CN105742380B - 太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法 - Google Patents
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- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims abstract description 10
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims abstract description 6
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims description 15
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 claims description 12
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 claims description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 3
- TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N tetrafluoromethane Chemical compound FC(F)(F)F TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 4
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 abstract description 4
- 238000005245 sintering Methods 0.000 abstract description 3
- 238000004049 embossing Methods 0.000 abstract description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0224—Electrodes
- H01L31/022408—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/022425—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
- H01L31/022433—Particular geometry of the grid contacts
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Sustainable Development (AREA)
- Sustainable Energy (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
Abstract
本发明公开了一种太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法,本发明利用滚轮纳米压印技术,突破丝网印刷技术的线宽和厚度限制,获得更细、更薄的正面电极栅线。纳米压印出来的凹槽图形结构可以填充银浆,并烧结成形。
Description
技术领域
本发明涉及太阳能电池技术领域,特别涉及一种太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法。
背景技术
目前硅太阳能电池片的正面栅线电极加工方法是采用丝网印刷形成银浆电极图形,并经过烧结固化。传统的丝网印刷的最小图形最小线宽和最小厚度收到网目的限制,无法实现“更浅、更密”的栅线电极图形加工,因此造成银浆材料消耗量大,以及电极导电性能有限。
发明内容
为了克服上述缺陷,本发明提供了一种精细图形结构的转移太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法。
本发明为了解决其技术问题所采用的技术方案是:一种太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法,包括以下步骤:
1)干膜铺设:在太阳能电池表面铺设干膜,采用滚压工艺,干膜材料为热塑性感光或水溶性薄膜材料,如光刻胶、PVA等,薄膜厚度20~80微米,滚压时的温度范围60~120摄氏度,压力10KPa~200kPa,滚压时硅片相对进给速度:5~600毫米/秒;
2)滚轮压印电极图形:采用滚轮压印时的温度范围60~120摄氏度,压力0.5MPa~10MPa,滚压时硅片相对进给速度:5~600毫米/秒;
3)等离子体去除残留层:频率选用微波段,或者射频段,气体采用氧气O2或者四氟化碳CF4,气体流量5~200sccm,功率20~300W;
4)滚轮压印银浆:采用滚轮压印时的压力0.5MPa~10MPa,滚压时硅片相对进给速度:5~600毫米/秒。
5)溶解去除干膜。
作为本发明的进一步改进,所述步骤2)中的滚轮表面设有微凸起结构。
本发明的有益效果是:本发明利用滚轮纳米压印技术,突破丝网印刷技术的线宽和厚度限制,获得更细、更薄的正面电极栅线,纳米压印出来的凹槽图形结构可以填充银浆,并烧结成形。
具体实施方式
为了加深对本发明的理解,下面将结合实施例对本发明作进一步详述,该实施例仅用于解释本发明,并不构成对本发明保护范围的限定。
一种太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法,包括以下步骤:
1)干膜铺设:在太阳能电池表面铺设干膜,采用滚压工艺,干膜材料为热塑性感光或水溶性薄膜材料,如光刻胶、PVA等,薄膜厚度20~80微米,滚压时的温度范围60~120摄氏度,压力10KPa~200kPa,滚压时硅片相对进给速度:5~600毫米/秒;
2)滚轮压印电极图形:采用滚轮压印时的温度范围60~120摄氏度,压力0.5MPa~10MPa,滚压时硅片相对进给速度:5~600毫米/秒;
3)等离子体去除残留层:频率选用微波段(如2.4GHz),或者射频段(如13.56MHz),气体采用氧气O2或者四氟化碳CF4,气体流量5~200sccm,功率20~300W;
4)滚轮压印银浆:采用滚轮压印时的压力0.5MPa~10MPa,滚压时硅片相对进给速度:5~600毫米/秒。
5)溶解去除干膜。
所述步骤2)中的滚轮表面设有微凸起结构,转移到电池片表面干膜上,形成栅线电极图形。
Claims (2)
1.一种太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法,其特征在于:包括以下步骤:
1)干膜铺设:在太阳能电池表面铺设干膜,采用滚压工艺,干膜材料为热塑性感光或水溶性薄膜材料,薄膜厚度20~80微米,滚压时的温度范围60~120摄氏度,压力10KPa~200kPa,滚压时硅片相对进给速度:5~600毫米/秒;
2)滚轮压印电极图形:采用滚轮压印时的温度范围60~120摄氏度,压力0.5MPa~10MPa,滚压时硅片相对进给速度:5~600毫米/秒;
3)等离子体去除残留层:频率选用微波段,或者射频段,气体采用氧气O2或者四氟化碳CF4,气体流量5~200sccm,功率20~300W;
4)滚轮压印银浆:采用滚轮压印时的压力0.5MPa~10MPa,滚压时硅片相对进给速度:5~600毫米/秒;
5)溶解去除干膜。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法,其特征在于:所述步骤2)中的滚轮表面设有微凸起结构。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610189088.5A CN105742380B (zh) | 2016-03-30 | 2016-03-30 | 太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610189088.5A CN105742380B (zh) | 2016-03-30 | 2016-03-30 | 太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN105742380A CN105742380A (zh) | 2016-07-06 |
CN105742380B true CN105742380B (zh) | 2017-12-19 |
Family
ID=56252285
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201610189088.5A Active CN105742380B (zh) | 2016-03-30 | 2016-03-30 | 太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN105742380B (zh) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111169193B (zh) * | 2018-11-13 | 2022-05-24 | 苏州赛伍应用技术股份有限公司 | 转印膜在通过凹版印刷将银浆转印至光伏电池片中的应用 |
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Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN102063951B (zh) * | 2010-11-05 | 2013-07-03 | 苏州苏大维格光电科技股份有限公司 | 一种透明导电膜及其制作方法 |
-
2016
- 2016-03-30 CN CN201610189088.5A patent/CN105742380B/zh active Active
Patent Citations (9)
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Publication number | Publication date |
---|---|
CN105742380A (zh) | 2016-07-06 |
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---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |