CN105467511B - 一种Bi/Er或Bi/Er/Al共掺石英光纤及其制备方法 - Google Patents

一种Bi/Er或Bi/Er/Al共掺石英光纤及其制备方法 Download PDF

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Abstract

本发明涉及一种基于原子层沉积技术(ALD)的具有超宽带、高增益特性的Bi/Er或Bi/Er/Al共掺石英光纤及其制备方法,属光纤技术领域。它由纤芯,内包层和包层组成,其特征在于所述纤芯由GeO2材料构成,内包层由Bi/Er或Bi/Er/Al共掺材料构成,包层由纯石英构成,两种光纤结构如图1(a)所示,纤芯直径Φ=5~20μm,内包层直径Φ=8~50μm,包层直径Φ=40~400μm;如图1(b)所示,纤芯直径Φ=5~80μm,包层直径Φ=60~400μm。利用ALD技术交替沉积不同掺杂离子,沉积浓度为0.01‑10 mol%。本发明的光纤结构简单、合理,具有均匀分布与掺杂浓度可控等优点。

Description

一种Bi/Er或Bi/Er/Al共掺石英光纤及其制备方法
技术领域
本发明涉及一种Bi/Er或Bi/Er/Al共掺石英光纤及其制备方法,属于光纤技术领域。
背景技术
由于通信***的快速发展,1.55 μm通信窗口已不能满足远距离、大容量通信的需求,全光通信势在必行。目前,掺稀土元素(例如铒、铥、镱等)的光纤放大器,由于其具有带宽宽、增益高等特点,且由掺稀土元素(钕、镨、铥、铒)光纤产生的宽带荧光光源具有输出光谱稳定、受环境影响小、输出功率高等优点一直是人们研究的热点,尤其是掺铒光纤早已普遍商用。然而,掺铒光纤放大器增益带宽只有35 nm,仅覆盖石英单模光纤低损耗传输窗口的一部分,严重限制了石英光纤固有的容纳波长信道数。
铋离子由于其600-900 nm,1150-1800 nm范围内的宽带荧光特性,是宽带光源的理想材料。且光谱稳定性好、谱线宽、功率高的光源,在光纤传感***、光纤陀螺仪等领域,具有非常重要的应用价值。由于稀土元素产生的荧光带宽很难超过100 nm,那么具有更宽荧光带宽的铋材料则更具优势。因此,将铋元素与铒元素共掺入光纤中,可以实现从600-1600 nm超宽带荧光放大。
原子层沉积(ALD)技术是一种化学气相沉积技术,它是将掺杂源的气相前驱体脉冲交替引入到加热反应器中,然后依次进行化学吸附过程沉积于基底表面,直至表面饱和时自动终止。其优点主要体现在:可以精确控制薄膜厚度(原子层尺度);由于前驱体是饱和化学吸附,可保证生成保形、均匀、大面积的薄膜;可广泛适用于各种基质材料;对温度的要求不高等。由于其掺杂具有高均匀、高浓度、多元性等特性,应用到Bi/Er共掺石英光纤制备过程中,就可以制备出均一性好、分散性高、掺杂浓度高的Bi/Er共掺石英光纤。
不仅如此,在1150-1800 nm范围内,没有光纤激光器存在,而这个波长范围的光纤激光器在光通信***、医学、天文学方面占有重要地位。光纤激光器主要由于光束质量好,斜率效率高等优点受到青睐。因此,从掺杂技术入手,深入探索新型掺杂光纤的制备技术,制备均一性好、分散性高、Bi/Er共掺石英光纤,具有广泛的研究意义和普遍的应用价值。
发明内容
本发明的目的在于根据原子层沉积技术的优势,将Bi2O3和Er2O3纳米材料与光纤制备相结合,提供一种Bi/Er或Bi/Er/Al共掺石英光纤及其制备方法。该光纤具有增益谱宽、放大效率高、结构简单、价位低廉,易于产业化生产等特点,可用于制作激光器、光放大器、传感器、宽带光源及光纤的高非线性效应特性等。
为达到上述目的,本发明采用下述技术方案:
一种Bi/Er或Bi/Er/Al共掺石英光纤,包括纤芯、内包层和包层,所述纤芯是由掺杂高折射率GeO2的石英材料构成,所述内包层是Bi/Er或Bi/Er/Al离子掺杂材料构成,所述包层是由纯石英材料构成,所述内包层包裹纤芯并位于包层的中部。
所述纤芯与内包层整合为Bi/Er/Ge或Bi/Er/Al/Ge共掺的芯层结构。
所述纤芯掺杂离子为铋离子(Bi0,Bi+ , Bi3+, Bi5+)、铒离子Er3+或铝离子Al3+与提高折射率分布的二氧化锗。
所述内包层是利用原子层沉积技术交替沉积适量Bi/Er或Bi/Er/Al共掺材料,沉积厚度为10-2000 nm。
所述纤芯直径Dcore=Φ5~20μm,内包层直径Dinner cladding=Φ8~50μm,包层直径Dcladding=Φ40~400μm。
所述芯层直径D´core=Φ5~80μm,包层直径Dcladding=Φ60~400μm,芯层与包层折射率差为 0.3%-5.5%之间,且包层形状为圆形、四边形、六边形或八边形。
光纤的吸收峰分别为500±40,700±20,800±20,1000±40与1550±50nm;荧光光谱范围:600-900,1000-1400与1450-1800nm;增益范围在1000-1380与1400-1800nm。
一种Bi/Er或Bi/Er/Al共掺石英光纤的制备方法,步骤如下:
1)利用MCVD沉积二氧化硅疏松层,并将其高温处理半玻璃化状态,为包层;
2)然后,利用ALD将氧化铋与氧化铒或氧化铋、氧化铒与氧化铝材料均匀沉积在包层表面,为内包层;
3)沉积二氧化锗,浓度控制在1-15mol%,且将掺有二氧化锗的疏松层半玻璃化,为芯层;
4)通过重复步骤2)的循环周期来调节氧化铋、氧化铒与氧化铝的掺杂浓度与掺杂粒子分布情况;
5)采用MCVD高温缩棒得到光纤预制棒,最后,将掺杂光纤预制棒在拉丝塔上进行光纤拉丝。
铋源前驱体为Bis (2, 2, 6, 6-tetra-methyl-3, 5-heptanedionato) Bismuth(III) (Bi(thd)3) (thd = 2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedione),三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)铋(III) 或 (2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)铋 或 三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酸)铋;或 Bi(N(SiMe3)2)3(Me: CH3),三三甲基硅胺基铋;铒源前驱体为 Er(thd)3,三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)铒;铝源前驱体为 Al (CH3)3 (TMA),三甲基铝;氧源前驱体为臭氧或去离子水。
氧化铝沉积100-3000循环周期,氧化铋颗粒沉积100-2000循环周期,沉积温度范围200-300℃,前驱体脉冲时10-1000 s、热源温度为100-450℃、反应温度为120-400℃与气体流速控制在20-600 sccm;Er2O3颗粒100-3000个循环周期,沉积温度范围200-500℃,交替沉积Bi2O3和Er2O3共150-4000个循环周期。
利用原子层沉积技术精确控制前驱体脉冲时间、热源温度、反应温度与气体流速等工艺参数沉积掺杂氧化铋、氧化铒或氧化铝氧化物,或其氧化物半导体材料,所述原子层沉积技术的控制参数均采用微沉积为20-2000层,其中每个沉积循环在0.01-0.25 nm;且所述掺杂氧化铋、氧化铒或氧化铝氧化物,或其氧化物半导体材料的摩尔浓度为5 ppm-25mol%。
本发明与现有技术相比较,具有如下显而易见的实质性特点和显著优点:
1、Bi/Er或Bi/Er/Al共掺石英光纤可实现从600-1600 nm 超宽带放大;2、采用原子层沉积技术,均一性好,掺杂浓度高,方便可行,从而得到更高品质的Bi/Er或Bi/Er/Al共掺石英光纤;3、结构简单、价位低廉,易于产业化生产,可用于构建光纤激光器、光放大器、光纤传感,以及高非线性效应特性等。
附图说明
图1是本发明光纤的结构示意图。
图2为本发明实施例的结构示意图。
具体实施方式
本发明的优选实施例结合附图说明如下:
实施例一:
参见图1(a),一种Bi/Er或Bi/Er/Al共掺石英光纤,包括纤芯1、内包层2和包层3,纤芯1是由掺杂少量高折射率的GeO2的二氧化硅疏松层构成,内包层2是Bi/Er或Bi/Er/Al共掺离子材料构成,在石英基底21表面采用原子层沉积技术沉积内包层,内包层的Bi/Er或Bi/Er/Al共掺材料构成。首先沉积Al2O3纳米颗粒100循环周期与Bi2O3纳米颗粒100循环周期,铝源前驱体为三甲基铝Al (CH3)3 (TMA);氧源前驱体为臭氧O3或去离子水H2O,Bi(thd)3是 Bi2O3的气相前驱体材料,沉积温度200℃;然后,沉积Er2O3纳米颗粒100个循环周期,Er(thd)3和O3是用来沉积Er2O3的气相前驱体,沉积温度范围200℃。交替沉积Bi2O3和Er2O3共150个循环周期,根据循环周期调节掺杂离子浓度。然后,在氧化物表面沉积芯层,纤芯由SiO2和GeO2共掺材料构成。然后,踏缩成棒;最后经拉丝搭拉丝,制成Bi/Er或Bi/Er/Al共掺石英光纤。其中,Bi/Er或Bi/Er/Al共掺石英光纤,其特征在于纤芯、内包层,包层直径范围分别为Dcore=Φ5 μm,Dinner cladding=Φ8μm,Dcladding=Φ100 μm。
实施例二
参见图1(a),一种Bi/Er或Bi/Er/Al共掺石英光纤,包括纤芯1、内包层2和包层3,纤芯1是由掺杂少量高折射率的GeO2的二氧化硅疏松层构成,内包层2是Bi/Er或Bi/Er/Al共掺离子材料构成,在石英基底21表面采用原子层沉积技术沉积内包层,内包层的Bi/Er或Bi/Er/Al共掺材料构成。首先沉积Al2O3纳米颗粒1500循环周期与Bi2O3纳米颗粒2000循环周期,铝源前驱体为三甲基铝Al (CH3)3 (TMA);氧源前驱体为臭氧O3或去离子水H2O,Bi(thd)3 是 Bi2O3的气相前驱体材料,沉积温度300℃;然后,沉积Er2O3纳米颗粒100个循环周期,Er(thd)3和O3是用来沉积Er2O3的气相前驱体,沉积温度范围500℃。交替沉积Bi2O3和Er2O3共1500个循环周期,根据循环周期调节掺杂离子浓度。然后,在氧化物表面沉积芯层,纤芯由SiO2和GeO2共掺材料构成。然后,踏缩成棒;最后经拉丝搭拉丝,制成Bi/Er或Bi/Er/Al共掺石英光纤。其中,Bi/Er或Bi/Er/Al共掺石英光纤,其特征在于纤芯、内包层,包层直径范围分别为Dcore=Φ15 μm,Dinner cladding=Φ50μm,Dcladding=Φ130 μm。
实施例三:
参见图1(b),一种Bi/Er或Bi/Er/Al共掺石英光纤,包括芯层和包层3,芯层是由掺杂少量高折射率的GeO2的石英疏松层与Bi/Er或Bi/Er/Al离子共掺材料构成,其中Bi/Er或Bi/Er/Al离子采用原子层沉积技术沉积;所述包层3是由比芯层折射率低的纯石英材料构成。最后踏缩成棒拉丝。其中,Bi/Er或Bi/Er/Al共掺石英光纤,其特征在于纤芯与包层直径范围分别为Dcore=Φ5 μm,Dcladding=Φ125 μm,芯层与包层折射率差为 0.35 %。且包层形状可为常规掺杂石英放大光纤类型。
实施例四:
参见图1(b),一种Bi/Er或Bi/Er/Al共掺石英光纤,包括芯层和包层3,芯层是由掺杂少量高折射率的GeO2的石英疏松层与Bi/Er或Bi/Er/Al离子共掺材料构成,其中Bi/Er或Bi/Er/Al离子采用原子层沉积技术沉积;所述包层3是由比芯层折射率低的纯石英材料构成。最后踏缩成棒拉丝。其中,Bi/Er或Bi/Er/Al共掺石英光纤,其特征在于纤芯与包层直径范围分别为Dcore=Φ10 μm,Dcladding=Φ130 μm,芯层与包层折射率差为 0.5 %。且包层形状可为六边形或八边形的双包层掺杂石英放大光纤。

Claims (5)

1.一种Bi/Er或Bi/Er/Al共掺石英光纤,包括纤芯(1)、内包层(2)和包层(3),其特征在于,所述纤芯(1)是由掺杂高折射率GeO2的石英材料构成,所述内包层(2)是Bi/Er或Bi/Er/Al离子掺杂材料构成,所述包层(3)是由纯石英材料构成,所述内包层(2)包裹纤芯(1)并位于包层(3)的中部;
所述Bi/Er或Bi/Er/Al共掺石英光纤的制备方法,利用原子层沉积技术精确控制前驱体脉冲时间、热源温度、反应温度与气体流速工艺参数沉积掺杂氧化铋、氧化铒或氧化铝,所述原子层沉积技术的控制参数均采用微沉积为20-2000层,其中每个沉积循环在0.01-0.25nm;且所述掺杂氧化铋、氧化铒或氧化铝的摩尔浓度为5ppm-25mol%,步骤如下:
1)利用MCVD沉积二氧化硅疏松层,并将其高温处理半玻璃化状态,为包层(3),
2)然后,利用ALD将氧化铋与氧化铒或氧化铋、氧化铒与氧化铝材料均匀沉积在包层(3)表面,为内包层(2),
3)最后沉积二氧化锗,浓度控制在1-15mol%,且将掺有二氧化锗的疏松层半玻璃化,为纤芯(1),
4)通过重复2)过程的循环周期来调节氧化铋、氧化铒与氧化铝的掺杂浓度与掺杂粒子分布情况,
5)其次,采用MCVD高温缩棒得到光纤预制棒,最后,将掺杂光纤预制棒在拉丝塔上进行光纤拉丝;
所述氧化铝沉积100-3000循环周期,氧化铋颗粒沉积100-2000循环周期,沉积温度范围200-300℃,前驱体脉冲时间10-1000s、热源温度为100-450℃、反应温度为120-400℃、气体流速控制在20-600sccm,Er2O3颗粒100-3000个循环周期,沉积温度范围200-500℃,交替沉积Bi2O3和Er2O3共150-4000个循环周期。
2.根据权利要求1所述的Bi/Er或Bi/Er/Al共掺石英光纤,其特征在于,所述内包层(2)是利用原子层沉积技术交替沉积适量Bi/Er或Bi/Er/Al共掺材料,沉积厚度为10-2000nm。
3.根据权利要求1所述的Bi/Er或Bi/Er/Al共掺石英光纤,其特征在于,所述纤芯(1)直径Dcore=Φ5~20μm,内包层(2)直径Dinnercladding=Φ8~50μm,包层(3)直径Dcladding=Φ40~400μm。
4.根据权利要求1所述的Bi/Er或Bi/Er/Al共掺石英光纤,其特征在于,光纤的吸收峰分别为500±40nm,700±20nm,800±20nm,1000±40nm与1550±50nm;荧光光谱范围:600-900nm,1000-1400nm与1450-1800nm;增益范围在1000-1380nm与1400-1800nm。
5.根据权利要求1所述的Bi/Er或Bi/Er/Al共掺石英光纤,其特征在于,铋源前驱体为Bis(2,2,6,6-tetra-methyl-3,5-heptanedionato)Bismuth(III)(Bi(thd)3)(thd=2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedione),三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)铋(III)或(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)铋或三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酸)铋;或Bi(N(SiMe3)2)3(Me:CH3),三三甲基硅胺基铋;铒源前驱为Er(thd)3,三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)铒;铝源前驱体为Al(CH3)3(TMA),三甲基铝;氧源前驱体为臭氧或去离子水。
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Spectral characteristics of Bi/Er co-doped silica fiber fabricated by atomic layer deposition (ALD);Wenjun Liu 等;《Asia Communications and Photonics Conference》;20151123;第1页第2段至第3页第1段

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CN105467511A (zh) 2016-04-06

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