CN105363308A - 一种硅片切割液粗液回收*** - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种硅片切割液粗液回收***，包括切割液收集槽、切割液初选机构和溢流回收槽，所述切割液初选机构设在溢流回收槽的进口处，同时与切割液收集槽连通；所述溢流回收槽包括槽体，所述槽体内设有溢流隔板将槽体分割成沉降槽和溢流槽，所述沉降槽的侧壁的上部设有切割液进口；所述沉降槽内还水平的设有网架，该网架上铺设有微孔滤膜，所述溢流槽的底部设有切割液出口；所述溢流隔板包括两块竖直设置的隔板，靠近沉降槽的隔板底部及两侧与槽体密封连接，且其高度低于槽体高度。本发明能在切割的同时对切割液进行过滤筛选维护，延长切割液的使用寿命；并能对接近报废的切割液进行初筛，有理由后续的聚乙二醇的回收。
Description
技术领域
本发明主要涉及硅片切割液回收利用装置。
背景技术
在硅片切割生产过程中，作为金属丝切割的负责耗材，硅片切割液并不可少，且价格较贵，使用量大。因此针对切割液的回收再利用以及使用维护的改进，能有效降低硅片加工的生产成本。
发明内容
发明目的：针对上述现有存在的问题和不足，本发明的目的是提供了一种硅片切割液粗液回收***。
技术方案：为实现上述发明目的，本发明采用以下技术方案：一种硅片切割液粗液回收***，包括切割液收集槽、切割液初选机构和溢流回收槽，所述切割液初选机构设在溢流回收槽的进口处，同时与切割液收集槽连通；所述溢流回收槽包括槽体，所述槽体内设有溢流隔板将槽体分割成沉降槽和溢流槽，所述沉降槽的侧壁的上部设有切割液进口；所述沉降槽内还水平的设有网架，该网架上铺设有微孔滤膜，所述溢流槽的底部设有切割液出口；所述溢流隔板包括两块竖直设置的隔板，靠近沉降槽的隔板底部及两侧与槽体密封连接，且其高度低于槽体高度；而靠近溢流槽的隔板两侧与槽体密封连接，底部与溢流槽之间留有空隙。
作为优选，所述初选装置为截面是矩形的长条形，包括下壳体、上壳体和设在中间上下壳体中间的转轴，所述下壳体的底部设有粗液出口，所述上壳体设有与转轴平行相切的塑胶滚轮，上壳体还设有切割液进口和杂质颗粒出口，且该杂质颗粒出口的前端设有与转轴搭接的舌头。
作为优选，所述溢流槽还设有二级过滤机构，所述二级过滤机构包括网架和设在该网架上微孔滤膜。
作为优选，所述微孔滤膜为中空纤维膜或陶瓷膜，孔径为0.2～2.0um。
有益效果：与现有技术相比，本发明能在切割的同时对切割液进行过滤筛选维护，延长切割液的使用寿命；并能对接近报废的切割液进行初筛，有理由后续的聚乙二醇的回收。
附图说明
图1为本发明所述硅片切割液粗液回收***的结构示意图；
图2为本发明所述初选装置的结构示意图；
图3为本发明所述初选装置的截面结构示意图。
其中，切割液收集槽1、槽体2、沉降槽3、溢流槽4、溢流隔板5、切割液出口6、上壳体7、下壳体8、转轴9、粗液出口10、橡胶滚轮11、杂质颗粒出口12、舌头13、微孔滤膜14、网架15、切割液收集槽16。
具体实施方式
下面结合具体实施例，进一步阐明本发明，应理解这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围，在阅读了本发明之后，本领域技术人员对本发明的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。
一种硅片切割液粗液回收***，包括切割液收集槽、切割液初选机构和溢流回收槽，所述切割液初选机构设在溢流回收槽的进口处，同时与切割液收集槽连通；所述溢流回收槽包括槽体，所述槽体内设有溢流隔板将槽体分割成沉降槽和溢流槽，所述沉降槽的侧壁的上部设有切割液进口；所述沉降槽内还水平的设有网架，该网架上铺设有微孔滤膜，所述溢流槽的底部设有切割液出口；所述溢流隔板包括两块竖直设置的隔板，靠近沉降槽的隔板底部及两侧与槽体密封连接，且其高度低于槽体高度；而靠近溢流槽的隔板两侧与槽体密封连接，底部与溢流槽之间留有空隙。
作为优选，所述初选装置为截面是矩形的长条形，包括下壳体、上壳体和设在中间上下壳体中间的转轴，所述下壳体的底部设有粗液出口，所述上壳体设有与转轴平行相切的塑胶滚轮，上壳体还设有切割液进口和杂质颗粒出口，且该杂质颗粒出口的前端设有与转轴搭接的舌头。作为优选，所述溢流槽还设有二级过滤机构，所述二级过滤机构包括网架和设在该网架上微孔滤膜。作为优选，所述微孔滤膜为中空纤维膜或陶瓷膜，孔径为0.2～2.0um。
切割液经过收集盘收集后从切割液进口进入初选装置中，在转轴的带动下，含颗粒悬浮物的浆液由转轴的上方经过搭接的舌头从杂质颗粒出口排出，而较清洁的切割液则直接从底部的粗液出口流入沉降槽中，并经过沉降切割液中的悬浮沉降颗粒，然后随着液面上升从第一溢流隔板的顶部留下后进入两块隔板之间的间隙，并从第二溢流隔板的底部进入溢流槽，依次再经过第三溢流隔板并从其顶部流入溢流槽中，随后在负压状态下经过微孔滤膜进行二级过滤，最后送至后续处理槽中进行物料补充和回收。
Claims (4)
1.一种硅片切割液粗液回收***，其特征在于：包括切割液收集槽、切割液初选机构和溢流回收槽，所述切割液初选机构设在溢流回收槽的进口处，同时与切割液收集槽连通；所述溢流回收槽包括槽体，所述槽体内设有溢流隔板将槽体分割成沉降槽和溢流槽，所述沉降槽的侧壁的上部设有切割液进口；所述沉降槽内还水平的设有网架，该网架上铺设有微孔滤膜，所述溢流槽的底部设有切割液出口；所述溢流隔板包括两块竖直设置的隔板，靠近沉降槽的隔板底部及两侧与槽体密封连接，且其高度低于槽体高度；而靠近溢流槽的隔板两侧与槽体密封连接，底部与溢流槽之间留有空隙。
2.根据权利要求1所述硅片切割液粗液回收***，其特征在于：所述初选装置为截面是矩形的长条形，包括下壳体、上壳体和设在中间上下壳体中间的转轴，所述下壳体的底部设有粗液出口，所述上壳体设有与转轴平行相切的塑胶滚轮，上壳体还设有切割液进口和杂质颗粒出口，且该杂质颗粒出口的前端设有与转轴搭接的舌头。
3.根据权利要求1所述硅片切割液粗液回收***，其特征在于：所述溢流槽还设有二级过滤机构，所述二级过滤机构包括网架和设在该网架上微孔滤膜。
4.根据权利要求3所述硅片切割液粗液回收***，其特征在于：所述微孔滤膜为中空纤维膜或陶瓷膜，孔径为0.2～2.0um。
Priority Applications (1)
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| CN201510791627.8A CN105363308A (zh) | 2015-11-17 | 2015-11-17 | 一种硅片切割液粗液回收*** |
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN105363308A true CN105363308A (zh) | 2016-03-02 |
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ID=55366235
Family Applications (1)
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| CN201510791627.8A Pending CN105363308A (zh) | 2015-11-17 | 2015-11-17 | 一种硅片切割液粗液回收*** |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN105363308A (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108793554A (zh) * | 2018-06-12 | 2018-11-13 | 山东大海新能源发展有限公司 | 一种采用金刚线的硅片切割液循环***及方法 |
| CN108972920A (zh) * | 2018-07-20 | 2018-12-11 | 江苏吉星新材料有限公司 | 一种智能化蓝宝石切片***的集中供液***及其工艺 |
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2015
- 2015-11-17 CN CN201510791627.8A patent/CN105363308A/zh active Pending
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| CN108972920A (zh) * | 2018-07-20 | 2018-12-11 | 江苏吉星新材料有限公司 | 一种智能化蓝宝石切片***的集中供液***及其工艺 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20160302 |