CN105117085A - 内嵌式触控面板及其制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种内嵌式触控面板，包括公共电极层、绝缘层和感测层，所述公共电极层包括多个驱动区，多个所述驱动区并列且相互间隔设置，每一驱动区内设置有驱动电极，每一驱动区内包括多个独立设置的悬浮区，每一悬浮区内均设置悬浮电极，所述绝缘层形成于公共电极层上，所述感测层形成于绝缘层上，所述感测层包括多条感测电极，在显示阶段，所述驱动电极、悬浮电极及感测电极均接入公共电压，在触控扫描阶段，所述驱动电极用于提供驱动信号，所述感测电极接收所述驱动电极提供的驱动信号，所述悬浮电极置空，并为所述感测电极提供信号补偿。本发明还提供一种内嵌式触控面板的制造方法，所述制造方法降低了制造所述内嵌式触控面板的工艺难度。

Description

内嵌式触控面板及其制造方法

技术领域

本发明涉及触控显示技术领域，尤其涉及一种内嵌式触控面板及其制造方法。

背景技术

随着智能电子产品的普及，电容式触控屏被广泛应用于智能手机、平板电脑等各种电子产品中。现有的电容式触控屏分为以G+G(Glass+Glass)、G+F(Glass-Film)、GFF(Glass-Film-Film)、OGS(OneGlassSolution)等技术为代表的外挂式电容屏和以On-Cell、In-Cell技术为代表的嵌入式电容屏。近年来，人们越来越注重产品轻薄化的用户体验，智能电子产品市场也呈现出OGS、On-Cell及In-Cell三种技术并争的局面，其中，In-Cell触控面板将触控制程整合到显示面板的驱动面板制程中，使其具有比OGS触控面板及On-Cell触控面板更轻薄、透光性更好的特点，从而能够更好地满足用户的需求。因此，In-Cell触控面板逐渐成为未来电容屏的主流应用。

请参阅图1，其为现有技术中内嵌式触控面板的叠层结构示意图。如图1所示，在现有的In-Cell触控面板的制造过程中，通常是利用黄光工艺(光刻工艺)将触控面板中的公共电极层(Common电极)进行分割，并按功能定义为驱动电极Tx与感测电极Rx，如图2所示。其中，所述驱动电极Tx呈矩阵排列，所述感测电极Rx设置于相邻的两列驱动电极Tx之间，并在行方向隔断相邻的两个驱动电极Tx。由于设置在同一行的相邻两个驱动电极Tx之间被所述感测电极Rx隔断，因此需要通过桥接的方式将相邻的两个驱动电极Tx电性连接。以驱动电极Tx1为例，在现有的In-Cell触控面板中，同一行相邻的驱动电极Tx1之间需要通过连接金属M1进行桥接，所述连接金属M1与驱动电极Tx1位于不同层，故需要采用过孔的方式实现连接，甚至可能用到过孔+过孔的连接结构，而这种复杂的过孔式连接结构使得现有的In-Cell触控面板的制程过于复杂，从而不利于产品良率的提升，也无法满足人们生产的要求。

发明内容

鉴于现有技术中存在的上述问题，本发明提供一种内嵌式触控面板，通过将感测电极单独分层，使得驱动电极可以保持整体行式结构，无需通过金属层及过孔桥接，以简化所述内嵌式触控面板的整体结构，提升产品良率。

另，本发明还提供一种内嵌式触控面板的制造方法。

一种内嵌式触控面板，包括公共电极层、绝缘层和感测层，所述公共电极层包括多个驱动区，多个所述驱动区并列且相互间隔设置，每一所述驱动区内均设置有驱动电极，每一所述驱动区内包括多个独立设置的悬浮区，每一所述悬浮区内均设置有悬浮电极，所述绝缘层形成于所述公共电极层上，所述感测层形成于所述绝缘层上，所述感测层包括多条感测电极，所述感测电极设置于所述悬浮电极上方，在显示阶段，所述驱动电极、悬浮电极及感测电极均接入公共电压，在触控扫描阶段，所述驱动电极用于提供驱动信号，所述感测电极接收所述驱动电极提供的驱动信号，所述悬浮电极置空，并为所述感测电极提供信号补偿。

其中，所述绝缘层开设有多个第一过孔及多个第二过孔，所述第一过孔正对所述驱动电极设置，所述第二过孔正对所述悬浮电极设置，所述感测层还包括多条驱动引线及多条悬浮引线，所述驱动引线设置于所述驱动电极上方，并通过所述第一过孔与所述驱动电极电性连接，所述悬浮引线设置于所述悬浮电极上方，并通过所述第二过孔与所述悬浮电极电性连接。

其中，多个所述悬浮电极呈矩阵排列，每一列所述悬浮电极上方间隔设置两条感测电极和一条悬浮引线，两条感测电极在正投影方向分别位于所述悬浮电极两侧设置，且每一条所述感测电极在正投影方向上与所述驱动电极相互垂直；所述悬浮引线在正投影方向靠近所述悬浮电极的中心设置，且每一条所述悬浮引线均通过多个所述第二过孔分别与位于一列的多个所述悬浮电极电性连接。

其中，所述内嵌式触控面板还包括薄膜晶体管阵列、第一介质层、第二介质层和像素电极层，所述第一介质层形成于所述薄膜晶体管阵列上，所述公共电极层形成于所述第一介质层上，所述第二介质层形成于所述感测层上，并填充于多条所述感测电极、多条驱动引线及多条悬浮引线之间，所述像素电极层形成于所述第二介质层上。

其中，每一所述驱动区与多个所述独立设置的悬浮区之间分别开设多个环形槽孔，所述环形槽孔贯穿所述公共电极层设置，且由所述绝缘层填充，以电性隔离所述驱动电极与所述悬浮电极。

一种内嵌式触控面板的制造方法，包括：

在阵列基板上依次形成薄膜晶体管阵列、第一介质层及公共电极层；

将所述公共电极层分割为多个驱动区和多个悬浮区，以形成多个驱动电极及多个悬浮电极；

在所述公共电极层上形成绝缘层，并在所述绝缘层上与所述驱动电极对应的位置形成第一过孔，以及在与所述悬浮电极对应的位置形成第二过孔；

在所述绝缘层上形成感测层；

对所述感测层进行蚀刻，分别形成多条感测电极、多条驱动引线及多条悬浮引线；及

在所述感测层上依次形成第二介质层和像素电极层。

其中，所述将所述公共电极层分割为多个驱动区和多个悬浮区，包括：

采用光刻工艺将所述公共电极层分割为多个驱动区，其中，多个所述驱动区并行排列，且依次互间隔设置；及

采用光刻工艺在每一所述驱动区内蚀刻形成多个贯穿所述公共电极层的环形槽孔，以在每一所述环形槽孔围绕的区域内形一个悬浮区。

其中，所述绝缘层由氮化硅经光刻工艺制成，并填充于所述环形槽孔中，以电性隔离所述驱动电极与所述悬浮电极。

其中，所述感测层由物理气相沉积工艺制成。

其中，多条所述感测电极、多条驱动引线及多条悬浮引线由光刻工艺对所述感测层进行蚀刻形成。

所述内嵌式触控面板通过将所述感测电极单独分层设置，从而使得所述驱动电极可以保持整体行式结构，从而无需增加用于桥接同一行驱动电极的桥接金属走线，简化了所述内嵌式触控面板的结构及布线复杂度，而且降低了制造所述内嵌式触控面板的工艺难度，有利于提升触控显示产品的良率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是现有技术中内嵌式触控面板的叠层结构示意图。

图2是图1所示内嵌式触控面板的平面结构示意图。

图3是本发明第一实施例提供的内嵌式触控面板的叠层结构示意图。

图4是图3所示内嵌式触控面板的第一平面结构示意图。

图5是图3所示内嵌式触控面板的第二平面结构示意图。

图6是图3所示内嵌式触控面板的第三平面结构示意图。

图7是本发明第二实施例提供的内嵌式触控面板的制造方法的流程图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

为便于描述，这里可以使用诸如“在…之下”、“在…下面”、“下”、“在…之上”、“上”等空间相对性术语来描述如图中所示的一个元件或特征与另一个(些)元件或特征的关系。可以理解，当一个元件或层被称为在另一元件或层“上”、“连接到”或“耦接到”另一元件或层时，它可以直接在另一元件或层上、直接连接到或耦接到另一元件或层，或者可以存在居间元件或层。相反，当一个元件被称为“直接在”另一元件或层上、“直接连接到”或“直接耦接到”另一元件或层时，不存在居间元件或层。

可以理解，这里所用的术语仅是为了描述特定实施例，并非要限制本发明。在这里使用时，除非上下文另有明确表述，否则单数形式“一”和“该”也旨在包括复数形式。进一步地，当在本说明书中使用时，术语“包括”和/或“包含”表明所述特征、整体、步骤、操作、元件和/或组件的存在，但不排除一个或多个其他特征、整体、步骤、操作、元件、组件和/或其组合的存在或增加。

除非另行定义，这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)都具有本发明所属领域内的普通技术人员所通常理解的相同含义。将进一步理解，诸如通用词典中所定义的术语，否则应当被解释为具有与它们在相关领域的语境中的含义相一致的含义，而不应被解释为理想化或过度形式化的意义，除非在此明确地如此定义。

请一并参阅图3和图4，图3是本发明第一实施例提供的内嵌式触控面板的叠层结构示意图，图4是图3所示内嵌式触控面板的第一平面结构示意图。本发明第一实施例提供的内嵌式触控面板100包括公共电极层30、绝缘层40和感测层50。所述公共电极层30包括多个驱动区31和多个悬浮区33，每一所述驱动区31内开设有多个环形槽孔S，所述环形槽孔S贯穿所述公共电极层30设置，每一所述环形槽孔S所围绕的区域内设置一个所述悬浮区33，即每一所述驱动区31内包括多个独立设置的悬浮区33，每一所述驱动区31与多个所述独立设置的悬浮区33之间分别开设多个环形槽孔S，即所述驱动区31与所述悬浮区33之间由所述环形槽孔S分隔。

多个所述驱动区31并行排列，且依次相互间隔设置，每一所述驱动区31内均设置有驱动电极Tx。每一所述驱动区31内的驱动电极Tx为整体行式结构，多个所述驱动区31内的驱动电极Tx共同构成行驱动阵列。多个所述悬浮区33呈矩阵排列，且每一所述悬浮区33内均设置有悬浮电极Floating，多个所述悬浮电极Floating呈矩阵排列。在本实施例中，通过采用光刻工艺(黄光工艺)对所述公共电极层30进行分割，即可获得所述驱动电极Tx及悬浮电极Floating。

请一并参阅图3和图5，所述绝缘层40形成于所述公共电极层30之上，并填充所述环形槽孔S，以电性隔离所述驱动电极Tx与所述悬浮电极Floating。所述绝缘层40开设有多个第一过孔H1及多个第二过孔H2。所述第一过孔H1正对所述驱动电极Tx设置，并贯穿所述绝缘层40；所述第二过孔H2正对所述悬浮电极Floating设置，并贯穿所述绝缘层40。在本实施例中，所述绝缘层40可由光刻工艺制成，且材料优选为氮化硅SiNx。可以理解，所述绝缘层40也可由其他绝缘材料制成。

请一并参阅图3和图6，所述感测层50形成于所述绝缘层40之上，包括多条感测电极Rx、多条驱动引线TxTrace及多条悬浮引线FloatingTrace。其中，所述感测电极Rx设置于所述悬浮电极Floating上方，且每一条所述感测电极在正投影方向上与所述驱动电极Tx相互垂直。所述驱动引线TxTrace设置于所述驱动电极Tx上方，并通过第一过孔H1与所述驱动电极Tx电性连接。所述悬浮引线FloatingTrace设置于所述悬浮电极Floating上方，并通过所述第二过孔H2与所述悬浮电极Floating电性连接。在本实施例中，每一列所述悬浮电极Floating上方间隔设置两条感测电极Rx和一条悬浮引线FloatingTrace，所述两条感测电极Rx在正投影方向上分别位于所述悬浮电极Floating两侧设置；所述悬浮引线FloatingTrace在正投影方向上靠近所述悬浮电极Floating的中心设置，且每一条所述悬浮引线FloatingTrace均通过多个所述第二过孔H2分别与位于一列的多个所述悬浮电极Floating电性连接。可以理解，位于一列的多个所述悬浮电极Floating上方对应的感测电极Rx的条数还可以设置为多于两条。

