CN105336653A - 一种扩散石英舟插片装置 - Google Patents
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- 239000010453 quartz Substances 0.000 title claims abstract description 72
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 72
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 title abstract description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 claims description 4
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 claims description 4
- 239000012634 fragment Substances 0.000 abstract description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 5
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 abstract description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 235000008216 herbs Nutrition 0.000 description 2
- 210000002268 wool Anatomy 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000008676 import Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
- H01L31/1804—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof comprising only elements of Group IV of the Periodic Table
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
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- Aiming, Guidance, Guns With A Light Source, Armor, Camouflage, And Targets (AREA)
Abstract
本发明公开了一种扩散石英舟插片装置。它包括用于放置扩散石英舟的石英舟固定座、组合型导向座、花篮固定座、用于放置电池片的花篮、工作台和推手，所述的石英舟固定座和组合型导向座均固定安装在工作台上，所述的花篮固定座与工作台滑动连接，所述的石英舟固定座、组合型导向座和花篮固定座在一条直线上，所述的花篮置于花篮固定座上，所述的推手和花篮相配合。本发明的有益效果是：将插片时间从人工的5分钟缩短为1分钟，提升生产效率，降低劳动强度，同时提升成品率，碎片率从原来的0.08％下降到0.05％，崩点从原来的10％下降到1％，结构简单，操作方便快捷，精准度高。
Description
技术领域
本发明涉及晶硅太阳能电池片相关技术领域，尤其是指一种扩散石英舟插片装置。
背景技术
晶硅太阳能电池片一般有如下生产工艺流程：化抛制绒、扩散制结、刻蚀、PECVD、丝网印刷、测试包装。其中：化抛制绒工序完成后的晶体硅电池装在“花篮”中，花篮的每个槽中插有2片电池片，花篮的规格一般为50槽或100槽。而下一道扩散制PN结工序需要将花蓝中的电池片转入有100个槽的石英舟上，放入800度高温的炉管里进行扩散工序，形成PN结。每个槽口有两片电池片。目前，一般采取人工插片的方法，即是用塑料材质的镊子将花篮中的电池片手工两片每次夹取，***石英舟上。这存在速度慢、崩点多、碎片率高、工作强度大等诸多问题。
发明内容
本发明是为了克服现有技术中存在上述的不足，提供了一种速度快且碎片率低的扩散石英舟插片装置。
为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：
一种扩散石英舟插片装置，包括用于放置扩散石英舟的石英舟固定座、组合型导向座、花篮固定座、用于放置电池片的花篮、工作台和推手，所述的石英舟固定座和组合型导向座均固定安装在工作台上，所述的花篮固定座与工作台滑动连接，所述的石英舟固定座、组合型导向座和花篮固定座在一条直线上，所述的花篮置于花篮固定座上，所述的推手和花篮相配合。
通过花篮的设计，可以将批量的电池片置于花篮中，然后将花篮置于花篮固定座中，通过推手将花篮中的批量电池片推到有扩散石英舟的石英舟固定座中，其中通过组合型导向座来对电池片起导向作用，这样设计可将电池片的插片时间大大的缩短，提升生产效率，同时提升成品率。
作为优选，所述的石英舟固定座包括直角座、第一玻纤板、合页、水平固定块、前后固定块、可调左右固定板和翻转手柄，所述的直角座由成90度夹角的两片板制作而成，所述的合页安装在一片板上且置于两片板的结合处，所述的直角座通过合页固定在工作台上，所述的第一玻纤板有两块，所述的第一玻纤板上设有若干用于放置电池片的第一导槽，所述的两块第一玻纤板相互平行，所述的第一玻纤板安装在直角座的一片板上且与直角座的另一片板平行，所述的水平固定块、前后固定块、可调左右固定板和翻转手柄安装在直角座的另一片板上。其中：第一玻纤板用于引导电池片的***，水平固定块、前后固定块、可调左右固定板，用于放置和固定扩散石英舟，翻转手柄用于翻转直角座；直角座用两个合页固定在工作台上，使其可90度翻转，当直角座的一面水平放置在底座时，直角座的另一面垂直于底座。
作为优选，所述的可调左右固定板包括左固定板和右固定板，所述的左固定板固定在直角座的另一片板左边上，所述的右固定板安装在直角座的另一片板右边上，所述右固定板的外侧设有可调块，所述的右固定板通过可调块固定在直角座的另一片板右边上，所述的前后固定块和水平固定块置于左固定板和右固定板之间，所述的前后固定块有四块且均匀的分布在直角座的另一片板上，所述的水平固定块有四块且均匀的分布在左固定板的内侧和右固定板的内侧，所述的翻转手柄有两个且均匀的分布在左固定板的外侧和可调块的外侧。能够更好的放置和固定扩散石英舟，确保电池片能够准确的定位在扩散石英舟中。
作为优选，所述的组合型导向座包括固定座和第二玻纤板，所述固定座的横截面形状为直角三角形，所述的固定座有两个，所述的第二玻纤板有两个且分别为上玻纤板和下玻纤板，所述的第二玻纤板上设有若干用于放置电池片的第二导槽，所述的两个第二玻纤板置于两个固定座之间，所述的固定座固定在工作台上，所述的下玻纤板固定在固定座的下端，所述的上玻纤板固定在固定座的上端，所述上玻纤板的第二导槽和下玻纤板的第二导槽相对，即所述的上玻纤板与下玻纤板上下对称。当电池片从花篮固定座***到石英舟固定座的扩散石英舟上时，对电池片起到了上下左右的导向作用，确保电池片准确的进入到扩散石英舟中。
作为优选，所述的第一导槽和第二导槽均为Y型导槽，所述Y型导槽的开口方向均为朝向花篮固定座方向。Y型导槽的结构设计，能够快速有效的将电池片导入到Y型导槽中，方便快捷，提高工作效率。
作为优选，所述的花篮固定座包括底板、滑轨、短固定块、长固定块和手柄，所述的滑轨安装在工作台上，所述的底板安装在滑轨上，所述的短固定块有两个且分别置于底板的左右两边缘处，所述的长固定块置于两个短固定块之间且与短固定块的一端接触，所述短固定块的另一端与底板的前端齐平，所述的手柄有两个且置于底板的后端左右两边。有效的将花篮定位在花篮固定座中，方便将花篮中的电池片***到扩散石英舟中，提高劳动效率，降低劳动强度。
作为优选，所述花篮的形状为无盖的箱体形状，所述花篮的底部设有用于放置推手的窗口，所述花篮的其中两个相对应侧面上设有若干用于放置电池片的凹槽。结构简单，操作方便。
作为优选，所述的工作台包括框架、底座和角度调节块，所述的底座由玻纤板制作而成，所述的底座和角度调节块均安装在框架上，所述的石英舟固定座、组合型导向座和花篮固定座均安装在底座的上方，所述的角度调节块置于底座的下方且与底座连接。通过底座的设计，能够使得整个插片装置更为轻便，同时框架的设计，能够有效的保护底座。
作为优选，所述底座所在的平面与框架所在的水平面之间的夹角为0-30度。根据不同电池片特性可在0度到30度之间调整，将底座的平面倾斜一个很小的角度可有助于电池片通过Y型导槽***到扩散石英舟中。
作为优选，所述的推手包括推块和手把，所述手把的形状为0型，所述的推手由PE材质制作而成，所述推块的前端设有聚氨酯层，所述推块的后端与手把连接。在接触电池片的一面用较柔软的聚氨酯层，能够更好的保护电池片。
本发明的有益效果是：将插片时间从人工的5分钟缩短为1分钟，提升生产效率，降低劳动强度，同时提升成品率，碎片率从原来的0.08％下降到0.05％，崩点从原来的10％下降到1％，结构简单，操作方便快捷，精准度高。
附图说明
图1是本发明的结构示意图；
图2是图1的后视图；
图3、图4是本发明的工作状态示意图。
图中：1.直角座，2.上玻纤板，3.固定座，4.底板，5.手柄，6.底座，7.框架，8.推块，9.手把，10.长固定块，11.滑轨，12.短固定块，13.下玻纤板，14.角度调节块，15.可调块，16.左固定板，17.第一玻纤板，18.前后固定块，19.水平固定块，20.翻转手柄，21.石英舟固定座，22.组合型导向座，23.花篮固定座，24.花篮，25.工作台，26.推手，27.扩散石英舟，28.合页，29.右固定板，30.窗口。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明做进一步的描述。
如图1、图2所述的实施例中，一种扩散石英舟插片装置，包括用于放置扩散石英舟27的石英舟固定座21、组合型导向座22、花篮固定座23、用于放置电池片的花篮24、工作台25和推手26，石英舟固定座21和组合型导向座22均固定安装在工作台25上，花篮固定座23与工作台25滑动连接，石英舟固定座21、组合型导向座22和花篮固定座23在一条直线上，花篮24置于花篮固定座23上，推手26和花篮24相配合。
石英舟固定座21包括直角座1、第一玻纤板17、合页28、水平固定块19、前后固定块18、可调左右固定板29和翻转手柄20，直角座1由成90度夹角的两片板制作而成，合页28安装在一片板上且置于两片板的结合处，直角座1通过合页28固定在工作台25上，第一玻纤板17有两块，第一玻纤板17上设有若干用于放置电池片的第一导槽，两块第一玻纤板17相互平行，第一玻纤板17安装在直角座1的一片板上且与直角座1的另一片板平行，水平固定块19、前后固定块18、可调左右固定板29和翻转手柄20安装在直角座1的另一片板上。可调左右固定板包括左固定板16和右固定板29，左固定板16固定在直角座1的另一片板左边上，右固定板29安装在直角座1的另一片板右边上，右固定板29的外侧设有可调块15，右固定板29通过可调块15固定在直角座1的另一片板右边上，前后固定块18和水平固定块19置于左固定板16和右固定板29之间，前后固定块18有四块且均匀的分布在直角座1的另一片板上，水平固定块19有四块且均匀的分布在左固定板16的内侧和右固定板29的内侧，翻转手柄20有两个且均匀的分布在左固定板16的外侧和可调块15的外侧。
组合型导向座22包括固定座3和第二玻纤板，固定座3的横截面形状为直角三角形，固定座3有两个，第二玻纤板有两个且分别为上玻纤板2和下玻纤板13，第二玻纤板上设有若干用于放置电池片的第二导槽，两个第二玻纤板置于两个固定座3之间，固定座3固定在工作台25上，下玻纤板13固定在固定座3的下端，上玻纤板2固定在固定座3的上端，上玻纤板2的第二导槽和下玻纤板13的第二导槽相对，即上玻纤板2与下玻纤板13上下对称。第一导槽和第二导槽均为Y型导槽，Y型导槽的开口方向均为朝向花篮固定座23方向。
花篮固定座23包括底板4、滑轨11、短固定块12、长固定块10和手柄5，滑轨11安装在工作台25上，底板4安装在滑轨11上，短固定块12有两个且分别置于底板4的左右两边缘处，长固定块10置于两个短固定块12之间且与短固定块12的一端接触，短固定块12的另一端与底板4的前端齐平，手柄5有两个且置于底板4的后端左右两边。
花篮24的形状为无盖的箱体形状，花篮24的底部设有用于放置推手26的窗口30，花篮24的其中两个相对应侧面上设有若干用于放置电池片的凹槽。其中：凹槽与Y型导槽一一对应。
工作台25包括框架7、底座6和角度调节块14，底座6由玻纤板制作而成，底座6和角度调节块14均安装在框架7上，石英舟固定座21、组合型导向座22和花篮固定座23均安装在底座6的上方，角度调节块14置于底座6的下方且与底座6连接。底座6所在的平面与框架7所在的水平面之间的夹角为0-30度。
推手26包括推块8和手把9，手把9的形状为0型，推手26由PE材质制作而成，推块8的前端设有聚氨酯层，推块8的后端与手把9连接。
其中：石英舟固定座21的直角座1、组合型导向座22的固定座3和花篮固定座23均采用铝型材制作而成，工作台25的框架7采用不锈钢方管制作而成。当石英舟固定座21的直角座1固定有第一玻纤板17的一面水平于工作台25的底座6上时，石英舟固定座21上的第一玻纤板17和组合型导向座22的下玻纤板13在同一平面内，同时第一玻纤板17上的第一导槽与下玻纤板13的第二导槽一一对应且每一个槽口在一条直线上。花篮固定座23可用于50槽和100槽两种规格的花篮24。而角度调节块14的设计，用于调整底座6的倾斜角度，将底座6所在的平面倾斜一个很小的角度可有助于电池片通过第一导槽和第二导槽***到扩散石英舟27中，同时根据不同电池片特性可在0度到30度之间调整。
具体操作步骤如下：
(1)使用普通电池片插片时，整个插片装置为水平放置，将空的扩散石英舟27放入处于水平放置的石英舟固定座21上，通过水平固定块19、前后固定块18和可调左右固定板对扩散石英舟27进行固定；
(2)把石英舟固定座21平稳的翻转90度；
