CN105742371A - 传感器模块以及传感器模块的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及传感器模块以及传感器模块的制造方法。形成在隔板部的平面部的检测部具有多个应变仪、分别连接在应变仪之中相邻的应变仪之间的电阻元件连接部、以及覆盖电阻元件连接部的一部分的到导电体部，电阻元件连接部之中的从导电体部露出的第一直线部分和第二直线部分与导电体部的横穿第一直线部分和第二直线部分的边正交。即使在电阻元件连接部和导电体部产生沿着X方向或Y方向的图案偏离，电阻元件连接部之中的从导电体部露出的部分的面积也不会发生变化。

Description

传感器模块以及传感器模块的制造方法

技术领域

本发明涉及传感器模块以及传感器模块的制造方法。

背景技术

在构成压力传感器的传感器模块中，在隔板部形成对应变量进行检测的4个应变仪以及与这些应变仪连接的电阻元件连接部和电极部，通过导电体部覆盖电阻元件连接部的一部分和电极部。

导体用于连接电阻元件用电极和端子部等，具有规定的布线图案。

以往，存在如下的薄膜压力传感器：在隔板部的表面堆积氧化硅层、多结晶硅层和铝层并且通过光刻（photolithographyetching）形成铝层图案，通过蚀刻选择性地除去该铝层图案和多结晶硅层来形成压敏电阻层图案和电极布线图案（文献1：特开昭63-228764号公报）。

进而，为在应变（straining）部的绝缘膜通过蒸镀、溅射形成有薄膜电阻体并且在薄膜电阻体之上通过蒸镀、溅射形成有电极薄膜的应变检测元件（文献2：特许第4452526号公报）。

在文献1、文献2中，通过蒸镀等对电阻元件、导体进行图案形成，但是，在电阻元件和导体产生相对的图案偏离的情况下，多个电阻元件的面积分别从设计值进行增减。

当各电阻元件的面积进行增减时，电阻元件的电阻值与规定值错开，在电阻元件的输出产生偏差。在电阻元件的输出产生的偏差不是优选的，因此，需要进行输出调整，但是，该输出调整繁杂。

使用图8A~图8C所示的概略图对以往例的课题进行说明。

在图8A中示出了根据文献1、文献2设想的检测部200A。

检测部200A被形成在未图示的隔板部的平面部，具有4个应变仪700。

应变仪700具备2个中央部用应变仪710、720以及2个外周部用应变仪730、740，在它们之间分别连接构成电阻元件连接部800的第一电阻元件连接部810、第二电阻元件连接部820、第三电阻元件连接部830和第四电阻元件连接部840。

在第一电阻元件连接部810连接有第一电极部910，在第二电阻元件连接部820连接有第二电极部920，在第三电阻元件连接部830连接有第三电极部930，在第四电阻元件连接部840连接有第四电极部940。

第一电阻元件连接部810的一部分和第一电极部910被第一导电体部1100覆盖，第二电阻元件连接部820的一部分和第二电极部920被第二导电体部1200覆盖，第三电阻元件连接部830的一部分和第三电极部930被第三导电体部1300覆盖，第四电阻元件连接部840的一部分和第四电极部940被第四导电体部1400覆盖。

由第一导电体部1100至第四导电体部1400构成导电体部1000，将未被该导电体部1000覆盖的应变仪700和电阻元件连接部800的区域设为S1~S4。

在以上的结构的检测部200A中，当如图8B所示那样导电体部1000的相对于应变仪700和电阻元件连接部800的形成位置上下地错开或者如图8C所示那样导电体部1000的相对于应变仪700和电阻元件连接部800的形成位置左右地错开时，区域S1~S4相对于在图8A中所示的区域S1~S4面积发生变化。其结果是，在多个应变仪间的输出产生偏差。

发明内容

本发明的目的在于提供一种在多个应变仪间的输出偏差变少且容易进行输出调整的传感器模块以及传感器模块的制造方法。

本发明的传感器模块的特征在于，具备：隔板部；以及检测部，形成在所述隔板部的平面部并且对压力进行检测，所述检测部具有：多个应变仪，对应变量进行检测；电阻元件连接部，分别连接在所述应变仪之中相邻的应变仪之间；以及导电体部，覆盖所述电阻元件连接部的一部分，所述电阻元件连接部之中的从所述导电体部露出的直线部分与所述导电体部的横穿所述直线部分的边正交。

在本发明中，通过蒸镀等在隔板部之上形成应变仪和电阻元件连接部，通过CVD、溅射等以覆盖电阻元件连接部之中的一部分的方式形成导电体部。在此，在形成导电体部时，存在与电阻元件连接部产生沿着正交方向的图案偏离的情况。