在本实施例中，所述感测层50为采用PVD(PhysicalVaporDeposition，物理气相沉积)工艺制成的金属层。可以理解，由于预先在所述绝缘层40上设置有所述第一过孔H1及第二过孔H2，因此在采用PVD工艺形成所述金属层时，所述金属层会通过所述第一过孔H1与所述驱动电极Tx连接，并通过所述第二过孔H2与所述悬浮电极Floating连接。多条所述感测电极Rx、多条驱动引线TxTrace及多条悬浮引线FloatingTrace均为采用光刻工艺蚀刻所述金属层而制成的金属走线。其中，多条所述感测电极Rx、多条驱动引线TxTrace及多条悬浮引线FloatingTrace均位于黑矩阵(图未示)的下方。

请再次参阅图3，所述内嵌式触控面板100还包括薄膜晶体管阵列10、第一介质层20、第二介质层60和像素电极层70，所述薄膜晶体管阵列10形成于一阵列基板(图未示)上，所述第一介质层20形成于所述薄膜晶体管阵列10上，所述公共电极层30形成于所述第一介质层20上，所述第二介质层60形成于所述感测层50上，并填充于多条所述感测电极Rx、多条驱动引线TxTrace及多条悬浮引线FloatingTrace之间形成的间隙。所述像素电极层70形成于所述第二介质层60上。

下面进一步说明本实施例所述内嵌式触控面板100的工作原理：

在触控扫描阶段，多条所述驱动引线TxTrace为所述驱动电极Tx提供驱动信号，多条所述驱动电极Tx作为发射电极，并提供驱动信号；多条所述感测电极Rx作为接收电极，接收所述驱动电极Rx提供的驱动信号；多条所述悬浮引线FloatingTrace置空(即不接入任何信号的悬空状态)，多个所述悬浮电极Floating置空。在显示阶段，多条所述驱动引线TxTrace为所述驱动电极Tx提供公共电压；多条所述感测电极Rx接入公共电压或置空；多条所述悬浮引线FloatingTrace为所述悬浮电极Floating提供公共电压。在本实施例中，多条所述感测电极Rx在显示阶段优选为接入公共电压。

多条所述感测电极Rx形成金属网格状结构，所述悬浮电极Floating设置于多条所述感测电极Rx的正下方，所述悬浮电极Floating用于在触控扫描阶段对所述感测电极Rx进行信号补偿，以解决所述金属网格状的感测电极Rx可能存在的信号不足的问题。具体地，所述悬浮引线FloatingTrace一端连接至驱动电路(图未示)的公共电压输出端。在触控扫描阶段，所述驱动电路断开所述公共电压输出端与所述悬浮引线FloatingTrace之间的连接，以使所述悬浮电极Floating为置空状态。所述悬浮电极Floating与所述感测电极Rx之间形成第一感应电容，由于所述感测电极Rx为金属网格状，所述第一感应电容产生的感应电势较小，导致所述感测电极Rx的感应电势较低，感应信号不足。当所述内嵌式触控面板100接收到触控动作时，所述悬浮电极Floating与所述触控动作的执行主体(如触控笔、手指等)之间形成第二感应电容，所述第二感应电容使得所述悬浮电极Floating的感应电势得到提升，进而使得所述感测电极Rx的感应电势得到增强，从而实现在触控扫描阶段对所述感测电极Rx的信号补偿。在显示阶段，所述驱动电路导通所述公共电压输出端与所述悬浮引线FloatingTrace之间的连接，以通过所述悬浮引线FloatingTrace为所述悬浮电极Floating提供公共电压。

请参阅图6，本发明第二实施例提供一种所述内嵌式触控面板100的制造方法，所述方法至少包括如下步骤：

步骤S201：在阵列基板上依次形成薄膜晶体管阵列10、第一介质层20及公共电极层30；

步骤S202：采用光刻工艺将所述公共电极层30分割为多个驱动区31和多个悬浮区33，以形成多个驱动电极Tx及多个悬浮电极Floating；

具体地，首先采用光刻工艺将所述公共电极层30分割为多个驱动区31，多个所述驱动区31并行排列，且依次相互间隔设置；然后采用光刻工艺在每一所述驱动区31内蚀刻形成多个贯穿所述公共电极层30的环形槽孔S，在每一所述环形槽孔S围绕的区域内形一个悬浮区33，每一所述驱动区31与多个所述独立设置的悬浮区33之间分别开设多个环形槽孔S，即所述驱动区31与所述悬浮区33之间由所述环形槽孔S分隔。

每一所述驱动区31内均设置有驱动电极Tx，所述驱动电极Tx为整体行式结构，多个所述驱动区31内的驱动电极Tx共同构成行驱动阵列。多个所述悬浮区33呈矩阵排列，且每一所述悬浮区33内均设置有悬浮电极Floating。

步骤S203：采用光刻工艺在所述公共电极层30上形成绝缘层40，并在所述绝缘层40上与所述驱动电极Tx对应的位置形成第一过孔H1，以及在与所述悬浮电极Floating对应的位置形成第二过孔H2；

其中，所述绝缘层40可由氮化硅SiNx制成。所述第一过孔H1正对所述驱动电极Tx设置，并贯穿所述绝缘层40；所述第二过孔H2正对所述悬浮电极Floating设置，并贯穿所述绝缘层40；同时，所述绝缘层40还用于填充所述环形槽孔S，以电性隔离所述驱动电极Tx与所述悬浮电极Floating。在本实施例中，所述第一过孔H1靠近所述驱动电极Tx一侧设置，所述第二过孔H2靠近所述悬浮电极Floating的中心设置。

步骤S204：采用PVD(PhysicalVaporDeposition，物理气相沉积)工艺在所述绝缘层40上形成感测层50；

其中，在形成所述感测层50的过程中，所述感测层50金属通过所述第一过孔H1与所述驱动电极Tx连接，并通过所述第二过孔H2与所述悬浮电极Floating连接。

步骤S205：采用光刻工艺对所述感测层50进行蚀刻，分别形成多条感测电极Rx、多条驱动引线TxTrace及多条悬浮引线FloatingTrace；

其中，所述感测电极Rx设置于所述悬浮电极Floating上方，且在正投影方向上与所述驱动电极Tx相互垂直。所述驱动引线TxTrace设置于所述驱动电极Tx上方，并通过第一过孔H1与所述驱动电极Tx电性连接。所述悬浮引线FloatingTrace设置于所述悬浮电极Floating上方，并通过第二过孔H2与所述悬浮电极Floating电性连接。在本实施例中，每一列所述悬浮电极Floating上方间隔设置两条感测电极Rx和一条悬浮引线FloatingTrace，所述两条感测电极Rx在正投影方向上分别靠近所述悬浮电极Floating两侧设置；所述悬浮引线FloatingTrace在正投影方向上靠近所述悬浮电极Floating的中心设置，且每一条所述悬浮引线FloatingTrace均通过多个所述第二过孔H2与位于一列的多个所述悬浮电极Floating电性连接。可以理解，位于一列的多个所述列悬浮电极Floating上方对应的感测电极Rx的条数还可以设置为多于两条。

步骤S206：在所述感测层50上依次形成第二介质层60和像素电极层70；

其中，所述第二介质层60填充多条所述感测电极Rx、多条驱动引线TxTrace及多条悬浮引线FloatingTrace之间形成的间隙。

所述内嵌式触控面板100通过将所述感测电极Rx单独分层设置，从而使得所述驱动电极Tx可以保持整体行式结构，从而无需增加用于桥接同一行驱动电极Tx的桥接金属走线，简化了所述内嵌式触控面板100的结构及布线复杂度，而且降低了制造所述内嵌式触控面板100的工艺难度，有利于提升触控显示产品的良率。同时，省去所述桥接金属走线，使得所述内嵌式触控面板100适用于更高解析度和开口率的触控显示产品的设计，有利于提升触控显示产品的显示品质。

以上所揭露的仅为本发明的较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本发明权利要求所作的等同变化，仍属于发明所涵盖的范围。

Claims (10)

1.一种内嵌式触控面板，其特征在于，所述内嵌式触控面板包括公共电极层、绝缘层和感测层，所述公共电极层包括多个驱动区，多个所述驱动区并列且相互间隔设置，每一所述驱动区内均设置有驱动电极，每一所述驱动区内包括多个独立设置的悬浮区，每一所述悬浮区内均设置有悬浮电极，所述绝缘层形成于所述公共电极层上，所述感测层形成于所述绝缘层上，所述感测层包括多条感测电极，所述感测电极设置于所述悬浮电极上方，在显示阶段，所述驱动电极、悬浮电极及感测电极均接入公共电压，在触控扫描阶段，所述驱动电极用于提供驱动信号，所述感测电极接收所述驱动电极提供的驱动信号，所述悬浮电极置空，并为所述感测电极提供信号补偿。

2.如权利要求1所述的内嵌式触控面板，其特征在于，所述绝缘层开设有多个第一过孔及多个第二过孔，所述第一过孔正对所述驱动电极设置，所述第二过孔正对所述悬浮电极设置，所述感测层还包括多条驱动引线及多条悬浮引线，所述驱动引线设置于所述驱动电极上方，并通过所述第一过孔与所述驱动电极电性连接，所述悬浮引线设置于所述悬浮电极上方，并通过所述第二过孔与所述悬浮电极电性连接。

3.如权利要求2所述的内嵌式触控面板，其特征在于，多个所述悬浮电极呈矩阵排列，每一列所述悬浮电极上方间隔设置两条感测电极和一条悬浮引线，两条感测电极在正投影方向分别位于所述悬浮电极两侧设置，且每一条所述感测电极在正投影方向上与所述驱动电极相互垂直；所述悬浮引线在正投影方向靠近所述悬浮电极的中心设置，且每一条所述悬浮引线均通过多个所述第二过孔分别与位于一列的多个所述悬浮电极电性连接。

4.如权利要求2所述的内嵌式触控面板，其特征在于，所述内嵌式触控面板还包括薄膜晶体管阵列、第一介质层、第二介质层和像素电极层，所述第一介质层形成于所述薄膜晶体管阵列上，所述公共电极层形成于所述第一介质层上，所述第二介质层形成于所述感测层上，并填充于多条所述感测电极、多条驱动引线及多条悬浮引线之间，所述像素电极层形成于所述第二介质层上。

5.如权利要求1所述的内嵌式触控面板，其特征在于，每一所述驱动区与多个所述独立设置的悬浮区之间分别开设多个环形槽孔，所述环形槽孔贯穿所述公共电极层设置，且由所述绝缘层填充，以电性隔离所述驱动电极与所述悬浮电极。

6.一种内嵌式触控面板的制造方法，其特征在于，所述方法包括：

在阵列基板上依次形成薄膜晶体管阵列、第一介质层及公共电极层；

将所述公共电极层分割为多个驱动区和多个悬浮区，以形成多个驱动电极及多个悬浮电极；

在所述公共电极层上形成绝缘层，并在所述绝缘层上与所述驱动电极对应的位置形成第一过孔，以及在与所述悬浮电极对应的位置形成第二过孔；

在所述绝缘层上形成感测层；

对所述感测层进行蚀刻，分别形成多条感测电极、多条驱动引线及多条悬浮引线；及

在所述感测层上依次形成第二介质层和像素电极层。

7.如权利要求6所述的内嵌式触控面板的制造方法，其特征在于，所述将所述公共电极层分割为多个驱动区和多个悬浮区，包括：

采用光刻工艺将所述公共电极层分割为多个驱动区，其中，多个所述驱动区并行排列，且依次互间隔设置；及

采用光刻工艺在每一所述驱动区内蚀刻形成多个贯穿所述公共电极层的环形槽孔，以在每一所述环形槽孔围绕的区域内形一个悬浮区。

8.如权利要求7所述的内嵌式触控面板的制造方法，其特征在于，所述绝缘层由氮化硅经光刻工艺制成，并填充于所述环形槽孔中，以电性隔离所述驱动电极与所述悬浮电极。

9.如权利要求6所述的内嵌式触控面板的制造方法，其特征在于，所述感测层由物理气相沉积工艺制成。

10.如权利要求6所述的内嵌式触控面板的制造方法，其特征在于，多条所述感测电极、多条驱动引线及多条悬浮引线由光刻工艺对所述感测层进行蚀刻形成。