CN105334879A - 一种用于铜线键合加工的保护气体监测*** - Google Patents

一种用于铜线键合加工的保护气体监测*** Download PDF

Info

Publication number
CN105334879A
CN105334879A CN201510855275.8A CN201510855275A CN105334879A CN 105334879 A CN105334879 A CN 105334879A CN 201510855275 A CN201510855275 A CN 201510855275A CN 105334879 A CN105334879 A CN 105334879A
Authority
CN
China
Prior art keywords
hydrogen
control system
flow
dcs control
wire bonding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201510855275.8A
Other languages
English (en)
Inventor
邹波
李勇昌
邹锋
蒋振荣
朱金华
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Strong Guilin Microelectronics Co Ltd
Original Assignee
Strong Guilin Microelectronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Strong Guilin Microelectronics Co Ltd filed Critical Strong Guilin Microelectronics Co Ltd
Priority to CN201510855275.8A priority Critical patent/CN105334879A/zh
Publication of CN105334879A publication Critical patent/CN105334879A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D11/00—Control of flow ratio
    • G05D11/02—Controlling ratio of two or more flows of fluid or fluent material
    • G05D11/13—Controlling ratio of two or more flows of fluid or fluent material characterised by the use of electric means
    • G05D11/131—Controlling ratio of two or more flows of fluid or fluent material characterised by the use of electric means by measuring the values related to the quantity of the individual components

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

本发明公开了一种用于铜线键合加工的保护气体监测***，包括混合罐、氢气储罐和氮气储罐，氢气储罐和氮气储罐均通过输送管与混合罐的入口连接，还包括DCS控制***和氢气分析仪，在各输送管上依次设有压力传感器、调压阀、流量调节阀、流量传感器和流量计，所述压力传感器和流量传感器与DCS控制***的信号输入端连接，调压阀、流量调节阀和流量计与DCS控制***的信号输出端连接；所述氢气分析仪的采集端与混合罐连接、其输出端与DCS控制***的信号输入端连接。本发明能准确地监控铜线键合时所需的氮氢保护气体的压力、流量及配比值，有效地提高产品的良品率，具有检测精确、控制响应速度快，反应灵敏的特点。

Description

一种用于铜线键合加工的保护气体监测***
技术领域
本发明涉及一种半导体封装技术领域，具体涉及一种用于铜线键合加工的保护气体监测***。
背景技术
近年来，在半导体封装中，因铜线工艺较金线工艺在成本上有很大的优势，因此，铜线工艺就目前来讲是一种趋势。除了成本较低之外，铜的电导率比金的电导率高，铜的热导率也高于金，因此在直径相同的条件下，铜线可以承载更大的电流，使得铜引线不仅可用于功率器件中，也可以用于需要采集更小直径引线以适应高密度集成电路的封装中；铜的机械强度高于金，使其更适合细小引线的键合。虽然铜线成本低、优势明显，但铜线键合仍面临一些难题，最主要的是：铜线在高温烧结时容易氧化(2Cu+O2＝2Cuo)，生成氧化铜，而氧化铜的硬度比纯铜的硬度更高，这样使得焊接点容易脆裂、焊球氧化或球形不良，且在高温键合时可能出现焊接点和引线框架之间的界面间强度减弱，很容易打穿芯片的铝层，导致产品品质不稳定、良品率低。
为克服上述铜线氧化难题，目前，在半导体行业通常采用的方法是：在烧球过程和键合过程中加入一定比例的还原性保护气体，目的是将氧化的铜瞬间还原，得到纯铜，以达到最好的焊接效果。该还原性保护气体一般是氢气和氦气，两者混合的比例根据使用时的实际而有所不同。但是，因氮氢保护气属于高危气体，基本上都是从车间***供给。由于没有专门的监测***，在实际的操作中对保护气体提供的压力、流量以及混合比例容易出现偏差，使得加入的保护气体不能准确地满足铜线键合时的封装工作，影响产品的质量。
发明内容
针对上述的不足，本发明所要解决的技术问题是提供用于铜线键合加工的保护气体监测***，它能实时监测和控制铜线键合时提供的保护气体的气压、流量和配比情况，反应灵敏、响应速度快且智能化监测。
为解决上述问题，本发明通过以下技术方案实现：
一种用于铜线键合加工的保护气体监测***，包括混合罐、氢气储罐和氮气储罐，氢气储罐和氮气储罐均通过输送管与混合罐的入口连接，混合罐的出口连接有氮氢保护气输出管，还包括DCS控制***和氢气分析仪，在各输送管上依次设有压力传感器、调压阀、流量调节阀、流量传感器和流量计，所述压力传感器和流量传感器与DCS控制***的信号输入端连接，调压阀、流量调节阀和流量计与DCS控制***的信号输出端连接；所述氢气分析仪的采集端与混合罐连接、其输出端与DCS控制***的信号输入端连接。
上述方案中，为实现自动监测报警功能，所述DCS控制***上还连接有一报警装置。
上述方案中，在各输送管上还安装有一压力表，所述压力表与调压阀连接，以实时显示对应输送管内的压力值。
本发明的有益效果为：
本发明通过分别在氢气和氮气的输送管上设置压力传感器、调压阀、流量调节阀、流量传感器和流量计，并结合DCS控制***及氢气分析仪来达到自动检测和控制氢气、氮气在输送过程的压力、流量及配比参数情况，当监测参数出现异常时快速地发出报警信号，具有检测精确、控制响应速度快，反应灵敏的特点，能准确地监测铜线键合时所需的氮氢保护气体，从而有效地提高产品的良品率。
附图说明
图1为本用于铜线键合加工的保护气体监测***的结构示意图。
图中标号为：1、氢气储罐；2、氮气储罐；3、输送管；4、压力传感器；5、调压阀；6、压力表；7、流量调节阀；8、流量传感器；9、混合罐；10、氢气分析仪；11、DCS控制***；12、报警装置；13、流量计；14、氮氢保护气输出管。
具体实施方式
下面结合具体实施例和附图对本发明作进一步的解释说明。
如图1所示，一种用于铜线键合加工的保护气体监测***，包括混合罐9、氢气储罐1和氮气储罐2，氢气储罐1和氮气储罐2均通过输送管3与混合罐9的入口连接，混合罐9的出口连接有氮氢保护气输出管14，还包括DCS控制***11和氢气分析仪10，在各输送管3上依次设有压力传感器4、调压阀5、流量调节阀7、流量传感器8和流量计13。所述DCS控制***11上还连接有一报警装置12。
所述压力传感器4和流量传感器8与DCS控制***11的信号输入端连接，调压阀5、流量调节阀7和流量计13与DCS控制***11的信号输出端连接。其中压力传感器4用于采集输送管3内的气体的压力值，并发送给DCS控制***11；流量传感器8用于采集输送管3内的气体的流量值，并发送给DCS控制***11。
所述氢气分析仪10的采集端与混合罐9连接、其输出端与DCS控制***11的信号输入端连接，用于检测混合罐9内的氢气含量，并发送给DCS控制***11，通过氢气和氮气的混合比例要求，当知道氢气的实际值后即可推算出氮气的实际值。当氢气与氮气的配比比例不在设定的范围时，DCS控制***11通过控制流量计13来进行调整。
在各输送管3上还安装有一压力表6，所述压力表6与调压阀5连接，以实时显示对应输送管3内的压力值。
本发明工作时，压力传感器4和流量传感器8采集分别采集各输送管3内的压力值及气体的流量值，并将采集到的数值发送给DCS控制***11，DCS控制***11将接收到飞压力值和值分别与***内的预设值进行比较，然后向调压阀5及流量控制阀7发出控制信号，以调节输送管3的压力值和流量值；氢气分析仪10实时采集检测混合罐9内的氢气含量、并发送给DCS控制***11，DCS控制***11接收后通过自带的计算功能计算出此时的氢气与氮气的配比值，当该配比值不在预设配比值范围时，发出报警，同时DCS控制***11向流量计13发出控制信号，以实现氮氢保护气体配比量的控制。
以上仅为说明本发明的实施方式，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种用于铜线键合加工的保护气体监测***，包括混合罐(9)、氢气储罐(1)和氮气储罐(2)，氢气储罐(1)和氮气储罐(2)均通过输送管(3)与混合罐(9)的入口连接，混合罐(9)的出口连接有氮氢保护气输出管(14)，其特征在于：还包括DCS控制***(11)和氢气分析仪(10)，在各输送管(3)上依次设有压力传感器(4)、调压阀(5)、流量调节阀(7)、流量传感器(8)和流量计(13)，所述压力传感器(4)和流量传感器(8)与DCS控制***(11)的信号输入端连接，调压阀(5)、流量调节阀(7)及流量计(13)与DCS控制***(11)的信号输出端连接；所述氢气分析仪(10)的采集端与混合罐(9)连接、其输出端与DCS控制***(11)的信号输入端连接。
2.如权利要求1所述的用于铜线键合加工的保护气体监测***，其特征在于：所述DCS控制***(11)上还连接有一报警装置(12)。
3.如权利要求1或2所述的用于铜线键合加工的保护气体监测***，其特征在于：在各输送管(3)上还安装有一压力表(6)，所述压力表(6)与调压阀(5)连接。
CN201510855275.8A 2015-11-30 2015-11-30 一种用于铜线键合加工的保护气体监测*** Pending CN105334879A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510855275.8A CN105334879A (zh) 2015-11-30 2015-11-30 一种用于铜线键合加工的保护气体监测***

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510855275.8A CN105334879A (zh) 2015-11-30 2015-11-30 一种用于铜线键合加工的保护气体监测***

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN105334879A true CN105334879A (zh) 2016-02-17

Family

ID=55285486

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510855275.8A Pending CN105334879A (zh) 2015-11-30 2015-11-30 一种用于铜线键合加工的保护气体监测***

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN105334879A (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106977080A (zh) * 2017-04-14 2017-07-25 河北视窗玻璃有限公司 一种锡槽气氛控制***以及浮法玻璃锡槽
CN108690904A (zh) * 2017-04-07 2018-10-23 江油立航金属材料有限公司 不锈钢热处理保护气循环利用方法
CN108690905A (zh) * 2017-04-07 2018-10-23 江油立航金属材料有限公司 不锈钢热处理保护气循环***
CN110767568A (zh) * 2018-07-26 2020-02-07 北京北方华创微电子装备有限公司 压力调节组件、下电极装置、工艺腔室和半导体处理设备

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4526188A (en) * 1981-05-14 1985-07-02 Siemens Aktiengesellschaft Process and apparatus for mixing gases in a specific proportion and dosing the resultant gas mixture
CN201156531Y (zh) * 2008-02-25 2008-11-26 佛山市蓝箭电子有限公司 一种晶体三极管铜线键合部位用的保护气体配比装置
CN101992035A (zh) * 2009-08-17 2011-03-30 张文波 自动氮氢配气方法
CN102600759A (zh) * 2012-03-23 2012-07-25 刘树伟 一种氮/氯（氩/氯）混合配比***及其操作方法
US20140334246A1 (en) * 2011-12-06 2014-11-13 Nissan Tanaka Corporation Method For Producing Mixed Gas And Gas Mixing Device
CN204583104U (zh) * 2015-04-02 2015-08-26 福建省长汀金龙稀土有限公司 一种氢气氮气可控比例混合***
CN205375210U (zh) * 2015-11-30 2016-07-06 桂林斯壮微电子有限责任公司 一种用于铜线键合加工的保护气体监测***

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4526188A (en) * 1981-05-14 1985-07-02 Siemens Aktiengesellschaft Process and apparatus for mixing gases in a specific proportion and dosing the resultant gas mixture
CN201156531Y (zh) * 2008-02-25 2008-11-26 佛山市蓝箭电子有限公司 一种晶体三极管铜线键合部位用的保护气体配比装置
CN101992035A (zh) * 2009-08-17 2011-03-30 张文波 自动氮氢配气方法
US20140334246A1 (en) * 2011-12-06 2014-11-13 Nissan Tanaka Corporation Method For Producing Mixed Gas And Gas Mixing Device
CN102600759A (zh) * 2012-03-23 2012-07-25 刘树伟 一种氮/氯（氩/氯）混合配比***及其操作方法
CN204583104U (zh) * 2015-04-02 2015-08-26 福建省长汀金龙稀土有限公司 一种氢气氮气可控比例混合***
CN205375210U (zh) * 2015-11-30 2016-07-06 桂林斯壮微电子有限责任公司 一种用于铜线键合加工的保护气体监测***

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108690904A (zh) * 2017-04-07 2018-10-23 江油立航金属材料有限公司 不锈钢热处理保护气循环利用方法
CN108690905A (zh) * 2017-04-07 2018-10-23 江油立航金属材料有限公司 不锈钢热处理保护气循环***
CN106977080A (zh) * 2017-04-14 2017-07-25 河北视窗玻璃有限公司 一种锡槽气氛控制***以及浮法玻璃锡槽
CN110767568A (zh) * 2018-07-26 2020-02-07 北京北方华创微电子装备有限公司 压力调节组件、下电极装置、工艺腔室和半导体处理设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105334879A (zh) 一种用于铜线键合加工的保护气体监测***
CN205375210U (zh) 一种用于铜线键合加工的保护气体监测***
CN207336353U (zh) 一种变压器油中溶解气体在线监测装置
CN103572801A (zh) 自来水爆管监测***
CN104096830B (zh) 钢包长水口氩气箱
CN102759145B (zh) 供暖***流量平衡调节方法及流量平衡调节***
CN201608194U (zh) 反应腔压力自平衡控制***
CN104944380A (zh) 双氧水生产***的加酸装置
CN106958745A (zh) 一种用于家庭供水管道的漏水检测***
CN106783653A (zh) 基于多芯片堆叠工艺的芯片内部温度监控设备
CN106593527B (zh) 氮气保护隧道推板窑气氛自动调节***
CN105717192B (zh) 一种在线高温涡流监测传感器
CN104677655A (zh) 中央空调水源热泵***性能测试方法
CN204803005U (zh) 一种用于工业双氧水生产过程中在线检测与连续加酸装置
CN206161121U (zh) 一种用于流量计的在线检测装置
CN107975515A (zh) 燃气比例阀自动检测装置及检测方法
CN205618365U (zh) 一种用于空调器压缩机的排气阀片组件和压缩机
CN202916647U (zh) 一种二极管测量转向磁铁控制***
CN206958027U (zh) 燃气比例阀自动检测装置
CN206891472U (zh) 一种用于油气分离器的数据监控装置
TWM534798U (zh) 可監測管路是否堵塞的排氣管路監控系統
CN206847923U (zh) 燃气比例阀检测工装
CN102371290A (zh) 管线成型加工过程的在线探伤检测工艺
CN206335222U (zh) 一种热风式回流焊炉实时抽风监控装置
CN214168125U (zh) 一种用于气相沉积机的侦测装置及气相沉积机

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20160217

WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication