CN105289203A - 一种气体分子污染物热处理单元 - Google Patents

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曾宪祥
张纯
任思雨
苏君海
李建华
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Abstract

本发明提供一种气体分子污染物热处理单元，包括供空气依次经过的离子吸附板、泵和冷冻机、蒸发器、风扇组和过滤器，其特征在于：还设有沸石转轮装置，所述沸石转轮装置包括沸石区、脱附区和冷却区，沸石区用于供空气通过进入离子吸附板，脱附区用于将沸石区输出的部分含有机物的空气加热后脱附，冷却区用于冷却部分加热脱附的空气。本发明提供的气体分子污染物热处理单元(TAU)通过沸石转轮装置的沸石区供空气依次进入离子吸附板过滤无机污染物，通过沸石转轮装置的脱附区过滤有机污染物，因可对含有挥发性有机化合物(VOC)的气体进行过滤，提高了TAU过滤有机物的效率，提高曝光区域所需空气的洁净度。

Description

一种气体分子污染物热处理单元
技术领域
本发明涉及柔性显示屏制造技术领域，尤其涉及一种气体分子污染物热处理单元。
背景技术
在半导体行业的低温多晶硅(lowtemperaturepoly-silicon，简称:LTPS)制程中，为了保持洁净房的高洁净度，需使用气体分子污染物热处理单元(thermalAMCunit,简称:TAU)或者过滤器来除去生产中产生的气体分子污染物(AirborneMolecularcontamination,简称:AMC)，气体分子污染物(AMC)包括无机的气体污染物(如NH3、NOx、SOx等)以及有机的丙二醇甲醚(PGME)和丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)。气体分子污染物热处理单元(TAU)一般作用于化学气相沉积(ChemicalVaporDeposition,简称：CVD)、准分子激光晶化(ExcimerLaserAnnealing,简称：ELA)和光致曝光(photoexposure)机区域，而曝光区域除了有气体分子污染物(AMC)外，还有光刻胶和有机胶挥发出来的挥发物以及一些挥发性有机化合物(VolatileOrganicCompounds，简称：VOC)。
如图1、2所示，目前，气体分子污染物热处理单元(TAU)的主要部件是离子吸附板，吸附的无机酸碱污染物可以用水洗去掉，但是对有机物的过滤效率较低。现有的气体分子污染物热处理单元(TAU)中，空气从气体分子污染物热处理单元(TAU)的入口进入，经过离子吸附板1、泵和冷冻机2处理后，再通过蒸发器3蒸发，风机组4把空气吹到腔室，通过聚四氟乙烯(Polytetrafluoroethylene，简称：PTFE)过滤器5把空气中颗粒去除掉，即可提供比之前较洁净的空气。但是洁净房内的挥发性有机化合物(VolatileOrganicCompounds，简称：VOC)之类的污染物没办法经过离子吸附板大量去除。
发明内容
针对上述现有技术的不足，本发明提供了一种气体分子污染物热处理单元(TAU)，在TAU中加入沸石转轮装置，对含有挥发性有机化合物(VOC)的气体进行过滤，提高了TAU过滤有机物的效率，提高曝光区域所需空气的洁净度。
为达到上述目的，本发明所采取的技术方案为：
本发明提供一种气体分子污染物热处理单元，包括供空气依次经过的离子吸附板、泵和冷冻机、蒸发器、风扇组和过滤器，还设有沸石转轮装置，所述沸石转轮装置包括沸石区、脱附区和冷却区，沸石区用于供空气通过进入离子吸附板，脱附区用于将沸石区输出的部分含有机物的空气加热后脱附，冷却区用于冷却部分加热脱附的空气。
进一步地，所述沸石区的输出口还与用于加热沸石区输出的部分含有机物的空气的加热器的输入口连通，加热器的输出口连通脱附区的输入口。
进一步地，还设有催化氧化器，用于将沸石转轮装置脱附后输出的废气通过化学变化生成无污染物质排放。
进一步地，在风扇组抽取的空气进入所述沸石转轮装置之前，还经过除尘器除尘和蒸发器除湿。
进一步地，沸石转轮装置的转速根据需要调节。
更进一步地，沸石转轮装置的转速设置为1-6转每小时。
进一步地，所述蒸发器为旋管蒸发器。
进一步地，所述过滤器为聚四氟乙烯过滤器。
本发明的有益效果在于：气体分子污染物热处理单元(TAU)通过沸石转轮装置的沸石区供空气依次进入离子吸附板过滤无机污染物，通过沸石转轮装置的脱附区过滤有机污染物，因可对含有挥发性有机化合物(VOC)的气体进行过滤，提高了TAU过滤有机物的效率，提高曝光区域所需空气的洁净度。
附图说明
图1为现有的气体分子污染物热处理单元(TAU)的结构示意图；
图2为现有的气体分子污染物热处理单元(TAU)的实施示意图；
图3为本发明的气体分子污染物热处理单元(TAU)的结构示意图；
图4为本发明的气体分子污染物热处理单元(TAU)的实施示意图；
图5为本发明的气体分子污染物热处理单元(TAU)中的沸石转轮装置的结构示意图；
图6为本发明的气体分子污染物热处理单元(TAU)中的沸石转轮装置的实施示意图。
具体实施方式
下面结合附图具体阐明本发明的实施方式，附图仅供参考和说明使用，不构成对本发明专利保护范围的限制。
如图3-6所示，本实施例提供一种气体分子污染物热处理单元，包括供空气依次经过的离子吸附板1、泵和冷冻机2、蒸发器3、风扇组4和过滤器5，还设有沸石转轮装置6，所述沸石转轮装置6包括沸石区61、脱附区62和冷却区63，沸石区61用于供空气通过依次进入离子吸附板1、泵和冷冻机2、蒸发器3、风扇组4和过滤器5，脱附区62用于将沸石区61输出的部分含有机物的空气加热后脱附，冷却区63用于冷却部分加热脱附的空气。
在本实施例中，如图3所示，所述沸石区61的输出口还与用于加热沸石区61输出的部分含有机物的空气的加热器7的输入口连通，加热器7的输出口连通脱附区62的输入口。
在本实施例中，还设有催化氧化器8，用于将沸石转轮装置6脱附后输出的废气通过化学变化(如：通过燃烧等方式)生成无污染物质氧化物排放到大气中，生成的无污染物质为CO2和水蒸气。
在本实施例中，在风扇组10抽取的空气进入所述沸石转轮装置6之前，还经过除尘器11除尘和蒸发器12除湿。
在本实施例中，沸石转轮装置6的转速根据需要调节。较佳地，沸石转轮的转速设置为1-6转每小时。
在本实施例中，所述蒸发器3、12为旋管(Coil)蒸发器。
本实施例中，所述过滤器5为聚四氟乙烯(PTFE)过滤器。
目前对有机物的过滤可采用活性炭和沸石转轮两种方法。活性炭过滤网采用通孔结构的铝蜂窝、塑料蜂窝、纸蜂窝为载体，由于空气阻力小，能耗低，可在一定风量下除臭、除异味，净化环境，具有很好的净化效果。但当活性炭的吸附能力饱和的时候，就必须更换。活性炭的使用寿命一般为3到6个月。沸石转轮也可以有效地吸附有机物，并且将有机物脱附之后可以继续使用。吸收的有机物可以送到催化氧化装置中转换成CO2和水蒸气排放到大气中。因此，本发明在气体分子污染物热处理单元TAU中加入沸石转轮装置6来过滤有机物，可以提高气体分子污染物热处理单元TAU对有机物的过滤效率，且不需要频繁更换部件。
本发明的气体分子污染物热处理单元TAU的工作过程为：
风扇组10先将空气抽入，经过除尘器11除去粉尘后，旋管(Coil)蒸发器12去湿。如图5、6所示，沸石转轮装置6上有三块区域，一个是正常的沸石区61，一个是吸附了有机物的脱附区62，一个是脱附完后的冷却区63。从正常沸石区61出来的气体会依次经过离子吸附板1、泵和冷冻机2、蒸发器3、风扇组4和过滤器5，完成气体分子污染物热处理单元TAU部件处理的正常流程。正常沸石区61输出的气体中的部分含有机污染物的气体会分流经过加热器7加热后再到脱附区63，用于脱附有机污染物。低温冷却区63冷却的气流是脱附区62转换过来的，因为之前有加热的气流通过，所以需要冷却。冷却气体用风扇组10抽取的空气。从沸石转轮装置6脱附出来的废气经过催化氧化器8(焚烧炉)变化生成CO2和H2O排放到大气中。
以上所揭露的仅为本发明的较佳实施例，不能以此来限定本发明的权利保护范围，因此依本发明申请专利范围所作的等同变化，仍属本发明所涵盖的范围。

