CN105607249A - 一种单侧不等高梳齿驱动的微扭转镜 - Google Patents
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN201510968367.7A CN105607249B (zh) | 2015-12-21 | 2015-12-21 | 一种单侧不等高梳齿驱动的微扭转镜 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN201510968367.7A CN105607249B (zh) | 2015-12-21 | 2015-12-21 | 一种单侧不等高梳齿驱动的微扭转镜 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN105607249A true CN105607249A (zh) | 2016-05-25 |
CN105607249B CN105607249B (zh) | 2018-06-26 |
Family
ID=55987299
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201510968367.7A Active CN105607249B (zh) | 2015-12-21 | 2015-12-21 | 一种单侧不等高梳齿驱动的微扭转镜 |
Country Status (1)
Country | Link |
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CN (1) | CN105607249B (zh) |
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C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
TA01 | Transfer of patent application right |
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|
GR01 | Patent grant | ||
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