关于导电体部，电阻元件连接部之中的从前述导电体部露出的直线部分与前述导电体部的横穿前述直线部分的边正交，因此，即使与电阻元件连接部产生沿着正交方向的图案偏离，应变仪和电阻元件连接部之中的从导电体部露出的部分的面积也不会发生变化，没有在多个应变仪之间的电阻值的变化，因此，在多个应变仪间的输出偏差变少，能够容易地进行输出调整。

在本发明的传感器模块中，优选如下的结构：所述电阻元件连接部分别连接于所述应变仪的两端，横穿这些电阻元件连接部之中的从所述导电体部露出的直线部分的边彼此平行。

在该结构中，在形成导电体部时，存在以与直线部分平行的方式产生图案偏离的情况，但是，在该情况下，即使连接于应变仪的两端的电阻元件连接部之中的一个的面积比规定值小，电阻元件连接部的另一个的面积比规定值大，面积的增减被抵消。因此，由于应变仪和电阻元件连接部的面积即使产生图案偏离，也不会发生变化，所以，没有在多个应变仪的电阻值的变化。因此，在多个应变仪间的输出偏差更少。

在本发明的传感器模块中，优选如下的结构：所述应变仪具备在所述隔板部的中央部配置的2个以上的中央部用应变仪以及在所述隔板部的外周部配置的2个以上的外周部用应变仪，在所述中央部用应变仪中，分别在两端部连接有所述电阻元件连接部，这些电阻元件连接部的直线部分与所述导电体部之中的横穿所述直线部分的边彼此平行。

在该结构中，在配置在隔板部的中央部的2个以上的中央部用应变仪中，分别设置在两端侧的导电体部的边彼此平行。因此，在中央部用应变仪中，能够起到与前述同样的效果。

在本发明的传感器模块中，优选如下的结构：所述应变仪和所述电阻元件连接部由相同的材料形成。

在该结构中，能够通过同一工序在隔板部形成应变仪和电阻元件连接部，因此，制造变得简单。

在本发明的传感器模块中，优选如下的结构：所述隔板部被形成在筒状部的端部，在所述筒状部的内部导入被测定流体。

在该结构中，在适于压力测定的传感器模块中，能够起到前述的效果。

本发明的传感器模块的制造方法是制造所述的结构的传感器模块的方法，所述方法的特征在于，在所述隔板部对所述应变仪和所述电阻元件连接部进行图案形成，在所述电阻元件连接部的直线部分的一部分重叠导电性材料来形成所述检测部。

在本发明中，能够起到与前述同样的效果。

附图说明

图1是示出本发明的第一实施方式的传感器模块的平面图。

图2是示出中央部用应变仪（straingauge）以及其周边的平面图。

图3A是对制造传感器模块的方法进行说明的概略图。

图3B是对制造传感器模块的方法进行说明的概略图。

图3C是对制造传感器模块的方法进行说明的概略图。

图4是示出本发明的第二实施方式的传感器模块的平面图。

图5A是对制造传感器模块的方法进行说明的概略图。

图5B是对制造传感器模块的方法进行说明的概略图。

图5C是对制造传感器模块的方法进行说明的概略图。

图6是示出本发明的第三实施方式的传感器模块的平面图。

图7是示出本发明的第四实施方式的传感器模块的平面图。

图8A是用于说明以往例的课题的概略图。

图8B是用于说明以往例的课题的概略图。

图8C是用于说明以往例的课题的概略图。

具体实施方式

[第一实施方式]

在图1至图3C中示出了本发明的第一实施方式。

在图1中示出了传感器模块1的平面的整体结构。

在图1中，传感器模块1具备平面圆形的隔板（diaphragm）部10和形成在隔板部10的平面部并且对压力进行检测的检测部20而构成。

本实施方式的传感器模块1是隔板部10由于被测定流体的压力而发生移位并且通过检测部20对该移位进行感测的压力传感器元件。

隔板部10被形成在筒状部10A的端部，在筒状部10A的内部形成有用于导入被测定流体的凹部。由金属材料等整体地形成隔板部10和筒状部10A，在隔板部10的平面设置有未图示的绝缘膜。在绝缘膜的平面上形成检测部20。在检测部20之上设置有由氧化硅膜或氮化硅膜构成的保护膜（未图示）。

检测部20具有：对应变量进行检测的应变仪3、连接于应变仪3的电阻元件连接部4、连接于电阻元件连接部4的电极部5、以及覆盖电阻元件连接部4的一部分和电极部5的导电体部6。

伴随着隔板部10的移位，由应变仪3感测的电流通过电阻元件连接部4、电极部5和导电体部6向外部送出。

应变仪3、电阻元件连接部4和电极部5由同一材料例如多晶硅形成。

应变仪3具备在隔板部10的中央部配置的2个中央部用应变仪31、32以及在隔板部10的外周部配置的2个外周部用应变仪33、34。

2个中央部用应变仪31、32分别沿着图1的X方向呈直线状地形成。

2个中央部用应变仪31、32以夹持隔板部10的圆中心O的方式彼此接近而平行地配置。

2个外周部用应变仪33、34分别被形成为平面コ字状，在图1中，具有在X方向上延伸的一对连接部分，这些连接部分的顶端被开口。

电阻元件连接部4具备第一电阻元件连接部41、第二电阻元件连接部42、第三电阻元件连接部43和第四电阻元件连接部44。

第一电阻元件连接部41具有与中央部用应变仪31的一个端部连接的端部41A、连接于端部41A的第一直线部分411、以及连接于第一直线部分411的第二直线部分412，第二直线部分412与外周部用应变仪33的一个端部连接。

端部41A向从第二电阻元件连接部42远离的方向延伸形成。

第一直线部分411以与中央部用应变仪31、32平行的方式延伸形成。

第二直线部分412以与第一直线部分411折弯成直角的方式形成。

第二直线部分412与外周部用应变仪33的连接部分以折弯成直角的方式形成。也就是说，第一直线部分411沿着X方向形成，端部41A和第二直线部分412分别沿着Y方向形成。

第二电阻元件连接部42具有与中央部用应变仪32的一个端部连接的端部42A、连接于端部42A的第一直线部分421、以及连接于第一直线部分421的第二直线部分422，第二直线部分422与外周部用应变仪33的另一个端部连接。

端部42A在端部41A的同一直线上向从端部41A远离的方向延伸形成。

第一直线部分421以与第一直线部分411平行的方式延伸形成，并且，宽度尺寸相同。

第二直线部分422以与第一直线部分421折弯成直角的方式形成。

第二直线部分422与外周部用应变仪33的连接部分以折弯成直角的方式形成。也就是说，第一直线部分421沿着X方向形成，端部42A和第二直线部分422分别沿着Y方向形成。

第三电阻元件连接部43具有与中央部用应变仪32的另一个端部连接的端部43A、连接于端部43A的第一直线部分431、以及连接于第一直线部分431的第二直线部分432，第二直线部分432与外周部用应变仪34的一个端部连接。

端部43A向从第四电阻元件连接部44远离的方向延伸形成。

第一直线部分431与第一直线部分421在同一线上延伸形成，并且，宽度尺寸相同。

第二直线部分432以与第一直线部分431折弯成直角的方式形成。

也就是说，第一直线部分431沿着X方向形成，端部43A和第二直线部分432分别沿着Y方向形成。

第四电阻元件连接部44具有与中央部用应变仪31的另一个端部连接的端部44A、连接于端部44A的第一直线部分441、以及连接于第一直线部分441的第二直线部分442，第二直线部分442与外周部用应变仪34的另一个端部连接。

端部44A在端部43A的同一直线上向从端部43A远离的方向延伸形成。

第一直线部分441与第一直线部分411在同一线上延伸形成，并且，宽度尺寸相同。

第二直线部分442以与第一直线部分441折弯成直角的方式形成。

也就是说，第一直线部分441沿着X方向形成，端部44A和第二直线部分442分别沿着Y方向形成。

电极部5具备第一电极部51、第二电极部52、第三电极部53和第四电极部54。

第一电极部51被形成为线状，其一端连接于第一直线部分411。第一电极部51的另一个端部形成有用于形成焊盘（pad）的空间。

第二电极部52被形成为线状，其一端连接于第一直线部分421。第二电极部52的另一个端部形成有用于形成焊盘的空间。

第三电极部53被形成为线状，其一端连接于第一直线部分431。第三电极部53的另一个端部形成有用于形成焊盘的空间。

第四电极部54被形成为线状，其一端连接于第一直线部分441。第四电极部54的另一个端部形成有用于形成焊盘的空间。

导电体部6由金属、其他的导电性材料形成，具备第一导电体部61、第二导电体部62、第三导电体部63和第四导电体部64。

第一导电体部61覆盖第一直线部分411的一部分、第二直线部分412的一部分和第一电极部51。

第二导电体部62覆盖第一直线部分421的一部分、第二直线部分422的一部分和第二电极部52。

第三导电体部63覆盖第一直线部分431的一部分、第二直线部分432的一部分和第三电极部53。

第四导电体部64覆盖第一直线部分441的一部分、第二直线部分442的一部分和第四电极部54。

再有，在图1中，在导电体部6中设置多个竖线来易懂地图示了区域。

在图2中示出了中央部用应变仪31、32以及其周边。

如图2所示，第一电阻元件连接部41的第一直线部分411的一部分从第一导电体部61露出，该露出的部分的X方向与第一导电体部61的横穿第一直线部分411的边61A彼此正交。

第二电阻元件连接部42的第一直线部分421的一部分从第二导电体部62露出，该露出的部分的X方向与第二导电体部62的横穿第一直线部分421的边62A彼此正交。边61A与边62A位于同一线上。

第三电阻元件连接部43的第一直线部分431的一部分从第三导电体部63露出，该露出的部分的X方向与第三导电体部63的横穿第一直线部分431的边63A彼此正交。边62A与边63A彼此平行。

第四电阻元件连接部44的第一直线部分441的一部分从第四导电体部64露出，该露出的部分的X方向与第四导电体部64的横穿第一直线部分441的边64A彼此正交。边63A与边64A位于同一线上。边64A与边61A彼此平行。

中央部用应变仪31、32的与长尺寸方向正交的方向（Y方向）的尺寸即宽度尺寸分别为t。

端部41A、42A、43A、44A的沿着中央部用应变仪31、32的长尺寸方向（X方向）的尺寸即宽度尺寸为ta。

由中央部用应变仪31、32感测的电流通过端部41A、42A、43A、44A、第一直线部分411、421、431、441、电极部5和导电体部6向外部送出。端部41A、42A、43A、44A的宽度尺寸ta为与电流流动的方向正交的方向的尺寸。

回到图1，外周部用应变仪33、34的连接于第二直线部分412、422、432、442的部分的与长尺寸方向正交的方向（Y方向）的尺寸即宽度尺寸分别为t。

第二直线部分412、422、432、442的沿着外周部用应变仪33、34的长尺寸方向（X方向）的尺寸即宽度尺寸为tb。

由外周部用应变仪33、34感测的电流通过第二直线部分412、422、432、442、第一直线部分411、421、431、441、电极部5和导电体部6向外部送出。第二直线部分412、422、432、442的宽度尺寸tb为与电流流动的方向正交的方向的尺寸。

在本实施方式中，端部41A、42A、43A、44A的宽度尺寸ta与中央部用应变仪31、32的宽度尺寸t之比（ta/t）为不足5，第二直线部分412、422、432、442的宽度尺寸tb与外周部用应变仪33、34的宽度尺寸t之比（tb/t）为不足5。

具体地，在隔板部10的直径为5mm的情况下，当使中央部用应变仪31、32和外周部用应变仪33、34的宽度尺寸t为40μm、使端部41A、42A、43A、44A的宽度尺寸ta为120μm、使第二直线部分412、422、432、442的宽度尺寸tb为160μm时，ta/t=3，tb/t=4。与此相对地，在文献2中示出的形成有图案的直径5mm的原有的压力传感器元件中，应变仪的宽度尺寸为40μm，连接于应变仪的电阻元件连接部的宽度尺寸为200μm，因此，它们之比为5。

接着，基于图3A~图3C对制造第一实施方式的传感器模块的方法进行说明。

如图3A所示，在隔板部之上通过CVD、溅射等对应变仪3、电阻元件连接部4和电极部5进行图案形成。之后，如想象线所示，通过蒸镀等形成覆盖电阻元件连接部4之中的第一直线部分411、421、431、441的一部分、第二直线部分412、422、432、442的一部分和电极部5的导电体部6。导电体部6的蒸镀是从应变仪3、电阻元件连接部4和电极部5之上重叠导电性材料的蒸镀，针对隔板部沿着X方向或Y方向来实施。在像这样形成的检测部20之上形成保护层。再有，图3A示出导电体部6被形成在本来的正确的位置的情况。

将在应变仪3、电阻元件连接部4和电极部5之中在第一导电体部61与第二导电体部62之间露出的区域设为S1，将在第二导电体部62与第三导电体部63之间露出的区域设为S2，将在第三导电体部63与第四导电体部64之间露出的区域设为S3，将在第四导电体部64与第一导电体部61之间露出的区域设为S4。

在此，在形成导电体部6时，存在如下情况：应变仪3、电阻元件连接部4和电极部5的图案与导电体部6的图案如在图3B中所示那样在Y方向上错开或者如在图3C中所示那样在X方向上错开。

假设如在图3B中所示那样应变仪3、电阻元件连接部4和电极部5的图案与导电体部6的图案在Y方向上错开，即，与导电体部6被形成在正确的位置的图3A相比，导电体部6向下方错开。

于是，构成第一电阻元件连接部41的第二直线部分412的从第一导电体部61露出的部分变得短错开的尺寸，但是，构成第二电阻元件连接部42的第二直线部分422的从第二导电体部62露出的部分变得长错开的尺寸。第二直线部分412与第二直线部分422的宽度尺寸相同，为tb，因此，不会产生由于偏离造成的第二直线部分412、422的面积的变化。

同样地，构成第四电阻元件连接部44的第二直线部分442的从第四导电体部64露出的部分变得短错开的尺寸，但是，构成第三电阻元件连接部43的第二直线部分432的从第三导电体部63露出的部分变得长错开的尺寸。

第二直线部分442与第二直线部分432的宽度尺寸相同，为tb，因此，不会产生由于偏离造成的第二直线部分432、442的面积的变化。

另一方面，第一导电体部61的横穿第一直线部分411的边61A为沿着Y方向的直线，第二导电体部62的横穿第一直线部分421的边62A为沿着Y方向的直线，第三导电体部63的横穿第一直线部分431的边63A为沿着Y方向的直线，第四导电体部64的横穿第一直线部分441的边64A为沿着Y方向的直线。

因此，即使应变仪3、电阻元件连接部4和电极部5的图案与导电体部6的图案在Y方向上错开，也不会产生第一直线部分411、421、431、441和端部41A、42A、43A、44A的面积的变化。

假设如在图3C中所示那样应变仪3、电阻元件连接部4和电极部5的图案与导电体部6的图案在X方向上错开，即，与导电体部6被形成在正确的位置的图3A相比，导电体部6向右方错开。

于是，第一导电体部61的从第一直线部分411露出的部分变得短错开的尺寸，但是，第四导电体部64的从第一直线部分441露出的部分变得长错开的尺寸。第一直线部分411与第一直线部分441为相同的宽度尺寸，因此，不会产生由于偏离造成的第一直线部分411、441的面积的变化。

同样地，第二导电体部62的从第一直线部分421露出的部分变得短错开的尺寸，但是，第三导电体部63的从第一直线部分431露出的部分变得长错开的尺寸。第一直线部分431与第二直线部分432为相同的宽度尺寸，因此，不会产生由于偏离造成的第一直线部分421、431的面积的变化。

另一方面，第一导电体部61的横穿第二直线部分412的边61B为沿着X方向的直线，第二导电体部62的横穿第二直线部分422的边62B为沿着X方向的直线，第三导电体部63的横穿第二直线部分432的边63B为沿着X方向的直线，第四导电体部64的横穿第二直线部分442的边64B为沿着X方向的直线。

因此，即使应变仪3、电阻元件连接部4和电极部5的图案与导电体部6的图案在X方向上错开，也不会产生第二直线部分412、422、432、442的面积的变化。

如以上，关于区域S1~S4，即使应变仪3、电阻元件连接部4和电极部5的图案与导电体部6的图案在Y方向上错开或者在X方向上错开，在面积没有变化。

因此，在第一实施方式中，能够起到以下的效果。

（1）在隔板部10的平面部形成的检测部20具有对应变量进行检测的多个应变仪3、分别连接在相邻的应变仪3之间的电阻元件连接部4、以及覆盖电阻元件连接部4的一部分的导电体部6，电阻元件连接部4之中的从导电体部6露出的第一直线部分411、421、431、441和第二直线部分412、422、432、442与导电体部6的横穿第一直线部分411、421、431、441和第二直线部分412、422、432、442的边61A、61B、62A、62B、63A、63B、64A、64B正交。因此，即使在应变仪3和电阻元件连接部4与导电体部6产生沿着X方向或Y方向的图案偏离，电阻元件连接部4之中的从导电体部6露出的部分的面积也不会发生变化。因此，由于没有在多个应变仪3之间的电阻值的变化，所以，能够提高检测精度。

（2）电阻元件连接部4分别连接于应变仪3的两端，使横穿这些电阻元件连接部4之中的从导电体部6露出的第一直线部分411、421、431、441的边61A、62A、63A、64A彼此平行，使横穿第二直线部分412、422、432、442的边61B、62B、63B、64B彼此平行。因此，在形成导电体部6时，在与第一直线部分411、421、431、441、第二直线部分412、422、432、442平行的情况下产生图案偏离的情况下，应变仪3和电阻元件连接部4的面积不会发生变化。因此，没有在多个应变仪3中的电阻值的变化，在应变仪3间的输出偏差变少，容易进行输出调整。

（3）应变仪3具备在隔板部10的中央部配置的2个中央部用应变仪31、32以及在隔板部10的外周部配置的2个外周部用应变仪33、34，中央部用应变仪31连接第一电阻元件连接部41和第四电阻元件连接部44，中央部用应变仪32连接第二电阻元件连接部42和第三电阻元件连接部43，这些第一直线部分411、421、431、441与导电体部6之中的横穿第一直线部分411、421、431、441的边61A、62A、63A、64A彼此平行。因此，由于没有在2个中央部用应变仪31、32之间的电阻值的变化，所以，根据此方面，在多个应变仪间的输出偏差也变少。

（4）由于由同一材料形成应变仪3、电阻元件连接部4和电极部5，所以，能够通过同一工序将这些成形工序形成在隔板部10，因此，传感器模块1的制造变得容易。

（5）隔板部10被形成在筒状部10A的端部，在筒状部10A的内部形成导入被测定流体的凹部，因此，在压力传感器元件中能够起到前述的效果。

（6）电阻元件连接部4的端部41A、42A、43A、44A的宽度尺寸ta与中央部用应变仪31、32的宽度尺寸t之比（ta/t）为不足5，电阻元件连接部4的第二直线部分412、422、432、442的宽度尺寸tb与外周部用应变仪33、34的宽度尺寸t之比（tb/t）为不足5。因此，使应变仪3的宽度尺寸变小，并且，使构成电阻元件连接部4的直线部分的宽度尺寸变小，由此，能够作为整体而使检测部20的面积变小来小型化传感器模块1。

（7）在检测部20之上设置保护膜，因此，能够避免伴随着检测部20露出的问题。

[第二实施方式]

接着，基于图4~图5C来说明本发明的第二实施方式。

第二实施方式与第一实施方式在检测部的平面形状不同，其他的结构与第一实施方式相同。在第二实施方式的说明中，关于与第一实施方式相同的结构要素，标注同一附图标记并省略说明或者使说明简略。

图4是示出第二实施方式的传感器模块的平面的图。

在图4中，传感器模块2具备隔板部10和在隔板部10的平面部形成的检测部20A而构成。

检测部20A具有：对应变量进行检测的4个应变仪7、连接于应变仪7的电阻元件连接部8、连接于电阻元件连接部8的电极部9、以及覆盖电阻元件连接部8的一部分和电极部9的导电体部100。

应变仪7、电阻元件连接部8和电极部9由同一材料例如多晶硅形成。

应变仪7具备在隔板部10的中央部配置的2个中央部用应变仪71、72以及在隔板部10的外周部配置的2个外周部用应变仪73、74。

2个中央部用应变仪71、72分别沿着图4的X方向呈直线状地形成，并且，彼此平行。

2个中央部用应变仪71、72以夹持隔板部10的圆中心O的方式彼此在X方向上向远离的方向偏移。

外周部用应变仪73被形成为直线状，并且，与中央部用应变仪71配置在同一线上。

外周部用应变仪74被形成为直线状，并且，与中央部用应变仪72配置在同一线上。

中央部用应变仪71、72和外周部用应变仪73、74的宽度尺寸为t。

电阻元件连接部8具备第一电阻元件连接部81、第二电阻元件连接部82、第三电阻元件连接部83和第四电阻元件连接部84。

第一电阻元件连接部81具有与中央部用应变仪71的一个端部连接的直线部分81S。直线部分81S的另一个端部与外周部用应变仪73的一个端部连接。直线部分81S与应变仪7平行地形成，并且，沿着其Y方向的尺寸即宽度尺寸为tc。

第二电阻元件连接部82具有一个端部与外周部用应变仪73的另一个端部连接的第一直线部分821、一个端部与第一直线部分821的另一个端部连接的平面U字状的连接部分82C、以及一个端部与连接部分82C的另一个端部连接的第二直线部分822。第二直线部分822的另一个端部与中央部用应变仪72的一个端部连接。第一直线部分821与第二直线部分822在中央部用应变仪71的长尺寸方向（X方向）上延伸形成，并且，彼此平行。第一直线部分821和第二直线部分822的宽度尺寸分别为tc。

第三电阻元件连接部83具有与中央部用应变仪72的另一个端部连接的直线部分83S。直线部分83S的另一个端部与外周部用应变仪74的一个端部连接。直线部分83S与应变仪7平行地形成，并且，沿着其Y方向的尺寸即宽度尺寸为tc。

第四电阻元件连接部84具有一个端部与外周部用应变仪74的另一个端部连接的第一直线部分841、一个端部与第一直线部分841的另一个端部连接的平面U字状的连接部分84C、以及一个端部与连接部分84C的另一个端部连接的第二直线部分842，第二直线部分842的另一个端部与中央部用应变仪71的另一个端部连接。第一直线部分841与第二直线部分842在中央部用应变仪71的长尺寸方向上延伸形成，并且，彼此平行。第一直线部分841和第二直线部分842的宽度尺寸分别为tc。

电极部9具备第一电极部91、第二电极部92、第三电极部93和第四电极部94。

关于第一电极部91，其一端连接于直线部分81S，其另一个端部形成用于形成焊盘的圆形空间。

关于第二电极部92，其一端连接于连接部分82C，其另一个端部形成用于形成焊盘的圆形空间。

关于第三电极部93，其一端连接于直线部分83S，其另一个端部形成用于形成焊盘的圆形空间。

关于第四电极部94，其一端连接于连接部分84C，其另一个端部形成用于形成焊盘的圆形空间。

导电体部100由金属、其他的导电性材料形成，具备第一导电体部101、第二导电体部102、第三导电体部103和第四导电体部104。

第一导电体部101覆盖直线部分81S的一部分和第一电极部91。

第二导电体部102覆盖第一直线部分821的一部分、第二直线部分822的一部分、连接部分82C和第二电极部92。

第三导电体部103覆盖直线部分83S的一部分和第三电极部93。

第四导电体部104覆盖第一直线部分841的一部分、第二直线部分842的一部分、连接部分84C和第四电极部94。

再有，在图4中，在导电体部100中设置多个竖线来易懂地图示了区域。

在本实施方式中，直线部分81S、83S、第一直线部分821、841和第二直线部分822、842的宽度尺寸tc与中央部用应变仪71、72的宽度尺寸t之比（tc/t）为不足5。

具体地，在隔板部10的直径为5mm的情况下，当使中央部用应变仪71、72的宽度尺寸t为40μm、使直线部分81S、83S、第一直线部分821、841和第二直线部分822、842的宽度尺寸tc为120μm时，tc/t=3。

关于第一电阻元件连接部81的直线部分81S，其两端分别从第一导电体部101露出，这些露出的部分的X方向与第一导电体部101的横穿直线部分81S的边101A、101B彼此正交。

关于第三电阻元件连接部83的直线部分83S，其两端分别从第三导电体部103露出，这些露出的部分的X方向与第三导电体部103的横穿直线部分83S的边103A、103B彼此正交。

第二电阻元件连接部82的第一直线部分821从第二导电体部102露出，该露出的部分的X方向与第一直线部分821和横穿第一直线部分821的边102A彼此正交。

第二电阻元件连接部82的第二直线部分822从第二导电体部102露出，该露出的部分的X方向与第二导电体部102和横穿第二直线部分822的边102B彼此正交。

第四电阻元件连接部84的第一直线部分841从第四导电体部104露出，该露出的部分的X方向与第一直线部分841和横穿第一直线部分841的边104A彼此正交。

第四电阻元件连接部84的第二直线部分842从第四导电体部104露出，该露出的部分的X方向与第二直线部分842和横穿第二直线部分842的边104B彼此正交。

接着，基于图5A~图5C对制造第二实施方式的传感器模块的方法进行说明。

如图5A所示，在隔板部之上通过蒸镀等对应变仪7、电阻元件连接部8和电极部9进行图案形成。之后，如想象线所示，通过导电体部100覆盖电阻元件连接部8之中的直线部分81S、83S的一部分、第一直线部分821、841的一部分、第二直线部分822、842的一部分、连接部分82C、84C、第一电极部91、第二电极部92、第三电极部93和第四电极部94。关于导电体部100，从应变仪7、电阻元件连接部8和电极部9之上对导电性材料进行蒸镀等，针对隔板部沿着X方向或Y方向来实施。在像这样形成的检测部20A之上形成保护层。再有，图5A示出导电体部100被形成在本来的正确的位置的情况

将在应变仪7、电阻元件连接部8和电极部9之中在第一导电体部101与第二导电体部102之间露出的区域设为S1，将在第二导电体部102与第三导电体部103之间露出的区域设为S2，将在第三导电体部103与第四导电体部104之间露出的区域设为S3，将在第四导电体部104与第一导电体部101之间露出的区域设为S4。

在此，在形成导电体部100时，存在如下情况：应变仪7、电阻元件连接部8和电极部9的图案与导电体部100的图案如在图5B中所示那样在Y方向上错开或者如在图5C中所示那样在X方向上错开。

在第二实施方式中，与第一实施方式同样地，关于区域S1~S4，即使应变仪7、电阻元件连接部8和电极部9的图案与导电体部100的图案在Y方向上错开或者在X方向上错开，在面积没有变化。

因此，在第二实施方式中，能够起到与第一实施方式的（1）~（7）的效果同样的效果。

[第三实施方式]

接着，基于图6对本发明的第三实施方式进行说明。

第三实施方式与第一实施方式在中央部用应变仪的平面形状不同，其他的结构与第一实施方式相同。在第三实施方式的说明中，关于与第一实施方式相同的结构要素，标注同一附图标记并省略说明或使说明简略。

图6是示出第三实施方式的传感器模块的平面的图。

在图6中，第三实施方式的检测部20B具备应变仪35A而构成。

应变仪35A、电阻元件连接部4和电极部5由同一材料例如多晶硅形成。

应变仪35A具备在隔板部10的中央部配置的2个中央部用应变仪36、37以及在隔板部10的外周部配置的2个外周部用应变仪33、34。

2个中央部用应变仪36、37分别被形成为平面S字状，其一端连接于端部41A、42A，其另一端连接于第二直线部分432、442。

2个中央部用应变仪36、37以夹持隔板部10的圆中心O的方式彼此接近而平行地配置。

在第三实施方式中，传感器模块2的制造方法与第一实施方式相同。

第三实施方式能够起到与第一实施方式的（1）~（7）同样的效果。

[第四实施方式]

接着，基于图7对本发明的第四实施方式进行说明。

第四实施方式与第一实施方式在外周部用应变仪、电阻元件连接部和电极部的平面形状不同，其他的结构与第一实施方式相同。在第四实施方式的说明中，关于与第一实施方式相同的结构要素，标注同一附图标记并省略说明或使说明简略。

图7是示出第四实施方式的传感器模块的平面的图。

在图7中，第四实施方式的检测部20B具备应变仪35B、电阻元件连接部4和电极部5而构成。

应变仪35B、电阻元件连接部4和电极部5由同一材料例如多晶硅形成。

应变仪35B具备在隔板部10的中央部配置的2个中央部用应变仪31、32以及在隔板部10的外周部配置的2个外周部用应变仪38、39。

使2个外周部用应变仪38、39分别为朝向外侧开口的平面コ字状，并且，端部连接于第二直线部分412、422、432、442。

第一电阻元件连接部41除了端部41A、第一直线部分411和第二直线部分412之外还具有连接第一直线部分411和第二直线部分412的平面L形的连接边部410。

第一电极部51连接于连接边部410与第二直线部分412的连接部分。

第二电阻元件连接部42除了端部42A、第一直线部分421和第二直线部分422之外还具有连接第一直线部分421和第二直线部分422的平面L形的连接边部420。

第二电极部52连接于连接边部420与第二直线部分422的连接部分。

第三电阻元件连接部43除了端部43A、第一直线部分431和第二直线部分432之外还具有连接第一直线部分431和第二直线部分432的平面L形的连接边部430。

第三电极部53连接于连接边部430与第二直线部分432的连接部分。

第四电阻元件连接部44除了端部44A、第一直线部分441和第二直线部分442之外还具有连接第一直线部分441和第二直线部分442的平面L形的连接边部440。

第四电极部54连接于连接边部440与第二直线部分442的连接部分。

在第四实施方式中，传感器模块1的制造方法与第一实施方式相同。

第四实施方式能够起到与第一实施方式的（1）~（7）同样的效果。

再有，本发明并不限定于前述的实施方式，能够达成本发明的目的的范围内的变形、改良等被包含在本发明中。

例如，在前述各实施方式中，由相同的材料形成了应变仪3、7、35A、35B、电阻元件连接部4、8和电极部5、9，但是，在本发明中，也可以使这些材料不同。

进而，端部41A、42A、43A、44A的宽度尺寸为相同的ta，但是，在本发明中，也可以使这些宽度尺寸不同。同样地，第二直线部分412、422、432、442的宽度尺寸为相同的tb，但是，在本发明中，也可以使这些宽度尺寸不同。

此外，在前述各实施方式中，将传感器模块1说明为对被测定流体的压力进行感测的压力传感器元件，但是，在本发明中，也可以作为用于检测温度等的物理量测定用传感器。

Claims (6)

1.一种传感器模块，其特征在于，

具备：隔板部；以及检测部，形成在所述隔板部的平面部并且对压力进行检测，

所述检测部具有：多个应变仪，对应变量进行检测；电阻元件连接部，分别连接在所述应变仪之中相邻的应变仪之间；以及导电体部，覆盖所述电阻元件连接部的一部分，

所述电阻元件连接部之中的从所述导电体部露出的直线部分与所述导电体部的横穿所述直线部分的边正交。

2.根据权利要求1所述的传感器模块，其特征在于，

所述电阻元件连接部分别连接于所述应变仪的两端，

横穿这些电阻元件连接部之中的从所述导电体部露出的直线部分的边彼此平行。

3.根据权利要求1所述的传感器模块，其特征在于，

所述应变仪具备在所述隔板部的中央部配置的2个以上的中央部用应变仪以及在所述隔板部的外周部配置的2个以上的外周部用应变仪，

在所述中央部用应变仪中，分别在两端部连接有所述电阻元件连接部，这些电阻元件连接部的直线部分与所述导电体部之中的横穿所述直线部分的边彼此平行。

4.根据权利要求1所述的传感器模块，其特征在于，

所述应变仪和所述电阻元件连接部由相同的材料形成。

5.根据权利要求1所述的传感器模块，其特征在于，

所述隔板部被形成在筒状部的端部，在所述筒状部的内部导入被测定流体。

6.一种传感器模块的制造方法，所述制造方法是制造根据权利要求1至权利要求5的任一项所述的传感器模块的方法，所述方法的特征在于，

在所述隔板部对所述应变仪和所述电阻元件连接部进行图案形成，

在所述电阻元件连接部的直线部分的一部分重叠导电性材料来形成所述检测部。