Claims (8)

1.一种气体分子污染物热处理单元，包括供空气依次经过的离子吸附板、泵和冷冻机、蒸发器、风扇组和过滤器，其特征在于：还设有沸石转轮装置，所述沸石转轮装置包括沸石区、脱附区和冷却区，沸石区用于供空气通过进入离子吸附板，脱附区用于将沸石区输出的部分含有机物的空气加热后脱附，冷却区用于冷却部分加热脱附的空气。
2.根据权利要求1所述的气体分子污染物热处理单元，其特征在于：
所述沸石区的输出口还与用于加热沸石区输出的部分含有机物的空气的加热器的输入口连通，加热器的输出口连通脱附区的输入口。
3.根据权利要求1所述的气体分子污染物热处理单元，其特征在于：
还设有催化氧化器，用于将沸石转轮脱附后输出的废气通过化学变化生成无污染物质排放。
4.根据权利要求1所述的气体分子污染物热处理单元，其特征在于：
在风扇组抽取的空气进入所述沸石转轮装置之前，还经过除尘器除尘和蒸发器除湿。
5.根据权利要求1所述的气体分子污染物热处理单元，其特征在于：
沸石转轮装置的转速根据需要调节。
6.据权利要求5所述的气体分子污染物热处理单元，其特征在于：
沸石转轮装置的转速设置为1-6转每小时。
7.根据权利要求1或4所述的气体分子污染物热处理单元，其特征在于：
所述蒸发器为旋管蒸发器。
8.根据权利要求1所述的气体分子污染物热处理单元，其特征在于：
所述过滤器为聚四氟乙烯过滤器。
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