CN105607166A - 一种多次反射光学样品分析*** - Google Patents

一种多次反射光学样品分析*** Download PDF

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CN105607166A
CN105607166A CN201410687155.7A CN201410687155A CN105607166A CN 105607166 A CN105607166 A CN 105607166A CN 201410687155 A CN201410687155 A CN 201410687155A CN 105607166 A CN105607166 A CN 105607166A
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optics
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赵辉
邓文平
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SUZHOU PUDAO OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY Co Ltd
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Abstract

本发明公开了一种多次反射光学样品分析***,所述***包括至少一个第一光学器件,所述第一光学器件包括至少两个可分离设置成不同光学器件的功能区域,至少两个功能区域集成为一体的第一光学器件,多次反射光学样品分析***中的光路至少两次通过待分析样品。本发明光学样品分析***中的第一光学器件将第一区域和第二区域集成化进行设计,使得整个多次反射光学样品分析***的结构简单,性能稳定、可靠。

Description

一种多次反射光学样品分析***
技术领域
本发明涉及光学技术及样品分析技术领域,特别是涉及一种多次反射光学样品分析***。
背景技术
随着使用要求的不断提高,对光学仪器的性能提出了更稳定、更小型化、集成度更高等越来越高的要求。其中光学窗口作为绝大部分光学仪器的入口和出口,它的安装与密封直接影响整个光学仪器的可靠性,安装不当甚至会导致整个光学***失调,导致光学仪器失效。特别需要提出的是,在光学仪器中,对光学元器件的密封意义重大(如在海水中使用一些光学仪器或在恶劣环境下使用的光学仪器),一般来说,密封措施提高了光学元件的耐潮性、耐腐蚀性、防水、防霉等性能。
如图1所示,现有技术中组成光学样品分析***(图1仅示除了长光程池的一部分,一般长光程池至少包含两个反射镜和一个入射窗口)的第一光学器件是互相分离的,其中M1为反射镜,W1为光学窗口,W1和M1之间是分离的,由于反射镜M1不通光,为了满足光线能够穿过光学窗口W1所处的位置,需在反射镜M1对应位置设置通光孔。为保证光学仪器的稳定性,光学窗口W1的安装固定及其W1与M1之间的密封非常重要。
一种常见的固定方式如图2a所示,2为反射镜M1,3为光学窗口W1,1、5、6为满足固定密封所设置的结构件,4、7、8、9为密封元件。
该安装固定方式存在诸多缺陷:
(1)必须制作如图2中所示的结构件来安装固定窗口W1,结构件繁多,增加了仪器的生产制造成本;
(2)为了能有足够的空间安装光学窗口W1,必须要在W1与M1之间预留一定的间隙,从而导致光学窗口W1与反射镜M1的有效光学利用面积的减小;
(3)为了达到安装的目的,光学窗口的安装固定件需要从反射镜安装件的前端以悬臂方式伸入到光学窗口安装位置,同时由于安装空间的限制,结构件需做成强度不高的薄壁零件,由于悬臂薄壁结构的不稳定性以及结构件加工误差的双重影响,光学窗口W1安装的稳定性得不到保证,安装固定过程极其复杂;
(4)固定窗口的结构件材质一般选用金属材质,制作光学窗口的材质一般为玻璃,而金属材质和玻璃材质热膨胀系数一般相差一个数量级,在温度变化时,两者的形变不同,会导致一定的应力产生,如果应力达到一定程度,会引起光学元件碎裂。
对于光学窗口W1和反射镜M1之间的密封同样存在诸多限制:
(1)W1与其固定件之间密封元件4的设计选择一般需考虑尺寸大小、是否耐高温、是否耐腐蚀、材质的软硬程度等。由于此处空间尺寸较小且不具大众化,市场上没有标准的密封件可供选择,需要定制非标件,增加了生产成本和后期的维护成本;
(2)光学窗口W1与反射镜M1之间的密封元件8会造成反射镜M1局部受力,此处容易导致应力集中,随着仪器的使用,会使反射镜M1存在破裂的风险。
