement apparatus and method for eliminating 2π ambiguity of moire principle and omitting phase shifting means
US7286246B2 (en) Method and apparatus for non-contact three-dimensional surface measurement
CN106056587B (zh) 全视角线激光扫描三维成像标定装置及方法
US5307151A (en) Method and apparatus for three-dimensional optical measurement of object surfaces
US9019351B2 (en) Three-dimensional image measuring apparatus
US4412121A (en) Implement positioning apparatus and process
US5689340A (en) Apparatus and method for measuring alignment in lenticular media
US3837198A (en) Stereoscopic gage and gaging system
WO1993008448A1 (en) High-speed 3-d surface measurement surface inspection and reverse-cad system
JP4255865B2 (ja) 非接触三次元形状測定方法及び装置
US5488470A (en) Bending angle detector for use in a bending machine
Tutsch et al. Optical three-dimensional metrology with structured illumination
CN113916156B (zh) 一种高速高精度三维检测***及方法
CN1584499A (zh) 基于相移的光栅投影式三维轮廓测量装置及测量方法
CN1020503C (zh) 一种无参考平面的测量三维形状的光学方法及装置
CN115682937A (zh) 一种自动化三维激光扫描仪的校准方法
KR20170142265A (ko) 3차원 형상 측정방법
CN206177246U (zh) 一种可变量程的激光三角法位移测量装置
JP3781438B2 (ja) 3次元表面形状測定装置
KR100501397B1 (ko) 3차원형상 측정장치
JP3081035B2 (ja) 三次元座標計測装置
Harding Current State‐of‐the‐Art of Contouring Techniques in Manufacturing
Clark et al. Measuring range using a triangulation sensor with variable geometry

Legal Events

Date Code Title Description
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C06 Publication
PB01 Publication
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C19 Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee