CN105453710A - 涂敷试验装置、涂敷机及电子元件安装装置 - Google Patents

Abstract

具备形成为光能够透过且上表面平坦地形成的支撑部件(45)。具备在重叠于支撑部件(45)的上表面的状态下被涂敷涂敷液的被涂敷部件(41)。具备从下方向支撑部件(45)照射光的光源(61)。支撑部件(45)具有能够防止带电的性质。即使由于被涂敷部件(41)与支撑部件(45)的摩擦而产生静电，被涂敷部件(41)和支撑部件(45)也不会带电。因此，能够始终以高精度测定以点状涂敷的涂敷液的大小。

Description

涂敷试验装置、涂敷机及电子元件安装装置

技术领域

本发明涉及用于测量涂敷液的涂敷量的涂敷试验装置以及具备该涂敷试验装置的涂敷机、电子元件安装装置。

背景技术

以往，用于向基板安装电子元件的膏状焊料或粘接剂大多从涂敷嘴流出并以点状涂敷于基板。该涂敷嘴配备于涂敷机或电子元件安装装置。涂敷机是指用于利用涂敷嘴专门向基板涂敷膏状焊料或粘接剂的装置。电子元件安装装置是用于向基板安装电子元件的装置。

电子元件安装装置中配备的涂敷嘴设于具有元件吸附用的吸嘴的头部单元。

在涂敷嘴中，膏状焊料或粘接剂等涂敷液从该涂敷嘴的下端以呈半球状溢出的状态朝向基板下降。涂敷液通过涂敷嘴接近基板而附着于基板。即，上述的涂敷装置将涂敷液以点状涂敷于基板。

为了将电子元件准确地安装于基板，需要将上述的涂敷液适量地涂敷于基板。涂敷液的涂敷量能够基于以点状涂敷的涂敷液的大小来推定。作为用于测量所涂敷的涂敷液的大小的以往的装置，例如有专利文献1中记载的涂敷试验装置。

专利文献1中公开的涂敷试验装置具备以点状被涂敷涂敷液的被涂敷部件。利用相机从上方拍摄涂敷在被涂敷部件上的涂敷液并利用通过该拍摄得到的图像数据来测定以点状涂敷的涂敷液的大小。

被涂敷部件使用薄的带状的纸。该纸能够使光透过。由该纸构成的被涂敷部件卷绕成卷状，在被涂敷涂敷液时，由进给机构在平坦的板状的支撑部件上进给预定量。该进给机构将被涂敷部件沿长度方向逐次进给预定长度。

支撑部件配置在照明装置上，并具有在该照明装置的上方支撑被涂敷部件的功能以及使该照明装置的光扩散而向被涂敷部件引导的功能。该支撑部件由塑料形成。照明装置在相机进行拍摄时从下方向支撑部件照射光。相机在照明装置的光向支撑部件照射的状态下拍摄涂敷有涂敷液的被涂敷部件。此时，相机拍摄在明亮的背景中显现为阴影的涂敷液。点状的涂敷液的大小基于由相机拍摄到的图像数据中包含的涂敷液的轮廓来测定。

在专利文献1中记载的涂敷试验装置中，有时不能准确地测定涂敷于被涂敷部件的涂敷液的大小。其理由可认为是因为在进给被涂敷部件时与支撑部件摩擦而产生静电。即，涂敷于被涂敷部件的涂敷液由于静电被排斥，导致涂敷后的涂敷液的形状与通常不同。在该静电的影响下，涂敷液的大小比实际大或小，形状变得不稳定，因此由涂敷试验装置测定到的涂敷液的大小不准确。

为了消除这种不良情况，可考虑由金属等具有导电性的材料形成支撑部件并防止静电的产生。但是，当采用该结构时，照明装置的光被支撑部件遮挡，难以利用相机拍摄涂敷后的涂敷液。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平9-214115号公报

发明内容

本发明要解决的问题

本发明是为了消除这种问题而作出的，其目的是提供能够以高精度测定涂敷后的涂敷液的大小的涂敷试验装置。

用于解决课题的手段

为了实现该目的，本发明的的涂敷试验装置的特征在于，具备：支撑部件，形成为光能够透过且上表面平坦地形成；被涂敷部件，在重叠于上述支撑部件的上表面的状态下被涂敷涂敷液；及光源，从下方向上述支撑部件照射光，上述支撑部件具有能够防止带电的性质。

发明效果

根据本发明，即使由于被涂敷部件与支撑部件的摩擦而产生静电，被涂敷部件和支撑部件也不会带电。因此，向被涂敷部件准确地涂敷涂敷液。另外，由于支撑部件能够使光透过，因此能够在被涂敷部件上的涂敷液成为阴影的状态下由相机进行拍摄。

因此，在本发明涉及的涂敷试验装置中，能够始终以高精度测定以点状涂敷的涂敷液的大小。

附图说明

图1是第一实施方式的涂敷机的俯视图。

图2是第一实施方式的涂敷头的侧视图。图2是在剖开涂敷头的一部分的状态下描绘的。

图3是第一实施方式的点涂台的立体图。图3是在剖开罩的一部分的状态下描绘的。

图4是将点涂台的主要部分放大表示的剖视图。

图5是保持器的分解立体图。

图6是支撑部件的剖视图。

图7是光扩散部件的剖视图。

图8是第二实施方式的支撑部件和光扩散部件的剖视图。

图9是第三实施方式的电子元件安装装置的俯视图。

图10是第三实施方式的电子元件安装装置的主视图。

具体实施方式

(第一实施方式)

以下，利用图1～图7，详细说明本发明涉及的涂敷试验装置的一实施方式。在该实施方式中，对在涂敷机配备本发明涉及的涂敷试验装置的情况的一例进行说明。

图1所示的涂敷机1是在基台2上搭载下述的各种装置而构成的。在该说明书中，在图1中，将左右方向称作X方向，将与该X方向正交的水平方向称作Y方向。另外，将图1中下侧(Y方向上的一端侧)称作装置前侧，将图1中上侧(Y方向上的另一端侧)称作装置后侧。

基台2支撑用于搬运或保持基板3的基板搬运装置4、用于向基板3涂敷涂敷液5(参照图2)的涂敷装置6以及作为本发明涉及的涂敷试验装置的点涂台7等。在本实施方式中，由基台2构成本发明中所说的“基台部”。

基板搬运装置4具备支撑在基台2上的一对输送机4a和设在该输送机4a的附近的基板保持装置(图未示)。输送机4a是将基板3从基台2的X方向上的一端侧(图1中为右端侧)向X方向上的另一端侧输送的装置。基板保持装置使由输送机4a搬运到X方向上的中央部的基板3从输送机4a上升而进行保持。该基板保持装置和输送机4a的动作由配置在基台2的内部的控制装置8控制。在该实施方式中，由输送机4a构成本发明中所说的“搬运部”。

涂敷装置6具备在基台2的上方沿水平方向移动的头部单元11以及设于该头部单元11的涂敷头12(参照图2)等。在此，首先，对支撑并驱动头部单元11的机构进行说明。

如图1所示，在基台2的X方向上的两端部分别设有在输送机4a的上方沿Y方向延伸的固定轨道13。沿X方向延伸的头支撑部件14以沿Y方向移动自如的方式被支撑在这些固定轨道13上。另外，在一固定轨道13设有用于驱动头支撑部件14的Y方向驱动装置15。

Y方向驱动装置15具备：沿Y方向延伸的滚珠丝杠16；驱动该滚珠丝杠16的Y轴伺服马达17；及滚珠丝杠螺母18等，滚珠丝杠螺母18在与滚珠丝杠16螺合的状态下被固定在头支撑部件14上。Y轴伺服马达17的动作由控制装置8控制。

头支撑部件14具备：具有下述的涂敷头12的头部单元11；及用于驱动该头部单元11的X方向驱动装置21。

头部单元11由以向X方向移动自如的方式支撑在上述的头支撑部件14上的框架22以及被支撑在该框架22上的多个元件构成。驱动该头部单元11的X方向驱动装置21具备：沿X方向延伸的滚珠丝杠23；驱动该滚珠丝杠23的X轴伺服马达24；及滚珠丝杠螺母25等，滚珠丝杠螺母25在与滚珠丝杠23螺合的状态下被固定在框架22上。X轴伺服马达24的动作由控制装置8控制。

该头部单元11通过基于X方向驱动装置21的驱动而沿X方向移动，并通过基于Y方向驱动装置15的驱动而与头支撑部件14一起沿Y方向移动。在该实施方式中，由该头部单元11的框架22构成本发明中所说的“移动部”。

如图2所示，支撑在头部单元11的框架22上的多个元件是构成涂敷头12的一部分的涂敷嘴31、使该涂敷嘴31沿上下方向移动的升降装置32以及相机33等。

涂敷头12由涂敷嘴31以及经由导管34与该涂敷嘴31连接的注射器35等构成。

涂敷嘴31是使涂敷液5从下端向下方流出的装置，经由移动支架36以能够沿上下方向移动的方式支撑在头部单元11的框架22上。通过涂敷嘴31相对于框架22下降，从涂敷嘴31的下端出来的涂敷液5被涂敷在基板3的被涂敷位置、下述的点涂台7的被涂敷位置。

注射器35是贮存膏状焊料或粘接剂等涂敷液5的装置，被固定在头部单元11的框架上。膏状焊料用于将电子元件(图未示)的端子安装在基板3上。粘接剂用于将电子元件的封装部分粘接在基板3上。

该注射器35虽然图未示，但是经由切换阀而与供给压缩空气的空气供给源连接。

通过从空气供给源向注射器35内供给加压空气，注射器35内的涂敷液5被从注射器35向导管34压出。并且，该涂敷液5经过导管34被向涂敷嘴31输送，并从涂敷嘴31的下端喷出。

升降装置32通过伺服马达(图未示)的动力而使涂敷嘴31与移动支架36一起沿上下方向移动。该伺服马达的动作和上述的加压装置及切换阀的动作由控制装置8控制。

控制装置8在控制涂敷液的涂敷量时变更切换阀的开闭时期。在增加涂敷量的情况下，延长切换阀开启的时间(注射器35的加压施加)。在减少涂敷量的情况下，缩短切换阀开启的时间。

相机33对头部单元11的下方进行拍摄，并将图像数据发送给控制装置8。该相机33对基板3的识别用标记(图未示)、涂敷在基板3上的涂敷液5以及涂敷在下述的点涂台7的涂敷纸41(参照图2和图3)上的涂敷液5等进行拍摄。由该相机构成本发明中所说的“摄像部”。

如图1所示，点涂台7位于比基板搬运装置4靠装置前侧，并配置在基台2上。该点涂台7的位置从上方观察设置在头部单元11的移动范围内。如图3和图4所示，该实施方式的点涂台7具备箱状的罩41、收容在该罩42中的涂敷纸41以及纸进给装置43等。

在罩42的上端部形成有用于使涂敷纸41的一部分露出的孔44。该孔44中设有在将涂敷液5涂敷于涂敷纸41时用于支撑涂敷纸41的支撑部件45。支撑部件45在下面详述，但是从上方观察形成为方形的板状(参照图5)，在由保持器46保持的状态下安装于罩42。在该实施方式的支撑部件45的下表面重叠有下述的光扩散部件47。

如图5所示，该实施方式的保持器46由从上方与支撑部件45的成为四个边的端部重叠的框部件46a以及安装在该框部件46a的下端部上的两个板部件46b构成。支撑部件45和光扩散部件47被框部件46a和板部件46b从上方和下方夹持。该保持器46在支撑部件45成为水平的状态下安装于罩42。框部件46a、板部件46b以及罩42分别由金属形成。

涂敷纸41以光能够透过的厚度形成为带状。在该实施方式中，由该涂敷纸41构成本发明中所说的“被涂敷部件”。该涂敷纸41的一端侧卷绕成卷状，并旋转自如地支撑在纸进给装置43的支撑轴48上。涂敷纸41的另一端侧缠绕在纸进给装置43的卷轴49上。罩42的孔44从上方观察位于支撑轴48与卷轴49之间。

涂敷纸41的位于支撑轴48与卷轴49之间的中间部分在经过上述的支撑部件45上的状态下横穿罩42的孔44。因此，如图4所示，涂敷纸41的一部分重叠于支撑部件45的上表面。

如图3所示，进给该涂敷纸41的纸进给装置43具备多个辊50。这些辊50是用于改变涂敷纸41所移动的方向的多个从动辊50a、驱动用辊50b以及用于向该驱动用辊50b按压涂敷纸41的张力辊50c等。如图4所示，驱动用辊50b经由多个齿轮52～54被传递马达51的动力而进行旋转。马达51的动作由控制装置8控制。卷绕涂敷纸41的卷轴49与驱动辊50b同步旋转。

在罩42内且支撑部件45的下方设有照明装置61。照明装置61具备多个LED62和反射镜63。LED62在使光主要沿水平方向照射的状态下支撑于罩42。反射镜63在使LED62的光向上方的支撑部件45侧反射的状态下支撑于罩42。在该实施方式中，由该照明装置61构成本发明中所说的“光源”。

如图6所示，上述的支撑部件45由板状的芯材64和覆盖该芯材64的两面的涂层65构成。支撑部件45的芯材64由透明的塑料形成。作为该透明的塑料，例如能够使用亚克力。涂层65是具有透光性的抗静电剂层，例如由表面活性剂形成。该涂层65只要设于支撑部件45的一部分即可。即，涂层65只要设于支撑部件45的上表面、下表面以及中间面中的至少任一面上即可。设于支撑部件45的中间面上是指，将支撑部件45沿上下方向分割而形成且涂层65被夹在支撑部件45的位于上侧的半个部分与支撑部件45的位于下侧的半个部分之间。

由于该实施方式的支撑部件45在其上表面和下表面设有涂层65，因此能够简单地进行将该支撑部件45组装于点涂台7的作业。其理由是因为，涂层65较薄且以能够透视看到支撑部件45的状态形成于支撑部件45而难以判别涂层65的有无。即，通过在支撑部件45的两面设置涂层65，不需要确认涂层65的有无，因此能够如上所述将支撑部件45简单地组装于点涂台7。

该涂层65吸收空气中的水分而成为导电材料层。通过利用保持器46将支撑部件45安装于罩42，该导电材料层经由保持器46而与罩42电连接。因此，支撑部件45成为能够防止带电的部件。

如图7所示，重叠于该支撑部件45的下表面的光扩散部件47由板状的芯材66以及覆盖该芯材66的两面的化学垫层67构成。光扩散部件47的芯材66由PET(聚对苯二甲酸)形成为板状。该芯材66形成为覆盖支撑部件45的下表面的大小。

化学垫层67中混入有漫反射材料68。该漫反射材料68是使光漫反射的材料。因此，当照明装置61的光从下方向该光扩散部件47照射时，光发生漫反射而被引导到支撑部件45。即，由于由LED62构成的光点的形状模糊，因此，当从上方观察支撑部件45时，看到光扩散部件47的整个区域发出同一颜色的光。

在具有如上所述构成的点涂台7的涂敷机1中，在将涂敷液5涂敷于基板3之前，在点涂台7中进行涂敷的试验。即，在与将涂敷液5涂敷于基板3时相同的条件下将涂敷液5涂敷于点涂台7的涂敷纸41。涂敷纸41在其一部分重叠于支撑部件45上的状态下由纸进给装置43进给预定量。支撑部件45是能够防止带电的部件。因此，即使由于涂敷纸41与支撑部件45的摩擦而产生静电，涂敷纸41和支撑部件45也不会带电。

头部单元11在点涂台7上移动，在注射器35被加压的状态下涂敷嘴31下降，从而进行涂敷液5的涂敷。此时，由于涂敷纸41不带静电，因此涂敷液5不会被排斥。因此，涂敷液5被涂敷成在涂敷纸41转印有涂敷嘴31的形状的形状(点状)。

在涂敷液5被涂敷之后，照明装置61亮灯，头部单元11移动，使相机33的位置位于涂敷纸41的上方。相机33从上方拍摄涂敷在涂敷纸41上的涂敷液5。

此时，照明装置61的光在被光扩散部件47扩散后的状态下经由支撑部件45被引导到涂敷纸41。因此，当从上方观察涂敷在涂敷纸41上的涂敷液5时，在由均匀的颜色构成的明亮的背景中涂敷液5显现为阴影。即，由相机拍摄点状的涂敷液的轮廓。相机33将通过拍摄得到的图像数据发送给控制装置8。

控制装置8对该图像数据进行分析而求算涂敷液5的大小，并基于该大小来调整注射器35的加压时间(涂敷液5的涂敷量)。

该实施方式的点涂台7的支撑部件45具有能够防止带电的性质。因此，在该点涂台7中，即使在支撑部件45上进给涂敷纸41时产生静电，涂敷纸41和支撑部件45也不会带电。因此，涂敷液5被涂敷成在涂敷纸41转印有涂敷嘴31的形状的形状(点状)。因此，在该实施方式的点涂台7中，能够始终以高精度测定涂敷成点状的涂敷液5的大小。

该实施方式的支撑部件45包括设于其一部分并由抗静电剂构成的涂层65。因此，支撑部件45的一部分被抗静电剂覆盖，因此支撑部件45更加难以带电。

该实施方式的点涂台7具备覆盖支撑部件45的下表面并具有使光扩散的性质的光扩散部件47。因此，能够在支撑部件45的上表面直接重叠涂敷纸41，因此能够在与将涂敷液5涂敷于基板3时相同的条件下将涂敷液5涂敷于涂敷纸41。因此，在该实施方式的点涂台7中，能够以更高的精度测定涂敷液5的大小。

该实施方式的支撑部件45形成为板状。在该支撑部件45与照明装置61之间设有光扩散部件47。

因此，根据该实施方式，照明装置61的光在被光扩散部件47扩散后的状态下经由支撑部件45被引导到涂敷纸41。当从上方观察涂敷在该涂敷纸41上的涂敷液5时，在由均匀的颜色构成的明亮的背景中涂敷液5显现为阴影。因此，由于由相机33准确地拍摄涂敷液5的轮廓，因此该实施方式的点涂台7能够以更高的精度测定所涂敷的涂敷液5的大小。

该实施方式的涂敷机1利用相机33拍摄涂敷在涂敷纸41上的涂敷液5来测定涂敷液5的大小，并基于该涂敷液5的大小来调整涂敷液5的涂敷量。

因此，根据该实施方式，能够提供使涂敷液5的涂敷量始终适量的涂敷机。

(第二实施方式)

光扩散部件能够如图8所示形成。在图8中，对与利用上述图1～图7说明的部件相同或等同的部件，标注相同的附图标记并适当省略详细的说明。

图8所示的光扩散部件47形成为比支撑部件45薄的片状或膜状。即，光扩散部件47的厚度t1形成得比支撑部件45的厚度t2薄。该光扩散部件47虽然未详细地图示，但是与采用第一实施方式时的光扩散部件同样地，由塑料制的芯材和覆盖该芯材的表面和背面的化学垫层67构成。

该光扩散部件47被粘贴在支撑部件45的下表面。在将光扩散部件47粘贴于支撑部件45时，能够使用粘接剂71。

为了防止产生光斑，粘接剂71优选以厚度均匀的状态设于光扩散部件47的整个区域。

在该实施方式中，由于光扩散部件47被粘贴在支撑部件45上，因此能够将这些部件简单地处理作一个组装体。因此，通过采用这种实施方式，尽管具备与支撑部件45分体形成的光扩散部件47，但是点涂台7的组装作业变得容易。

另外，该实施方式的光扩散部件47的厚度t1形成得比支撑部件45的厚度t2薄。因此，尽管使用与支撑部件45分体形成的光扩散部件47，但是能够将对支撑部件45进行支撑的部分的上下方向上的厚度形成得较薄。因此，在该实施方式的点涂台7中，尽管在支撑部件45的下方配备照明装置61，但是能够将支撑部件45的位置设成最适合的高度。该最适合的高度是指支撑部件45上的涂敷纸41的位置设成与基板搬运装置4上的基板3相同的高度的高度。

比支撑部件45薄的片状的光扩散部件47能够使用简单的结构的市售品。因此，该实施方式的点涂台7尽管具备光扩散部件47，但是能够将制造成本抑制得较低。

(第三实施方式)

本发明的涂敷试验装置能够如图9和图10所示设于电子元件安装装置。在图9和图10中，对与利用上述图1～图8说明的部件相同或等同的部件，标注相同的附图标记并适当省略详细的说明。

图9和图10所示的电子元件安装装置81是在基台2上搭载下述的各种装置而构成的。基台2支撑基板搬运装置4、电子元件供给装置82、具有涂敷头12和多个吸附头83的元件移动装置84以及作为本发明涉及的涂敷试验装置的点涂台7等。基台2相当于本发明中所说的“基台部”，基板搬运装置4相当于本发明中所说的“搬运部”。另外，电子元件供给装置82相当于本发明中所说的“电子元件供给部”。

电子元件供给装置82向下述的吸附头83可移动的范围内供给电子元件85(参照图10)。该电子元件供给装置82例如能够由多个带式供料器82a构成。

元件移动装置84具备在基台2的上方沿水平方向移动的头部单元11。头部单元11具备框架22、支撑在该框架22上的多个吸附头83、涂敷头12和相机33等。框架22构成本发明中所说的“移动部”。支撑并驱动该头部单元11的机构与采用第一实施方式时的机构相同。该元件移动装置84和电子元件供给装置82的动作由控制装置8控制。

多个吸附头83分别以能够升降的方式支撑于框架22，并且以能够围绕上下方向的轴线旋转的方式被支撑。在吸附头83的下端部设有用于吸附电子元件85的吸嘴86。

涂敷头12用于向基板3涂敷膏状焊料或粘接剂等涂敷液5。相机33以拍摄头部单元11的下方的状态支撑于框架22。该相机33拍摄基板3的识别标记、点涂台7的涂敷纸41。这些涂敷头12和相机33能够使用与采用第一实施方式时的涂敷头和相机相同的装置。

该实施方式中所示的电子元件安装装置81在电子元件供给装置82中吸附电子元件85并安装于基板3。另外，该电子元件安装装置81利用涂敷嘴31将涂敷液5涂敷于点涂台7的涂敷纸41。此时，即使在支撑部件45上进给涂敷纸41而产生静电，涂敷纸41、支撑部件45也不会带电。因此，涂敷液5被涂敷成在涂敷纸41转印有涂敷嘴31的形状的形状(点状)。

并且，该电子元件安装装置81利用相机33拍摄涂敷在涂敷纸41上的涂敷液5来测定该涂敷液5的大小，并基于该涂敷液5的大小来调整涂敷液5的涂敷量。

因此，根据该实施方式，能够使用点涂台7来调整涂敷液5的涂敷量，因此能够提供使涂敷液5的涂敷量始终适量的电子元件安装装置。

附图标记说明

1…涂敷机、2…基台、5…涂敷液、7…点涂台、22…框架、33…相机、41…涂敷纸、45…支撑部件、47…光扩散部件、61…照明装置、65…涂层、81…电子元件安装装置、t1…光扩散部件的厚度、t2…支撑部件的厚度。

Claims (7)

1.一种涂敷试验装置，其特征在于，具备：

支撑部件，形成为光能够透过且上表面平坦地形成；

被涂敷部件，在重叠于所述支撑部件的上表面的状态下被涂敷涂敷液；及

光源，从下方向所述支撑部件照射光，

所述支撑部件具有能够防止带电的性质。

2.根据权利要求1所述的涂敷试验装置，其特征在于，

所述支撑部件包括设于该支撑部件的一部分并由抗静电剂构成的涂层。

3.根据权利要求1或2所述的涂敷试验装置，其特征在于，

还具备覆盖所述支撑部件的下表面并具有使光扩散的性质的光扩散部件。

4.根据权利要求3所述的涂敷试验装置，其特征在于，

所述光扩散部件粘贴于所述支撑部件。

5.根据权利要求4所述的涂敷试验装置，其特征在于，

所述光扩散部件的厚度形成得比所述支撑部件的厚度薄。

6.一种涂敷机，其特征在于，具备：

根据权利要求1至5中任一项所述的涂敷试验装置；

基台部，支撑所述涂敷试验装置；

搬运部，支撑于所述基台部并在所述基台部上沿水平方向搬运基板；

移动部，支撑于所述基台部并在所述基台部的上方沿水平方向移动；

涂敷嘴，以能够升降的方式支撑于所述移动部，并将涂敷液涂敷于预定的基板和被涂敷部件的被涂敷位置；

摄像部，支撑于所述移动部，并拍摄所述基台部的基板和所述涂敷试验装置的被涂敷部件的涂敷液；及

控制装置，基于由所述摄像部拍摄到的涂敷液的图像数据来测定涂敷液的大小，并基于该涂敷液的大小来控制涂敷液的涂敷量。

7.一种电子元件安装装置，其特征在于，具备：

根据权利要求1至5中任一项所述的涂敷试验装置；

基台部，支撑所述涂敷试验装置；

搬运部，支撑于所述基台部并在所述基台部上沿水平方向搬运基板；

电子元件供给部，支撑于所述基台部，并向所述移动部的移动范围内供给电子元件；

移动部，支撑于所述基台部并在所述基台部的上方沿水平方向移动；

安装头，以能够升降的方式支撑于所述移动部；

吸嘴，设于所述安装头的下端部，在所述电子元件供给部中吸附所述电子元件并安装于所述基板；

涂敷嘴，以能够升降的方式支撑于所述移动部，并将涂敷液涂敷于预定的基板和被涂敷部件的被涂敷位置；

摄像部，支撑于所述移动部，并拍摄所述基台部的基板和所述涂敷试验装置的被涂敷部件的涂敷液；及

控制装置，基于由所述摄像部拍摄到的涂敷液的图像数据来测定涂敷液的大小，并基于该涂敷液的大小来控制涂敷液的涂敷量。