除此之外,光学窗口的位置变动(引起位置变动的因素包括:温差导致的位移、外界振动、气流冲击等、)对光路的影响较大,特别对基于多次反射技术的长光程***,其影响往往是破坏性的。
因此,针对上述技术问题,有必要提供一种新的多次反射光学样品分析***。
发明内容
有鉴于此,本发明的目的在于提供一种多次反射光学样品分析***,参见图2b所示,将现有技术中的反射镜和光学窗口转变为多个功能区域并集成为一体,其结构简单,性能稳定、可靠。
为了实现上述目的,本发明实施例提供的技术方案如下:
一种多次反射光学样品分析***,所述***包括至少一个第一光学器件,其特征在于,所述第一光学器件包括至少两个可分离设置成不同光学器件的功能区域,至少两个功能区域集成为一体的第一光学器件,多次反射光学样品分析***中的光路至少两次通过待分析样品。
作为本发明的进一步改进,所述第一光学器件包括第一功能区域和第二功能区域,所述第一功能区域为透射区域,所述第二功能区域为反射区域。
作为本发明的进一步改进,所述功能区域通过一体化机械加工、光学镀膜、光学接触或胶合的方式集成为一体的第一光学器件。
作为本发明的进一步改进,所述透射区域镀有增透膜,所述反射区域为全反射区域或镀有反射膜。
作为本发明的进一步改进,所述透射区域和/或反射区域在第一光学器件的一侧或两侧设置为平面结构、非平面结构中的一种或多种的组合。
作为本发明的进一步改进,所述非平面结构包括台阶结构、楔形结构、曲面结构,所述曲面结构包括球面结构、二次曲面结构、柱面结构、自由曲面结构中的一种或多种的组合。
作为本发明的进一步改进,所述非平面结构为阵列结构,所述阵列结构包括微球透镜阵列结构、柱透镜阵列结构、矩形阵列结构、三角形阵列结构。
作为本发明的进一步改进,所述透射区域位于第一光学器件的内部、边缘或侧面。
作为本发明的进一步改进,所述多次反射光学样品分析***还包括至少一个第二光学器件,所述第二光学器件为透射镜、反射镜、衍射镜。
作为本发明的进一步改进,所述第一光学器件和/或第二光学器件中还包括挖空区域,挖空区域为对应光学器件的非光学利用空间。
本发明具有以下有益效果:
多次反射光学样品分析***结构简单,性能稳定、可靠;
第一光学器件中的功能区域数目不做限制,可根据应用需要设置为所需数目;
第一光学器件中的透射区域和反射区域的形状包括但不限于圆形,可根据应用需要设置为任意形状,其他能实现相应功能的形状均可;
第一光学器件中的透射区域和反射区域的相对位置关系可以随应用需要而改变;
第一光学器件中的反射区域的形状不做限制,包括但不限于平面或曲面等,其他能实现相应功能的面型均可;
第一光学器件中的透射区域的形状不做限制,包括但不限于台阶、楔形、透镜形式、阵列形式等,其他能实现相应功能的结构均可;
第一光学器件中的非光学利用空间可挖空,形状及尺寸依设计而定。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明中记载的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为一现有技术中多次反射光学样品分析***中第一光学器件的结构示意图;
图2a为另一现有技术中多次反射光学样品分析***中第一光学器件的结构示意图,图2b为现有技术与本发明的结构对比示意图;
图3a本发明实施例1中多次反射光学样品分析***的结构示意图,图3b、3c分别为第一光学器件和第二光学器件的截面结构示意图,图3d、3e为本发明实施例1中多次反射光学样品分析***的立体结构及侧视结构光学示意图;
图4a本发明实施例2中多次反射光学样品分析***的结构示意图,图4b、4c分别为第一光学器件和第二光学器件的截面结构示意图,图4d、4e为本发明实施例2中多次反射光学样品分析***的立体结构及侧视结构光学示意图;
图5为本发明实施例3中多次反射光学样品分析***的结构示意图;
图6为本发明实施例4中多次反射光学样品分析***的结构示意图;
图7为本发明实施例5中多次反射光学样品分析***的结构示意图;
图8为本发明实施例6中多次反射光学样品分析***的结构示意图;
图9为本发明实施例7中多次反射光学样品分析***的结构示意图;
图10为本发明实施例8中多次反射光学样品分析***的结构示意图;
图11为本发明实施例9中多次反射光学样品分析***的结构示意图;
图12为本发明实施例10中多次反射光学样品分析***的结构示意图;
图13为本发明实施例11中多次反射光学样品分析***的结构示意图;
图14为本发明实施例12中多次反射光学样品分析***的结构示意图;
图15为本发明实施例13中多次反射光学样品分析***的结构示意图;
图16为本发明实施例14中多次反射光学样品分析***的结构示意图;
图17为本发明实施例15中多次反射光学样品分析***的结构示意图;
图18为本发明实施例16中多次反射光学样品分析***的结构示意图;
图19为本发明实施例17中多次反射光学样品分析***的结构示意图;
图20为本发明实施例18中多次反射光学样品分析***的结构示意图;
图21为本发明实施例19中多次反射光学样品分析***的结构示意图。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本发明中的技术方案,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都应当属于本发明保护的范围。
本发明公开了一种多次反射光学样品分析***,用来分析样品的物理和化学性质,该***包括至少一个第一光学器件,或至少一个第一光学器件及至少一个第二光学器件,第二光学器件包括但不限于反射镜、透射镜、衍射镜,第一光学器件包括至少两个可分离设置成不同光学器件的功能区域,至少两个功能区域集成为一体的第一光学器件,多次反射光学样品分析***中的光路至少两次通过待分析样品。优选地,第一光学器件包括第一功能区域和第二功能区域,第一功能区域为透射区域,第二功能区域为反射区域,透射区域和反射区域通过包括但不限于一体化机械加工、光学镀膜、光学接触或胶合的方式集成为一体的第一光学器件,其他能实现集成第一光学器件的加工方式和工艺均可。
进一步地,反射区域上为全反射区域或镀有反射膜,透射区域上镀有增透膜。光线从第一光学器件的透射区域入射至多次反射光学样品分析***,完成多次反射后从该***出射。
本发明中透射区域在第一光学器件的一侧或两侧设置为包括但不限于平面结构、非平面结构中的一种或多种的组合。其中,非平面结构包括但不限于台阶结构、楔形结构、曲面结构,曲面结构包括球面结构、二次曲面结构、柱面结构、自由曲面结构中的一种或多种的组合。非平面结构还可以包括但不限于阵列结构,阵列结构包括但不限于微球透镜阵列结构、柱透镜阵列结构、矩形阵列结构、三角形阵列结构。
优选地,第一光学器件的截面包括但不限于圆形、方形、多边形、或不规则形,透射区域的截面为圆形、方形、多边形、或不规则形。
以下结合具体实施例对本发明作进一步说明。
此外,在不同的实施例中可能使用重复的标号或标示。这些重复仅为了简单清楚地叙述本发明,不代表所讨论的不同实施例及/或结构之间具有任何关联性。
实施例1:
参图3a-3e所示,本实施例中的多次反射光学样品分析***包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中第二光学器件20为反射镜,待分析样品(未图示)在第一光学器件10和第二光学器件20之间,在其他实施例中第二光学器件也可与第一光学器件相同。
参图3b、3c所示,本实施例中的第一光学器件10包括透射区域(第一功能区域)11和反射区域(第二功能区域)12,透射区域11和反射区域12共同构成光学器件。本实施例中在反射区域12镀有反射膜,反射膜一般为介质膜、金属膜、金属-介质膜。
本实施例中透射区域形成光学窗口,反射区域和反射膜形成了第一光学器件中的反射镜。参图3a、3d、3e所示,当光线经第一光学器件10的透射区域11入射到光学样品分析***后,光线在第一光学器件10和第二光学器件20之间完成多次反射后,从第一光学器件10的透射区域11出射。
优选地,在本实施例中第一光学器件整体设置为圆形,即反射区域的外侧设置为圆形,透射区域也设置为圆形,在其他实施方式中,透射区域和反射区域的形状包括但不限于为圆形,可根据应用需要设置为任意形状,如方形、多边形、或不规则形等。同时,透射区域和反射区域的相对位置关系也可随应用需要而变,而并不限定于本实施例中的相对位置。
实施例2:
参图4a-4e所示,本实施例中的多次反射光学样品分析***包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中第二光学器件20为反射镜,待分析样品(未图示)在第一光学器件10和第二光学器件20之间,在其他实施例中第二光学器件也可与第一光学器件相同。
参图4b、4c所示,本实施例中的第一光学器件10包括透射区域(第一功能区域)11和反射区域(第二功能区域)12,透射区域11和反射区域12共同构成光学器件。本实施例中在反射区域12镀有反射膜,反射膜包括但不限于介质膜、金属膜、金属-介质膜,在透射区域11上镀有增透膜,增透膜的材料包括但不限于氟化镁、氧化钛、硫化铅、硒化铅、陶瓷、或乙烯基倍半硅氧烷等。
本实施例中透射区域和增透膜形成了第一光学器件中的光学窗口,反射区域和反射膜形成了第一光学器件中的反射镜。参图4a、4d、4e所示,当光线经第一光学器件10的透射区域11入射到光学样品分析***后,光线在第一光学器件10和第二光学器件20之间完成多次反射后,从第一光学器件10的透射区域11出射。由于透射区域11上镀有增透膜,能有效地提高光线在透射区域的透过率。
优选地,在本实施例中第一光学器件整体设置为圆形,即反射区域的外侧设置为圆形,透射区域也设置为圆形,在其他实施方式中,透射区域和反射区域的形状包括但不限于为圆形,可根据应用需要设置为任意形状,如方形、多边形、或不规则形等。同时,透射区域和反射区域的相对位置关系也可随应用需要而变,而并不限定于本实施例中的相对位置。
实施例3:
参图5所示为本实施例中多次反射光学样品分析***的结构示意图,该***包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中,第二光学器件20与实施例1中的第二光学器件完全相同,第一光学器件10与实施例1不同的是透射区域11在背向第二光学器件一侧不是平面结构,设置为楔形结构,楔形结构能够避免平面结构引起的干涉效应。
实施例4:
参图6所示为本实施例中多次反射光学样品分析***的结构示意图,该***包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中,第二光学器件20与实施例1中的第二光学器件完全相同,第一光学器件10与实施例1不同的是透射区域11在背向第二光学器件一侧不是平面结构,设置为凸透镜结构,其能够避免平面结构引起的干涉效应,同时改善入射光的发散角。
实施例5:
参图7所示为本实施例中多次反射光学样品分析***的结构示意图,该***包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中,第二光学器件20与实施例1中的第二光学器件完全相同,第一光学器件10与实施例1不同的是透射区域11在朝向第二光学器件一侧不是平面结构,设置为凸透镜结构,其能够避免平面结构引起的干涉效应,同时改善入射光的发散角。
实施例6:
参图8所示为本实施例中多次反射光学样品分析***的结构示意图,该***包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中,第二光学器件20与实施例1中的第二光学器件完全相同,第一光学器件10与实施例1不同的是透射区域11在朝向第二光学器件一侧不是平面结构,设置为凹透镜结构,其能够避免平面结构引起的干涉效应,同时改善入射光的发散角。
实施例7:
参图9所示为本实施例中多次反射光学样品分析***的结构示意图,该***包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中,第二光学器件20与实施例1中的第二光学器件完全相同,第一光学器件10与实施例1不同的是透射区域11在背向第二光学器件一侧设置为凸透镜结构,在朝向第二光学器件一侧设置为凹透镜结构其能够避免平面结构引起的干涉效应,同时改善入射光的发散角。
实施例8:
参图10所示为本实施例中多次反射光学样品分析***的结构示意图,该***包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中,第二光学器件20与实施例1中的第二光学器件完全相同,第一光学器件10与实施例1不同的是透射区域11在背向第二光学器件一侧设置为凹透镜结构,在朝向第二光学器件一侧也设置为凹透镜结构其能够避免平面结构引起的干涉效应,同时改善入射光的发散角。
实施例9:
参图11所示为本实施例中多次反射光学样品分析***的结构示意图,该***包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中,第二光学器件20与实施例1中的第二光学器件完全相同,第一光学器件10与实施例1不同的是透射区域11在背向第二光学器件一侧设置为凹透镜结构其能够避免平面结构引起的干涉效应,同时改善入射光的发散角。
实施例10:
参图12所示为本实施例中多次反射光学样品分析***的结构示意图,该***包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中,第二光学器件20与实施例1中的第二光学器件完全相同,第一光学器件10与实施例1不同的是透射区域11在背向第二光学器件一侧设置为凸透镜结构,在朝向第二光学器件一侧也设置为凸透镜结构其能够避免平面结构引起的干涉效应,同时改善入射光的发散角。
实施例11:
参图13所示为本实施例中多次反射光学样品分析***的结构示意图,该***包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中,第二光学器件20与实施例1中的第二光学器件完全相同,第一光学器件10与实施例1不同的是透射区域11在背向第二光学器件一侧设置为向外凸出的柱透镜阵列结构,其能够避免平面结构引起的干涉效应,同时改变入射光的能量分布。
实施例12:
参图14所示为本实施例中多次反射光学样品分析***的结构示意图,该***包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中,第二光学器件20与实施例1中的第二光学器件完全相同,第一光学器件10与实施例1不同的是透射区域11在背向第二光学器件一侧设置为向外凸出的柱透镜阵列结构,在朝向第二光学器件一侧设置为向内凹陷的柱透镜阵列结构,其能够避免平面结构引起的干涉效应,同时改变入射光的能量分布。
实施例13:
参图15所示为本实施例中多次反射光学样品分析***的结构示意图,该***包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中,第二光学器件20与实施例1中的第二光学器件完全相同,第一光学器件10与实施例1不同的是透射区域11在背向第二光学器件一侧设置为向外凸出的三角形阵列结构,其能够避免平面结构引起的干涉效应,同时改变入射光的能量分布。
实施例14:
参图16所示为本实施例中多次反射光学样品分析***的结构示意图,该***包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中,第二光学器件20与实施例1中的第二光学器件完全相同,第一光学器件10与实施例1不同的是透射区域11在背向第二光学器件一侧设置为向内凹陷的矩形阵列结构,其能够避免平面结构引起的干涉效应,同时改变入射光的能量分布。
实施例15:
参图17所示为本实施例中多次反射光学样品分析***的结构示意图,该***包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中,第二光学器件20与实施例1中的第二光学器件完全相同,第一光学器件10与实施例1不同的是透射区域11在背向第二光学器件一侧设置为向外凸出的柱透镜阵列结构,在朝向第二光学器件一侧也设置为向外凸出的柱透镜阵列结构,其能够避免平面结构引起的干涉效应,同时改变入射光的能量分布。
实施例16:
参图18所示为本实施例中多次反射光学样品分析***的结构示意图,该***包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中,第二光学器件20与实施例1中的第二光学器件完全相同,第一光学器件10与实施例1不同的是透射区域11设置在第一光学器件10的边缘位置,而反射区域12设置在第一光学器件10的内部。反射区域由应用及设计而定,使用及加工方便。
实施例17:
参图19所示为本实施例中多次反射光学样品分析***的结构示意图,该***包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中,与实施例16相比,本实施例不同的是在第一光学器件10上设置有挖空区域13,在第二光学器件20上对应设置有挖空区域21,该挖空区域为对应光学器件的非光学利用空间。
实施例18:
参图20所示为本实施例中多次反射光学样品分析***的结构示意图,本实施例中的***包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中第一光学器件10上包括透射区域(第一功能区域)11、反射区域(第二功能区域)12和观察区域(第三功能区域)13,透射区域和反射区域的功能与实施例1相同,而观察区域可观察到光斑在两个光学器件上的分布状况,即可观察该***的工作状态,方便检测***的工作状态,能够有效地对***进行维护。
实施例19:
参图21所示为本实施例中多次反射光学样品分析***的结构示意图,本实施例中的***仅包括一个第一光学器件,第一光学器件上设置有透射区域(即光学窗口)111、112,第一光学器件的镜面为多边形面,本实施例中除了透射区域外的区域为反射区域121、122、123、124,入射光和出射光的位置可以根据需要进行设置,本实施例中光线从透射区域111入射,在第一光学器件内依次经过反射区域121、122、123、124进行多次反射后从透射区域112出射。
以上仅仅列举了本发明中的几种实施例,本发明也包括但不限于以下各种情况:
2个第一光学器件和1个第二光学器件,三个光学器件的内表面均设置为球面,第一光学器件上集成有透射区域;
离散透镜多次反射吸收池,包括第一光学器件和第二光学器件,两个光学器件的镜面为离散面,即同一个器件两个方向的曲率不同,第一光学器件上集成有透射区域(即光学窗口),入射光和出射光可以根据需要进行设置;
柱面组合多次反射吸收池,包括第一光学器件和第二光学器件,两个光学器件的镜面为柱面,第一光学器件上集成有透射区域(即光学窗口),入射光和出射光可以根据需要进行设置;
抛物面组合的多次反射吸收池,包括第一光学器件和第二光学器件,两个光学器件的镜面为抛物面,第一光学器件上集成有透射区域(即光学窗口),入射光和出射光可以根据需要进行设置;
Robert型的多次反射吸收池,包括第一光学器件、第二光学器件和第三光学器件,三个器件的镜面均为球面,其中,第二光学器件和第三光学器件相互分离设置且球面曲率不同,三个器件中至少一个上设置有透射区域(即光学窗口)。
上述实施例仅列举了常见的多次反射光学样品分析***中集成有透射区域的情况,在其他多次反射光学样品分析***中也可在器件上集成透射区域,在此不再进行赘述。
上述实施例在同一个光学器件上不同区域的光学功能仅为透射和反射,更进一步的,在同一个光学器件上不同区域的光学功能也可以衍射和反射或者透射、衍射和反射。即同一个器件可分为若干个区域,该若干个区域所承担的功能包括但不限于为透射、衍射和反射中。
上述实施例中的第一光学器件将光学窗口和其他光学器件集成设计到一个器件上,具体的是用在多次反射光学样品分析***中的一种光学器件,可以理解的是,其他加工方式或工艺包括但不限于微机械加工工艺、微纳加工、MEMS等均可用来实现加工多次反射光学样品分析***的第一光学器件和/或多次反射光学样品分析***。
由以上实施例可以看出,与现有技术相比本发明解决了现有技术中对光学窗口安装及密封的复杂性、***的不稳定性、温度导致的应力等问题,具有以下有益效果:
多次反射光学样品分析***结构简单,性能稳定、可靠;
第一光学器件中的功能区域数目不做限制,可根据应用需要设置为所需数目;
第一光学器件中的透射区域和反射区域的形状包括但不限于圆形,可根据应用需要设置为任意形状,其他能实现相应功能的形状均可;
第一光学器件中的透射区域和反射区域的相对位置关系可以随应用需要而改变;
第一光学器件中的反射区域的形状包括但不限于平面或曲面等;
第一光学器件中的透射区域的形状包括但不限于台阶、楔形、透镜形式、阵列形式等,其他能实现相应功能的结构均可;
第一光学器件中的非光学利用空间可挖空,形状及尺寸依设计而定。
对于本领域技术人员而言,显然本发明不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本发明。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (10)

1.一种多次反射光学样品分析***,其特征在于,所述***包括至少一个第一光学器件,其特征在于,所述第一光学器件包括至少两个可分离设置成不同光学器件的功能区域,至少两个功能区域集成为一体的第一光学器件,多次反射光学样品分析***中的光路至少两次通过待分析样品。
2.根据权利要求1所述的多次反射光学样品分析***,其特征在于,所述第一光学器件包括第一功能区域和第二功能区域,所述第一功能区域为透射区域,所述第二功能区域为反射区域。
3.根据权利要求1所述的多次反射光学样品分析***,其特征在于,所述功能区域通过一体化机械加工、光学镀膜、光学接触或胶合的方式集成为一体的第一光学器件。
4.根据权利要求2所述的多次反射光学样品分析***,其特征在于,所述透射区域镀有增透膜,所述反射区域为全反射区域或镀有反射膜。
5.根据权利要求2所述的多次反射光学样品分析***,其特征在于,所述透射区域和/或反射区域在第一光学器件的一侧或两侧设置为平面结构、非平面结构中的一种或多种的组合。
6.根据权利要求5所述的多次反射光学样品分析***,其特征在于,所述非平面结构包括台阶结构、楔形结构、曲面结构,所述曲面结构包括球面结构、二次曲面结构、柱面结构、自由曲面结构中的一种或多种的组合。
7.根据权利要求6所述的多次反射光学样品分析***,其特征在于,所述非平面结构为阵列结构,所述阵列结构包括微球透镜阵列结构、柱透镜阵列结构、矩形阵列结构、三角形阵列结构。
8.根据权利要求2所述的多次反射光学样品分析***,其特征在于,所述透射区域位于第一光学器件的内部、边缘或侧面。
9.根据权利要求1所述的多次反射光学样品分析***,其特征在于,所述多次反射光学样品分析***还包括至少一个第二光学器件,所述第二光学器件为透射镜、反射镜、衍射镜。
10.根据权利要求9所述的多次反射光学样品分析***,其特征在于,所述第一光学器件和/或第二光学器件中还包括挖空区域,挖空区域为对应光学器件的非光学利用空间。
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