CN105378399B - 带有可编程orit阀的温度控制*** - Google Patents

Abstract

本申请公开温度控制***，其应用两相制冷剂和压缩机/冷凝器回路，其中两相制冷剂冷凝在负载中，该***包括热膨胀阀，热膨胀阀同时允许制冷剂流通过热膨胀阀以及在热膨胀阀之前调节制冷剂在其两相状态中的温度，并且其中只有在热膨胀阀上游的压力和温度达到最终温度和压力之后，才发生流通过热膨胀阀。

Description

带有可编程ORIT阀的温度控制***

相关申请的交叉引用

本申请要求2013年7月12日提交的临时申请No.61/845,814和2014年7月9日提交的非临时申请No.14/327,402的优先权，并且上述申请的整体内容通过引用合并于此。

背景技术

热控制单元(TCU)，诸如加热和冷却***被广泛地用于在选定可变温度下安置和保持加工工具或其他装置。现代热控制单元或温度控制单元的典型示例在高资本密集型半导体制造设备中被发现。对TCU强加严格的空间要求，以便尽可能节省昂贵的占地面积。可靠性必须被保证，因为如果要获得有利性能，要求的大资本设备成本不容许在操作中停机。对于不同的制造步骤，目标温度可以被改变，但必须被严格地保持，直到特定步骤被完成。在许多工业和普通家用制冷***中，目的是将温度降低到选定水平然后将温度保持在并非高度精确的温度范围内。因此，即使在这些商业***中实现可靠的且长寿命的操作，该性能也不会达到高技术生产机械的需求。

在大部分现代TCU中，通过中间热传递流体的使用来执行工具或加工的实际温度控制，其中在闭合循环中，中间热传递流体从TCU被循环通过设备并且再次返回。热传递流体被选择，该热传递流体在其最小操作压力下在低于其沸腾温度的期望的操作范围内稳定。热传递流体在其操作范围内也必须具有适合的黏度和流动特性。TCU本身应用制冷剂(现在通常是生态环境可接受的类型)以提供保持选定温度所需要的任何冷却。TCU可以通过常规液相/汽相循环来循环制冷剂。在这种循环中，制冷剂首先在高压力水平被压缩为热气体，然后被冷凝为加压液体。气体通过与冷却流体紧密热接触被传递而在冷凝器中被转化为液体，其中冷却流体是被周围流体冷却或直接被环境空气冷却的液体。然后，液态制冷剂通过经过阀膨胀到选定压力水平来降低温度。这种膨胀通过蒸发一些液体来冷却制冷剂，由此迫使液体在低饱和压力下平衡。在这种膨胀式冷却之后，制冷剂逐渐与热传递流体进行热交换以冷却所述热传递流体，以便保持对象设备处于目标温度水平。然后，制冷剂以汽相返回到加压阶段。如果需要提升循环的热传递流体的温度，则加热源通常必须根据需要被提供至热传递流体。通常来说，电加热器被布置以与循环的流体热交换，并且根据需要为电加热器供电。

这种TCU已经且正在与许多变体一起被非常广泛地使用，并且在本领域中的发展对于大规模应用具有降低的成本和提高的可靠性。例如，在大规模生产的制冷机中，预计成千上万小时的操作和相对低成本的维护。然而，这种制冷***很少能够在宽温度范围内操作，并且较低成本的版本通常使用气流作为直接热交换媒介用于制冷内容。

用于工业应用的现代TCU必须精确操作、通常要求在选定的温度水平处小于±1摄氏度，并且在宽范围内转换到不同的水平(例如，对于特定安装从-40摄氏度到+60摄氏度)。用于这种应用的典型热传递流体包括乙二醇和水的混合物(通常来说是去离子形式)或以商标“Galden”或“Fluorinert”出售的专用全氟化流体。这些流体和其他流体已经被发现广泛地用于这些高度可靠的变温***。然而，它们不具有高热传递效率，特别是全氟化流体，并且需要对TCU强加一些设计需求。例如，泵送***需要能量和空间，用于使热传递流体循环通过热交换器(HEX)和受控工具或其他设备。除了这些能量损耗因素之外，在热交换中还存在能量损耗，因为传递热需要温度差，并且在将TCU耦接至受控设备的导管中或来自受控设备的导管中也遭遇损耗。因为待被冷却的装置周围直接相关的空间非常珍贵，所以可以要求导管的实质长度，这不仅引进了能量损耗，还增加了稳定加工工具的温度所需要的时间。总之，TCU的体积越大，越需要TCU远离受控装置被定位。沿流动路径的流体质量需要时间和能量来补偿它们引进的损耗。受控装置温度的任何变化除了影响导管内包含的热传递流体之外，还必须影响连接TCU和受控装置的导管。这是因为热传递流体与导管壁紧密热接触。因此，在最接近受控装置的导管末端处出现的流体在温度基本上等于导管壁的温度的情况下到达所述装置，并且在受控装置可能经历相似的温度改变之前这些导管壁的温度必须变化。

在这个意义上说，简单的制冷***过去可能在没有分开的热传递流体的情况下已经应用制冷剂，已经考虑到在制冷循环期间应用的相变阻止在循环之外的物理距离处直接使用制冷剂。常规制冷剂固有地依靠相变用于能量储存和转换，以便在制冷循环中的每点处还必须具有液相和汽相的适当的状态或混合，用于压缩机和其他组件的稳定和可靠操作。使用饱和流体诸如制冷剂直接与可变热负载热交换呈现出难以克服的***问题。

背离传统的两相蒸汽循环的用于温度控制的各种***已经被提出，包括发明人Kenneth W.Cowans等人在美国专利No.7,178,353和美国专利No.7,415,835中描述的那些***。这种背离是针对新颖的温度控制***，新颖的温度控制***将热气体加压模式中的制冷剂流与膨胀的蒸汽/液体模式中相同的冷却剂流结合。在封闭环路蒸汽循环制冷***中，该***将一些膨胀的冷却剂流与适当比例的加压热气结合。当生成的结合制冷剂流在热交换器(HEX)中时，其可以直接与负载交换热能。这种***在提高热传递效率和经济性方面提供显著成效，并且能够使温度水平变化迅速且精确。由于这些***不需要中间冷却剂并且压力可以迅速地变化，为了简化有时将“直接传递饱和流体”称为TDSF，这种方法为许多温度控制应用提供不同的操作和经济优势。

已经转让给当前受让人的美国专利No.7,415,835(其内容通过引用全部合并于此)介绍一种***，该***在能够非常快的温度变化响应的情况下应用液体和蒸汽的制冷剂混合物的高热传递效率。该***的优点是其消除了对修正受控装置处的温度水平的大量延迟时间的需要，消除了对导管和热交换器中大量能量损耗的需要和消除了在不同水平的目标温度之间转换中对大量时间延迟的需要。

受限斜坡***在其操作中应用四种模式：倾斜上升、调节、等待和倾斜下降。在倾斜上升模式中，静电吸盘从一个调节温度被迅速加热到较高温度。在调节阶段中，大量射频(RF)能量在加工过程中被冷却。在等待阶段中，静电吸盘被调节处于某一温度，但是***被唤醒以提供热量。在倾斜下降模式中，静电吸盘从一个调节温度迅速冷却到较低温度。

Cowans等人的美国专利申请No.13/651,631(其全部内容通过引用合并于此)讨论了被用于制冷或热交换的蒸汽循环***的改进，其可以通过修改常规蒸汽循环(图2)而实现，其在压缩冷凝制冷剂的膨胀之后包含附加热交换步骤(图3)。然后，该热能互换在膨胀的制冷剂和来自蒸发器的回流之间进行，并且伴随着受控的压力降，其引进增强的后冷凝(EPC)。后冷凝降低传递到蒸发器的制冷剂的质量水平(蒸汽质量与总质量的比)，并且提高在与负载能量交换期间的有效热传递系数。这种手段增加了移动通过蒸发器的质量的体积密度，并且降低了引进的压力降，从而最小化蒸发器内低效率区域中的热传递损耗。由压力降装置提供的受控压力降引进基本恒定的压力差，以确保在期望最大加热的那些时间期间没有膨胀的蒸汽和液体流动。

膨胀的液体/蒸汽混合物在将加压输入馈送到蒸发器之前提供到两相热交换器的一侧，热交换器在已经服务负载之后还接收从蒸发器传递来的输出流。压力降阀引进两相混合物中相同数量级的温度降作为用于使用热膨胀阀调节冷却温度的质量过热(masssuperheat)。由此产生的温度降驱动热量从热交换器中的一个流流入到另一流中。因此，通过在给定温度控制单元中引进相对小的热交换器和压力降装置，实现总增益为h。这导致效率的净增益。

应用该原理的TDSF***采用通过相对来说通常小于负载的增补热交换器的流体流动，并且还采用压力降阀以使温度差可用于驱动所述增补热交换器两端的热，以便引进进一步的冷凝。这种组合通过行动来独特地影响TDSF***操作，以限制和消除温度变化的偏差并且增加***效率。可以通过精确地阀调节进入混合物的热气体流来引进温度水平的小变化。

当需要稍微较高的温度和/或在低流量水平或低功率水平下操作时，情况不同，因为加压热气体源呈现出更大潜力的能量输入(与膨胀后冷凝的液体蒸汽输入所呈现的能量输入相比)，以便如果温度将被提高相对小的量，则稳定性和精度可能会出现问题。在这种情况下，增强的后冷凝的应用在高压力下有效地改变纯气体介质的流动速率，以便温度的控制变得更精确，特别是在较高温度下，其中可能需要替代地加热和冷却以便控制温度。流动路径中的热交换器和压力降阀通过平滑温度增加变化率和确保热力学平衡来补偿非线性的热能交换。因此，在TDSF环境下应用EPC确保较高的、稳定的温度水平可以被更迅速地获得，而不管涉及的变化增量和功率水平。

图3图示说明重泵机构(repumping mechanism)，其由管道连接在蒸汽循环***中的蒸发器的输入和输出之间的止回阀和泵组成。泵在期望或需要增加蒸发器内的热传递系数时被使用。当泵未被打开时，蒸汽循环***的功能好像未安装重泵***。在图4中，重泵***与增强的后冷凝都被使用。在组合的***中，当蒸发器处的输出从一个温度迅速地变到另一个温度时，重泵被打开。在这种倾斜过程中，增加效率的增强的后冷凝可能不增加倾斜速度，特别是对于已经改装有包括较小的压缩机的EPC***的蒸汽循环***。这是因为较小的压缩机将减少蒸发器两端的流质量，并且因此具有较小的热传递系数，特别是当负载温度正在被改变时。

图5示出记录关于使用制冷剂R22(其是其他制冷剂的代表)的蒸汽循环制冷器的蒸发器或热泵内热传递系数的数据的图表。该数据示出增强的后冷凝怎样增加蒸汽循环效率。EPC的功能是使用大约百分之八十(80％)或更多的两相特性消除热传递系数的急剧下降。如图5所示，热传递系数对蒸发器中的质量速度非常敏感。图5中所示的曲线特性图示说明了速度的影响。当液体被煮沸为气体时，由于气相密度相当低的事实，故速度增加。因此，图5示出当由于液体被煮沸为气体特性增加直到该特性超出80％时，热传递系数单调增加。此后，热传递特性急剧下降，从而变为与常规蒸发器的出口处的纯气体的热传递特性等同。

蒸汽循环被用作诸如上述讨论的温度控制单元中的驱动***。基于上述讨论的美国专利No.7,178,353和美国专利No.7,415,835中讨论的原理的温度控制***涉及直接传递饱和流体或TDSF。TDSF又是美国专利申请No.13/651,631(如上所述)中阐述的受限斜坡(TR)***的基础。也就是说，用于加热静电吸盘迅速达到高温度的受限斜坡***基于使用在静电吸盘中冷凝、从所述静电吸盘流过阀的热高压力气体流的TDSF，该阀在输入温度上升时打开(ORIT阀或“ORIT”)，该阀此后调节静电吸盘的温度。由于饱和流体的固有性质，该***通过控制压力调节温度。

因为受限斜坡***被用于迅速加热(倾斜上升)负载，所以在ORIT达到调节温度之前的压力下，冷凝气体将不流过。这可以引起流体返回到负载内，由此减小了可用于冷凝气体的区域。因此，加热速度减慢。重泵***抵消了这种减速。当重泵的泵激活时，其强迫流通过负载，在这种情况下流通过静电吸盘。转而，这种动作允许进来的热气体在其穿过静电吸盘时冷凝，因此允许更迅速的加热。

发明内容

当检测到受控斜坡***从较低温度增加至较高温度时(倾斜上升)，显而易见初始斜坡速率接近计算的斜坡速率(制冷功率加上压缩机功率加热测量的ESC，大约5℃/秒)，斜坡速率迅速降低并且表现方式难以解释。确定斜坡上升与负载ESC中的制冷剂冷凝一起被执行，直到所述入口温度上升时打开(ORIT)阀同时允许制冷剂流通过所述ORIT阀，并且先于ORIT调节制冷剂在其两相状态中的温度。只有在压力/温度先于ORIT达到设计的最终高温度和高压力之后，才能发生流通过ORIT。上述表明流中断响应于斜坡速率的放缓。在静电吸盘内聚集的液体停止冷凝，无论液体在哪里被阻止流动。本发明增加静电吸盘下游的体积容量，以允许液体被收集该容量内。当压力达到其目标值时，按照设计流被布置通过ORIT。在优选的实施例中，流体热敏电阻和Δ压力阀都被包括到***中。

为了避免***内流体的聚集，ORIT在加热阶段期间必须被控制为逐渐地打开，以允许流体逐渐地进入容器(capacitor)。本发明将可控斜率引进到ORIT阀的操作，从而阻止在加热阶段期间液态制冷剂的聚集。例如，ORIT阀可以被编程以在起始温度下的制冷剂的压力和最终温度下的制冷剂的压力之间线性打开。通过在加热阶段期间在压力范围内逐渐地和持续地打开ORIT阀，在倾斜上升模式或倾斜下降模式中将不会累积质量。

结合下面阐述的附图和优选实施例的详细描述，本发明的这些改进以及其他优势将被更好的理解。

附图说明

图1是受限斜坡温度控制***的原理图；

图2是蒸汽循环的原理图；

图3是带有重泵的蒸汽循环的原理图；

图4是带有重泵和增强的后冷凝的蒸汽循环的原理图；

图5是示出热传递系数特征的图形；

图6是在ORIT阀上游带有流体收集和在ORIT阀出口带有液体检测的温度控制***的原理图；以及

图7是在受限斜坡***中带有流体收集和液体检测的受限斜坡温度控制***的原理图。

具体实施方式

图1图示说明了温度控制***，其特征为受限斜坡技术。温度控制***利用四种模式：倾斜上升、调节、等待和倾斜下降。参考图1，这些模式中的每种均在下面被较详细地阐述。虽然该操作的完整描述在美国专利公布No.2013/0036753中被公开(其全部内容通过引用合并于此)，但是与本发明有关的细节将在下面讨论。

在图1中，***包括蒸汽循环制冷***，其具有常规压缩机150，压缩机150将高压力高温度输出作为加压气体馈送至冷凝器130。在环境温度或接近环境温度下，冷凝器130将制冷剂温度降低至主要液体状态。冷凝器130可以是液冷式或气冷式，并且可以使用调节的冷却剂控制或不被调节。来自冷凝器130的液化的加压产物被输入到外部平衡的热膨胀阀(下文被称为TXV)125。TXV 125具有常规内隔膜(diaphragm)(未示出)，内隔膜的位置决定通过TXV 125的流量。

膨胀的TXV 125输出作为一个输入被传递到通向蒸发器的制冷剂路径中的子HEX135，该蒸发器是负载100。在子HEX 135中，来自TXV的膨胀的流体流动与从***负载(蒸发器)100返回的制冷剂热交换，其中***负载最终将吸入输入管路馈送至压缩机150。返回管路从负载100通过HEX135到压缩机150输入，因此形成子热交换回路的一部分，该子热交换回路的一部分被配置且***作以提供改进的热传递。在到蒸发器100的子回路中，来自TXV125的流出物首先穿过HEX 135，然后穿过压力阀145。压力阀145引进温度降，温度降接近蒸发的制冷剂和冷却的负载之间的温度差，因为蒸发器100过热是稳定操作的关键因素。

在操作中，图1的***提供蒸汽循环***的基本压缩和冷凝功能，将液化的加压制冷剂馈送至TXV 125，然后控制膨胀，因此控制制冷剂主冷却量。具有固定孔和压力降的毛细管可以可替换地被使用，但是TXV 125在被设计为高效率的***中发挥更大的功能。

在EPC HEX 135中，热动力循环经历由通常循环而产生的基本变化，在来自蒸发器100的返回流和到蒸发器100的输入流之间交换热能。那么，当制冷剂穿过邻近的压力阀145时，输入流温度被降低。在子热交换回路内，输出流和返回流的热能有效地大致相等。然而，这使增强的后冷凝成为可能。沸腾的制冷剂液体提供足够冷却以冷凝HEX 135的另一侧上的液体，以降低输入制冷剂的焓(enthalpy)。热传递由温度差驱动，温度差由压力降阀145的效应产生。阀145的压力降降低温度。HEX 135和阀145的组合效应降低传递到负载100的制冷剂的特性(蒸汽质量占总质量的百分比)。

1.倾斜上升模式：

打开电磁阀1S_C，2S_C，6S_C且关闭3S_O，4S_O，7S_O，“负载ESC”100被倾斜上升到高温度。这将压缩机输出直接传到ESC 100，在ESC 100中压缩机输出冷凝。随着倾斜上升的开始，“E-ORIT”100已经同时被设定到以ESC100为目标的高温度。在来自“冷凝器”130的冷却水已经在先前的调节阶段期间通过吸收制冷剂冷凝的热被加热之后，容器120已经在正常调节模式期间通过接收所述冷却水被加热。在容器120中，液体在制冷剂流过E-ORIT 110之后通过储存在容器中的热量蒸发。热气体旁通阀140确保到压缩机150的流处于4.9bar的压力，这是在该示例中压缩机150可以安全允许的最大输入压力。当到HGBV的感测管路检测到压缩机的输入压力小于4.9bar时，热气体旁通阀(“HGBV”)140被提示提供气体。当负载ESC100达到设定温度时，温度传感器160发送信号到控制器170，然后控制器170关闭阀1S_C并且打开阀3S_O，从而在较高温度下将***转换为调节模式。阀2S_C保持打开，直到从负载ESC 100出现的所有液体通过E-ORIT 110流过容器120。此后，阀4S_O打开且阀2S_C关闭。减温器(“DSV”)180按需要冷却压缩机输入。在所有连接到HGBV 140和DSV 180两者之后，接收器190被布置在管路中。接收器190向DSV 180提供液态制冷剂。

2.加工期间的调节模式：

在关闭1S_C且使用应用到负载ESC 100的RF能量进行加工接着在阀2S_C被关闭且阀3S_O被打开之后，***作为使用由E-ORIT 110提供的主温度控制的先进的TDSF操作。通过E-ORIT 110的操作，制冷被降低到最小，其中E-ORIT 110降低压缩机输入处的压力，直到ESC的制冷需要被制冷环路的输出平衡。如果在ESC 100低于15℃的温度下发生调节，那么电磁阀7S_O被允许打开。这种操作允许冷却水将冷凝器冷却到50℃。这种操作被需要，以保护压缩机150：低至1.7bar的输入压力只能被安全地压缩至4.9bar。

3.等待模式：

就在倾斜上升之后可以存在一种情况，其中当ESC处于调节模式时，热必须提供至负载ESC 100。如果ESC被保持在等待模式中且没有RF能提供至ESC，这可以发生。在这种情况下，温度传感器160将ESC 100冷却至低于期望的调节温度的信号提供至控制器170。然后，控制器170将这种信号提供至温度控制器200，然后温度控制器200提供脉冲至阀1S_C，以便将适当热量提供至ESC 100。每当***处于调节模式且未提供足够的RF能量以保持ESC100在其设定温度时，这种操作将会发生。如所提到的，当ESC加工处于等待模式时，这将逐渐发生。

4.倾斜下降模式：

在高温度下调节之后，仅通过将E-ORIT 110调整到较低温度，就开始倾斜下降。通过E-ORIT阀的动作，调节跟随斜坡下降。如果期望的低温度低于15℃，则需要一些对设定的***的进一步修改。阀6S_O需要被关闭，并且这个动作允许热气体旁通阀210使制冷剂的温度达到0℃，这对于R134在绝对2.93bar下发生。1.7bar计量器的设定允许在ESC 100和压缩机150输入之间的一些压力降。冷却水阀在50℃下必须被允许控制。通常，从0℃到大于70℃，压缩机不能压缩R134A。

图6示出本文讨论的对于基本TR***的改进。如图所示，被安装的容器220在顶部具有入口并且在底部具有出口。在循环的斜坡上升阶段期间，容器220收集从ORIT阀返回的流体。液体热敏电阻230被布置在ORIT阀的出口处，以检测ORIT 110的输出管路中液体的存在。当调节模式被唤醒时，热敏电阻230阻止阀4S_O打开。当容器220中存在流体时，流体流过ORIT阀110，并且穿过压力阀240到达容器120。当液体从容器120中完全清空时，所述阀4S_O被允许打开。当管道接收最大流时，新ΔP阀240被设定为大于包括阀4S_O的所述管道两端的压力降。

图7示出使用图6的改进的整体受控斜坡***。该***的优点是其保持制冷剂流过加热到较高温度的静电吸盘100，以便在整个操作过程中可以保持迅速加热。在静电吸盘100从0℃加热到70℃之后，本发明收集大约2.5公升制冷剂。这可以产生质量处理的问题，因为液体不能连续地沸腾。进行质量处理是因为ORIT 110阀在加热期间不会被打开，直到两相制冷剂加热达到设定温度和压力，在设定温度和压力下ORIT被编程以打开。

解决上述问题的方案是对ORIT的设定编程，使得ORIT***作的压力以可预见的方式被移动。例如，对于在时间零处的R134A，操作压力可以在0℃(2.93bar或28.4psig)，并且以线性方式倾斜经过下一个25秒达到70℃压力(21.17bar或296.5psig)。以此方式，受控斜坡***在倾斜上升和倾斜下降两者期间可以以稳定状态方便地操作，并且因此在任意模式中没有质量将会累积。

当制冷剂以液体形式被累积时，其在液体未被累积时的那些循环部分期间必须以气态形式储存在***内，涉及的体积是巨大的，并且允许该体积在可用***内是不切实际的。在基本热力学角度中，基本TDSF***能够使用压缩机的全部性能迅速地移动热负载使其温度上升和下降。在稳定状态温度加工期间，在没有负面影响的情况下也可以只使用一小部分压缩机的性能。这种组合潜力是TDSF***的基本优势。这些基本特性被用于在基本TR***中发挥优势。本公开回避了在受控斜坡***的加热阶段期间累积液体的问题。

倾斜的ORIT控制(SOC)***在温度变化到较高温度期间有益于获得迅速且可预测的斜率。在负载处不会冷凝和收集制冷剂，从而产生障碍物，并且流动可以以可预测的方式继续。只有在压力和温度先于ORIT到达设计的最终高温度和压力之后，才发生流通过ORIT阀。

虽然在上面已经示出或描述各种改进和修改，但是本发明不限于此，而是包括在所附的权利要求的范围内的所有概念和手段。

Claims (3)

1.一种温度控制***，其应用两相制冷剂和压缩机/冷凝器回路，所述压缩机/冷凝器回路具有用于在可控温度下循环制冷剂至具有输入终端和输出终端的负载蒸发器并且循环来自所述负载蒸发器的所述制冷剂的输入和输出，并且具有已知热容量，所述温度控制***包括用于增强所述***的性能的子流环路，包含：

子热交换器，其耦接在自所述压缩机/冷凝器回路的所述输出的流和所述负载蒸发器之间，所述子热交换器具有第一流动路径，所述第一流动路径包括接收来自所述压缩机/冷凝器回路的流的输入和从所述压缩机/冷凝器回路耦接到所述负载蒸发器输入的输出，所述子热交换器还包括沿所述第一流动路径的长度成平行热交换关系的第二流动路径，并且来自所述子热交换器的输出被耦接至所述压缩机/冷凝器回路输入；

所述***还包括：热膨胀阀，其被设置在所述第一流动路径内，所述第一流动路径在所述压缩机/冷凝器回路和所述子热交换器的所述输入之间；流体感测装置，其在所述热膨胀阀的出口处；以及容器，其用于收集所述热膨胀阀上游的冷凝流体；以及

其中制冷剂在所述负载蒸发器中冷凝，直到所述热膨胀阀同时允许制冷剂流过所述热膨胀阀并且在所述热膨胀阀之前调节所述制冷剂在其两相状态中的温度，并且其中只有在所述热膨胀阀的上游的压力和温度达到最终温度和压力之后，才能发生流通过所述热膨胀阀。

2.根据权利要求1所述的温度控制***，其中所述热膨胀阀是在入口温度上升时打开的阀。

3.根据权利要求1所述的温度控制***，还包括：压力阀，其被设置在所述负载蒸发器和所述压缩机/冷凝器回路之间，其中所述压力阀与电磁线圈平行，并且所述压力阀在大于最大流通过所述电磁线圈时所述电磁线圈两端的压力降的压力下打开。