CN105484990B - 用于最优化泵的操作的方法和*** - Google Patents
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Abstract
本发明涉及用于最优化泵的操作的方法和***。本公开描述了总体上涉及过滤的***和方法。更具体地说,在此描述的实施例涉及基于过滤器信息和加工流体信息来最优化泵的操作例程。该过滤器信息可以存储在过滤器上的电子可读标签上。
Description
本申请是申请人于2011年2月18日提交的申请号为201180010843.4、发明名称为“用于最优化泵的操作的方法和***”的发明专利申请的分案申请。
技术领域
本公开描述了总体上涉及过滤的***和方法。更具体地说,在此描述的实施例涉及提供具有可以存储被用于确定泵的操作的信息的过滤器信息标签的过滤器。
背景技术
对于精确控制通过泵送装置分发流体所必需的量和/或速率来说,存在许多应用。在半导体加工方面,例如,重要的是,控制向半导体晶片涂敷诸如光致抗蚀剂化学品的光化学品的量和速率。在加工期间涂敷至半导体晶片的涂层通常需要横跨晶片表面的、以埃(angstrom)测量的厚度均匀性。必须控制向晶片涂敷加工化学品的速率,以便确保均匀地涂敷加工流体。
现今,在半导体工业中使用的许多光化学品非常昂贵,经常费用高达1公升1000美元。因此,优选的是,确保化学品加工设备正确操作。另外,希望缩减用于在晶片上分发流体的周期时间。
发明内容
在此描述的实施例提供了用于利用有关连接至泵的过滤器的信息来控制泵的操作的***和方法。在此描述的一个实施例可以包括:泵,该泵具有一个或多个电动机,该一个或多个电动机用于将流体汲取到泵的入口中并从该泵的出口分发流体,和可去除过滤器,该可去除过滤器设置在泵入口与泵出口之间的流体流径中。该泵还可以包括泵控制器,该泵控制器被设置成,接收过滤器信息,接收加工流体信息,基于过滤器信息和加工流体信息接入操作例程库,以选择用于泵的操作例程,以及根据所选择操作例程操作泵。所选择操作例程可以包括起动例程、分发周期、其它例程的分发周期的所选择段。
另一实施例可以包括具有泵和泵管理***的泵***。该泵可以包括:一个或多个电动机,该一个或多个电动机用于将流体汲取到泵的入口中并从该泵的出口分发流体,可去除过滤器,该可去除过滤器处于泵入口与泵出口之间的流体流径中,电子标签读取器,该电子标签读取器被定位并设置成,从电子标签读取过滤器信息,以及泵控制器。该泵控制器可以耦接至电子标签读取器并且被设置成,从电子标签读取器接收过滤器信息,通过通信链路传送过滤器信息,以及控制泵的操作以分发流体。该泵管理***可以被设置成,从泵接收过滤器信息,基于过滤器信息和加工流体信息接入操作例程库,以选择用于泵的操作例程。该泵管理***可以将所选择操作例程传送至泵控制器。
另一实施例可以包括一种用于控制控制泵的操作的方法,该方法包括以下步骤:将可去除过滤器连接至泵,其中,该可去除过滤器具有存储过滤器信息的电子标签;利用电子标签读取器从该电子标签接收针对该可去除过滤器的过滤器信息;基于过滤器信息和加工流体的流体特性接入操作例程库,以选择用于该可去除过滤器和加工流体的操作例程;以及根据所选择操作例程操作泵。
根据一个实施例,过滤器信息可以存储在RFID标签中并且通过RFID标签读取器来读取。
附图说明
通过参照结合附图的下列描述,可以获取对这些实施例及其优点的更完整理解,附图中,相同标号指示相同特征,并且其中:
图1是半导体制造***的一部分的一个实施例的图解表示图;
图2是根据一个实施例的多级(multiple stage)泵(“多级(multi-stage)泵”)的图解表示图;
图3和4A-4G是针对分发周期的各个实施例的阀和电动机定时的图解表示图;
图5是例示起动(priming)例程的一个实施例的流程图;
图6A和6B是泵的一个实施例的图解表示图;
图7是过滤器和多支管(manifold)的一个实施例的图解表示图;
图8是过滤器的一个实施例的图解表示图;
图9是阀装配件的一个实施例的图解表示图;
图10是泵和连接部的一个实施例的图解表示图;
图11是用于控制泵的操作的***的一个实施例的图解表示图;
图12是例示用于利用过滤器信息标签来影响泵的操作的方法的一个实施例的流程图;
图13是用于最优化泵的起动的方法的一个实施例的图解表示图;
图14是最优化针对泵的分发周期的一个实施例的图解表示图;
图15是用于利用过滤器信息的方法的一个实施例的图解表示图;
图16是软件架构的一个实施例的图解表示图;以及
图17是例示通过选择最佳起动例程而减少起动时间的图形。
具体实施方式
参照在附图中例示并且在以下描述中详细说明的非限制实施例,对本公开及其各种特征和有利细节进行更全面说明。省略了对公知原材料、加工技术、组件以及设备的描述,以使不会在细节上不必要地模糊本公开。然而,技术人员应当明白,该详细说明的描述和具体示例在公开优选实施例时,仅通过例示的方式而非限制的方式给出。本发明技术人员在阅读本公开之后,将明白处于基本发明构思范围内的各种代替、修改、添加或重新布置。
在此描述的各种实施例涉及利用过滤器信息来确保泵的适当操作的泵送***。根据一个实施例,过滤器信息存储在可以通过合适的标签读取器读取的可电子读取的标签中。该过滤器信息可以被分析以确定泵的适当操作。
图1是用于将流体从流体罐15分发到晶片17上的半导体制造***10的一部分的一个实施例的图解表示图。***10还可以包括泵控制器20和泵25。泵控制器20可以是板上泵25或者经由用于传送控制信号、数据或其它信息的一个或多个通信链路连接至泵25。泵控制器20控制泵25以将流体分发到晶片17上。***10还包括诸如截止/反吸阀27的外部阀,其可以防止分发喷嘴处的滴落。
泵25包括可去除过滤器35,该可去除过滤器35具有包含过滤器信息45的可电子读取过滤器信息标签40。过滤器信息45可以包括有关过滤器35的任何信息,和可以存储在可电子读取标签中的其它信息。标签读取器50用于从过滤器信息标签40读取过滤器信息45并将该信息提供给泵控制器20、***管理计算机或其它计算机。
在一个实施例中,过滤器信息标签40可以是有源或无源RFID标签,并且标签读取器50可以是RFID标签读取器。在其它实施例中,过滤器信息标签40可以是条形码或其它可光学读取码,并且标签读取器50可以是条形码扫描器或者能够读取标签40的其它扫描器。
过滤器信息45的示例包括但不限于,零件号、设计风格、隔膜类型、保留级别(retention rating)、过滤器的世代(generation of device)、过滤器隔膜的构造、批号、序列号、设备流量、隔膜厚度、隔膜起泡点、颗粒质量、过滤器制造商质量信息或其它信息。设计风格指泵的、设计过滤器的类型、过滤器的容量/尺寸、过滤器中的隔膜材料的量或有关过滤器的设计的其它信息泵的类型。隔膜类型指隔膜的材料和/或厚度。保留级别指可以通过隔膜以特定效率去除的颗粒的尺寸。过滤器的世代指该过滤器是过滤器设计的第一代、第二代、第三代,还是其它世代。过滤器隔膜的构造指过滤器是否打褶、打褶的类型或有关隔膜设计的其它信息。序列号提供单个过滤器的序列号。批号可以指定过滤器或隔膜的制造批次。设备流量指过滤器可以处理的流率同时仍产生良好的分发。设备流量可以在单个过滤器的制造期间确定。隔膜起泡点提供对过滤器可以处理并仍产生良好的分发的流率/压力的另一测量。隔膜起泡点也可以在单个过滤器的制造期间确定。上面的示例通过说明的方式来提供,而不是对可以包含在过滤器信息45中的信息的限制。
过滤器信息45可以包括表达多种信息的零件号。例如,示例零件号格式“Aabcdefgh”中的每一个字母都可以表达一条不同的信息。下表1提供了由零件号表达的信息的示例:
表1:
利用表1的示例,针对Impact泵过滤器的零件号A2AT2RMR1指:过滤器的连接方法,该过滤器针对IntelliGen2泵设计(Impact和IntelliGen是Entegris,Inc.of Chaska,Minn.的商标),隔膜是薄UPE,具有10nm的保留级别,该过滤器是版本2过滤器,该过滤器包括RFID标签,该过滤器隔膜具有M褶皱,该过滤器是非O形环,并且每箱具有一个过滤器。然而,使用零件号来表达信息通过示例的方式提供,而且过滤器信息可以按其它方式来表达。
在操作中,过滤器35可以耦接至泵25。标签读取器50从标签40读取过滤器信息45,并将该过滤器信息45传送至泵控制器20。泵控制器20处理过滤器信息45或者将该过滤器信息45传递到泵管理***(下面讨论的)上。泵控制器20可以向过滤器信息45应用规则,以确定是否和怎样操作泵25。另外,泵控制器20可以基于过滤器信息45在分发周期期间调节泵25的操作。
泵控制器20(或其它***)还可以使用过滤器信息45来关联良好或低劣操作与过滤器特征。在操作期间,泵控制器20可以跟踪针对泵25的多种可操作数据。由泵控制器20跟踪的信息可以包括可用于控制器20的任何可操作的操作,和通过泵控制器20计算出的任何信息。可操作数据的一些非限制例包括:压力、有关阀操作的参数、电动机位置、电动机速度、液压或其它参数(如如果泵包括温度传感器,则包括温度)。该信息可以被用于确定是否是否为良好分发。这可以在分发已经出现之后进行或者在分发周期期间实时进行。
可操作数据可以与过滤器信息45相关联,以使可以标识有关分发质量的各种过滤器参数的效果。作为一示例,泵控制器20可以记录过滤器的批号,以使可以将泵25的可操作数据与该批次相关联。该信息可以被用于标识与具有相同设计的另一批次的过滤器相比,特定批次的过滤器是产生更好的结果还是产生更差的结果。类似的是,可以将序列号用于跟踪可操作数据与单个过滤器,以帮助确定单个过滤器是低劣涂层的原因。作为又一实施例,可以将可操作数据与隔膜起泡点相关联,以确定具有相同零件号但具有不同隔膜起泡点的过滤器是否具有不同的分发结果。来自标签40的记录信息和有关分发的跟踪信息可以最优化过滤器的选择甚至制造。
泵25可以是包括单级泵或多级(multiple stage)(“多级(multi-stage)”)泵的任何合适泵。图2是多级泵25的一个实施例的图解表示图。多级泵25包括馈送级部分105和分离分发级部分110。从流体流动观点来看,定位在馈送级部分105与分发级部分110之间的是用于从加工流体滤出杂质的过滤器35。许多阀可以控制流体流动通过多级泵25,例如,包括入口阀125、隔离阀130、隔板阀135、清除阀140、排气阀145以及出口阀147。分发级部分110还可以包括确定分发级110处流体的压力的压力传感器112。通过压力传感器112确定的压力可以被用于控制如下所述的各种泵的速度。示例压力传感器包括陶瓷和聚合物压电式和电容式压力传感器,包括由德国Metallux AG,of Korb制造的那些。根据一个实施例,压力传感器112的、接触加工流体的面是全氟化合物(perfluoropolymer)。泵25可以包括附加压力传感器,如用于读取馈送室155中的压力的压力传感器、温度传感器以及其它传感器。
馈送级105和分发级110可以包括用于在多级泵25中泵送流体的滚动隔膜泵。馈送级泵150(“馈送泵150”)例如包括:用于收集流体的馈送室155、用于在馈送室155内移动并转移流体的馈送级隔膜160、用于移动馈送级隔膜160的活塞165、导螺杆170以及步进电动机175。导螺杆170通过螺母、齿轮或其它机械结构耦接至步进电动机175,以将来自电动机的能量传予导螺杆170。根据一个实施例,馈送电动机175旋转螺母,其依次地,旋转导螺杆170,使活塞165致动。分发级泵180(“分发泵180”)可以类似地包括:分发室185、分发级隔膜190、活塞192、导螺杆195,以及分发电动机200。分发电动机200可以通过带螺纹螺母(例如,Torlon或其它材料螺母)驱动导螺杆195。
根据其它实施例,馈送级105和分发级110可以是多种其它泵,包括气动泵或液压驱动泵,液压泵或其它泵。利用用于馈送级的气动泵和步进电动机驱动液压泵的多级泵的一个示例在2005年2月4日由发明人Zagars等人提交的、题名为“PUMP CONTROLLER FORPRECISION PUMPING APPARATUS”的美国专利申请No.11/051,576中进行了描述,现在在2009年1月13日的公布为专利No.7,476,087;其通过引用并入于此。然而,在两级中使用电动机提供的优点在于,消除了液压管路、控制***以及流体,由此,缩减了空间和潜在泄露。在馈送级和分发级两级中使用电动机的多级泵的示例在以下专利中进行了提供:2006年11月20日由发明人Cedrone等人提交的、题名为“SYSTEM AND METHOD FOR A PUMP WITHREDUCED FORM FACTOR”的美国专利申请No.11/602464;和2008年7月14日由发明人Cedrone等人提交的、题名为“METHOD AND SYSTEM FOR HIGH VISCOSITY PUMP”的美国专利申请No.12/218325;其通过引用全部并入于此。
馈送电动机175和分发电动机200可以是任何合适的电动机。根据一个实施例,分发电动机200是永磁同步电动机(“PMSM”)。PMSM可以通过数字信号处理器(“DSP”)在电动机200、控制器板上多级泵25或分离泵控制器(例如,如同1所示)利用场向控制(“FOC”)或本领域已知的其它类型的定位/速度控制来控制。PMSM 200还可以包括用于实时反馈分发电动机200的位置的编码器(例如,细线旋转位置编码器)。使用位置传感器得到对活塞192的位置的准确且可重复控制,其导致准确且可重复控制分发室185中的流体移动。例如,利用2000线编码器,其根据一个实施例向DSP赋予8000个脉冲,可以按.045度的旋转来准确地测量和控制。另外,PMSM可以在很少有或没有振动的情况下以低速运行。馈送电动机175也可以是PMSM或步进电动机。还应注意到,馈送泵可以包括本地(home)传感器,以指示该馈送泵何时处于其初始位置。
在操作多级泵25期间,多级泵25的阀打开或闭合以允许或限制流体流向多级泵25的各个部分。根据一个实施例,这些阀可以是气动(即,气体驱动)隔膜阀,其根据是否维持压力或真空来打开或闭合。这些阀中的全部或一些还可以是其它类型的阀。
下面提供了对多级泵25的各级操作的摘要。然而,多级泵25还可以根据多种控制方案来控制,包括但不限于下列专利申请中描述的那些:2005年12月2日由发明人Cedrone等人提交的、题名为“SYSTEM AND METHOD FOR PRESSURE COMPENSATION IN A PUMP”的美国临时专利申请No.60/741,682;2006年8月11日由发明人Clarke等人提交的、题名为“SYSTEMS AND METHODS FOR FLUID FLOW CONTROL IN AN IMMERSION LITHOGRAPHYSYSTEM”的美国专利申请No.11/502729,现在在2008年10月28日的公布为专利No.7443483;2006年11月20日由发明人Cedrone等人提交的、题名为“SYSTEM AND METHOD FORCORRECTING FOR PRESSURE VARIATIONS USING A MOTOR”的美国临时专利申请No.11/602472;2005年12月2日由发明人Gonnella等人提交的、题名为“SYSTEM AND METHOD FORCONTROL OF FLUID PRESSURE”的美国专利申请No.11/292559;2006年2月28日由发明人Gonnella等人提交的、题名为“SYSTEM AND METHOD FOR MONITORING OPERATION OF APUMP”的美国专利申请No.11/364286;2006年11月20日由发明人Cedrone等人提交的、题名为“SYSTEM AND METHOD FOR PRESSURE COMPENSATION IN A PUMP”的美国专利申请No.11/602508;以及2006年11月20日由发明人Cedrone等人提交的、题名为“I/O SYSTEMS,METHODSAND DEVICES FOR INTERFACING A PUMP CONTROLLER”的美国专利申请No.11/602449;其每一个都通过引用而全部并入于此,以顺序化阀并控制压力。
根据一个实施例,多级泵25可以包括:准备段、分发段、填充段、预过滤段、过滤段、排气段、清除段以及静态清除段。在馈送段期间,入口阀125打开,并且馈送级泵150移动(例如,拖动)馈送级隔膜160,以将流体汲取到馈送室155中。一旦足量的流体充满了馈送室155,入口阀125闭合。在过滤段期间,馈送级泵150移动馈送级隔膜160,以从馈送室155转移流体。隔离阀130和隔板阀135打开,以允许流体流过过滤器35直至分发室185。隔离阀130根据一个实施方式,可以首先打开(例如,处于“预过滤段”),以允许在过滤器35中构建压力,并接着隔板阀135打开,以允许流体流入分发室185。根据其它实施例,隔离阀130和隔板阀135都可以打开,并且馈送泵移动,以在过滤器的分发侧上构建压力。
在过滤段期间,分发泵180可以恢复至其初始位置。如在2004年11月23日由Laverdiere等人提交的、题名为“System and Method for a Variable Home PositionDispense System”的美国临时专利申请No.60/630,384;如在2008年9月30日由Laverdiere等人提交的、题名为“System and Method for a Variable Home Position DispenseSystem”的美国专利申请No.11/666124;以及在2005年11月21日由申请方Entegris,Inc.和发明人Laverdiere等人提交的、题名为“System and Method for Variable HomePosition Dispense System”的PCT申请No.PCT/US2005/042127中所述的;其全部通过引用并入于此,分发泵的初始位置可以是这样的位置,即,针对分发周期在分发泵处获得最大可用容量,但小于该分发泵可以提供的最大可用容量。初始位置基于针对分发周期的各种参数来选择,以缩减多级泵25的未使用的滞留容量(hold up volume)。馈送泵150可以类似地恢复至初始位置,其提供小于其最大可用容量的容量。
在排气段开始时,隔离阀130打开,隔板阀135闭合,而排气阀145打开。在另一实施例中,隔板阀135可以在排气段期间保持打开,而在排气段结束时闭合。在这个时间期间,如果隔板阀135打开,则因可以通过压力传感器112测量的、分发室中的压力将影响过滤器35中的压力而可以通过控制器来推断压力。馈送级泵150向流体施加压力,以通过打开的排气阀145将气泡从过滤器35去除。可以控制馈送级泵150,以使排气按预定速率出现,允许更长的排气时间和更低的排气速率,由此允许准确控制排气量浪费。如果馈送泵是气动型泵,则流体流动限制可以发生在排气流径中,从而可以增加或降低施加至馈送泵的气动压力,以便保持“排气”设置点压力,获得其它无控制方法的某一控制。
在清除段开始时,隔离阀130闭合,隔板阀135如果其在排气段打开则闭合,排气阀145闭合,而清除阀140打开,并且入口阀125打开。分发泵180向分发室185中的流体施加压力,以通过清除阀140排出气泡。在静态清除段期间,分发泵180停止,但清除阀140仍保持打开,以继续排气。在清除或静态清除段期间去除的任何过多流体路由出多级泵25(例如,返回至流体源或丢弃)或者再循环至馈送级泵150。在准备段期间,入口阀125、隔离阀130以及隔板阀135可以打开,而清除阀140闭合,使得馈送级泵150可以达到源(例如,源瓶)的环境压力。根据其它实施例,所有阀可以在准备段闭合。
