CN105506730B - 一种单晶炉的主真空管路结构 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及单晶炉的管路结构技术领域，公开了一种单晶炉的主真空管路结构，包括：对称分布的两根水冷真空管，每根水冷真空管的一端与单晶炉炉腔的炉底盘相连，另一端通过第一四通真空管连接于T形真空管的水平管路的端口；所述T形真空管的垂直管路的末端通过第二四通真空管与竖直真空管的一端相连；所述竖直真空管的另一端通过第二四通真空管与第一过渡管相连；所述第一过渡管通过主阀与第二过渡管的一端相连，所述第二过渡管的另一端通过蝶阀与主真空输出口相连。本发明的主真空管路零件结构简单，安装和拆卸简单快捷，方便清理主真空管路内沉积的氧化物；管路整体设计呈对称结构，抽真空时，炉腔内各处压力更为平稳和均衡。

Description

一种单晶炉的主真空管路结构
技术领域
本发明涉及单晶炉的管路结构技术领域，具体是一种单晶炉的主真空管路结构。
背景技术
单晶硅生长炉是通过直拉法生产单晶硅的制造设备。目前，普遍应用于电子、太阳能光伏等行业，其最高使用温度高达1600℃。
现有的单晶炉主真空管路存在以下问题：
1、单晶炉主真空管路直接连接炉底盘，从炉腔传递过来的高温，使主真管路温度过高，容易烫伤操作人员；
2、主阀安装位置不当，高温对主阀橡胶件容易造成损坏，需经常更换；同时，氧化物容易沉积在主阀内，使主阀密闭性不好；
3、主真空管路形状复杂，不容易清理沉积在管内的氧化物；
4、主真空管路上没有安全阀，当管内压力过高时，易造成安全事故。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术的不足，提供一种单晶炉的主真空管路结构。本发明的主真空管路零件结构简单，安装和拆卸简单快捷，方便清理主真空管路内沉积的氧化物；且管路整体设计呈对称结构，抽真空时，使得炉腔内各处压力更为平稳和均衡。
为了达到上述目的，本发明提供了一种单晶炉的主真空管路结构，包括：对称分布的两根水冷真空管，每根水冷真空管的一端与单晶炉炉腔的炉底盘相连，另一端通过第一四通真空管连接于T形真空管的水平管路的端口；所述T形真空管的垂直管路的末端通过第二四通真空管与竖直真空管的一端相连；所述竖直真空管的另一端通过第二四通真空管与第一过渡管相连；所述第一过渡管通过主阀与第二过渡管的一端相连，所述第二过渡管的另一端通过蝶阀与主真空输出口相连。
所述水冷真空管内焊接有开环结构的隔水板。
所述第一四通真空管上设有安全阀。
所述两根第一四通真空管通过真空波纹管与T形真空管汇接。
所述T形真空管上设有高真空计和低真空计。
所述主阀为高真空挡板阀。
T形真空管由水平管路和垂直管路相交构成T字形真空管，水平管路的两端设有连接端口，垂直管路的一端与水平管路相交连通，另一端(末端)设有连接端口。
本发明的有益效果是：
1、本发明的主真空管路结构采用具有水冷结构的水冷真空管连接单晶炉炉腔的炉底盘，有效降低炉腔内高温对真空管路的影响，防止管路温度过高烫伤操作人员；
2、该管路设计中将主阀位置远离炉腔，有效避免高温对主阀橡胶件的不良影响；
3、主阀采用“人”字形安装方式，有效减少沉积的氧化物对主阀不良影响；
4、主真空管路零件结构简单，安装和拆卸简单快捷，方便清理主真空管路内沉积的氧化物；
5、主真空管路配有安全阀，防止管路压力过高造成安全事故；
6、主真空管路整体设计呈对称结构，抽真空时炉腔内各处压力更为平稳和均衡；
7、装有APC蝶阀，拉晶时有效稳定炉腔内设定压力。
附图说明
图1为本发明单晶炉的主真空管路结构图；
图2为图1中第一过渡管和第二过渡管的局部放大图；
图3为本发明的水冷真空管的1/4剖面图；
图4为本发明的水冷真空管的结构示意图；
图5为图4中A-A方向的剖视图；
图6为图4中B-B方向的剖视图。
其中：
1-水冷真空管 2-安全阀 3-第一四通真空管
4-T形真空管 5-高真空计 6-低真空计
7-第二四通真空管 8-竖直真空管 9-主阀
10-APC蝶阀 11-主真空输出口 12-第二过渡管
13-第一过渡管 101-隔水板 102-进水口
103-出水口
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例，对本发明做进一步说明。
实施例1：
如图1-2所示的一种单晶炉的主真空管路结构，包括：对称分布的两根水冷真空管1、T形真空管4、竖直真空管8、第二过渡管12和第一过渡管13。
每根水冷真空管1的一端与单晶炉炉腔的炉底盘相连，另一端通过第一四通真空管3连接于T形真空管4的水平管路的端口；每根第一四通真空管3通过真空波纹管与T形真空管4汇接。
水冷真空管1带有水冷结构。采用具有水冷结构的水冷真空管连接单晶炉炉腔的炉底盘，有效降低炉腔内高温对真空管路的影响，防止管路温度过高烫伤操作人员。
第一四通真空管3上设有安全阀2，防止管路压力过高造成安全事故。T形真空管4的垂直管路的末端通过第二四通真空管7与竖直真空管8的一端相连；竖直真空管8的另一端通过第二四通真空管7与第一过渡管13相连。T形真空管4上设有高真空计5和低真空计6。高真空计5为薄膜型真空计CCMT-1D，测量范围1.3×10-2Pa～1.3×102Pa；低真空计6为薄膜型真空计CCMT-1000D，测量范围13Pa～1.3×105Pa。
第一过渡管13通过主阀9与第二过渡管12的一端相连，第二过渡管12的另一端通过APC蝶阀10与主真空输出口11相连，主阀9为高真空挡板阀。该管路设计中将主阀9设计在第一过渡管路和第二过渡管路之间，位置远离炉腔，有效避免高温对主阀橡胶件的不良影响；主阀9采用“人”字形安装方式，有效减少沉积的氧化物对主阀不良影响。管路设计中装有APC蝶阀，拉晶时能有效稳定炉腔内设定压力。
本发明的主真空管路零件结构简单，安装和拆卸简单快捷，方便清理主真空管路内沉积的氧化物；且管路整体设计呈对称结构，抽真空时，使得炉腔内各处压力更为平稳和均衡。
以上已对本发明创造的较佳实施例进行了具体说明，但本发明创造并不限于所述的实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本发明创造精神的前提下还可以作出种种的等同的变型或替换，这些等同变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。

Claims (1)

1.一种单晶炉的主真空管路结构，其特征在于，包括：
对称分布的两根水冷真空管(1)，每根水冷真空管(1)的一端与单晶炉炉腔的炉底盘相连，另一端通过第一四通真空管(3)连接于T形真空管(4)的水平管路的端口；所述T形真空管(4)的垂直管路的末端通过第二四通真空管(7)与竖直真空管(8)的一端相连；所述竖直真空管(8)的另一端通过第二四通真空管(7)与第一过渡管(13)相连；所述第一过渡管(13)通过主阀(9)与第二过渡管(12)的一端相连，所述第二过渡管(12)的另一端通过蝶阀(10)与主真空输出口(11)相连；
所述水冷真空管(1)内焊接有开环结构的隔水板；
所述第一四通真空管(3)上设有安全阀(2)；
所述两根第一四通真空管(3)通过真空波纹管与T形真空管(4)汇接；
所述T形真空管(4)上设有高真空计(5)和低真空计(6)；
所述主阀(9)为高真空挡板阀。
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