CN105137562A - 一种光学元件三自由度微位移调节装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种光学元件三自由度微位移调节装置，包括：镜筒（1）、用于光学元件放置的镜框（2）和分别与镜筒（1）、镜框（2）连接的三自由度调节装置，该三自由度调节装置可驱动镜框（2）相对镜筒（1）沿X、Y、Z三个自由度进行移动，实现光学元件位移调节的目的；该位移调节装置具有结构简单，设计合理，调节精度高，方便加工等优点。

Description

一种光学元件三自由度微位移调节装置

技术领域

本发明涉及光刻投影物镜制造技术领域，特别提供了一种光学元件三自由度微位移调节装置。

背景技术

光刻投影物镜是超大/极大规模集成电路制造工艺中的关键设备，近年来随着集成电路线宽不断减小，光刻投影物镜的分辨率逐渐提高。不断提高的光学装备整机性能要求其投影物镜具有更高的数值孔径（NA）、更小的***波像差。用于倍率、场曲、像散、球差等指标补偿的轴向和偏心调整装置是光学***性能补偿的主要手段之一，是保证光刻物镜具有较高分辨率的重要装置。调节机构的调节精度往往达到100nm以内，同时调节引入的面形RMS保持在3nm以内。因此，传统的齿轮齿条、涡轮蜗杆、丝杠螺母、凸轮等调节机构的调节精度最高达到微米量级，不能满足使用要求。

因此，如何解决上述问题，成为人们亟待解决的问题。

发明内容

鉴于此，本发明的目的在于提供一种光学元件三自由度微位移调节装置，以至少解决以往调节装置存在的调节精度低、加工难度大等问题。

本发明提供的技术方案，具体为，一种光学元件三自由度微位移调节装置，其特征在于，包括：

镜筒1；

镜框2，其设置于所述镜筒1的上方，用于所述光学元件的放置；

三自由度调节装置，其包括：

驱动器8，其安装于所述镜筒1的外壁上；

柔性导向机构1-3，其设置于所述镜筒1的内侧，且通过推杆19与所述驱动器8驱动连接，所述柔性导向机构1-3在驱动器8的驱动下，可分别沿X轴和Y轴进行移动，其中，所述X轴和Y轴均建立于镜筒1所在平面，且所述X轴和Y轴相互垂直；

UR调节支链6，其下端与所述柔性导向机构1-3固定连接，上端与所述镜框2固定连接，所述UR调节支链6在所述柔性导向机构1-3的带动下，可驱动所述镜框2分别沿X轴、Y轴和Z轴进行移动，其中，所述Z轴为所述镜筒1的中心轴。

优选，所述UR调节支链6包括：

第一连杆6-9，其与所述柔性导向机构1-3固定连接；

第二连杆6-7，其设置于所述第一连杆6-9的上方，与所述第一连杆6-9通过第一转动柔性铰链6-8连接，且所述第一转动柔性铰链6-8的转轴沿所述镜框2径向设置；

第三连杆6-5，其设置于所述第二连杆6-7的上方，与所述第二连杆6-7通过平动柔性铰链6-6连接，且所述平动柔性铰链6-6的转轴沿所述镜框2的切线方向设置；

第四连杆6-3，其设置于所述第三连杆6-5的上方，且与所述镜框2固定连接，所述第四连杆6-3通过第二转动柔性铰链6-4与所述第三连杆6-5连接，所述第二转动柔性铰链6-4的转轴沿所述镜框2径向设置，且与所述第一转动柔性铰链6-8的转轴平行。

进一步优选，所述第三连杆6-5与所述第二连杆6-7之间平行并联设置有两个平动柔性铰链6-6。

进一步优选，所述柔性导向机构1-3包括：中间连杆1-3-3，在所述中间连杆1-3-3的两侧各连接有2个平行设置的第一板簧柔性铰链1-3-5，在所述第一板簧柔性铰链1-3-5的外侧端部连接有侧连杆1-3-4，每个侧连杆的两端分别通过第二板簧柔性铰链1-3-1连接到镜筒1上，其中，第二板簧柔性铰链1-3-1与第一板簧柔性铰链1-3-5平行。

进一步优选，所述三自由度调节装置的个数为3个，分别以120°间隔设置于所述镜筒1和镜框2上。

进一步优选，所述光学元件三自由度微位移调节装置还包括：

轴向位移传感器11，用于检测所述光学元件的轴向位移量；

偏心检测传感器16，用于检测所述光学元件的偏心位移量；

所述轴向位移传感器11和所述偏心检测传感器16均与所述三自由度调节装置中的驱动器8电连接，并分别依据所述轴向位移量和所述偏心位移量控制所述驱动器8工作。

进一步优选，所述轴向位移传感器11个数为3个，分别以120°间隔布置在所述镜框2的外侧；

所述偏心检测传感器16个数为2个，分别以90°间隔布置在所述镜框2的外侧。

进一步优选，所述轴向位移传感器11通过连接装置固定安装于所述镜筒1上；

所述连接装置包括：

轴向传感器支撑座5，其整体呈倒置的T字形，底端与所述镜筒1固定连接；

轴向传感器安装座4，其一端垂直连接于所述轴向传感器支撑座5的顶端，另一端与所述轴向位移传感器11固定连接。

进一步优选，所述偏心检测传感器16通过偏心检测传感器支撑座3固定连接于所述镜筒1上；

所述偏心检测传感器支撑座3整体呈倒置的T字形，其底端与所述镜筒1固定连接，其上部设置有传感器夹紧孔3-2，且所述夹紧孔3-2顶端设置有通往所述传感器夹紧孔3-2的通道，在通道的两侧侧壁上分别对应设置有第六螺钉孔3-3。

进一步优选，所述镜框2内侧设置有n个并联的菱形柔性支撑脚2-3，所述光学元件与所述菱形柔性支撑脚2-3粘接；

其中，所述菱形柔性支撑脚2-3包括：

呈菱形设置的4个第三板簧柔性铰链2-3-2，且在菱形的四个顶点处分别依次设置：固定架2-3-1、中间连杆2-3-4、粘胶面2-3-3和中间连杆2-3-4。

本发明提供的光学元件三自由度微位移调节装置，通过三自由度调节装置的设置可以同时实现X、Y、Z三个方向的nm级平动位移调节，特别适用于对XYZ敏感度都很高的光学元件对准，其中，柔性导向机构相当于移动P铰，与UR支链构成PUR支链，实现X、Y、Z三个自由度的调节，该分体式的柔性P铰和UR支链加工难度大大降低，使用常规的车削、铣削和电火花线切割即可实现。通过改变P铰和UR支链的尺寸，可以获得100μm级的调节行程和较大的承载能力。

本发明提供的光学元件三自由度微位移调节装置，具有结构简单，设计合理，调节精度高，方便加工等优点。

附图说明

图1为光学元件三自由度微位移调节装置的整体装配图；

图2为图1的A-A旋转剖视图；

图3为镜筒的结构示意图；

图4为柔性导向机构（P铰）的结构示意图；

图5为图3的B-B剖视图；

图6为镜框的结构示意图；

图7为菱形柔性支撑脚的示意图；

图8为偏心传感器支撑座示意图；

图9为轴向传感器安装座示意图；

图10为轴向传感器支撑座示意图；

图11为UR调节支链示意图。

具体实施方式

下面结合具体的实施方案对本发明进行进一步解释，但是并不用于限制本发明的保护范围。

为了解决以往调节装置存在的调节精度低，加工难度大等问题，本实施方案提供了一种光学元件三自由度微位移调节装置，参见图1、图2、图5，包括：镜筒1，在镜筒1的上方设置有用于光学元件的放置的镜框2，在镜框2和镜筒1之间安装有三自由度调节装置，其中，该三自由度调节装置包括：安装在镜筒1外壁上的驱动器8；设置在镜筒1的内侧且通过推杆19与驱动器8驱动连接的柔性导向机构1-3，其中，柔性导向机构1-3在驱动器8的驱动下，可分别沿X轴和Y轴进行移动，其中，所述X轴和Y轴均建立于镜筒1所在平面，且所述X轴和Y轴相互垂直；UR调节支链6的下端与柔性导向机构1-3固定连接，上端与镜框2固定连接，其中，UR调节支链6在所述柔性导向机构1-3的带动下，可驱动所述镜框2分别沿X轴、Y轴和Z轴进行移动，其中，所述Z轴为所述镜筒1的中心轴。

该光学元件三自由度微位移调节装置的工作过程为：启动驱动器，驱动柔性导向机构相对镜筒进行X轴和Y轴的平移，然后由柔性导向机构带动与其连接的UR调节支链进行X轴、Y轴、Z轴三个方向的移动，由于UR调节支链的上端与镜框固定连接，进而可带动镜框也进行X轴、Y轴、Z轴三个方向的移动，实现设置与镜框上的光学元件进行三自由度的移动，实现调节的功能与目的。其中，将驱动器安装在镜筒外侧，使其工作时所产生的热量便于排出，不会影响物镜内部的温度场，杜绝了热像差的劣化。

其中，作为技术方案的改进，参见图11，UR调节支链6具体可设计为，包括：与柔性导向机构1-3固定连接的第一连杆6-9，在第一连杆6-9的上方设置有第二连杆6-7，第二连杆6-7通过转轴沿镜框2径向设置的第一转动柔性铰链6-8与第一连杆6-9连接，第二连杆6-7的上方设置有第三连杆6-5，第三连杆6-5通过转轴沿镜框2切线方向设置的平动柔性铰链6-6与第二连杆6-7连接，在第三连杆6-5的上方设置有第四连杆6-3，其与镜框2固定连接，与第三连杆6-5通过转轴沿镜框2径向设置的第二转动柔性铰链6-4连接，且第二转动柔性铰链6-4的转轴第一转动柔性铰链6-8的转轴平行。

为了提高UR调节支链6在运动过程中的稳定性，作为技术方案的改进，参见图11，在第三连杆6-5与第二连杆6-7之间平行并联设置有两个平动柔性铰链6-6。

参见图3、图4，柔性导向机构1-3包括：中间连杆1-3-3，在所述中间连杆1-3-3的两侧各连接有2个平行设置的第一板簧柔性铰链1-3-5，在所述第一板簧柔性铰链1-3-5的外侧端部连接有侧连杆1-3-4，每个侧连杆的两端分别通过第二板簧柔性铰链1-3-1连接到镜筒1上，其中，第二板簧柔性铰链1-3-1与第一板簧柔性铰链1-3-5平行。

为了提高调节装置调解的稳定性，作为技术方案的改进，参见图1，在镜筒1和镜框2上设置有3个三自由度调节装置，且分别以120°间隔设置，其中120°是指相邻的2个三自由度调节装置与镜框2圆心连线所呈的夹角（下面轴向位移传感器和偏心检测传感器的角度间隔设置也是同理）。

为了实现光学元件三自由度微位移调节装置调节的精确性，以及自动化，参见图1，该调节装置还包括：用于检测所述光学元件轴向位移量的轴向位移传感器11；用于检测所述光学元件的偏心位移量的偏心检测传感器16，其依据检测镜框沿X轴和Y轴的平动位移量，间接评估光学元件的偏心位移量，所述轴向位移传感器11和所述偏心检测传感器16均与所述三自由度调节装置中的驱动器8电连接，并分别依据所述轴向位移量和所述偏心位移量控制所述驱动器8工作。

该技术方案中的调节装置根据测试偏心和轴向位移传感器的反馈信号同时控制三个驱动器的进给量，可精确控制光学元件的XYZ位移量，保证光学元件的三自由度平动位移调节精度。轴向位移传感器和偏心检测传感器均可选用电容传感器，如图1中电容传感器开放式的布置在镜框的周围，一方面降低了安装的难度，另一方面也减小了对光学元件温度场的影响。该装置具有实时位移调节能力，可以满足光刻物镜装调和维护时的XYZ三自由度平动位移调节需求。

参见图1，优选，所述轴向位移传感器11个数为3个，分别以120°间隔布置在所述镜框2的外侧；所述偏心检测传感器16个数为2个，分别以90°间隔布置在所述镜框2的外侧。

作为技术方案的改进，参见图1、图9、图10，轴向位移传感器11通过连接装置固定安装于所述镜筒1上，其中，连接装置包括：整体呈倒置的T字形的轴向传感器支撑座5，其底端与所述镜筒1固定连接；一端垂直连接于轴向传感器支撑座5顶端的轴向传感器安装座4，轴向传感器安装座4另一端与轴向位移传感器11固定连接。

参见图1、图8，偏心检测传感器16通过偏心传感器支撑座3固定连接于镜筒1上，其中，偏心传感器支撑座3整体呈倒置的T字形，其底端与所述镜筒1固定连接，其上部设置有传感器夹紧孔3-2，且所述夹紧孔3-2顶端设置有通往所述传感器夹紧孔3-2的通道，在通道的两侧侧壁上分别对应设置有第六螺钉孔3-3。

参见图6、图7，作为技术方案的进一步改进镜框2内侧设置有n个并联的菱形柔性支撑脚2-3，光学元件与所述菱形柔性支撑脚2-3粘接；其中，菱形柔性支撑脚2-3包括：呈菱形设置的4个第三板簧柔性铰链2-3-2，且在菱形的四个顶点处分别依次设置：固定架2-3-1、中间连杆2-3-4、粘胶面2-3-3和中间连杆2-3-4。

上面各个技术方案主要强调各个实施方案的不同之处，其相似部分可以相互参见。

下面以较为优选的具体实施例对本发明进行更为详细的介绍。

实施例1

如图1和图2所示，一种光学元件三自由度微位移调节装置，包括镜筒1，三个驱动器8以120°等间距安装在镜筒1的外壁上，每个驱动器8通过四个第六螺钉7固定在镜筒1的驱动器安装面1-4上，推杆19的外侧和内侧分别连接驱动器8和柔性导向机构1-3，驱动器8通过推杆19推动柔性导向机构1-3在XY平面内运动。三组柔性导向机构1-3以120°等间距布置在镜筒1的内侧，每组柔性导向机构1-3等价于一个移动P铰，它和一个三自由度UR调节支链6的下端面6-9通过三个第八螺钉18连接，从而形成一个PUR支链。UR调节支链6的上端面6-2通过四个第三螺钉12连接到镜框2的法兰2-1上。镜框2的内侧是n个并联的菱形柔性支撑脚2-3，每个菱形柔性支撑脚2-3和光学元件13粘接。两个偏心检测传感器16以90°间隔布置在镜框2的外侧，分别检测镜框2的X和Y方向的平动位移量，进而间接评估光学元件13的偏心位移量。每个偏心检测传感器16通过一个第二螺钉15夹紧在偏心传感器支撑座3上，偏心检测传感器支撑座3的支撑脚3-1通过两个第七螺钉17连接到镜筒1上。此外，镜框2上连接法兰2-1以120°间隔布置三个轴向位移传感器11，检测镜框2的Z向平动位移。每个轴向位移传感器11通过两个第一螺钉14安装到轴向传感器安装座4上，轴向传感器安装座4通过两个第四螺钉10连接到轴向传感器支撑座5上，轴向传感器支撑座5通过两个第五螺钉9安装在镜筒1上。

驱动器8输出的位移量先后经过推杆19、柔性导向机构1-3、UR调节支链6之后传递到镜框2上，镜框2和光学元件13一起做XYZ平动。轴向位移传感器11和偏心检测传感器16将分别测试的位移变化量反馈给闭环控制***，控制***根据目标位移量向驱动器8发出控制指令，直到镜框2和光学元件13到达目标位置。

如图3~5所示，所述的镜筒1的连接法兰1-2上有n个均布的级联第一螺钉孔1-1，镜筒1的外圆柱面上以120°间隔设置三个驱动器8安装面1-4，每个安装面1-4上有一个导向孔1-5和四个第二螺钉孔1-6。镜筒1的内侧对应驱动器8安装的位置各有一组柔性导向机构1-3，它采用了对称复合平行四边形机构，它由一个中间连杆1-3-3、四个第一板簧柔性铰链1-3-5、两个侧连杆1-3-4和四个第一板簧柔性铰链1-3-1构成，每个中间连杆1-3-3上有三个第三螺钉孔1-3-2。板簧柔性铰链也可用圆弧形柔性铰链等其他形式的铰链代替。柔性导向机构1-3的周围设有狭缝，方便线切割穿丝。狭缝周围的结构起到行程限位作用，具有过行程保护的功能。

如图6~7所示，所述的镜框2的连接法兰2-1上有三组沿着圆周120°均布的第五螺钉孔2-2，每组四个。镜框2的内侧有n组沿着圆周均布菱形被动柔性支撑脚2-3。每个菱形支撑脚2-3包括一个固定端2-3-1、两个中间连杆2-3-4、四个第三板簧柔性铰链2-3-2和一个粘胶面2-3-3，粘胶面2-3-3和光学元件13胶结固定。均布的菱形柔性支撑脚2-3利用了弹性平均原理，一方面避免了由于加工误差导致的光学元件13支撑高度的不一致性，另一方面其径向柔性保证了光学元件向心热膨胀的均匀性。

如图8所示，所述的偏心传感器支撑座3下端有两个第一支撑脚3-1，每个第一支撑脚3-1上有一个连接第七螺钉孔3-4，该支座的上方正中有一个圆柱形的传感器夹紧孔3-2，用于夹持偏心位移测试传感器16，然后通过第六螺钉孔3-3内的第二螺钉15锁紧。

如图9所示，所述的轴向传感器安装座4下端有两个第二安装孔4-3，通过第四螺钉10连接到轴向传感器支撑座5的第八螺钉孔5-2，该安装座上端的传感器安装面4-1上有两个第一安装孔4-2，用于固定轴向位移测试传感器11

如图10所示，所述的轴向传感器支撑座5下端有两个第二支撑脚5-1，每个第二支撑脚5-1上有一个第九螺钉孔5-3，该支撑的顶端有两个第八螺钉孔5-2。

如图11所示，所述的UR调节支链6下端第一连杆6-9上三个螺钉连接孔6-10，第一连杆6-9和第二连杆6-7中间有一个转轴沿着镜框径向的第一转动柔性铰链6-8，第二连杆6-7和第三连杆6-5之间是两个并联的平动柔性铰链6-6，该铰链的转轴沿着镜框切向。第三连杆6-5和第四连杆6-3之间有一个转轴沿着镜框径向的第二转动柔性铰链6-4，6-4与6-8的转轴平行。第四连杆6-3的悬臂端有一个安装面6-2，该安装面6-2上有四个连接孔6-1，连接到镜框2上面。

所述的驱动器8可以采用压电式、磁致伸缩式等驱动方式，以实现纳米级驱动。如本发明选用的压电驱动器，其驱动行程达到5mm，精度达到30nm，满足使用要求。

所述的轴向位移传感器11和偏心检测传感器16可以采用单极板电容式传感器、双电极电容式传感器和光栅式传感器等可以实现纳米级检测的传感器。

本发明的工作过程为：

根据控制***指令，镜筒1上的驱动器8输出一定的位移，经过推杆19带动镜筒1上的柔性导向机构1-3沿着XY平面平移。安装在柔性导向机构1-3上的UR调节支链6具有RPR（转动-移动-转动）三个自由度，根据驱动器8输出的不同的位移量组合，UR调节支链6带动镜框2实现XYZ三自由度平移。轴向位移传感器11和偏心检测传感器16将分别测试的位移变化量反馈给闭环控制***，控制***根据目标位移量向驱动器8发出控制指令，直到镜框2和光学元件13到达目标位置，保证光学元件的XYZ平动位移调节精度同时达到50nm以内。

以上为本发明的具体实施方式，只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想，但是并非本发明的限制，在并不偏离本发明原理和范围的情况下还可以对本发明进行若干改进，从而构成许多实施案例，任何本领域显而易见的实施方式均在本发明的保护范围内。

Claims (10)

1.一种光学元件三自由度微位移调节装置，其特征在于，包括：

镜筒（1）；

镜框（2），其设置于所述镜筒（1）的上方，用于所述光学元件的放置；

三自由度调节装置，其包括：

驱动器（8），其安装于所述镜筒（1）的外壁上；

柔性导向机构（1-3），其设置于所述镜筒（1）的内侧，且通过推杆（19）与所述驱动器（8）驱动连接，所述柔性导向机构（1-3）在驱动器（8）的驱动下，可分别沿X轴和Y轴进行移动，其中，所述X轴和Y轴均建立于镜筒（1）所在平面，且所述X轴和Y轴相互垂直；

UR调节支链（6），其下端与所述柔性导向机构（1-3）固定连接，上端与所述镜框（2）固定连接，所述UR调节支链（6）在所述柔性导向机构（1-3）的带动下，可驱动所述镜框（2）分别沿X轴、Y轴和Z轴进行移动，其中，所述Z轴为所述镜筒（1）的中心轴。

2.按照权利要求1所述光学元件三自由度微位移调节装置，其特征在于，所述UR调节支链（6）包括：

第一连杆（6-9），其与所述柔性导向机构（1-3）固定连接；

第二连杆（6-7），其设置于所述第一连杆（6-9）的上方，与所述第一连杆（6-9）通过第一转动柔性铰链（6-8）连接，且所述第一转动柔性铰链（6-8）的转轴沿所述镜框（2）径向设置；

第三连杆（6-5），其设置于所述第二连杆（6-7）的上方，与所述第二连杆（6-7）通过平动柔性铰链（6-6）连接，且所述平动柔性铰链（6-6）的转轴沿所述镜框（2）的切线方向设置；

第四连杆（6-3），其设置于所述第三连杆（6-5）的上方，且与所述镜框（2）固定连接，所述第四连杆（6-3）通过第二转动柔性铰链（6-4）与所述第三连杆（6-5）连接，所述第二转动柔性铰链（6-4）的转轴沿所述镜框（2）径向设置，且与所述第一转动柔性铰链（6-8）的转轴平行。

3.按照权利要求2所述光学元件三自由度微位移调节装置，其特征在于：所述第三连杆（6-5）与所述第二连杆（6-7）之间平行并联设置有两个平动柔性铰链（6-6）。

4.按照权利要求1所述光学元件三自由度微位移调节装置，其特征在于，所述柔性导向机构（1-3）包括：中间连杆（1-3-3），在所述中间连杆（1-3-3）的两侧各连接有2个平行设置的第一板簧柔性铰链（1-3-5），在所述第一板簧柔性铰链（1-3-5）的外侧端部连接有侧连杆（1-3-4），每个侧连杆的两端分别通过第二板簧柔性铰链（1-3-1）连接到镜筒（1）上，其中，第二板簧柔性铰链（1-3-1）与第一板簧柔性铰链（1-3-5）平行。

5.按照权利要求1~4任一所述光学元件三自由度微位移调节装置，其特征在于：所述三自由度调节装置的个数为3个，分别以120°间隔设置于所述镜筒（1）和镜框（2）上。

6.按照权利要求1所述光学元件三自由度微位移调节装置，其特征在于，还包括：

轴向位移传感器（11），用于检测所述光学元件的轴向位移量；

偏心检测传感器（16），用于检测所述光学元件的偏心位移量；

所述轴向位移传感器（11）和所述偏心检测传感器（16）均与所述三自由度调节装置中的驱动器（8）电连接，并分别依据所述轴向位移量和所述偏心位移量控制所述驱动器（8）工作。

7.按照权利要求6所述光学元件三自由度微位移调节装置，其特征在于：

所述轴向位移传感器（11）个数为3个，分别以120°间隔布置在所述镜框（2）的外侧；

所述偏心检测传感器（16）个数为2个，分别以90°间隔布置在所述镜框（2）的外侧。

8.按照权利要求7所述光学元件三自由度微位移调节装置，其特征在于，所述轴向位移传感器（11）通过连接装置固定安装于所述镜筒（1）上；

所述连接装置包括：

轴向传感器支撑座（5），其整体呈倒置的T字形，底端与所述镜筒（1）固定连接；

轴向传感器安装座（4），其一端垂直连接于所述轴向传感器支撑座（5）的顶端，另一端与所述轴向位移传感器（11）固定连接。

9.按照权利要求7所述光学元件三自由度微位移调节装置，其特征在于，所述偏心检测传感器（16）通过偏心检测传感器支撑座（3）固定连接于所述镜筒（1）上；

所述偏心检测传感器支撑座（3）整体呈倒置的T字形，其底端与所述镜筒（1）固定连接，其上部设置有传感器夹紧孔（3-2），且所述夹紧孔（3-2）顶端设置有通往所述传感器夹紧孔（3-2）的通道，在通道的两侧侧壁上分别对应设置有第六螺钉孔（3-3）。

10.按照权利要求1所述光学元件三自由度微位移调节装置，其特征在于，所述镜框（2）内侧设置有n个并联的菱形柔性支撑脚（2-3），所述光学元件与所述菱形柔性支撑脚（2-3）粘接；

其中，所述菱形柔性支撑脚（2-3）包括：

呈菱形设置的4个第三板簧柔性铰链（2-3-2），且在菱形的四个顶点处分别依次设置：固定架（2-3-1）、中间连杆（2-3-4）、粘胶面（2-3-3）和中间连杆（2-3-4）。