在分发段期间,出口阀147打开,并且分发泵180向分发室185中的流体施加压力。因为出口阀147可以比分发泵180更慢地起反应以控制,所以出口阀147可以首先打开,并且在某一预定时段以后,分发电动机200开启。这防止分发泵180推动流体通过部分打开的出口阀147。而且,这防止流体上移因发打开而造成的分发喷嘴,跟着是因电动机动作而造成的向前流体运动。在其它实施例中,出口阀147可以打开并且同时通过分发泵180开始分发。
可以执行其中去除分发喷嘴中的过多流体的附加反吸段。在反吸段期间,出口阀147可以闭合,并且可以使用辅助电动机或真空装置(vacuum)以吸取出口喷嘴外的过多流体。另选的是,出口阀147可以继续保持打开,并且可以倒转分发电动机,以将流体反吸到分发室中。反吸段帮助防止过多流体滴落到晶片上。
简要参照图3,该图提供了图2的多级泵25的各个操作段的阀和分发电动机定时的图解表示图。图4A-G示出了其它序列。虽然几个阀在段变化期间被示出为同时闭合,但阀的闭合可以稍微相隔地定时(例如,100毫秒)以缩减压力尖峰。例如,在排气段与清除段之间,隔离阀130可以在排气阀145之前不久闭合。然而,应注意到,在各个实施例中,可以利用其它阀定时。另外,几个段可以一起执行(例如,填充段/分发段可以同时执行,在该情况下,入口阀和出口阀都可以在分发段/填充段打开)。还应注意到,特定段不必针对每一个周期重复。例如,清除段和静态清除段可以不必每一周期执行。类似的是,排气段可以不必每一周期执行。
打开和闭合各种阀可以导致多级泵25内流体中的压力尖峰。因为出口阀147在静态清除段期间闭合,所以在静态清洗段结束时闭合清洗阀140,例如,可以导致分发室185中的压力增加。这可能因每一个阀在其闭合时排出少量流体而出现。更具体地说,在许多情况下,流体从室185分发之前,使用清除周期和/或静态清除周期,以从分发室185清除空气,以便在从多级泵25分发流体时防止飞溅或其它扰乱。然而,在静态清除段周期结束时,清除阀140闭合,以便在准备开始分发时密封分发室185。随着清除阀140闭合,其迫使额外流体量(大约等于清除阀140的滞留容量)进入分发室185,其依次地,导致分发室185中流体的压力增加超过旨在分发流体的基准压力。这种过多压力(超过基准)可以导致随后分发流体时的问题。这些问题在低压应用时加重,如因闭合清除阀140而造成的压力增加可以在希望用于分发的基准压力中占更大的百分比。
更具体地说,因为因闭合清除阀140而出现的压力增加,所以如果该压力不缩减,则流体“喷”到晶片上、双倍分发或其它不希望的流体动力学可能在随后分发段期间出现。另外,由于这种压力增加在多级泵25的操作期间可能不恒定,因而在连续分发段期间,这些压力增加可能导致分发流体量变化、或分发的其它特征变化。分发中的这些变化可以依次导致晶片废料增加和晶片再加工。各个实施例通过在分发之前允许在分发室185中实现几乎任何基准压力,解决了该***内因各个阀闭合而造成的压力增加,来实现针对开始分发段的希望起始压力,解决了***至***的设备中的不同排出压力(head pressure)和其它差异。
在一个实施例中,为解决针对分发室185中流体的不希望压力增加,在静态清除段期间,分发电动机200可以倒转,以收回活塞192达预定距离,来补偿因闭合隔板阀135、清除阀140以及/或可能导致分发室185中的压力增加的任何其它源而造成的任何压力增加。
由此,在此描述的实施例提供了一种具有平缓流体处理特征的多级泵。通过在分发段之前补偿分发室中的压力波动,可以避免或减轻潜在破坏性压力尖峰。多级泵的实施例还可以采用其它泵控制机制和阀定时,以帮助缩减针对加工流体的压力的有害影响。
除了分发周期以外,泵25可以执行其它操作。当将新过滤器连接至泵时,该过滤器应当起动,以使过滤器隔膜在运行分发周期之前完全变湿。图5提供了针对起动例程的步骤的例示性示例,然而,可以使用其它起动例程,如本领域普通技术人员应当明白的。在步骤205,流体被引入到分发室中。在下一个步骤中,该过滤器可以如上所述排气达一时段,以从过滤器的上游部分去除空气(步骤210)。接下来,清除至排气段可以出现(步骤215)。在这个段中,隔离阀和清除阀打开,而隔板阀闭合。分发电动机运行,以使流体流出分发室并通过排气。这后面可以是过滤段(步骤216)、排气段(步骤217)以及清除段(步骤218)。在下一个段中,过滤器可以加压(步骤220)。隔板阀和排气阀可以闭合,而隔离阀打开,并且馈送级电动机移动以加压流体。接下来,可以出现前涌段,其中,流体行进通过过滤器直至分发室接着清除出清除阀(步骤225)。清除至排气段可以再次出现(步骤230)。起动例程可以在需要时或希望时重复。
虽然前述提供了示例起动例程,但该起动例程可以涉及任何数量的不同步骤,并且确保过滤器隔膜完全变湿。可以在起动例程中使用的段序列的一些非限制例包括但不限于:i)填充段、排气段;ii)填充段、清除至排气段、过滤段、排气段、清除至入口段;iii)分发段、填充段、过滤段以及清除段。可以在需要时或希望时,在起动例程中使用附加或另选段。
图6A是具有泵主体300和多支管325的泵25的一个实施例的图解表示图。泵25可以包括分发模块305,其至少部分地限定填充室、分发室以及上结合图2描述的流动通道的多个部分。分发模块305根据一个实施例,可以是由PTFE、改性PTFE或其它材料制成的单一模块。因为这些材料不与许多加工流体起反应或者可最低限度地起反应,所以使用这些材料允许以最低限度的附加硬件将流动通道和泵室直接机械加工到分发模块305中。
分发模块305可以包括各种外部入口和出口,例如包括:接收流体的入口310,和在分发段期间分发流体的分发出口315。在图6A的示例中,由于被清除流体可以路由回至馈送室,因而分发模块305不包括外部清除出口。在其它实施例中,然而,可以外部地清除流体。
阀板320可以与分发模块305协作地工作,以形成泵25的一些或全部阀。下面,在图8中例示了阀板的一个实施例。在其它实施例中,一些或全部阀可以是外部的。
盖子322向泵25的各个组件(包括馈送电动机175和分发电动机200)提供保护。盖子322还可以向活塞、泵控制器20、流体管路、气动管路以及其它组件提供保护。
多支管325提供针对过滤器35的连接。过滤器35可以利用任何合适的机构连接至多支管325,包括但不限于下述过滤器连接:2005年12月2日由发明人Gashgaee提交的、题名为“O-Ring-Less Low Profile Fitting and Assembly Thereof”的美国临时专利申请No.60/741667中描述的过滤器连接;和2006年11月20日由发明人Gashgaee提交的、题名为“O-RING-LESS LOW PROFILE FITTINGS AND FITTING ASSEMBLIES”的美国专利申请No.11/602513,现在在2009年6月16日公布为专利No.7,547049中所描述的过滤器连接;其通过引用全部并入于此。多支管325中的流动通道可以内部或外部地连接至分发模块305中的流动通道。多支管325可以包括集成标签读取器50,其被定位成读取过滤器上的过滤器信息标签。
根据一个实施例,来自分发模块305的出口330可以与多支管325上的入口335流体连通,而来自多支管325的出口340可以与分发模块305上的入口345流体连通,以完成针对连接至多支管325的过滤器35的流径。在图6A的实施例中,多支管325可以包括可以与外部排气阀流体连通的排气出口350。多支管325和泵主体300可以包括连接部355和360,以允许集成标签读取器50电连接至泵控制器。
泵25还可以包括可以连接至真空装置和压力源的入口365和出口370。根据一个实施例,选择施加真空或压力可以被用于打开和闭合由阀板320限定的各个阀。图6B例示了泵25可以包括用于各种连通链路和动力的连接部。根据一个实施例,连接部375可以被设置成使得泵25可以钩连成用于泵的现有电气轨道。
图7是连接至多支管325的过滤器35的一个实施例的图解表示图。多支管325可以包括用于过滤器的快速改变机构377,以允许过滤器容易地连接至多支管325或从其去除。可以使用本领域已知或开发的、用于将过滤器35连接至多支管325或者以其它方式将过滤器35连接至泵的任何快速改变机构或其它机构。用于过滤器的连接机构的一个实施例在2008年11月3日由Towle等人提交的、题名为“O-Ringless Seal Couplings”的PCT专利申请No.US2008/082289(公报No.2009/059324)中进行了描述,其要求保护美国临时申请No.60/985103的优先权,其通过引用全部并入于此。根据一个实施例,过滤器35可以包括碗状部380和端头387。碗状部380可以被成形成容纳过滤器座,并且端头387可以被成形成容纳多支管325的快速改变机构。标签读取器50被定位成读取附着至过滤器35或嵌入其中的过滤器信息标签。
图8例示了过滤器35的一个实施例。端头387可以包括:出口端口389、排气端口390以及入口端口392,它们被尺寸化并成形成补充多支管325上的端口。O形环可以设置在出口端口389、排气端口390以及入口端口392中,以防止泄露。根据一个实施例,端头387可以包括过滤器信息标签40。例如,RFID、蓝牙(bluetooth)、IR、其它无线协议或其它标识装置可以放置在过滤器35上。标识装置可以包括有关过滤器的制造商信息(过滤器类型、保留级别(retention rating)、用于运行过滤器的协议(按示例的方式,但不限于配方变量、参数、方程、用于利用过滤器操作的曲线)、针对过滤器压力降落特征的起动/填充序列、流率、孔隙尺寸或其它信息)。端头387可以被成形并尺寸化,以允许***到泵的快速改变(changeout)装置中。为容易安装,端头387可以包括手柄部分395,该手柄部分包括容易被自动机械或人抓住的特征部。虽然过滤器信息标签40被例示为附着至过滤器35的边侧,但过滤器信息标签40也可以按其它方式耦接至过滤器35。例如,过滤器信息标签40可以压配合在碗状部380或端头387的标签容纳部中。在其它实施例中,过滤器信息标签40可以嵌入在形成端头387或碗状部387的材料中。过滤器信息标签可以以其它方式耦接至过滤器35。
图9是包括分发模块305和阀板320以形成阀400的阀装配件的一个实施例的图解表示图。阀板320可以向包括入口阀125、隔离阀130、隔板阀135以及清除阀140中的一个或多个的阀***提供阀外壳。根据一个实施例,每一个阀都至少部分地集成到阀板320中,并且是隔膜阀,该隔膜阀根据是否向对应隔膜施加压力或真空而打开或闭合。在其它实施例中,这些阀中的一些可以外部于分发模块305、在附加阀板中设置或者以其它方式设置。
根据一个实施例,将材料板405夹在阀板320与分发模块305之间,以形成各个阀的隔膜。根据一个实施例,材料305可以是PTFE片或其柔性材料。阀板320形成材料405在其中可以移动的阀座410。根据一个实施例,阀座410具有其中材料405可以塑造轮廓而不留死角的形状。O形环415可以设置在环绕每一个阀的边缘的环状凹槽中。O形环415可以设置在阀板侧、分发模块侧上,或者O形环可以设置在两侧上。流体可以通过流体流动通道425和430流入和流出阀400。流动通道425和430可以在需要时或希望时放置并尺寸化。根据一个实施例,阀板320还可以被设置成,缩减阀的滞留容量、消除因真空波动而造成的扰乱变化、缩减真空需求以及缩减阀隔膜上的应变。示例发构造在以下专利中进行了描述:2006年11月20日由发明人Cedrone等人提交的、题名为“SYSTEM AND METHOD FOR A PUMP WITH REDUCEDFORM FACTOR”的美国专利申请No.11/602464;和2008年7月14日由发明人Cedrone等人提交的、题名为“METHOD AND SYSTEM FOR HIGH VISCOSITY PUMP”的美国专利申请No.12/218325;其通过引用全部并入于此。
阀板320可以包括针对每一个阀的阀控制入口435,以向对应隔膜或隔膜的一部分施加压力或真空。通过向入口选择施加压力或真空,对应阀打开或闭合,以使限制或允许流体从入口425向出口430流动。根据一个实施例,施加压力或真空可以通过电磁阀440来调节,该电磁阀针对来自压力源450的压力或者来自真空源455的真空打开阀控制供应管路445。
图10是泵25和针对其它组件的连接部的一个实施例的图解表示图。在图10的实施例中,泵25包括可以连接至泵轨道460的板上泵控制器。泵轨道460可以允许将多个泵安装在紧凑空间中,并且可以提供针对I/O信号的连接部(以465表示)、串行通信部(以470表示)以及电气连接部(以475表示)。轨道460还可以向被用于打开和闭合阀的压力/真空提供连接部(以480表示)。
泵25的入口可以连接至流体供应部,如抗蚀剂瓶或其它流体供应部15。泵25的输出部可以连接至泵25的出口与晶片之间的截止和反吸阀。泵25可以包括处于多支管325与泵25的其它部分之间的内部或外部流体连接部(以495表示)。另外,泵25可以包括处于多支管325的标签读取器与泵25的泵控制器或其它电子组件之间的电气连接部(以497表示)。
图11是用于控制泵25的操作的***的一个实施例的图解表示图。泵控制器20可以是板上泵25或者经由用于传送控制信号、数据或其它信息的一个或多个通信链路连接至泵25。泵控制器20可以被实现为板上PCB板、远程控制器或者按其它合适方式实现。另外,泵控制器20的功能可以分布在板上控制器与另一控制器之间。
根据一个实施例,泵控制器20可以包括计算机可读介质55(例如,RAM、ROM、闪速存储器、光盘、磁性驱动器或其它计算机可读介质),其包含用于控制多级泵20的操作的一组控制指令60。处理器65(例如,CPU、ASIC、RISC、DSP或其它处理器)可以执行这些指令。处理器的一个示例是Texas Instruments TMS320F2812PGFA16-bit DSP(Texas Instrumentsis Dallas,TX based ompany)。在另一实施例中,指令60可以实现为硬件。另外,泵控制器20可以包括本领域已知的多种计算机组件,包括:附加处理器、存储器、接口、显示装置、***设备或者为简化起见而未示出的其它计算机组件。
一组接口70可以允许泵控制器20向电动机、阀或其它组件传送串行、并行或模拟数据/信号,并且接收来自泵25的传感器、标签读取器50、控制器或其它组件的数据/信号。例如,泵控制器20可以向馈送电动机175(参见图2)、分发电动机200(参见图2)、用于控制电磁阀840的螺线管(参见图9)以及泵25的其它组件发送信号。泵控制器20可以生成信号以直接控制多个组件或者可以生成通过阀、电动机或其它控制器解释以操作泵25的组件的信号。泵控制器20还可以接收来自传感器(如压力传感器112(参见图2))、标签读取器50以及泵25的其它组件的信号。接口70可以在需要时包括模拟和数字接口,并且在接口70与处理器65之间可以存在附加组件,如但不限于,模拟数字转换器、过滤器或其它信号处理组件。
根据一个实施例,泵控制器20还可以包括用于连接至泵管理***的接口80。接口80可以允许泵控制器20连接至网络(例如,以太网、无线网络、全球区域网络、DeviceNet网络或本领域已知或开发的其它网络)、总线(例如,SCSI总线)或其它通信链路。如下列专利中描述的I/O接口连接器:2005年12月2日由发明人Cedrone等人提交的、题名为“I/OInterface System and Method for a Pump”的美国临时专利申请No.60/741657;2006年11月20日由发明人Cedrone等人提交的、题名为“I/O SYSTEMS,METHODS AND DEVICES FORINTERFACING A PUMP CONTROLLER”的美国专利申请No.11/602449(其通过引用全部并入于此)可以被用于将泵控制器20连接至多种接口和制造工具。
泵控制器20可以连接至泵管理***85,其可以向泵控制器20提供有关泵25的操作的指令。泵管理***85可以是连接至泵控制器20以向泵控制器20提供分发配方或其它信息的计算机或计算机网络。泵管理***85还可以收集来自泵控制器20的可操作数据。泵管理***85可以连接至多个泵以提供集中控制和数据收集。根据一个实施例,泵管理***85可以保持从许多泵收集的可操作数据97的数据储存库90。数据储存库可以是数据库、文件***或其它数据存储***。
在操作中,泵控制器200可以接收来自标签读取器50的过滤器信息45。泵控制器20可以执行指令60,以分析信息45并确定是否或怎样操作泵25。根据一个实施例,泵控制器20可以向信息45应用规则。在一个示例中,泵控制器20可以比较信息45与存储信息95,以确定是否操作泵。通过示例的方式,但非限制地,这可以包括比较零件号与希望零件号,以确定过滤器是否可接受与泵25一起使用。另外,如果过滤器可接受,则泵控制器20可以基于过滤器信息45来确定怎样操作泵25。在另一实施例中,泵控制器20可以向泵管理***85发送过滤器信息45,并且泵管理***85可以应用规则以确定是否或怎样操作泵25。
存储信息95可以通过用户接口、通过泵管理***85或者可以以其它方式设置的其它装置提供给泵控制器20。在一个实施例中,泵控制器200可以存储来自特定过滤器的信息95。例如,如果已知与泵25一起使用的第一过滤器是合适的过滤器,则泵控制器20可以将来自该过滤器的过滤器信息45存储为存储信息95。
泵控制器20还可以存储可操作数据97,并将该可操作数据97与过滤器信息45相关联。在另一实施例中,泵控制器20可以向泵管理***85转发可操作数据97,并且泵管理***85可以将该可操作数据97与过滤器信息45相关联。
对可操作数据与各种过滤器特征的分析可以被用于启发式地更新用于确定是否和怎样操作泵25的规则。例如,泵控制器20可以初始地应用一规则,以使具有特定零件号的过滤器可接受。然而,如果随着时间的过去,发现具有该零件号和隔膜起泡点的第一范围的过滤器获得良好分发涂层,而具有相同零件号和隔膜起泡点的第二范围的过滤器获得数量增加的低劣分发涂层,则泵控制器20或泵管理***85可以更新这些规则,使得即使具有处于隔膜起泡点的第二范围中的隔膜起泡点的过滤器具有可接受零件号,泵控制器20也不与该过滤器操作。由此,对数据的分析可以被用于更新泵控制器20或泵管理***85的判定。
根据一个实施例,可以将过滤器信息用于最优化泵25的操作。泵控制器20和/或泵管理***85可以保持操作例程库100。当接收到过滤器信息45时,可以将过滤器信息和用于分发的其它参数用于确定合适的操作例程。例如,最佳操作例程可以针对不同过滤器和流体经验性地建立,并存储在库100中。利用运动粘度、流体类型或其它参数以及过滤器信息45中的至少一些,泵控制器20或泵管理***85可以接入库100,并确定泵25的最佳操作。库100包括完整分发周期库,或者分发周期中的、可以可选地组合成完整分发周期的最佳段的库。库100还可以包括用于起动过滤器或其它泵操作的例程。
图12是用于基于过滤器信息来控制泵的操作的方法的一个实施例的图解表示图。图12中的各个加工步骤可以通过泵控制器20、泵管理***85或其它装置来执行。当将新过滤器连接至泵时(步骤505),电子标签读取器可以从标签读取一组过滤器信息(步骤510)。可以将一组规则应用至过滤器信息,以确定过滤器是否合适(步骤515)。用于确定过滤器是否合适的规则可以取决于过滤器信息和其它因素、如加工流体、环境特性、所需周期时间或其它因素。例如,可以应用一规则,以使如果加工流体具有确定粘度,则如果过滤器具有特定零件号或确定零件号和起泡点,则该过滤器被认识合适。由此,所应用规则可以取决于多条过滤器信息和其它信息。如果过滤器不是合适的过滤器,则可以采取对应动作(步骤520)。否则,可以继续进行泵的操作(步骤525)。
根据一个实施例,过滤器零件号可以与希望或可允许零件号比较,以确定零件号是否匹配(步骤515)。如果零件号匹配,则可以继续进行泵的操作(步骤525)。如果零件号不匹配,则泵控制器(或其它装置)可以确定不应继续进行泵的操作(步骤520)。可以生成警报或通知,以向泵管理***或人类用户通知连接至泵的过滤器不合适。图12的步骤可以在需要时或希望时重复。
如果过滤器适于分发操作,则过滤器信息可以被用于确定泵的操作例程。这可以包括确定起动例程、分发周期、起动例程或分发周期的特定段,或者以其它方式确定怎样操作泵。根据一个实施例,可以确定用于过滤器和/流体/流体特性组合的最佳起动例程和分发周期。
一般来说,希望最小化用于起动和运行一分发周期所需的时间量。分发周期和起动例程中的段的类型、数量以及长度可以取决于所使用过滤器的特征、分发流体以及其它因素。实施例可以包括指定最佳操作例程的操作例程库。这些操作例程可以包括可以在更大周期中使用的多个段或单一段。由此,所述库中的操作例程可以指定泵的全部操作,或者可以仅指定泵周期的一部分。该泵可以根据所指定操作例程来操作。
图13是用于最优化泵的起动的方法的一个实施例的图解表示图。图13中的各个加工步骤可以通过泵控制器20、泵管理***85或其它装置来执行。搜集过滤器信息和流体特性(步骤605和607)。这例如可以包括接收存储在过滤器上的电子可读标签上的过滤器信息。可以收集的附加信息可以包括配方信息、希望周期时间或其它信息。利用过滤器信息、流体信息和/或其它信息,可以从起动例程库中选择一起动例程(步骤610)。通过示例的方式,但非限制地,所述库可以指定,针对用于IPA的10nm对称UPE过滤器,应当使用图5的起动例程,并且最佳排气时间周期计数为5,最佳清除至排气时间周期计数为7,该过滤器应当被加压至20psi达5分钟,并且在加压之后,前涌操作应当出现,跟着是清除至排气。最佳起动例程还可以包括重复该例程或该例程中的特定步骤多次。
如果泵管理***85确定泵的最佳起动例程,则泵管理***85可以提供泵控制器20必需的信息,以实现该起动例程。在接收到用于该起动例程的信息之后(或者在泵控制器20确定来自所述库的该起动例程之后),泵控制器20可以实现该起动例程(步骤615)。
可以监测(步骤620)并调节(步骤625)该起动例程。根据一个实施例,该起动例程可以在运行中通过泵控制器20调节。例如,针对特定过滤器零件号的起动例程可以指定在起动期间使用的最大压力。然而,过滤器装置流量可以指示单个过滤器可以按更高压力操作。泵控制器20可以调节起动例程以使用更高压力,并因此,按更短时间起动。在另一个示例中,泵控制器20可以确定起动例程期间的压力超出应当在起动例程期间期望的压力。泵控制器20可以示出针对该过滤器的起动例程。泵控制器20可以基于监测泵的操作和过滤器信息而以其它方式调节泵的操作。起动可以继续直到起动完成或者以其它方式终止为止(步骤630)。图13的步骤可以在需要时或希望时重复。
还可以最优化分发周期或泵分发周期的特定段。图14是用于最优化泵的分发周期的方法的一个实施例的图解表示图。图14中的各个加工步骤可以通过泵控制器20、泵管理***85或其它装置来执行。根据一个实施例,搜集过滤器信息和流体特性(步骤705和707)。这例如可以包括接收存储在过滤器上的电子可读标签上的过滤器信息。可以收集的其它信息可以包括配方信息、周期时间或其它信息。利用过滤器信息、流体信息和/或其它信息,可以从操作例程库确定合适的分发周期或分发周期的多个部分(步骤710)。通过示例的方式,但非限制地,所述库可以指定包括过滤段和排气段的最佳过滤例程。假定流体特性、过滤器信息或其它信息,可以确定针对分发周期的最佳过滤和排气定时。由此,例如,针对10nm对称UPE过滤器和IPA,所述库可以指定,泵应当使用其默认排气段,过滤速率应当为0.3mL/s,过滤压力应当为6psi,以及过滤段应当持续40秒钟。在步骤715,泵控制器20可以利用指定的过滤例程来实现分发周期。
根据一个实施例,可以监测分发周期(步骤720)。基于过滤器信息和监测,该分发周期可以在运行中通过泵控制器20调节(步骤725)。例如,如果在分发周期期间的压力开始超出可基于过滤器的装置流量允许的压力,则这可以指示该过滤器在开始堵塞。泵控制器20可以调节分发周期以降低由泵施加的压力。泵控制器20可以基于监测泵的操作和过滤器信息而以其它方式调节泵的操作。分发周期可以继续,直到该分发周期完成(步骤730)或者以其它方式终止为止。图14的步骤可以在需要时或希望时重复。
除了影响泵的操作以外,泵信息还可以被用于改进过滤器设计。图15是标识希望过滤器的方法的一个实施例的流程图。图15的步骤可以通过处理器执行计算机可读代码来实现。根据一个实施例,图15的各个步骤可以通过泵控制器20、泵管理***85或其它***来实现。
如上所述,可操作数据可以通过泵收集,可以存储在数据储存库中(步骤805)。另外,可以收集过滤器信息(步骤810)。该可操作数据可以与过滤器信息相关联(步骤815)。可以分析该数据(步骤820),并且可以标识获得了良好或低劣分发的过滤器的特征(步骤825)。例如,如果在使用特定批次的过滤器时获得多个低劣分发,则可以将该批次标识为低劣。如果在使用特定量的具有起泡点的过滤器时出现低劣分发,则可以将具有该起泡点的过滤器标识为低劣。该信息可以被用于更新应用至过滤器信息的规则(步骤830)。该信息还可以被提供给过滤器制造商,以使过滤器制造商可以改进过滤器设计。图15的步骤可以在需要时或希望时重复。
图16是可以横跨多个计算机分布或者在单一计算机上运行的一组代码900的一个实施例的图解表示图。代码900可以包括过滤器信息接收代码905,其可以通过通信链路、经由用户接口从标签读取器接收过滤器信息,或者以其它方式接收过滤器信息。类似地,代码900可以包括流体信息接收代码910,其可以通过通信链路、经由用户接口接收流体信息,或者以其它方式接收流体信息。代码900还可以包括可操作数据接收代码915,其可以从泵中的传感器接收可操作数据、通过通信链路从泵接收可操作数据,或者以其它方式接收可操作数据。规则应用代码920可以向过滤器信息应用规则,以确定是否或怎样操作泵。泵操作代码925可以基于输出的规则应用代码920操作泵,或者采取其它指定动作。
起动例程确定代码930可以接入起动例程库,以确定用于泵的合适起动例程。泵操作代码935可以根据由代码930确定的起动例程来操作泵。起动监测代码940可以在起动期间监测泵的可操作数据,以确定是否调节泵的操作,并且起动调节代码945可以调节起动例程。泵操作代码935可以根据由起动调节代码945确定的所调节起动例程来操作泵。
分发段确定代码950可以接入分发周期库或分发周期的部分,以确定在起动期间怎样操作泵。泵操作代码955可以根据由代码950确定的分发周期或分发周期段来操作泵。分发周期监测代码955可以在分发周期期间监测泵的可操作数据,以确定是否调节泵的操作,并且分发周期调节代码960可以调节分发周期。泵操作代码965可以根据由分发周期调节代码965确定的所调节分发周期或分发周期段来操作泵。
数据关联代码970可以关联可操作数据与过滤器数据。数据分析代码可以分析所关联数据,以标识对应于良好和低劣分发的过滤器特征。规则调节代码980可以基于代码975的数据分析结果,调节由规则应用代码920应用的规则。
应注意到,图16中例示的代码模块可以被实现为单块程序、任何数量的分离程序、一个程序的功能、多个程序的功能,或者根据合适软件架构和编程语言而以其它方式实现。代码900的功能可以在多个装置之间分布,包括但不限于,泵管理***和泵控制器。另外,所有或一些功能可以被实现为硬件或固件。
图17是提供用于泵的示例数据的图形。图17的测试利用Impact 2版本210nm,对称过滤器(InteliGen是Engtegris,Inc.of Chaska,Minn的商标),以Entegris IntelliGen迷你两级分发泵来运行。通过PMS SO2颗粒计数器来分发化学乳酸乙酯。x轴是时间,而y轴是颗粒测试。通过经验性测试,针对过滤器和流体的组合确定最佳起动例程。最佳起动例程用线1000表示,默认泵起动例程用线1005表示,而标准“快速填充”起动例程用线1010表示。如可以从图17的图形看出,最佳起动例程导致过滤器按更短时间量起动。通过在库中保持针对其它过滤器/流体组合的最佳起动例程库,泵控制器或其它装置可以自动地确定最佳起动例程以使用,由此缩减用于起动所需时间。
虽然以在流体分发泵中使用的过滤器为背景对各个实施例进行了描述,但本公开不限于这种实施例。例如,可以将过滤器信息标签用于存储有关任何类型过滤器的过滤器信息。过滤器信息可以通过标签读取器读取,并且被用于进行是否或怎样操作使用该过滤器的装置或***的确定。例如,过滤器信息标签可以被用于气体净化工序或其它应用中的过滤器。
如在此使用的,术语“包括(comprise)”、“包括(comprising)”、“包括(include)”、“包括(including)”、“具有(has)”、“具有(having)”或其任何其它变形都旨在覆盖非排它性包含。例如,包括列表部件的过程、产品、物品、或装置不必仅受限于那些部件,而是可以包括未明确列出或固有于这种过程、物品,或装置的其它部件。而且,除非相反地明确规定,“或(or)”指包容性或,而非指排它性或。例如,条件A或B根据以下中的任一个来满足:A为真(或存在)而B为假(或不存在),A为假(或不存在)而B为真(或存在),以及A和B都为真(或存在)。
另外,在此给出的任何示例或例示无论如何都不被视为对随其一起利用的任何术语或多个术语的限定、限制,或表达定义。相反的是,这些示例或例示应被视为参照一个特定实施例描述,并且仅被视为例示性的。本领域普通技术人员应当清楚,随这些示例或例示一起利用的任何术语或多个术语涵盖可以或未能随其一起给出的或者出现于说明书中的其它地方的其它实施例或实现及其修改例,并且所有这种实施例都被包括在该术语和这些术语的范围内。指定这种非限制例和例示的语言包括但不限于:“例如(for example)”、“例如(for instance)”、“例如(e.g.)”、“在一个实施例中”等。
本领域技术人员鉴于该描述将清楚本公开的各个方面的进一步修改例和另选实施例。因此,本描述仅被视为例示性的,并且出于教导本领域技术人员的目的,是执行本公开的一般方式。例如,虽然前述主要使用多级泵的示例,但在此描述的实施例还可以与单级泵或其它泵一起使用。应当明白,采取在此示出和描述的公开的形式,作为当前优选的实施例。部件和材料可以用在此例示和描述的那些来替代,可以逆转多个部分和过程,并且可以独立地利用本公开的确定特征,全部如在具有本公开的这种描述的益处之后本领域技术人员所应当清楚的。在不脱离如下列权利要求书所述的本公开的精神和范围的情况下,可以对在此描述的部件进行改变。
Claims (10)
1.一种泵,所述泵包括:
一个或多个电动机,所述一个或多个电动机用于将流体汲取到泵的入口中并从所述泵的出口分发加工流体;
可去除过滤器,所述可去除过滤器设置在泵入口与泵出口之间的流体流径中;
泵控制器,所述泵控制器被设置成:
接收关于可去除过滤器配置的过滤器信息;
接收加工流体信息;
接入存储在非暂时的计算机可读介质上的用于不同过滤器和流体的操作例程库,其中所述操作例程库包括一组不同的操作例程,所述组不同的操作例程中的每一个操作例程包括指定用于在所述泵中移动加工流体的阀和电动机定时的相应段序列,每一个不同的操作例程与过滤器配置和流体参数的不同组合相关联;
基于所述过滤器信息和所述加工流体信息从所述操作例程库中选择操作例程,该选择是在并入所选择操作例程的相应段序列的循环开始之前进行的;以及
根据所选择操作例程操作所述泵。
2.根据权利要求1所述的泵,其中,所述可去除过滤器具有存储所述过滤器信息的电子标签,并且所述泵还包括电子标签读取器,所述电子标签读取器被定位并配置成从所述电子标签读取所述过滤器信息。
3.根据权利要求2所述的泵,其中,所述电子标签读取器包括RFID读取器。
4.根据权利要求2所述的泵,其中,所述过滤器信息包括零件号。
5.根据权利要求2所述的泵,其中,所述过滤器信息包括专用于所述可去除过滤器的信息。
6.根据权利要求1所述的泵,其中,所选择操作例程包括针对所述可去除过滤器的起动例程。
7.根据权利要求6所述的泵,其中,所述泵控制器还被配置成:在起动例程期间监测所述泵的操作数据;将所述操作数据与所述过滤器信息相关;以及基于包括在所述过滤器信息和所述操作数据中的、专用于所述可去除过滤器的信息从所选择操作例程来调节所述泵的操作。
8.根据权利要求1所述的泵,其中,所选择操作例程包括用于所述可去除过滤器的过滤例程。
9.根据权利要求8所述的泵,其中,所述泵控制器还被配置成:在过滤例程期间监测所述泵的操作数据;将所述操作数据与所述过滤器信息相关;并且基于包括在所述过滤器信息和所述操作数据中的、专用于所述可去除过滤器的信息从所选择操作例程来调节所述泵的操作。
10.根据权利要求1所述的泵,其中,所述操作例程库包括与第一过滤器配置和第一加工流体参数相关的第一操作例程、和与第二过滤器配置和所述第一加工流体参数相关的第二操作例程,其中所述第二操作例程包括与所述第一操作例程不同数目的段;并且所述控制器还被配置为:
从所述加工流体信息确定所述加工流体与所述第一加工流体参数相关;
如果所述可去除过滤器配置是所述第一过滤器配置,选择所述第一操作例程并根据所述第一操作例程操作所述泵;
如果所述可去除过滤器配置是所述第二过滤器配置,选择所述第二操作例程并根据所述第二操作例程操作所述泵。
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