CN105092608A - 终端光学元件损伤在线检测中孪生像的剔除方法 - Google Patents
终端光学元件损伤在线检测中孪生像的剔除方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN105092608A CN105092608A CN201510616600.5A CN201510616600A CN105092608A CN 105092608 A CN105092608 A CN 105092608A CN 201510616600 A CN201510616600 A CN 201510616600A CN 105092608 A CN105092608 A CN 105092608A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- theta
- sin
- cos
- light
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Abstract
终端光学元件损伤在线检测中孪生像的剔除方法,涉及光学元件检测技术领域,尤其涉及终端光学元件损伤在线检测中孪生像的剔除方法。本发明是要解决晶体双折射造成的重影剔除的问题。本发明方法通过以下步骤进行:一、计算出M×N个点在成像***中CCD上所成的o光像与e光像的坐标;二、计算出M×N个有向线段的距离与倾角;三、对计算出的M×N个有向线段的距离与倾角进行统计分析,找出o光像与e光像的位置关系;四、把e光像作为重影像,e光像的灰度积分值合并到o光像上,剔除e光像;五、保留o光像作为损伤点的唯一像。至此,完成了孪生像中的重影像的剔除。本发明适用于光学元件检测技术领域。
Description
技术领域
本发明涉及光学元件检测技术领域,尤其涉及终端光学元件损伤在线检测中孪生像的剔除方法。
背景技术
大型固体激光装置规模宏大,光学元件数量众多,输出能量和功率高,是惯性约束聚变研究的主力装置。在高功率输出条件下,光学元件损伤成为了人们必须面临的棘手问题,因此光学元件损伤需要严格控制。惯性约束聚变大型固体激光装置的终端光学组件集成了大口径的晶体光学元件,在高能量激光(最大输出通量8J/cm2,脉宽3ns,波长351nm)的辐照下极易产生损伤,为了确保及时发现与跟踪损伤的增长过程,终端光学元件损伤在线检测***(FODI)在每次打靶实验后,对终端光学元件采集图像,使用数据处理模块对图像中的损伤进行识别与分类,标记出所有可能的损伤。然而,对于晶体双折射造成的重影剔除问题,还没有专门的处理方法。
本专利通过研究晶体双折射所致孪生像的位置与能量关系,提出一种剔除重影的方法。晶体双折射导致了每一个损伤点形成两个像,即o光像与e光像,二者构成一对孪生像。根据孪生像的性质把e光像的能量合并到o光像上,然后剔除e光像,并使用o光像的位置作为合并像的位置,从而达到了剔除重影的目的。
发明内容
本发明为解决晶体双折射造成的重影剔除的问题,而提出终端光学元件损伤在线检测中孪生像的剔除方法。
终端光学元件损伤在线检测中孪生像的剔除方法,按以下步骤进行:
一、对每一个存在晶体的成像光路,在被检光学元件上取样M×N个点,作为损伤点位置,计算出M×N个点在成像***中CCD上所成的o光像与e光像的坐标;
其中M×N个点中任一点在成像***中CCD上所成的o光像与e光像的坐标按如下步骤求得;
A、求寻常光波矢量ko和非常光波矢量ke的表达式:
单轴晶体厚度为L,口径为a×b,在晶体表面建立如图1所示的坐标系,一束平行光沿方向k1=(cosα1,cosβ1,cosθ1)照射到晶体表面,入射点为坐标原点O,z轴为晶体表面法线;晶体光轴p的方向余弦为ep=(x0,y0,z0),在晶体内,产生折射o光和e光。寻常光(o光)波矢量ko、非常光(e光)波矢量ke、非常光(e光)光线矢量se与z轴夹角分别为θo、θke、θse,由此得出ko、ke的表达式为:
其中,ko、ke均为单位矢量,即|ko|=|ke|=1;
B、求e光折射率n2:
设ko、ke、se与晶体出射面交点分别为Po、Pke、Pse,由晶体光学理论可知,ko与ke均在入射面内,即:k1、ko、ke三者共面,se不在入射面内,但是ke、se与晶体光轴ep三者共面;设se的单位方向向量为:se=(ae,be,ce),对于o光,波矢量ko与光线方向so重合,折射角均为θo=arcsin(n1sinθ1/no);对于e光,折射率n2同波矢量ke与晶体光轴p的夹角θkp有关,即:
式中no和ne分别是晶体的o折射率和e折射率;
C、求解角θkp的值:
由ke与p的夹角为θkp可得:
由斯涅耳定律可知:n1sinθ1=n2sinθke(5)
把公式(4)代入公式(3)消去cosθkp得到n2表达式,然后再把得到的n2代入公式(5),整理出一个关于tanθke的二元一次方程:
Atan2θke+Btanθke+C=0(6)
方程的解为:
其中
由于tanθke只有一个根,因此可求出θke,将求出的θke代入到公式(4)中,可求出θkp值;
D、求折射光se和折射光so方向余弦表达式:
在单轴晶体中,ke与se的夹角为离散角α,表达式为:
依上式即可求出离散角α;
由ke、se与晶体光轴p三者共面可知:
由晶体光学理论可知se与光轴p夹角θsp可由来确定;同时又有:
cosθsp=se·ep=aex0+bey0+cez0(11)
由公式(10)、(11)和(12),可以得到:
Pse=Q(13)
其中
当入射平面光为k1=(cosα1,cosβ1,cosθ1)时,折射光se=(ae,be,ce)与折射光so=(ao,bo,co)方向余弦表达式分别为:
se=P-1Q(14)
E、求o光像与e光像的坐标:
终端光学元件的损伤点在线检测成像原理图如图2所示:被检元件(InspectedOptic)厚度L1,与光路中的晶体(Crystal)元件距离为D1;晶体厚度为L2,晶体与成像***的等效透镜距离为D2,等效透镜的光心为P,等效透镜与CCD距离为D3。设被检元件后表面某一位置存在损伤点为Q(x,y),Q点发出的散射光其中一部分进入成像***,进入成像***的这部分光构成一个锥状体,设锥状体的锥顶立体角为ΩQ,对应的锥顶平面角为αQ。ΩQ与αQ的大小决定着进入成像***光通量。k1与k2表示损伤点Q发出的两个不同方向的散射光波矢量。其中,光波矢量k1满足条件:k1入射到晶体入光面点A处,在晶体内产生的折射o光线折射角为θA,o光线穿出晶体后,出射的o光线经过成像***的等效透镜光心P,照射到CCD感光面上Q1点(ωo'为这条光线与光路光轴的夹角,即o光像的像方视场角),与其他汇聚来的o光线形成o光像Q1;光波矢量k2满足条件:k2入射到晶体入光面点B处,在晶体内产生的折射e光线折射角为θB,e光线穿出晶体后,出射的e光线经过成像***的等效透镜光心P,照射到CCD感光面上Q2点(ωe'为这条光线与光路光轴的夹角,即e光像的像方视场角),与其他汇聚来的e光线形成e光像Q2;U'为轴上像点的像方孔径角,U'与ωo'、ωe'决定成像亮度,ωo'、ωe'与θA、θB作为结论公式(17)、(19)的中间量都可以由步骤一中的A~D求出。
通过搜索法找出o光像的位置Q1(x1,y1):
再通过搜索法找出e光像的位置Q2(x2,y2):
二、对每一对孪生像画出一个有向线段,起点为o光像,终点为e光像,计算出M×N个有向线段的距离与倾角;
三、对计算出的M×N个有向线段的距离与倾角进行统计分析,找出o光像与e光像的位置关系,以此为依据对在线图像进行重影像识别;
四、把e光像作为重影像,e光像的灰度积分值合并到o光像上,剔除e光像;
五、保留o光像作为损伤点的唯一像,完成了孪生像中的重影像的剔除。
本发明包括以下有益效果:
1、通过本发明方法,对在线图像进行重影像识别,剔除e光像,并将e光像的灰度积分值合并到o光像上,完成了孪生像中的重影像的剔除,确保及时发现与跟踪损伤的增长过程;
2、对于晶体双折射造成的重影剔除问题,还没有专门的处理方法,本发明方法填补了本领域内一项技术空白。
附图说明
图1为单轴晶体双折射原理示意图;
图2为晶体双折射产生的孪生像示意图;
图中1为被检光学元件,2为晶体,3为透镜,4为CCD。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合图1、图2和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
具体实施方式一、本实施方式所述的终端光学元件损伤在线检测中孪生像的剔除方法按以下步骤进行:
一、对每一个存在晶体的成像光路,在被检光学元件上取样M×N个点,作为损伤点位置,计算出M×N个点在成像***中CCD上所成的o光像与e光像的坐标,其中5≤M≤50,5≤N≤50;
其中M×N个点中任一点在成像***中CCD上所成的o光像与e光像的坐标按如下步骤进行;
A、求寻常光波矢量ko和非常光波矢量ke的表达式:
单轴晶体厚度为L,口径为a×b,在晶体表面建立如图1所示的坐标系,一束平行光沿方向k1=(cosα1,cosβ1,cosθ1)照射到晶体表面,入射点为坐标原点O,z轴为晶体表面法线;晶体光轴p的方向余弦为ep=(x0,y0,z0),在晶体内,产生折射o光和e光。寻常光(o光)波矢量ko、非常光(e光)波矢量ke、非常光(e光)光线矢量se与z轴夹角分别为θo、θke、θse,由此得出ko、ke的表达式为:
其中,ko、ke均为单位矢量,即|ko|=|ke|=1;
B、求e光折射率n2:
设ko、ke、se与晶体出射面交点分别为Po、Pke、Pse,由晶体光学理论可知,ko与ke均在入射面内,即:k1、ko、ke三者共面,se不在入射面内,但是ke、se与晶体光轴ep三者共面;设se的单位方向向量为:se=(ae,be,ce),对于o光,波矢量ko与光线方向so重合,折射角均为θo=arcsin(n1sinθ1/no);对于e光,折射率n2同波矢量ke与晶体光轴p的夹角θkp有关,即:
式中no和ne分别是晶体的o折射率和e折射率;
C、求解角θkp的值:
由ke与p的夹角为θkp可得:
由斯涅耳定律可知:n1sinθ1=n2sinθke(5)
把公式(4)代入公式(3)消去cosθkp得到n2表达式,然后再把得到的n2代入公式(5),整理出一个关于tanθke的二元一次方程:
Atan2θke+Btanθke+C=0(6)
方程的解为:
其中
由于tanθke只有一个根,因此可求出θke,将求出的θke代入到公式(4)中,可求出θkp值;
D、求折射光se和折射光so方向余弦表达式:
在单轴晶体中,ke与se的夹角为离散角α,表达式为:
依上式即可求出离散角α;
由ke、se与晶体光轴p三者共面可知:
由晶体光学理论可知se与光轴p夹角θsp可由来确定;同时又有:
cosθsp=se·ep=aex0+bey0+cez0(11)
由公式(10)、(11)和(12),可以得到:
Pse=Q(13)
其中
当入射平面光为k1=(cosα1,cosβ1,cosθ1)时,折射光se=(ae,be,ce)与折射光so=(ao,bo,co)方向余弦表达式分别为:
se=P-1Q(14)
E、求o光像与e光像的坐标:
终端光学元件的损伤点在线检测成像原理图如图2所示:被检元件(InspectedOptic)厚度L1,与光路中的晶体(Crystal)元件距离为D1;晶体厚度为L2,晶体与成像***的等效透镜距离为D2,等效透镜的光心为P,等效透镜与CCD距离为D3。设被检元件后表面某一位置存在损伤点为Q(x,y),Q点发出的散射光其中一部分进入成像***,进入成像***的这部分光构成一个锥状体,设锥状体的锥顶立体角为ΩQ,对应的锥顶平面角为αQ。ΩQ与αQ的大小决定着进入成像***光通量。k1与k2表示损伤点Q发出的两个不同方向的散射光波矢量。其中,光波矢量k1满足条件:k1入射到晶体入光面点A处,在晶体内产生的折射o光线折射角为θA,o光线穿出晶体后,出射的o光线经过成像***的等效透镜光心P,照射到CCD感光面上Q1点(ωo'为这条光线与光路光轴的夹角,即o光像的像方视场角),与其他汇聚来的o光线形成o光像Q1;光波矢量k2满足条件:k2入射到晶体入光面点B处,在晶体内产生的折射e光线折射角为θB,e光线穿出晶体后,出射的e光线经过成像***的等效透镜光心P,照射到CCD感光面上Q2点(ωe'为这条光线与光路光轴的夹角,即e光像的像方视场角),与其他汇聚来的e光线形成e光像Q2;U'为轴上像点的像方孔径角,U'与ωo'、ωe'决定成像亮度,ωo'、ωe'与θA、θB作为结论公式(17)、(19)的中间量都可以由步骤一中的A~D求出。
通过搜索法找出o光像的位置Q1(x1,y1):
再通过搜索法找出e光像的位置Q2(x2,y2):
二、对每一对孪生像画出一个有向线段,起点为o光像,终点为e光像,计算出M×N个有向线段的距离与倾角;
三、对计算出的M×N个有向线段的距离与倾角进行统计分析,找出o光像与e光像的位置关系,以此为依据对在线图像进行重影像识别;
四、把e光像作为重影像,e光像的灰度积分值合并到o光像上,剔除e光像;
五、保留o光像作为损伤点的唯一像,完成了孪生像中的重影像的剔除。
本发明包括以下有益效果:
1、通过本发明方法,对在线图像进行重影像识别,剔除e光像,并将e光像的灰度积分值合并到o光像上,完成了孪生像中的重影像的剔除,确保及时发现与跟踪损伤的增长过程;
2、对于晶体双折射造成的重影剔除问题,还没有专门的处理方法,本发明方法填补了本领域内一项技术空白。
具体实施方式二、本实施方式是对具体实施方式一所述的终端光学元件损伤在线检测中孪生像的剔除方法的进一步说明,步骤一中所述M×N个点中剩余的各点同理也按A-E步骤重复进行求o光像与e光像的坐标。
具体实施方式二、本实施方式是对具体实施方式一所述的终端光学元件损伤在线检测中孪生像的剔除方法的进一步说明,步骤四中所述e光像的灰度积分值为CCD感光面上某个区域内e光斑的像素值累加和。
Claims (3)
1.终端光学元件损伤在线检测中孪生像的剔除方法,其特征在于它按以下步骤进行:
一、对每一个存在晶体的成像光路,在被检光学元件上取样M×N个点,作为损伤点位置,计算出M×N个点在成像***中CCD上所成的o光像与e光像的坐标;
其中M×N个点中任一点在成像***中CCD上所成的o光像与e光像的坐标按如下步骤进行;
A、求寻常光波矢量ko和非常光波矢量ke的表达式:
单轴晶体厚度为L,口径为a×b,一束平行光沿方向k1=(cosα1,cosβ1,cosθ1)照射到晶体表面,入射点为坐标原点O,z轴为晶体表面法线;晶体光轴p的方向余弦为ep=(x0,y0,z0),在晶体内,产生折射o光和e光。寻常光(o光)波矢量ko、非常光(e光)波矢量ke、非常光(e光)光线矢量se与z轴夹角分别为θo、θke、θse,由此得出ko、ke的表达式为:
其中,ko、ke均为单位矢量,即|ko|=|ke|=1;
B、求e光折射率n2:
设ko、ke、se与晶体出射面交点分别为Po、Pke、Pse,由晶体光学理论可知,ko与ke均在入射面内,即:k1、ko、ke三者共面,se不在入射面内,但是ke、se与晶体光轴ep三者共面;设se的单位方向向量为:se=(ae,be,ce),对于o光,波矢量ko与光线方向so重合,折射角均为θo=arcsin(n1sinθ1/no);对于e光,折射率n2同波矢量ke与晶体光轴p的夹角θkp有关,即:
式中no和ne分别是晶体的o折射率和e折射率;
C、求解角θkp的值:
由ke与p的夹角为θkp可得:
由斯涅耳定律可知:n1sinθ1=n2sinθke(5)
把公式(4)代入公式(3)消去cosθkp得到n2表达式,然后再把得到的n2代入公式(5),整理出一个关于tanθke的二元一次方程:
Atan2θke+Btanθke+C=0(6)
方程的解为:
其中
由于tanθke只有一个根,因此可求出θke,将求出的θke代入到公式(4)中,可求出θkp值;
D、求折射光se和折射光so方向余弦表达式:
在单轴晶体中,ke与se的夹角为离散角α,表达式为:
依上式即可求出离散角α;
由ke、se与晶体光轴p三者共面可知:
由晶体光学理论可知se与光轴p夹角θsp可由来确定;同时又有:
cosθsp=se·ep=aex0+bey0+cez0(11)
由公式(10)、(11)和(12),可以得到:
Pse=Q(13)
其中
当入射平面光为k1=(cosα1,cosβ1,cosθ1)时,折射光se=(ae,be,ce)与折射光so=(ao,bo,co)方向余弦表达式分别为:
se=P-1Q(14)
E、求o光像与e光像的坐标:
被检光学元件厚度L1,与光路中的晶体的距离为D1;晶体厚度为L2,晶体与成像***的等效透镜距离为D2,等效透镜的光心为P,等效透镜与CCD距离为D3,被检光学元件后表面某一位置存在损伤点为Q(x,y),k1与k2表示损伤点Q(x,y)发出的两个不同方向的散射光波矢量,其中,光波矢量k1满足条件:k1入射到晶体入光面点A处,在晶体内产生的折射o光线折射角为θA,o光线穿出晶体后,出射的o光线经过成像***的等效透镜光心P,照射到CCD感光面上Q1点,与其他汇聚来的o光线形成o光像Q1;光波矢量k2满足条件:k2入射到晶体入光面点B处,在晶体内产生的折射e光线折射角为θB,e光线穿出晶体后,出射的e光线经过成像***的等效透镜光心P,照射到CCD感光面上Q2点,与其他汇聚来的e光线形成e光像Q2;
通过搜索法找出o光像的位置Q1(x1,y1):
再通过搜索法找出e光像的位置Q2(x2,y2):
二、对每一对孪生像画出一个有向线段,起点为o光像,终点为e光像,计算出M×N个有向线段的距离与倾角;
三、对计算出的M×N个有向线段的距离与倾角进行统计分析,找出o光像与e光像的位置关系,以此为依据对在线图像进行重影像识别;
四、把e光像作为重影像,e光像的灰度积分值合并到o光像上,剔除e光像;
五、保留o光像作为损伤点的唯一像,完成了孪生像中的重影像的剔除。
2.如权利要求1所述的终端光学元件损伤在线检测中孪生像的剔除方法,其特征在于步骤一中所述M×N个点中剩余的各点同理也按A-E步骤重复进行求o光像与e光像的坐标。
3.如权利要求1所述的终端光学元件损伤在线检测中孪生像的剔除方法,其特征在于步骤四中所述e光像的灰度积分值为CCD感光面上某个区域内e光斑的像素值累加和。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510616600.5A CN105092608B (zh) | 2015-09-24 | 2015-09-24 | 终端光学元件损伤在线检测中孪生像的剔除方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510616600.5A CN105092608B (zh) | 2015-09-24 | 2015-09-24 | 终端光学元件损伤在线检测中孪生像的剔除方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN105092608A true CN105092608A (zh) | 2015-11-25 |
CN105092608B CN105092608B (zh) | 2017-11-03 |
Family
ID=54573523
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201510616600.5A Active CN105092608B (zh) | 2015-09-24 | 2015-09-24 | 终端光学元件损伤在线检测中孪生像的剔除方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN105092608B (zh) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107145909A (zh) * | 2017-05-08 | 2017-09-08 | 哈尔滨工业大学 | 光学元件损伤所属表面的分类方法 |
CN109540926A (zh) * | 2019-01-29 | 2019-03-29 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | (d)kdp晶体体损伤性能高精度测量装置及测量方法 |
CN116295127A (zh) * | 2023-05-22 | 2023-06-23 | 四川蜀旺新能源股份有限公司 | 一种测量光线长度确定热电联供受光面方位的方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20030210407A1 (en) * | 2002-05-13 | 2003-11-13 | 3D Media Co., Ltd. | Image processing method, image processing system and image processing apparatus |
JP2004030440A (ja) * | 2002-06-27 | 2004-01-29 | Starlabo Corp | 画像処理方法、画像処理プログラム及びそれを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
CN102201053A (zh) * | 2010-12-10 | 2011-09-28 | 上海合合信息科技发展有限公司 | 一种文本图像的切边方法 |
CN102831595A (zh) * | 2012-06-20 | 2012-12-19 | 中国农业大学 | 用于自然环境下目标点图像识别的标识物检测方法 |
CN103729655A (zh) * | 2014-01-22 | 2014-04-16 | 哈尔滨工业大学 | 一种用于片式元件视觉定位的检测方法 |
US20160247267A1 (en) * | 2015-02-25 | 2016-08-25 | Nuflare Technology, Inc. | Line width error obtaining method, line width error obtaining apparatus, and inspection system |
-
2015
- 2015-09-24 CN CN201510616600.5A patent/CN105092608B/zh active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20030210407A1 (en) * | 2002-05-13 | 2003-11-13 | 3D Media Co., Ltd. | Image processing method, image processing system and image processing apparatus |
JP2004030440A (ja) * | 2002-06-27 | 2004-01-29 | Starlabo Corp | 画像処理方法、画像処理プログラム及びそれを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
CN102201053A (zh) * | 2010-12-10 | 2011-09-28 | 上海合合信息科技发展有限公司 | 一种文本图像的切边方法 |
CN102831595A (zh) * | 2012-06-20 | 2012-12-19 | 中国农业大学 | 用于自然环境下目标点图像识别的标识物检测方法 |
CN103729655A (zh) * | 2014-01-22 | 2014-04-16 | 哈尔滨工业大学 | 一种用于片式元件视觉定位的检测方法 |
US20160247267A1 (en) * | 2015-02-25 | 2016-08-25 | Nuflare Technology, Inc. | Line width error obtaining method, line width error obtaining apparatus, and inspection system |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
冯博等: "ICF终端光学元件损伤在线检测装置的研究", 《红外与激光工程》 * |
陈凤东等: "基于RANSAC-LSSVM回归的惯性约束聚变光学元件损伤在线检测技术", 《中国激光》 * |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107145909A (zh) * | 2017-05-08 | 2017-09-08 | 哈尔滨工业大学 | 光学元件损伤所属表面的分类方法 |
CN109540926A (zh) * | 2019-01-29 | 2019-03-29 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | (d)kdp晶体体损伤性能高精度测量装置及测量方法 |
CN116295127A (zh) * | 2023-05-22 | 2023-06-23 | 四川蜀旺新能源股份有限公司 | 一种测量光线长度确定热电联供受光面方位的方法 |
CN116295127B (zh) * | 2023-05-22 | 2023-08-08 | 四川蜀旺新能源股份有限公司 | 一种测量光线长度确定热电联供受光面方位的方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105092608B (zh) | 2017-11-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102974936B (zh) | 激光焦点定位***及将材料定位于激光焦点处的方法 | |
CN109099859B (zh) | 大口径光学元件表面缺陷三维形貌测量装置和方法 | |
CN106841237A (zh) | 一种电子显示屏玻璃盖板表面缺陷检测***及方法 | |
CN106442538A (zh) | 一种基于偏振成像的光学元件损伤检测装置及方法 | |
CN105092608A (zh) | 终端光学元件损伤在线检测中孪生像的剔除方法 | |
CN104457600A (zh) | 一种光纤准直器阵列的测试装置 | |
CN107607195A (zh) | 一种基于复振幅实时获取的光束质量测量方法 | |
CN110044929A (zh) | 一种基于暗场照明的曲面玻璃次表面缺陷检测装置 | |
KR102242926B1 (ko) | 웨이퍼 검사를 위한 렌즈 어레이 기반 조명 | |
CN102954772A (zh) | 一种基于线激光器的海冰表面粗糙度测量方法 | |
CN105067224A (zh) | 终端光学元件损伤在线检测中孪生像尺寸的定量检测方法 | |
Peng et al. | Development of a multi-sensor system for defects detection in additive manufacturing | |
CN204154990U (zh) | 座舱平视显示*** | |
CN203069885U (zh) | 一种数字病理切片扫描仪的分光结构 | |
CN102590051B (zh) | 一种斜入射激光粒度仪 | |
CN102944533B (zh) | 一种便携式中心遮拦结构杂散光检测装置 | |
CN110530514A (zh) | 一种降低平衡零拍探测***光学损耗的装置及方法 | |
CN101551327A (zh) | 塑料模具钢抛光性能干涉测量仪 | |
CN215263106U (zh) | 一种机载偏振光谱一体化探测*** | |
CN201529851U (zh) | 激光加工装置 | |
CN102944564A (zh) | 一种便携式双远心倾斜照明结构杂散光检测装置 | |
Salas-Peimbert et al. | Simple Hartmann test data interpretation for ophthalmic lenses | |
CN208902955U (zh) | 一种适用于人脸识别***的光学成像*** | |
Karthik et al. | Underwater microscopic shape from focus | |
Gebgart | Design features of some types of ultrawide-angle objectives |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |