CN105742380B - 太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法 - Google Patents

太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法 Download PDF

Info

Publication number
CN105742380B
CN105742380B CN201610189088.5A CN201610189088A CN105742380B CN 105742380 B CN105742380 B CN 105742380B CN 201610189088 A CN201610189088 A CN 201610189088A CN 105742380 B CN105742380 B CN 105742380B
Authority
CN
China
Prior art keywords
roller
solar cell
processing method
gate line
dry film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201610189088.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105742380A (zh
Inventor
朱学林
季益群
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jiangsu Oudafeng New Energy Technology Development Co Ltd
Original Assignee
Jiangsu Oudafeng New Energy Technology Development Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jiangsu Oudafeng New Energy Technology Development Co Ltd filed Critical Jiangsu Oudafeng New Energy Technology Development Co Ltd
Priority to CN201610189088.5A priority Critical patent/CN105742380B/zh
Publication of CN105742380A publication Critical patent/CN105742380A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105742380B publication Critical patent/CN105742380B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02Details
    • H01L31/0224Electrodes
    • H01L31/022408Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
    • H01L31/022425Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
    • H01L31/022433Particular geometry of the grid contacts
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Sustainable Development (AREA)
  • Sustainable Energy (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Electrodes Of Semiconductors (AREA)
  • Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)

Abstract

本发明公开了一种太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法,本发明利用滚轮纳米压印技术,突破丝网印刷技术的线宽和厚度限制,获得更细、更薄的正面电极栅线。纳米压印出来的凹槽图形结构可以填充银浆,并烧结成形。

Description

太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法
技术领域
本发明涉及太阳能电池技术领域,特别涉及一种太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法。
背景技术
目前硅太阳能电池片的正面栅线电极加工方法是采用丝网印刷形成银浆电极图形,并经过烧结固化。传统的丝网印刷的最小图形最小线宽和最小厚度收到网目的限制,无法实现“更浅、更密”的栅线电极图形加工,因此造成银浆材料消耗量大,以及电极导电性能有限。
发明内容
为了克服上述缺陷,本发明提供了一种精细图形结构的转移太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法。
本发明为了解决其技术问题所采用的技术方案是:一种太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法,包括以下步骤:
1)干膜铺设:在太阳能电池表面铺设干膜,采用滚压工艺,干膜材料为热塑性感光或水溶性薄膜材料,如光刻胶、PVA等,薄膜厚度20~80微米,滚压时的温度范围60~120摄氏度,压力10KPa~200kPa,滚压时硅片相对进给速度:5~600毫米/秒;
2)滚轮压印电极图形:采用滚轮压印时的温度范围60~120摄氏度,压力0.5MPa~10MPa,滚压时硅片相对进给速度:5~600毫米/秒;
3)等离子体去除残留层:频率选用微波段,或者射频段,气体采用氧气O2或者四氟化碳CF4,气体流量5~200sccm,功率20~300W;
4)滚轮压印银浆:采用滚轮压印时的压力0.5MPa~10MPa,滚压时硅片相对进给速度:5~600毫米/秒。
5)溶解去除干膜。
作为本发明的进一步改进,所述步骤2)中的滚轮表面设有微凸起结构。
本发明的有益效果是:本发明利用滚轮纳米压印技术,突破丝网印刷技术的线宽和厚度限制,获得更细、更薄的正面电极栅线,纳米压印出来的凹槽图形结构可以填充银浆,并烧结成形。
具体实施方式
为了加深对本发明的理解,下面将结合实施例对本发明作进一步详述,该实施例仅用于解释本发明,并不构成对本发明保护范围的限定。
一种太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法,包括以下步骤:
1)干膜铺设:在太阳能电池表面铺设干膜,采用滚压工艺,干膜材料为热塑性感光或水溶性薄膜材料,如光刻胶、PVA等,薄膜厚度20~80微米,滚压时的温度范围60~120摄氏度,压力10KPa~200kPa,滚压时硅片相对进给速度:5~600毫米/秒;
2)滚轮压印电极图形:采用滚轮压印时的温度范围60~120摄氏度,压力0.5MPa~10MPa,滚压时硅片相对进给速度:5~600毫米/秒;
3)等离子体去除残留层:频率选用微波段(如2.4GHz),或者射频段(如13.56MHz),气体采用氧气O2或者四氟化碳CF4,气体流量5~200sccm,功率20~300W;
4)滚轮压印银浆:采用滚轮压印时的压力0.5MPa~10MPa,滚压时硅片相对进给速度:5~600毫米/秒。
5)溶解去除干膜。
所述步骤2)中的滚轮表面设有微凸起结构,转移到电池片表面干膜上,形成栅线电极图形。

Claims (2)

1.一种太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法,其特征在于:包括以下步骤:
1)干膜铺设:在太阳能电池表面铺设干膜,采用滚压工艺,干膜材料为热塑性感光或水溶性薄膜材料,薄膜厚度20~80微米,滚压时的温度范围60~120摄氏度,压力10KPa~200kPa,滚压时硅片相对进给速度:5~600毫米/秒;
2)滚轮压印电极图形:采用滚轮压印时的温度范围60~120摄氏度,压力0.5MPa~10MPa,滚压时硅片相对进给速度:5~600毫米/秒;
3)等离子体去除残留层:频率选用微波段,或者射频段,气体采用氧气O2或者四氟化碳CF4,气体流量5~200sccm,功率20~300W;
4)滚轮压印银浆:采用滚轮压印时的压力0.5MPa~10MPa,滚压时硅片相对进给速度:5~600毫米/秒;
5)溶解去除干膜。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法,其特征在于:所述步骤2)中的滚轮表面设有微凸起结构。
CN201610189088.5A 2016-03-30 2016-03-30 太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法 Active CN105742380B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610189088.5A CN105742380B (zh) 2016-03-30 2016-03-30 太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610189088.5A CN105742380B (zh) 2016-03-30 2016-03-30 太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105742380A CN105742380A (zh) 2016-07-06
CN105742380B true CN105742380B (zh) 2017-12-19

Family

ID=56252285

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610189088.5A Active CN105742380B (zh) 2016-03-30 2016-03-30 太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN105742380B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111169193B (zh) * 2018-11-13 2022-05-24 苏州赛伍应用技术股份有限公司 转印膜在通过凹版印刷将银浆转印至光伏电池片中的应用

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5370764A (en) * 1976-12-07 1978-06-23 Fujitsu Ltd Electrode formation method by lift off method
JPH02382A (ja) * 1987-12-30 1990-01-05 Tonen Corp 太陽電池用金属基板、その製造方法及びそれを用いた太陽電池
CN101807628A (zh) * 2010-04-02 2010-08-18 日强光伏科技有限公司 一种制作太阳能电池正面栅线电极的方法
CN101847670A (zh) * 2010-01-27 2010-09-29 长春理工大学 激光干涉技术辅助电化学技术制备纳米栅极的方法
CN102222538A (zh) * 2011-03-11 2011-10-19 苏州纳格光电科技有限公司 图形化的柔性透明导电薄膜及其制法
CN102800763A (zh) * 2012-09-07 2012-11-28 泉州市博泰半导体科技有限公司 太阳能电池及其栅线电极的制作方法
CN103149794A (zh) * 2011-12-06 2013-06-12 私立中原大学 滚轮式压印***
CN103456390A (zh) * 2013-02-05 2013-12-18 南昌欧菲光科技有限公司 导电膜及其制造方法
CN103660276A (zh) * 2013-12-10 2014-03-26 宁波市鄞州科启动漫工业技术有限公司 改良式滚轮压印装置

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102063951B (zh) * 2010-11-05 2013-07-03 苏州苏大维格光电科技股份有限公司 一种透明导电膜及其制作方法

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5370764A (en) * 1976-12-07 1978-06-23 Fujitsu Ltd Electrode formation method by lift off method
JPH02382A (ja) * 1987-12-30 1990-01-05 Tonen Corp 太陽電池用金属基板、その製造方法及びそれを用いた太陽電池
CN101847670A (zh) * 2010-01-27 2010-09-29 长春理工大学 激光干涉技术辅助电化学技术制备纳米栅极的方法
CN101807628A (zh) * 2010-04-02 2010-08-18 日强光伏科技有限公司 一种制作太阳能电池正面栅线电极的方法
CN102222538A (zh) * 2011-03-11 2011-10-19 苏州纳格光电科技有限公司 图形化的柔性透明导电薄膜及其制法
CN103149794A (zh) * 2011-12-06 2013-06-12 私立中原大学 滚轮式压印***
CN102800763A (zh) * 2012-09-07 2012-11-28 泉州市博泰半导体科技有限公司 太阳能电池及其栅线电极的制作方法
CN103456390A (zh) * 2013-02-05 2013-12-18 南昌欧菲光科技有限公司 导电膜及其制造方法
CN103660276A (zh) * 2013-12-10 2014-03-26 宁波市鄞州科启动漫工业技术有限公司 改良式滚轮压印装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN105742380A (zh) 2016-07-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106449800B (zh) 选择性多晶硅薄膜的钝化接触结构及其制备方法
Singh et al. Understanding the formation of PEDOT: PSS films by ink-jet printing for organic solar cell applications
WO2009011185A1 (ja) 太陽電池の製造方法
US11476373B2 (en) Solar cell superfine electrode transfer thin film, manufacturing method and application method thereof
JP2016511555A (ja) 太陽電池の製作における改善された低粘度印刷のための湿式化学研磨のための方法
CN105742380B (zh) 太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法
CN206225372U (zh) 选择性多晶硅薄膜的钝化接触结构
WO2009006294A3 (en) Roll-to-roll fabrication of microlens arrays
CA2504223A1 (en) Ink composition for use in a continuous web process for the manufacture of electrochemical sensors
CN111137002B (zh) 一种新型网版及其制作方法
CN103442527A (zh) 一种控制ltcc生瓷片填孔浆料高度的方法
CN106455311B (zh) 一种利用激光打印制作双面柔性电路的方法
CN103094401B (zh) 太阳能电池的制备方法
CN102280583A (zh) 一种调控柔性电子器件介电层厚度的方法
CN102436140B (zh) 一种纳米压印模板的制备方法
CN102328925A (zh) 高密度碳纳米管束的制备工艺
CN104786630B (zh) 一种凹印版、其制作方法及应用
CN109817393A (zh) 一种制备网格结构透明导电膜的方法
CN204109533U (zh) 一种铝背场网版
CN109119184A (zh) 一种双面涂布式导电膜及其制备方法
CN103192619B (zh) 一种太阳能电池片的印刷方法
CN109147990A (zh) 一种单面喷涂式导电膜及其制备方法
KR101354972B1 (ko) Uv 회전 몰딩기를 이용한 도전성 회로 인쇄 방법
CN205542855U (zh) 太阳能电池片栅线电极压印装置
CN102866579B (zh) 基于动态纳米刻划技术制作滚筒压模的方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant