CN105136011A - 膜厚的检测装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种膜厚的检测装置。该检测装置包括：公共电极、多个检测电极组与检测电路。其中，各检测电极组与公共电极在第一方向上相对且间隔设置，且公共电极的第一表面与每个检测电极组的第一表面相对，多个检测电极组沿第二方向间隔设置，各检测电极组包括至少一个检测电极，第一方向与第一平面垂直，第二方向与待测膜的移动方向垂直，第一平面与第二方向平行；检测电路与多个检测电极组电连接，检测电路包括移位控制单元，移位控制单元用于控制多个检测电极组的感应电信号的输出顺序。该检测装置能够更加准确地检测出待测膜的厚度。

Description

膜厚的检测装置

技术领域

本申请涉及薄膜厚度检测的技术领域，具体而言，涉及一种膜厚的检测装置。

背景技术

薄片状物品，如纸张、票据、塑料薄膜、纺织物品等的在线连续厚度测量，在其产品的生产、检测、处理、回收等过程中处于越来越重要的地位。当前，薄膜厚度的检测技术要包括霍尔、反射型超声波、透射型超声、电磁感应式、涡流式等技术。但这些技术对应的检测装置体积较大，成本较高，不利于这些技术的应用。

近年来，通过电极间的静电感应进行薄膜厚度的检测技术在不断研究探索之中，例如公开号CN210302446Y的专利公开的了一种电容式纸厚传感器，其主要是将电容器的容量变化转化成振荡频率的变化，再通过频压转换模块将频率的变化转换成电压的变化。公开号为CN103363887A的专利也公开了一种材料厚度的检测方法，利用平板电容的极板作为厚度检测的敏感器件，实测对象的厚度变化引起的电容活动极板产生位移，导致平板电容器的容量发生变化。

上述这些通过电极间的静电感应的检测薄膜厚度的技术在一定程度上减小了检测装置的体积，但仍需要传动机构，因此与检测设备的小型化发展还不相符。

另外，现有技术中的检测装置不能精确测量薄膜各个位置的厚度，不利于薄膜产品厚度的均匀性。

发明内容

本申请旨在提供一种膜厚的检测装置，以解决现有技术中的检测装置不能精确测量薄膜各个位置的厚度的问题。

为了实现上述目的，根据本申请的一个方面，提供了一种膜厚的检测装置，该检测装置包括：公共电极、多个检测电极组与检测电路。其中，各检测电极组与上述公共电极在第一方向上相对且间隔设置，且上述公共电极的第一表面与每个上述检测电极组的第一表面相对，多个上述检测电极组沿第二方向间隔设置，各上述检测电极组包括至少一个检测电极，上述第一方向与第一平面垂直，上述第二方向与待测膜的移动方向垂直，上述第一平面与上述第二方向平行；检测电路与多个上述检测电极组电连接，上述检测电路包括移位控制单元，上述移位控制单元用于控制多个上述检测电极组的感应电信号的输出顺序。

进一步地，上述移位控制单元包括开关模块与开关控制模块。

进一步地，上述开关模块中包含多个开关，每一个检测电极组对应一个上述开关。

进一步地，上述开关控制模块包括移位寄存器，上述移位寄存器将接收到的外部控制信号传输至上述开关模块中，逐个开启每一个上述开关。

进一步地，上述外部控制信号由时钟信号驱动。

进一步地，上述检测电路还包括采样单元、阻抗匹配单元与放大单元。其中，采样单元的输入端与上述检测电极组电连接；阻抗匹配单元一端与上述采样单元的输出端电连接，另一端与上述移位控制单元电连接；放大单元一端与上述移位控制单元电连接。

进一步地，上述检测电路还包括复位单元，上述复位单元设置在上述采样单元与上述阻抗匹配单元之间，在上述采样单元采样之前，上述复位单元将上述检测电极的信号进行复位。

进一步地，上述复位单元采用复位信号实施上述复位，上述复位信号的有效区间对应施加在上述公共电极上的电信号的无效区间。

进一步地，上述检测装置还包括第一基板与第二基板，第二基板与上述第一基板在上述第一方向上间隔设置，上述第一基板的第一表面朝向上述第二基板的第一表面，且上述第一基板的第一表面与上述第二基板的第一表面均为垂直于上述第一平面，上述公共电极设置在上述第一基板的第一表面上，上述检测电极设置在上述第二基板的第一表面上，上述检测电路设置在上述第二基板的第二表面。

进一步地，上述检测装置还包括第一屏蔽电极与第二屏蔽电极，其中，第一屏蔽电极设置在上述第一基板的第一表面上，并且围绕上述公共电极设置；第二屏蔽电极设置在上述第二基板的第一表面上，并且围绕上述检测电极设置。

应用本申请的检测装置，检测装置中包括多个检测电极组，当待测膜经过传输通道时，每个检测电极均感应出电荷，因为不同的检测电极组对应待测膜的不同位置，所以不同的检测电极感应出的电荷的多少不同，并且，该检测装置中的移位控制单元能够将检测电极组的感应电信号按照顺序输出，这样就可以得到待测膜不同位置处的厚度。并且，该检测装置无需机械装置引导电极产生位移就能够测量得到待测膜的厚度，更加轻便，方便使用，能够应用到很多领域中。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本申请的进一步理解，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1示出了本申请一种典型实施方式提出的膜厚的检测装置的侧视图；

图2示出了一种实施例提供的检测电路的结构图；

图3示出了一种实施例提供的膜厚的检测装置的电路原理示意图；

图4示出了一种实施例提供的膜厚的检测装置的工作时序示意图；

图5示出了一种实施例提供的公共电极的第一表面的俯视图；

图6示出了一种实施例提供的检测电极的第一表面的俯视图；

图7示出了一种实施例提供的膜厚的检测装置的剖面结构示意图；

图8示出了另一种实施例提供的膜厚的检测装置的剖面结构示意图；以及

图9示出了一种实施例中的输出信号SIG、控制信号SP与时钟信号CLK的时序图。

具体实施方式

应该指出，以下详细说明都是例示性的，旨在对本申请提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。

正如背景技术所介绍的，现有的检测装置不能精确检测出待测膜不同位置的厚度，为了解决如上的问题，本申请提出了一种膜厚的检测装置。

本申请的一种典型的是实施方式中，提供了一种膜厚的检测装置，如图1所示该检测装置包括公共电极12、多个检测电极组2与检测电路25。其中，各检测电极组2与上述公共电极12在第一方向上相对且间隔设置，且上述公共电极12的第一表面与每个上述检测电极组2的第一表面相对，多个上述检测电极组2沿第二方向间隔设置，各上述检测电极组2包括至少一个检测电极22，上述第一方向与第一平面垂直，上述第二方向与上述待测膜的移动方向垂直，上述第一平面与上述第二方向平行。检测电路25与多个上述检测电极组2电连接，上述检测电路25包括移位控制单元253，如图2所示，上述移位控制单元253用于控制多个上述检测电极组2的感应电信号的输出顺序。

该检测装置中，公共电极12与各检测电极22都是平面电极，公共电极12与检测电极22在第一方向上相对且间隔设置，公共电极12与每个检测电极22形成类似平板电容结构，并且二者之间没有固定的介质填充而是形成一个传输通道。当公共电极12上带电荷后，各检测电极22上就能感应出电荷。

检测电极22上感应出电荷的多少取决于于相对设置的两个电极的面积、两个电极相隔的距离、公共电极12上所携带的电荷量以及两个电极之间的介电常数。在结构一定的情况下，检测电极22上感应出的电荷只与两个电极之间介电常数有关。当待测膜经过传输通道时，改变了两个电极间的介质的介电常数，使检测电极22上感应的电荷的数量也随之发生变化，待测膜的厚度不同，两个电极间的介电常数也不相同，进而检测电极22上感应的电荷也不相同，因此通过检测极板上感应电信号的多少可以计算出待测膜的厚度。

本申请中的检测装置中包括多个检测电极组2，当待测膜经过传输通道时，每个检测电极22均感应出电荷，因为不同的检测电极组2对应待测膜的不同位置，所以不同的检测电极22感应出的电荷的多少不同，并且，该检测装置中的移位控制单元253能够将检测电极组2的感应电信号按照顺序输出，这样就可以得到待测膜不同位置处的厚度。并且，该检测装置无需机械装置引导电极产生位移就能够测量得到待测膜的厚度，更加轻便，方便使用，能够应用到很多领域中。

本申请的一种实施例中，该检测装置中还包括与公共电极12电连接的电源，用于提供电信号，且公共电极12与检测电极22均为导电电极，由导电材料形成。

本申请一种实施例中，移位控制单元253由开关模块253a和开关控制模块253b两部分构成，图3为本申请的膜厚的检测装置的电路原理示意图，开关控制模块253b将接收到的外部控制信号SP信号后，将其逐渐传输到开关模块253a所对应的每个检测电极组2(像素)的开关上，使每个像素所对应的开关依次开启，每个像素所对应的开关开启后，相应像素上的感应电信号就会传输到信号总线上，在信号总路线上依时序形成一行像素所对应的信号。

本申请的另一种实施例中，上述开关模块253a中包含多个开关，每一个检测电极组2对应一个上述开关。

为了更加快速准确地将接受到的外部控制信号SP信号传输至开关模块253a中，上述开关控制模块253b包括移位寄存器，上述移位寄存器将接收到的外部控制信号SP信号传输至上述开关模块253a中，逐个开启每一个上述开关。

本申请的另一种实施例中，如图3所示，上述外部控制信号SP信号在时钟信号CLK信号驱动下，通过内部的移位寄存器逐渐传输到开关模块253a所对应的每一像素的开关上，并依次开启相应像素。

本申请的再一种实施例中，如图2所示，上述检测电路25包括采样单元251、阻抗匹配单元252与放大单元254。其中，采样单元251的输入端与上述检测电极组2电连接；阻抗匹配单元252一端与上述采样单元251的输出端电连接，另一端与上述移位控制单元253电连接；放大单元254一端与上述移位控制单元253的另一端电连接。

采样单元251将检测电极22上感应得到的电信号传输至阻抗匹配单元252，阻抗匹配单元252对感应电信号波形的进行整形、提高稳定性。采样的信号为模拟信号，阻抗匹配单元252通常由三极管电路构成。移位控制单元253用于控制阻抗匹配单元252输出的感应电信号的顺序。多个像素所检测到的信号按照一定的顺序传输到信号总路线上，在信号总路线上依时序形成一行像素所对应的信号。并且，感应电信号是一种比较微弱的信号，需要将信号总线上的信号经放大单元254进行放大处理后，才能更好地在后续电路中进行数字化及运算处理。因此，放大单元254依照信号总线上的一定时序对每个像素对应的信号逐个进行放大，本领域技术人员可以根据具体的情况选择合适的放大单元254，例如可以选择差分放大单元254。这样能够更加准确地检测出待测膜的各个位置的厚度。

放大单元254输出的信号既可以直接传输至后续电路进行厚度计算。在本发明实施例中，具体根据感应电信号计算待测膜厚度的计算方式，可以采用现有技术中的任一种根据感应电荷或感应电压进行厚度的方式，此处不再赘述。

本申请的一种实施例中，上述检测电路25中还包括输出单元255，输出单元255的一端与上述放大单元254的另一端电连接。放大单元254输出的信号也可以通过输出单元255传输至后续电路进行厚度计算。

输出单元255为可被控制导通与否的单元，如果输出单元255导通，则将放大单元254的输出信号传输至后续电路进行厚度计算，如果控制输出单元255断开，则停止对当前放大单元254所输出的信号进行厚度计算。通过设置输出单元255，实现了选择性地进行厚度计算。

本申请的一种实施例中，上述检测电路25还包括复位单元256，上述复位单元256设置在上述采样单元251与上述阻抗匹配单元252之间，在上述采样单元251采样之前复位单元256发出的复位信号将上述检测电极22上的信号进行复位。

本申请的另一种优选的实施例中，为了采用简单的方法就能够实现对采样单元251中信号的复位，上述复位单元256采用复位信号RESET信号实施上述复位，如图4所示，上述复位信号RESET信号的有效区间对应施加在上述公共电极12上的电信号POP的无效区间。

本申请的另一个实施例中，如图1所示，上述检测装置还包括：第一基板11与第二基板21。其中第二基板21与第一基板11在上述第一方向上间隔设置，上述第一基板11的第一表面朝向上述第二基板21的第一表面，且上述第一基板11的第一表面与上述第二基板21的第一表面均平行于上述第一平面，上述公共电极12设置在上述第一基板11的第一表面上，上述检测电极22设置在上述第二基板21的第一表面上，上述检测电路25设置在上述第二基板21的第二表面。

第一基板11是公共电极12的载体，第二基板21是检测电极22的载体，并且第一基板11与第二基板21相对放置以方便构成传输通道。为了便于待测膜在两个极板间顺利传输，根据待测膜品的尺寸的不同，两个极板间的距离在1mm到10mm之间。但是二者的距离并不限于该范围，本领域技术人员可以根据具体的情况，将二者的距离设置在合适的范围内。

本申请的一种实施例中，上述公共电极12包括间隔设置的多个公共电极部，本领域技术人员可以根据实际情况设置一定数目的公共电极部。

第一基板11可以是玻璃基板、PCB基板、金属板基板或陶瓷板基板，第二基板21也可以是上述基板中的一种。两个基板的材料可以相同也可以不相同。

本申请的一种实施例中第一基板11为PCB基板，在PCB基板上设计好所需要的图像，设置公共电极12，并且通过电源向公共电极12输入电信号，使其携带电荷。并且该实施例中，第二基板21也为PCB基板。

本申请的再一种实施例中，公共电极12上施加的电压在10～50V之间，本领域技术人员可以根据基板结构以及公共电极12与检测电极22之间的距离，对公共电极12施加合适的电压。

更具体的一种实施例中，对公共电极12施加的电压为24V。并且该电压信号时脉冲电压信号，如图4中的POP信号，其占空比可以根据检测电极22的输出的信号的时序确定，本发明的一种实施例中POP脉冲电压信号的占空比50％。

为了减少噪音信号对公共电极12上的信号的干扰，如图1所示，同时为了减少噪音信号对检测电极22上的信号的干扰，优选上述检测装置还包括第一屏蔽电极13与第二屏蔽电极23。其中，如图5所示，第一屏蔽电极13设置在上述第一基板11的第一表面上，并且围绕上述公共电极12设置；第二屏蔽电极23设置在上述第二基板21的第一表面上，并且围绕上述检测电极22设置。

本申请的一种实施例中，如图6所示，检测装置中包括多个检测电极组2，且多个上述检测电极组2沿第二方向间隔设置，上述第二方向与上述待测膜的移动方向垂直，且每个上述检测电极组2包括沿第三方向间隔设置的2个检测电极22，上述第三方向与上述第一方向垂直，且上述第三方向与上述第二方向垂直。

上述的实施例中，多个检测电极组2构成多个像素，通过设置多个检测电极组2可以测量待测膜不同位置处的厚度，这样可以进一步提高检测装置的检测精度。本领域技术人员可以根据具体的待测膜与检测精度的要求来设置像素的个数。

为了使得检测电极22尽可能的覆盖待测膜，相邻像素之间的间隙尽可能小，也就是说每个检测电极22的面积要尽可能大，这样能够进一步提高检测装置的准确性。

本申请的另一种实施例中，每个上述检测电极组2中的相邻2个上述检测电极22的间隔小于每个上述检测电极22在上述第三方向上的长度。一个像素中的相邻的两个检测电极22之间的间隔与待测膜的运动速度及检测装置对信号的响应速度有关，为了便于更加明确的区分相邻的两个检测电极22上的信号变化，一个像素中的两个检测电极22间的间隔可以大一些，但间隔过大，会造成信号丢失，所以二者的间隔还是要小于每个上述检测电极22在上述第三方向上的长度。

本申请的一种实施例中，检测电极22在第三方向上的长度为4mm，一个像素中的两个检测电极22间的间隔在1～3mm之间。

本申请的另一个实施例中，如图1所示，上述检测装置还包括输入部14与输入输出部24。其中，输入部14用于将上述电源的电信号输入至上述公共电极12，上述输入部14设置在上述第一基板11的第二表面，输入输出部24用于向上述检测电路25提供电压，且将上述检测电路25的电信号输出，上述输入输出部24设置在上述第二基板21的第二表面。

本申请的一种实施例中，该检测装置中还包括电源，电源与公共电极12电连接，一种实施例中，电源与通过输入部14与公共电极12电连接，电源向公共电极12提供电信号。

为了进一步精确检测得到待测膜的各个位置的厚度，本申请优选所有上述检测电极22围成的区域在第一平面的投影面积小于等于上述公共电极12的第一表面的面积。更进一步说明，也就是说，所有上述检测电极22围成的区域在第一平面的投影区域为第一区域，公共电极12的第一表面在第一平面的投影区域为第二区域，第二区域在第一区域内。

本申请的一种实施例中，当上述检测装置包括一个检测电极22时，上述检测电极22在第二方向上的总长度大于等于上述待测膜的长度；当上述检测装置包括沿上述第二方向依次设置的N个上述检测电极组2时，第一个上述检测电极组2与第N个上述检测电极组2在上述第二方向之间的距离大于等于上述待测膜的长度，上述第二方向与上述待测膜的移动方向垂直。这样能够更进一步得到精确的检测结果，其中，N≥2。

本申请的另一种实施例中，如图7所示，上述第一基板11的第一表面与上述第二基板21的间隔内设置有第一间隔板32与第二间隔板52，上述第一间隔板32与上述第一基板11及第二基板21垂直，上述第一间隔板32与上述第二间隔板52平行。第一间隔板32与第二间隔板52用于调整传输通道在第二方向上的尺寸。

有一种实施例中，如图8所示，上述检测装置还包括第一连接板31与第二连接板51，上述第一连接板31设置在上述第一基板11的第二表面上，上述第二连接板52设置在上述第二基板21的第二表面上，上述第一连接板31与上述第二连接板51之间的间隔内设置有第一间隔板32与第二间隔板52，且上述第一间隔板32与上述第一基板11及第二基板21垂直，上述第一间隔板32与上述第二间隔板52平行。该实施例中的第一间隔板32与第二间隔板52用于调整传输通道在第二方向上的尺寸。

为了使得本领域技术人员能够更加清楚地了解本申请的方案，以下将结合具体的实施例进行说明。

本申请一种具体的实施例中，如图1所示，检测装置包括电源、第一基板11、第二基板21、第一屏蔽电极13、第二屏蔽电极23、一个公共电极12、40个检测电极组2(40个像素)、输入部14、输入输出部24与检测电路25。

其中，第一基板11与第二基板21均为PCB基板，检测电极22与公共电极12之间的距离为2mm。相邻像素之间在第二方向上的间隔为0.4mm，每个像素在第二方向上的长度为4.6mm，检测装置在第二方向上的检测总长度为200mm。每个像素中包括2个上述检测电极22，并且，2个上述检测电极22在上述第三方向上的间隔为2mm，每个检测电极22在第三方向上的长度为4mm。

并且，如图2所示，检测电路25中包括采样单元251、复位单元256、阻抗匹配单元252、移位控制单元253、放大单元254与输出单元255。并且移位控制单元253包括开关模块253a与开关控制模块253b，其中，放大单元254为差分放大单元，采样单元251输入端与上述检测电极22电连接，且采样单元251、阻抗匹配单元252、移位控制单元253、放大单元254、输出单元255依次电连接，且输出单元255与输入输出部24的一端电连接，将经检测电路25处理得到的感应信号输送至后续的电路中，将电信号转化为厚度。

电源通过输入部14对公共电极12施加24V的电压信号，当待测膜通过传输通道时，设置在第二基板21的第一表面的40个像素，感应出电信号。每个像素中的一个检测电极22的感应电信号传输至采样单元251的一个输入端，另一个检测电极22的感应电信号传输至采样单元251的另一个输入端。

检测电极22的感应电信号在每次输入至采样单元251前，都需要通过复位单元256对检测电极22中的数据进行清零复位，以保证采样单元251中的信号准确。复位单元256由复位信号TESET来进行控制。

采样单元251复位后，检测电极22的感应电信号输入至采样单元251中，并且经阻抗匹配单元252处理后，由移位控制单元253进行处理。采样单元251中的信号为模拟信号，阻抗匹配单元252由三极管电路构成，可以对信号波形进行整形、提高稳定性。

移位控制单元253由开关模块253a和开关控制模块253b两部分构成，如图3所示，开关控制模块253b将接收到的外部控制信号SP在时钟信号CLK的驱动下，通过内部的移位寄存器逐渐传输到开关模块253a所对应的每个像素的开关上，使每个像素所对应的开关依次开启，每个像素所对应的开关开启后，相应像素(检测电极组2)上的感应电信号就会传输到信号总线上，每个像素所对应的开关依次开启，每个像素所检测到的信号就会依次传输到信号总路线上，在信号总路线上依时序形成一行像素所对应的信号，信号总线上的信号依次传输至放大单元254中进行放大，并且放大后的信号经输出单元255输入至输入输出部24，再由输入输出部24输送至后续电路中。

图4为本发明的检测装置的工作时序示意图，SP信号为外部控制信号，开始每一行的扫描，CLK信号为***工作时钟信号，SP信号在时钟信号CLK信号的驱动下，通过内部的移位寄存器逐渐传输到开关模块253a所对应的每一像素的开关上，并依次开启相应像素。

RESET信号为复位单元256的控制信号，通过复位信号每个像素在进行有效信号读取前都要进行复位清零，从而等到每个像素准确真实的有效信号。RESET信号与POP信号的动作时序相连。POP信号为施加在公共电极12上的脉冲电压信号，在RESET信号有效期区间对应公共电极12是没有施加电压的区间。

图9是输出信号SIG信号、控制信号SP信号及时钟CLK信号之间的时序图。通过移位控制单元253，在数据总线上依次得到各像素的两个电极上的信号V1和V2，各像素2个检测电极22上的信号再通过差分放大单元254及输出单元255进行差分放大后向外输出，并在后续电路中进行数字化及运算处理，形成厚度分布的图像。

从以上的描述中，可以看出，本申请上述的实施例实现了如下技术效果：

本申请中的检测装置中包括多个检测电极组，当待测膜经过传输通道时，每个检测电极均感应出电荷，因为不同的检测电极组对应待测膜的不同位置，所以不同的检测电极感应出的电荷的多少不同，并且，该检测装置中的移位控制单元能够将检测电极组的感应电信号按照顺序输出，这样就可以得到待测膜不同位置处的厚度。并且，该检测装置无需机械装置引导电极产生位移就能够测量得到待测膜的厚度，更加轻便，方便使用，能够应用到很多领域中。

以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种膜厚的检测装置，其特征在于，所述检测装置包括：

公共电极(12)；

多个检测电极组(2)，与所述公共电极(12)在第一方向上相对且间隔设置，且所述公共电极(12)的第一表面与每个所述检测电极组(2)的第一表面相对，多个所述检测电极组(2)沿第二方向间隔设置，各所述检测电极组(2)包括至少一个检测电极(22)，所述第一方向与第一平面垂直，所述第二方向与待测膜的移动方向垂直，所述第一平面与所述第二方向平行；以及

检测电路(25)，与多个所述检测电极组(2)电连接，所述检测电路(25)包括移位控制单元(253)，所述移位控制单元(253)用于控制多个所述检测电极组(2)的感应电信号的输出顺序。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述移位控制单元(253)包括开关模块(253a)与开关控制模块(253b)。

3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述开关模块(253a)中包含多个开关，每一个检测电极组(2)对应一个所述开关。

4.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述开关控制模块(253b)包括移位寄存器，所述移位寄存器将接收到的外部控制信号传输至所述开关模块(253a)中，逐个开启每一个所述开关。

5.根据权利要求4所述的检测装置，其特征在于，所述外部控制信号由时钟信号驱动。

6.根据权利要求1或5所述的检测装置，其特征在于，所述检测电路(25)还包括：

采样单元(251)，输入端与所述检测电极组(2)电连接；

阻抗匹配单元(252)，一端与所述采样单元(251)的输出端电连接，另一端与所述移位控制单元(253)电连接；以及

放大单元(254)，一端与所述移位控制单元(253)电连接。

7.根据权利要求6所述的检测装置，其特征在于，所述检测电路(25)还包括复位单元(256)，所述复位单元(256)设置在所述采样单元(251)与所述阻抗匹配单元(252)之间，在所述采样单元(251)采样之前，所述复位单元(256)将所述检测电极(22)的信号进行复位。

8.根据权利要求7所述的检测装置，其特征在于，所述复位单元(256)采用复位信号实施所述复位，所述复位信号的有效区间对应施加在所述公共电极(12)上的电信号的无效区间。

9.根据权利要求1至5与8中任一项所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括：

第一基板(11)；

第二基板(21)，与所述第一基板(11)在所述第一方向上间隔设置，所述第一基板(11)的第一表面朝向所述第二基板(21)的第一表面，

且所述第一基板(11)的第一表面与所述第二基板(21)的第一表面均为垂直于所述第一平面，所述公共电极(12)设置在所述第一基板(11)的第一表面上，所述检测电极(22)设置在所述第二基板(21)的第一表面上，所述检测电路(25)设置在所述第二基板(21)的第二表面。

10.根据权利要求9所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括：

第一屏蔽电极(13)，设置在所述第一基板(11)的第一表面上，并且围绕所述公共电极(12)设置；以及

第二屏蔽电极(23)，设置在所述第二基板(21)的第一表面上，并且围绕所述检测电极(22)设置。