CN105140362A - 蓝宝石led灯丝基板的生产方法 - Google Patents

蓝宝石led灯丝基板的生产方法 Download PDF

Info

Publication number
CN105140362A
CN105140362A CN201510354411.5A CN201510354411A CN105140362A CN 105140362 A CN105140362 A CN 105140362A CN 201510354411 A CN201510354411 A CN 201510354411A CN 105140362 A CN105140362 A CN 105140362A
Authority
CN
China
Prior art keywords
wafer
polishing
production method
led silk
sapphire
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201510354411.5A
Other languages
English (en)
Inventor
苏凤坚
刘俊
郝正平
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jiangsu Sue And Optical Equipment Co Ltd
Original Assignee
Jiangsu Sue And Optical Equipment Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jiangsu Sue And Optical Equipment Co Ltd filed Critical Jiangsu Sue And Optical Equipment Co Ltd
Priority to CN201510354411.5A priority Critical patent/CN105140362A/zh
Publication of CN105140362A publication Critical patent/CN105140362A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/02Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
    • H01L33/16Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a particular crystal structure or orientation, e.g. polycrystalline, amorphous or porous
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02002Preparing wafers
    • H01L21/02005Preparing bulk and homogeneous wafers
    • H01L21/02008Multistep processes
    • H01L21/0201Specific process step
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02002Preparing wafers
    • H01L21/02005Preparing bulk and homogeneous wafers
    • H01L21/02008Multistep processes
    • H01L21/0201Specific process step
    • H01L21/02013Grinding, lapping
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02002Preparing wafers
    • H01L21/02005Preparing bulk and homogeneous wafers
    • H01L21/02008Multistep processes
    • H01L21/0201Specific process step
    • H01L21/02021Edge treatment, chamfering
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02002Preparing wafers
    • H01L21/02005Preparing bulk and homogeneous wafers
    • H01L21/02008Multistep processes
    • H01L21/0201Specific process step
    • H01L21/02024Mirror polishing

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
  • Led Devices (AREA)

Abstract

本发明涉及一种蓝宝石LED灯丝基板的生产方法,具体步骤包括晶体掏棒、晶体切割、研磨、倒角、退火、双面抛光、激光取片、刷银等工序;本发明的蓝宝石LED灯丝基板的生产方法成片质量高,废品率低,生产效率高。

Description

蓝宝石LED灯丝基板的生产方法
技术领域
本发明涉及一种蓝宝石片的生产方法,尤其涉及一种蓝宝石LED灯丝基板的生产方法,属于蓝宝石加工技术领域。
背景技术
LED灯丝以其节能、全角度发光等优点而被广泛应用。目前,LED灯丝基板的材质一般为玻璃、硅树脂或碳化硅,但玻璃硬度差,导热性差;硅树脂导热性差;而碳化硅则制作成本大。
随着科技的进步,蓝宝石基板在LED技术中得到广泛应用。蓝宝石具有很好的热特性,极好的电气特性和介电特性,可以在高温下保持高强度、优良的热属性和透过率,并且防化学腐蚀。用蓝宝石为原料制成的LED灯丝,亮度高,硬度高且导热性好,深受消费者满意。
中国专利文献ZL201420699840.7公开了一种全周发光的LED灯丝,包括混有荧光粉的基板,设置于所述基板上的电极,安装在所述基板上的至少一个LED芯片,以及覆盖于所述LED芯片上的封装胶。通过含有荧光粉的硅树脂形成的基板,免除了玻璃或蓝宝石作为基板的成本。混有荧光粉的硅树脂形成的基板代替了玻璃以及蓝宝石基板,使用所述基板制作的灯丝避免了玻璃或蓝宝石对芯片出光的影响,实现了360度出光,出光均匀性和光效大大提高。
但采用混有荧光粉的硅树脂做成的LED灯丝基板仍存在导热性差,影响发光效率和使用寿命的问题,且其工序设计不够合理,会直接影响LED灯丝的质量和成品率。。
发明内容
本发明解决的技术问题是:提出一种提出一种成片质量高,废品率低,生产效率高的蓝宝石LED灯丝基板的生产方法。
为了解决上述技术问题,本发明提出的技术方案是:一种蓝宝石LED灯丝基板的生产方法,包括以下具体步骤:
步骤一、晶体掏棒;取A向、M向或C向的蓝宝石晶体,然后使用掏棒机进行掏棒,从而得到晶棒;
步骤二、晶体切割;采用金刚砂线切割设备对晶棒进行切割,从而得到晶片;
步骤三、研磨;采用研磨机对晶片进行研磨;研磨时,加入研磨液,研磨盘对晶片加压至0.02~0.022Mpa,研磨盘的转速为1000~1200rpm/min;研磨完成后用无水乙醇清洗;所述研磨液组分包括:0.5~2%的颗粒大小为10~20μm的立方氮化硼粉末,14~16%的烷基酚聚氧乙烯醚,4~6%的甘油,9~11%的聚丙二醇400,其余为去离子水;
步骤四、倒角;采用数控机床的金刚石砂轮对晶片的边角进行倒角处理,;
步骤五、退火;将晶片放入退火炉内,以180~220℃/h的速度进行升温将温度升至1600℃,升温时在300℃、800℃、1600℃分别保温2~6h,然后以200℃的温度进行降温,降温时在1000℃、500℃分别保温2~3h冷却至室温取出;
步骤六、双面化学抛光;先用无水乙醇对晶片进行清洗,然后将清洗后的晶片放入双面抛光机中固定;抛光时,加入抛光液,抛光盘对晶片加压至0.12~0.15Mpa,抛光盘的转速为1000~1500rpm/min、将抛光好的晶片用无水乙醇清洗后,在室温下进行自然冷却;所述抛光液组分包括:0.5~2%的颗粒大小为1~6μm的立方氮化硼粉末,14~16%的烷基酚聚氧乙烯醚,4~6%的甘油,9~11%的聚丙二醇400,0.5~2%的纳米二氧化硅,使得抛光液PH值为11.0~13.0的碱性溶液,其余为去离子水;抛光过程中不断补充碱性溶液以保持抛光液的PH值;
步骤七、激光取片;将抛光后的晶片放入激光切割机中并通入保护气体,将晶片按需求切割成相应大小。
对上述技术方案的改进为:所述步骤一中,将晶体生长炉内的温度降至1600℃,再对晶体进行退火处理,控制温度以100℃/h的速度缓慢降温并持续22h。
对上述技术方案的改进为:所述步骤二中,金刚砂线的直径为0.14~0.16mm,金刚砂线上金刚石的粒径为30~40μm,金刚砂线在切割时以12~15m/s的速度运动,晶体相对于金刚砂线的移动速度为0.2~0.3mm/min,切割时不断向金刚砂线喷洒切割液,所述切割液中含有粒径为20~30μm的金刚石颗粒和粒径为50~60μm的刚玉颗粒。
对上述技术方案的改进为:所述步骤三中,所述研磨液中含有粒径为3~6μm的氧化铝颗粒。
对上述技术方案的改进为:所述步骤五中,升温时,在300℃保温2h,在800℃保温3h,在1600℃保温4h。
对上述技术方案的改进为:所述步骤六中,所述碱性溶液为KOH。
对上述技术方案的改进为:所述步骤六中,所述抛光液PH值为12.0。
对上述技术方案的改进为:所述步骤六中,抛光盘对晶片加压至0.135Mpa。
对上述技术方案的改进为:所述步骤七中,激光束的直径为0.015~0.02mm,切割速度为3~5mm/s。
对上述技术方案的改进为:步骤七中所述保护气体为氮气。
本发明具有积极的效果:
(1)本发明的LED灯丝基板生产方法,先研磨、抛光再激光取片,可以提高研磨、抛光的生产效率,由于蓝宝石硬度大,抛光时必须施加较大的压力,在抛光之前退火有利于消除线切割、研磨等机械加工工序所产生的内应力,使得晶片在抛光时不宜碎裂,有效提高成品率。
(2)本发明的LED灯丝基板生产方法,严格控制研磨和抛光的参数以及研磨液和抛光液的成分,有利于提高研磨和抛光的效率,提高研磨和抛光的成品率,制备出的晶片结构完整,无物理损伤,表面细腻,光滑,形变小。研磨液和抛光液中,适量的立方氮化硼粉末充当磨料,硬度高,耐磨性好;烷基酚聚氧乙烯醚、甘油、聚丙二醇400和去离子水形成的悬浮液黏度和界面膜性质稳定,使得磨料悬浮稳定,均匀度好,不会粘并,有利于提高研磨和抛光的质量和效率。适量的烷基酚聚氧乙烯醚是一种非离子表面活性剂,其性质稳定,具有分散、乳化、润湿等多种性能,是悬浮液获得优异性能最主要的成分;甘油比重合适,与水和有机溶液都有很好的溶解性,作为辅助分散剂非常适合;聚丙二醇400具有乳化、润湿的作用,并且可以有效增稠,有效提升悬浮液的黏度和界面膜性质。另外,抛光液中含有适量的纳米SiO2,粒度均匀、分散性好、平坦化效率高。碱性溶液KOH使得抛光液为碱性,通过化学腐蚀辅助抛光,从而抛光效果更好,抛光效率更好。为了保持抛光液的稳定性,从而保证抛光的效率和质量,必须不断地补充碱性溶液,维持抛光液PH值基本不变。
(3)本发明的LED灯丝基板采用蓝宝石为基板制成,由于蓝宝石硬度高,耐磨性好,使得基板不易磨损和划伤。通过本发明的LED灯丝生产方法制成的灯丝,发光效率高,光学性能达标,且成片质量高,废品率低,生产效率高,应用前景广阔。
具体实施方式
实施例1
本实施例的蓝宝石LED灯丝基板的制备流程包括如下步骤:
步骤一、晶体掏棒;取A向、M向或C向的蓝宝石晶体,然后使用掏棒机进行掏棒,从而得到晶棒;
步骤二、晶体切割;采用金刚砂线切割设备对晶棒进行切割,从而得到晶片;
步骤三、研磨;采用研磨机对晶片进行研磨;研磨时,加入研磨液,研磨盘对晶片加压至0.022Mpa,研磨盘的转速为1200rpm/min;研磨完成后用无水乙醇清洗;所述研磨液组分包括:2%的颗粒大小为20μm的立方氮化硼粉末,16%的烷基酚聚氧乙烯醚,6%的甘油,11%的聚丙二醇400,其余为去离子水;
步骤四、倒角;采用数控机床的金刚石砂轮对晶片的边角进行倒角处理,;
步骤五、退火;将晶片放入退火炉内,以220℃/h的速度进行升温将温度升至1600℃,升温时在300℃、800℃、1600℃分别保温6h,然后以200℃的温度进行降温,降温时在1000℃、500℃分别保温3h冷却至室温取出;
步骤六、双面化学抛光;先用无水乙醇对晶片进行清洗,然后将清洗后的晶片放入双面抛光机中固定;抛光时,加入抛光液,抛光盘对晶片加压至0.15Mpa,抛光盘的转速为1500rpm/min、将抛光好的晶片用无水乙醇清洗后,在室温下进行自然冷却;所述抛光液组分包括:2%的颗粒大小为6μm的立方氮化硼粉末,16%的烷基酚聚氧乙烯醚,6%的甘油,11%的聚丙二醇400,2%的纳米二氧化硅,使得抛光液PH值为13.0的碱性溶液,其余为去离子水;抛光过程中不断补充碱性溶液以保持抛光液的PH值;
步骤七、激光取片;将抛光后的晶片放入激光切割机中并通入保护气体,将晶片按需求切割成相应大小。
实施例2
本实施例的蓝宝石LED灯丝基板的制备流程包括如下步骤:
步骤一、晶体掏棒;取A向、M向或C向的蓝宝石晶体,然后使用掏棒机进行掏棒,从而得到晶棒;
步骤二、晶体切割;采用金刚砂线切割设备对晶棒进行切割,从而得到晶片;
步骤三、研磨;采用研磨机对晶片进行研磨;研磨时,加入研磨液,研磨盘对晶片加压至0.02Mpa,研磨盘的转速为1000rpm/min;研磨完成后用无水乙醇清洗;所述研磨液组分包括:0.5%的颗粒大小为10μm的立方氮化硼粉末,14%的烷基酚聚氧乙烯醚,4%的甘油,9%的聚丙二醇400,其余为去离子水;
步骤四、倒角;采用数控机床的金刚石砂轮对晶片的边角进行倒角处理,;
步骤五、退火;将晶片放入退火炉内,以180℃/h的速度进行升温将温度升至1600℃,升温时在300℃、800℃、1600℃分别保温2h,然后以200℃的温度进行降温,降温时在1000℃、500℃分别保温2h冷却至室温取出;
步骤六、双面化学抛光;先用无水乙醇对晶片进行清洗,然后将清洗后的晶片放入双面抛光机中固定;抛光时,加入抛光液,抛光盘对晶片加压至0.12Mpa,抛光盘的转速为1000rpm/min、将抛光好的晶片用无水乙醇清洗后,在室温下进行自然冷却;所述抛光液组分包括:0.5%的颗粒大小为1μm的立方氮化硼粉末,14%的烷基酚聚氧乙烯醚,4%的甘油,9%的聚丙二醇400,0.5%的纳米二氧化硅,使得抛光液PH值为11.0的碱性溶液,其余为去离子水;抛光过程中不断补充碱性溶液以保持抛光液的PH值;
步骤七、激光取片;将抛光后的晶片放入激光切割机中并通入保护气体,将晶片按需求切割成相应大小。
实施例3
本实施例的蓝宝石LED灯丝基板的制备流程包括如下步骤:
步骤一、晶体掏棒;取A向、M向或C向的蓝宝石晶体,然后使用掏棒机进行掏棒,从而得到晶棒;
步骤二、晶体切割;采用金刚砂线切割设备对晶棒进行切割,从而得到晶片;
步骤三、研磨;采用研磨机对晶片进行研磨;研磨时,加入研磨液,研磨盘对晶片加压至0.02Mpa,研磨盘的转速为1100rpm/min;研磨完成后用无水乙醇清洗;所述研磨液组分包括:1%的颗粒大小为15μm的立方氮化硼粉末,15%的烷基酚聚氧乙烯醚,5%的甘油,10%的聚丙二醇400,其余为去离子水;
步骤四、倒角;采用数控机床的金刚石砂轮对晶片的边角进行倒角处理,;
步骤五、退火;将晶片放入退火炉内,以200℃/h的速度进行升温将温度升至1600℃,升温时在300℃、800℃、1600℃分别保温4h,然后以200℃的温度进行降温,降温时在1000℃、500℃分别保温3h冷却至室温取出;
步骤六、双面化学抛光;先用无水乙醇对晶片进行清洗,然后将清洗后的晶片放入双面抛光机中固定;抛光时,加入抛光液,抛光盘对晶片加压至0.13Mpa,抛光盘的转速为1200rpm/min、将抛光好的晶片用无水乙醇清洗后,在室温下进行自然冷却;所述抛光液组分包括:1%的颗粒大小为3μm的立方氮化硼粉末,15%的烷基酚聚氧乙烯醚,5%的甘油,10%的聚丙二醇400,1%的纳米二氧化硅,使得抛光液PH值为12.0的碱性溶液,其余为去离子水;抛光过程中不断补充碱性溶液以保持抛光液的PH值;步骤七、激光取片;将抛光后的晶片放入激光切割机中并通入保护气体,将晶片按需求切割成相应大小。
本发明的蓝宝石LED灯丝基板的生产方法不局限于上述实施例所述的具体技术方案,凡采用等同替换形成的技术方案均为本发明要求的保护范围。

Claims (9)

1.一种蓝宝石LED灯丝基板的生产方法,其特征在于,包括以下具体步骤:
步骤一、晶体掏棒;取A向、M向或C向的蓝宝石晶体,然后使用掏棒机进行掏棒,从而得到晶棒;
步骤二、晶体切割;采用金刚砂线切割设备对晶棒进行切割,从而得到晶片;
步骤三、研磨;采用研磨机对晶片进行研磨;研磨时,加入研磨液,研磨盘对晶片加压至0.02~0.022Mpa,研磨盘的转速为1000~1200rpm/min;研磨完成后用无水乙醇清洗;所述研磨液组分包括:0.5~2%的颗粒大小为10~20μm的立方氮化硼粉末,14~16%的烷基酚聚氧乙烯醚,4~6%的甘油,9~11%的聚丙二醇400,其余为去离子水;
步骤四、倒角;采用数控机床的金刚石砂轮对晶片的边角进行倒角处理,;
步骤五、退火;将晶片放入退火炉内,以180~220℃/h的速度进行升温将温度升至1600℃,升温时在300℃、800℃、1600℃分别保温2~6h,然后以200℃的温度进行降温,降温时在1000℃、500℃分别保温2~3h冷却至室温取出;
步骤六、双面化学抛光;先用无水乙醇对晶片进行清洗,然后将清洗后的晶片放入双面抛光机中固定;抛光时,加入抛光液,抛光盘对晶片加压至0.12~0.15Mpa,抛光盘的转速为1000~1500rpm/min、将抛光好的晶片用无水乙醇清洗后,在室温下进行自然冷却;所述抛光液组分包括:0.5~2%的颗粒大小为1~6μm的立方氮化硼粉末,14~16%的烷基酚聚氧乙烯醚,4~6%的甘油,9~11%的聚丙二醇400,0.5~2%的纳米二氧化硅,使得抛光液PH值为11.0~13.0的碱性溶液,其余为去离子水;抛光过程中不断补充碱性溶液以保持抛光液的PH值;
步骤七、激光取片;将抛光后的晶片放入激光切割机中并通入保护气体,将晶片按需求切割成相应大小。
2.根据权利要求1所述蓝宝石LED灯丝基板的生产方法,其特征在于:所述步骤二中,金刚砂线的直径为0.14~0.16mm,金刚砂线上金刚石的粒径为30~40μm,金刚砂线在切割时以12~15m/s的速度运动,晶体相对于金刚砂线的移动速度为0.2~0.3mm/min,切割时不断向金刚砂线喷洒切割液,所述切割液中含有粒径为20~30μm的金刚石颗粒和粒径为50~60μm的刚玉颗粒。
3.根据权利要求1所述蓝宝石LED灯丝基板的生产方法,其特征在于:所述步骤三中,所述研磨液中含有粒径为3~6μm的氧化铝颗粒。
4.根据权利要求1所述蓝宝石LED灯丝基板的生产方法,其特征在于:所述步骤五中,升温时,在300℃保温2h,在800℃保温3h,在1600℃保温4h。
5.根据权利要求1所述蓝宝石LED灯丝基板的生产方法,其特征在于:所述步骤六中,所述碱性溶液为KOH。
6.根据权利要求1所述蓝宝石LED灯丝基板的生产方法,其特征在于:所述步骤六中,所述抛光液PH值为12.0。
7.根据权利要求1所述蓝宝石LED灯丝基板的生产方法,其特征在于:所述步骤六中,抛光盘对晶片加压至0.135Mpa。
8.根据权利要求1所述蓝宝石LED灯丝基板的生产方法,其特征在于:所述步骤七中,激光束的直径为0.015~0.02mm,切割速度为3~5mm/s。
9.根据权利要求1所述蓝宝石LED灯丝基板的生产方法,其特征在于:步骤七中所述保护气体为氮气。
CN201510354411.5A 2015-06-25 2015-06-25 蓝宝石led灯丝基板的生产方法 Pending CN105140362A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510354411.5A CN105140362A (zh) 2015-06-25 2015-06-25 蓝宝石led灯丝基板的生产方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510354411.5A CN105140362A (zh) 2015-06-25 2015-06-25 蓝宝石led灯丝基板的生产方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN105140362A true CN105140362A (zh) 2015-12-09

Family

ID=54725646

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510354411.5A Pending CN105140362A (zh) 2015-06-25 2015-06-25 蓝宝石led灯丝基板的生产方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN105140362A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106764483A (zh) * 2016-11-30 2017-05-31 深圳市耀铭豪智能科技有限公司 一种led照明装置及其制备方法
CN111755578A (zh) * 2020-07-13 2020-10-09 福建晶安光电有限公司 一种衬底及其加工方法以及发光二极管及其制造方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1836842A (zh) * 2006-04-19 2006-09-27 山东大学 大直径高硬度6H-SiC单晶片的表面抛光方法
JP2007088193A (ja) * 2005-09-22 2007-04-05 Sumitomo Metal Mining Co Ltd サファイア基板およびその製造方法
CN102634850A (zh) * 2012-03-31 2012-08-15 江苏鑫和泰光电科技有限公司 一种蓝宝石晶片的退火方法
CN105185896A (zh) * 2015-06-18 2015-12-23 江苏苏创光学器材有限公司 蓝宝石led灯丝的生产方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007088193A (ja) * 2005-09-22 2007-04-05 Sumitomo Metal Mining Co Ltd サファイア基板およびその製造方法
CN1836842A (zh) * 2006-04-19 2006-09-27 山东大学 大直径高硬度6H-SiC单晶片的表面抛光方法
CN102634850A (zh) * 2012-03-31 2012-08-15 江苏鑫和泰光电科技有限公司 一种蓝宝石晶片的退火方法
CN105185896A (zh) * 2015-06-18 2015-12-23 江苏苏创光学器材有限公司 蓝宝石led灯丝的生产方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106764483A (zh) * 2016-11-30 2017-05-31 深圳市耀铭豪智能科技有限公司 一种led照明装置及其制备方法
CN111755578A (zh) * 2020-07-13 2020-10-09 福建晶安光电有限公司 一种衬底及其加工方法以及发光二极管及其制造方法
CN111755578B (zh) * 2020-07-13 2021-11-02 福建晶安光电有限公司 一种衬底及其加工方法以及发光二极管及其制造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104356950B (zh) 一种蓝宝石晶片抛光液
CN105038605B (zh) 蓝宝石粗磨液
CN103252708B (zh) 基于固结磨料抛光垫的蓝宝石衬底的超精密加工方法
CN104312440B (zh) 一种化学机械抛光组合物
CN105141812A (zh) 蓝宝石摄像头窗口片的生产方法
CN104999365A (zh) 蓝宝石晶片研磨抛光方法
CN102337082A (zh) 水基6H-SiC单晶衬底化学机械抛光液及其制备方法
CN104842225A (zh) 大尺寸蓝宝石衬底片表面的湿法处理方法
WO2021078247A1 (zh) 一种大尺寸单晶金刚石的磨削方法
WO2013008751A1 (ja) 光変換用セラミック複合体の製造方法
CN104449399A (zh) 一种适用于蓝宝石a面的化学机械抛光组合物
CN105171941A (zh) 一种蓝宝石触屏面板的制备方法
CN106271900A (zh) 一种蓝宝石抛光工艺
CN104827592A (zh) 一种大尺寸蓝宝石衬底片的加工方法
CN105817976A (zh) 一种纳米深度损伤层高效超精密磨削方法
CN104977638A (zh) 红外截止滤光片的制备方法
CN105140362A (zh) 蓝宝石led灯丝基板的生产方法
JP2012248594A (ja) 研磨剤
CN105199610B (zh) 一种蓝宝石抛光组合物及其制备方法
CN105128157A (zh) 蓝宝石指纹识别面板的制备方法
CN105185877A (zh) 蓝宝石led灯丝的制备方法
CN105154968A (zh) 蓝宝石led灯丝基板的制备方法
CN105185896A (zh) 蓝宝石led灯丝的生产方法
CN108098569B (zh) 一种抛光蓝宝石晶片的内含钕化物软质磨料固着磨具及其制作方法
CN104909741B (zh) 一种石榴石型铝酸盐荧光陶瓷的制备方法及所制成的荧光陶瓷

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20151209