(3)将装满电池片的花篮24放入花篮固定座23上，并通过滑轨11向前移动贴近组合型导向座22，然后用推手26将电池片缓慢通过组合型导向座22推入石英舟固定座21的扩散石英舟27中；其中：(a)如图3所示，当使用100槽规格的花篮24时，将花篮24平放入花篮固定座23上，并推动花篮固定座23靠近组合型导向座22，然后用推手26把电池片50片一次的慢慢地通过组合型导向座22推入石英舟固定座21的扩散石英舟27中；(6)如图4所示，当使用50槽规格的花篮24时，首先将第一个花篮24放入花篮固定座23并贴近一边固定，并推动花篮固定座23靠近组合型导向座22，然后用推手26把电池片一次性慢慢地通过组合型导向座22推入石英舟固定座21的扩散石英舟27中；拿走花篮24，推动花篮固定座23远离组合型导向座22，然后将另一个花篮24放入花篮固定座23并贴近另一边固定，然后重复上一步骤，即同样推动花篮固定座23靠近组合型导向座22，然后用推手26把电池片一次性慢慢地通过组合型导向座22推入石英舟固定座21的扩散石英舟27中；
(4)插完片后将花篮24拿走；
(5)把花篮固定座23翻转90度，处于水平放置，并取出扩散石英舟27，整个操作完成。
采用本插片装置可将插片时间从人工的5分钟缩短为1分钟，提升生产效率，同时提升成品率，碎片率从原来的0.08％下降到0.05％，崩点从原来的10％下降到1％。
Claims (10)
1.一种扩散石英舟插片装置，其特征是，包括用于放置扩散石英舟(27)的石英舟固定座(21)、组合型导向座(22)、花篮固定座(23)、用于放置电池片的花篮(24)、工作台(25)和推手(26)，所述的石英舟固定座(21)和组合型导向座(22)均固定安装在工作台(25)上，所述的花篮固定座(23)与工作台(25)滑动连接，所述的石英舟固定座(21)、组合型导向座(22)和花篮固定座(23)在一条直线上，所述的花篮(24)置于花篮固定座(23)上，所述的推手(26)和花篮(24)相配合。
2.根据权利要求1所述的一种扩散石英舟插片装置，其特征是，所述的石英舟固定座(21)包括直角座(1)、第一玻纤板(17)、合页(28)、水平固定块(19)、前后固定块(18)、可调左右固定板(16)和翻转手柄(20)，所述的直角座(1)由成90度夹角的两片板制作而成，所述的合页(28)安装在一片板上且置于两片板的结合处，所述的直角座(1)通过合页(28)固定在工作台(25)上，所述的第一玻纤板(17)有两块，所述的第一玻纤板(17)上设有若干用于放置电池片的第一导槽，所述的两块第一玻纤板(17)相互平行，所述的第一玻纤板(17)安装在直角座(1)的一片板上且与直角座(1)的另一片板平行，所述的水平固定块(19)、前后固定块(18)、可调左右固定板(16)和翻转手柄(20)安装在直角座(1)的另一片板上。
3.根据权利要求2所述的一种扩散石英舟插片装置，其特征是，所述的可调左右固定板包括左固定板(16)和右固定板(29)，所述的左固定板(16)固定在直角座(1)的另一片板左边上，所述的右固定板(29)安装在直角座(1)的另一片板右边上，所述右固定板(29)的外侧设有可调块(15)，所述的右固定板(29)通过可调块(15)固定在直角座(1)的另一片板右边上，所述的前后固定块(18)和水平固定块(19)置于左固定板(16)和右固定板(29)之间，所述的前后固定块(18)有四块且均匀的分布在直角座(1)的另一片板上，所述的水平固定块(19)有四块且均匀的分布在左固定板(16)的内侧和右固定板(29)的内侧，所述的翻转手柄(20)有两个且均匀的分布在左固定板(16)的外侧和可调块(15)的外侧。
4.根据权利要求2或3所述的一种扩散石英舟插片装置，其特征是，所述的组合型导向座(22)包括固定座(3)和第二玻纤板，所述固定座(3)的横截面形状为直角三角形，所述的固定座(3)有两个，所述的第二玻纤板有两个且分别为上玻纤板(2)和下玻纤板(13)，所述的第二玻纤板上设有若干用于放置电池片的第二导槽，所述的两个第二玻纤板置于两个固定座(3)之间，所述的固定座(3)固定在工作台(25)上，所述的下玻纤板(13)固定在固定座(3)的下端，所述的上玻纤板(2)固定在固定座(3)的上端，所述上玻纤板(2)的第二导槽和下玻纤板(13)的第二导槽相对，即所述的上玻纤板(2)与下玻纤板(13)上下对称。
5.根据权利要求4所述的一种扩散石英舟插片装置，其特征是，所述的第一导槽和第二导槽均为Y型导槽，所述Y型导槽的开口方向均为朝向花篮固定座(23)方向。
6.根据权利要求1所述的一种扩散石英舟插片装置，其特征是，所述的花篮固定座(23)包括底板(4)、滑轨(11)、短固定块(12)、长固定块(10)和手柄(5)，所述的滑轨(11)安装在工作台(25)上，所述的底板(4)安装在滑轨(11)上，所述的短固定块(12)有两个且分别置于底板(4)的左右两边缘处，所述的长固定块(10)置于两个短固定块(12)之间且与短固定块(12)的一端接触，所述短固定块(12)的另一端与底板(4)的前端齐平，所述的手柄(5)有两个且置于底板(4)的后端左右两边。
7.根据权利要求1所述的一种扩散石英舟插片装置，其特征是，所述花篮(24)的形状为无盖的箱体形状，所述花篮(24)的底部设有用于放置推手(26)的窗口(30)，所述花篮(24)的其中两个相对应侧面上设有若干用于放置电池片的凹槽。
8.根据权利要求1所述的一种扩散石英舟插片装置，其特征是，所述的工作台(25)包括框架(7)、底座(6)和角度调节块(14)，所述的底座(6)由玻纤板制作而成，所述的底座(6)和角度调节块(14)均安装在框架(7)上，所述的石英舟固定座(21)、组合型导向座(22)和花篮固定座(23)均安装在底座(6)的上方，所述的角度调节块(14)置于底座(6)的下方且与底座(6)连接。
9.根据权利要求8所述的一种扩散石英舟插片装置，其特征是，所述底座(6)所在的平面与框架(7)所在的水平面之间的夹角为0.30度。
10.根据权利要求1所述的一种扩散石英舟插片装置，其特征是，所述的推手(26)包括推块(8)和手把(9)，所述手把(9)的形状为U型，所述的推手(26)由PE材质制作而成，所述推块(8)的前端设有聚氨酯层，所述推块(8)的后端与手把(9)连接。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510632015.4A CN105336653B (zh) | 2015-09-29 | 2015-09-29 | 一种扩散石英舟插片装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| CN201510632015.4A CN105336653B (zh) | 2015-09-29 | 2015-09-29 | 一种扩散石英舟插片装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN105336653A true CN105336653A (zh) | 2016-02-17 |
| CN105336653B CN105336653B (zh) | 2017-09-12 |
Family
ID=55287095
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201510632015.4A Active CN105336653B (zh) | 2015-09-29 | 2015-09-29 | 一种扩散石英舟插片装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN105336653B (zh) |
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- 2015-09-29 CN CN201510632015.4A patent/CN105336653B/zh active Active
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN105336653B (zh) | 2017-09-12 |
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|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
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| C10 | Entry into substantive examination | ||
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| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
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Denomination of invention: A diffusion quartz boat insert device Effective date of registration: 20221115 Granted publication date: 20170912 Pledgee: Dongyang Branch of China Construction Bank Co.,Ltd. Pledgor: HENGDIAN GROUP DMEGC MAGNETICS Co.,Ltd. Registration number: Y2022330003064 |