CN105088170A - 工艺腔室共享电源方法及设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种工艺腔室共享电源方法及设备，其中方法包括如下步骤：接收工艺腔室发出的申请使用电源命令；检测电源的工作状态；当电源的工作状态为空闲状态时，工艺腔室获取电源使用权，控制工艺腔室与电源的连接电路导通；工艺腔室使用电源进行工艺任务；当工艺腔室使用电源进行工艺任务完毕后，控制工艺腔室与电源的连接电路断开，释放电源。其通过多个工艺腔室轮流使用一个电源，在确保正常完成工艺的同时，减少了电源的使用个数，有效地解决了工艺成本增加的问题。

Description

工艺腔室共享电源方法及设备

技术领域

本发明涉及半导体制备领域，特别是涉及一种工艺腔室共享电源方法及设备。

背景技术

PVD(PhysicalvaporDeposition，物理气相沉积)是指在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材蒸发，并使蒸发物质与气体均发生电离，利用电场的加速作用，使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上。在PVD设备中，镀膜工艺是在工艺腔室中完成，且只有工艺腔室需要配备source-DC(直流电源)，通常每一个工艺腔室配备一个单独的source-DC，在工艺需要加电的时候，直接开启工艺腔室自身的直流电源即可，不涉及到与其他工艺腔室的任何交互，但是同时也带来了工艺成本增加的问题。

发明内容

基于此，有必要针对传统PVD设备导致工艺成本增加的问题，提供一种工艺腔室共享电源方法及设备。

为实现本发明目的提供的一种工艺腔室共享电源方法，包括如下步骤：

步骤S100，接收工艺腔室发出的申请使用电源命令；

步骤S200，检测电源的工作状态；

步骤S300，当所述电源的工作状态为空闲状态时，所述工艺腔室获取所述电源使用权，控制所述工艺腔室与所述电源的连接电路导通；

步骤S400，所述工艺腔室使用所述电源进行工艺任务；

步骤S500，当所述工艺腔室使用所述电源进行所述工艺任务完毕后，控制所述工艺腔室与所述电源的连接电路断开，释放所述电源。

其中，还包括如下步骤：

步骤S310，当所述电源的工作状态为占用状态时，控制所述工艺腔室等待第一预设时间；

步骤S320，当所述工艺腔室在所述第一预设时间内获取所述电源使用权时，控制所述工艺腔室与所述电源的连接电路导通，并执行所述步骤S400；

步骤S330，当所述工艺腔室在所述第一预设时间内未获取所述电源使用权时，控制所述工艺腔室终止申请使用所述电源，并发出报警。

其中，还包括如下步骤：

步骤S310’，当所述电源的工作状态为占用状态时，检测当前等待队列；

步骤S320’，判断所述工艺腔室是否在所述当前等待队列中；

步骤S330’，当所述工艺腔室不在所述当前等待队列中时，控制所述工艺腔室按照优先级的高低排队到所述当前等待队列中；

步骤S340’，当所述工艺腔室在所述当前等待队列中时，终止申请使用所述电源。

其中，所述步骤S330’包括如下步骤：

步骤S331’，检测所述工艺腔室优先级是否高于所述当前等待队列中其他任一工艺腔室；

步骤S332’，当所述工艺腔室优先级高于所述当前等待队列中其他任一工艺腔室时，所述工艺腔室排到所述当前等待队列中优先级低于所述工艺腔室优先级的其他工艺腔室前面。

其中，所述步骤S500还包括如下步骤：

步骤S510，查询所述当前等待队列；

步骤S520，当所述当前等待队列不为空时，控制所述当前等待队列中排在最前面的工艺腔室与所述电源的连接电路导通，并返回执行所述步骤S400；

步骤S530，当所述当前等待队列为空时，释放所述电源。

相应的，为实现上述任一种工艺腔室共享电源方法，本发明还提供了一种工艺腔室共享电源设备，包括工艺腔室和电源，还包括电源接触器和控制器，所述电源接触器个数与所述工艺腔室个数相等；

所述控制器分别与所述电源、所述电源接触器和所述工艺腔室通讯连接，用于接收所述工艺腔室发出的申请使用所述电源命令，并根据所述电源的工作状态，控制所述电源接触器闭合或断开；

所述电源接触器串联在所述工艺腔室与所述电源的连接电路上，用于根据所述控制器的命令导通或断开所述连接电路。

其中，所述控制器包括命令接收模块、第一检测模块、第一控制模块和第二控制模块，其中：

所述命令接收模块，用于接收所述申请使用所述电源命令；

所述第一检测模块，用于检测所述电源的工作状态；

所述第一控制模块，用于当所述第一检测模块检测所述电源的工作状态为空闲状态时，向与所述工艺腔室相应的电源接触器发出命令，导通所述工艺腔室与所述电源的连接电路，并向所述工艺腔室发出电源回馈命令；

所述第二控制模块，用于当所述工艺腔室使用所述电源完成工艺任务后，向与所述工艺腔室相应的电源接触器发出命令，断开所述工艺腔室与所述电源的连接电路，释放所述电源。

其中，所述控制器还包括第二检测模块和第三控制模块，其中：

所述第二检测模块，用于检测所述工艺腔室在第一预设时间内是否收到所述电源回馈命令；

所述第三控制模块，用于所述工艺腔室在所述第一预设时间内未收到所述电源回馈命令时，发出终止申请使用所述电源命令。

其中，所述控制器还包括第四控制模块、第三检测模块、第五控制模块和第六控制模块，其中：

所述第四控制模块，用于当所述电源的工作状态为占用状态时，向所述工艺腔室发出等待获取所述电源使用权第一预设时间命令；

所述第三检测模块，用于检测在所述第一预设时间内所述工艺腔室与所述电源的连接电路是否导通；

所述第五控制模块，用于当所述工艺腔室与所述电源的连接电路在所述第一预设时间内导通时，向所述工艺腔室发出所述电源回馈命令；

所述第六控制模块，用于当所述工艺腔室与所述电源的连接电路在所述第一预设时间内未导通时，发出报警指令。

其中，所述控制器还包括第四检测模块、第一判断模块、第七控制模块和第八控制模块，其中：

所述第四检测模块，用于当所述电源的工作状态为占用状态时，检测当前等待队列；

所述第一判断模块，用于判断所述工艺腔室是否在所述当前等待队列中；

所述第七控制模块，用于当所述工艺腔室不在所述当前队列中时，控制所述工艺腔室按照优先级的高低排队到所述当前等待队列中；

所述第八控制模块，用于当所述工艺腔室在所述当前等待队列中时，发出所述终止申请使用所述电源命令。

其中，所述第六控制模块包括第一检测单元和第一控制单元，其中：

所述第一检测单元，用于检测所述工艺腔室优先级是否高于所述当前等待队列中其他任一工艺腔室；

所述第一控制单元，用于当所述工艺腔室优先级高于所述当前等待队列中其他任一工艺腔室时，所述工艺腔室排到所述当前等待队列中优先级低于所述工艺腔室优先级的其他工艺腔室前面。

其中，所述第二控制模块包括第二检测单元、第二控制单元和第三控制单元，其中：

所述第二检测单元，用于当所述工艺腔室使用所述电源完成工艺任务后，检测当前等待队列；

所述第二控制单元，用于当所述第二检测单元检测到所述当前等待队列不为空时，控制与所述当前等待队列中排在最前面的工艺腔室相应的电源接触器闭合，导通所述当前等待队列中排在最前面的工艺腔室与所述电源的连接电路，并返回所述第一控制模块；

所述第三控制单元，用于当所述第二检测单元检测到所述当前等待队列为空时，释放所述电源。

本发明提供的一种工艺腔室共享电源方法及设备，其中方法是当接收到申请使用电源命令时，通过检测电源的工作状态，当电源的工作状态为空闲状态时，工艺腔室获取电源使用权，并通过控制工艺腔室与电源的连接电路导通，实现工艺腔室使用电源进行工艺任务。当工艺腔室使用电源进行工艺任务完毕后，控制工艺腔室与电源的连接电路断开，从而释放电源，控制另一等待使用电源的工艺腔室获得电源使用权，并使用电源进行工艺任务。其通过多个工艺腔室轮流使用一个电源，在确保正常完成工艺的同时，减少了电源的使用个数，有效地解决了工艺成本增加的问题。

附图说明

图1为工艺腔室共享电源方法一具体实施例流程图；

图2为工艺腔室共享电源方法另一具体实施例流程图；

图3为工艺腔室共享电源设备一具体实施例结构示意图。

具体实施方式

为使上述工艺腔室共享电源方法及设备的技术方案更加清楚，以下结合附图及具体实施例对本发明技术方案做进一步详细说明。

参见图1，一种工艺腔室共享电源方法，包括如下步骤：

步骤S100，接收工艺腔室发出的申请使用电源命令。

步骤S200，检测电源的工作状态。

步骤S300，当电源的工作状态为空闲状态时，工艺腔室获取电源使用权，控制工艺腔室与电源的连接电路导通。

步骤S400，工艺腔室使用电源进行工艺任务。

步骤S500，当工艺腔室使用电源进行工艺任务完毕后，控制工艺腔室与电源的连接电路断开，释放电源。

本发明提供的一种工艺腔室共享电源方法通过控制多个工艺腔室轮流使用一个电源，在确保正常完成工艺的同时，减少了电源的使用个数，有效地解决了工艺成本增加的问题。

参见图2，在此需要说明的是，在检测电源的工作状态前，还包括如下步骤：

步骤S110，检测工艺腔室是否为空。

步骤S120，当检测到工艺腔室为空时，发出报警。在接收到申请使用电源命令之后，通过检测申请使用电源的工艺腔室是否为空，如果申请使用电源的工艺腔室为空，则发出报警以保证工艺的安全和正常进行，从而有效地避免了外界干扰的现象。

步骤S120’，当检测到工艺腔室不为空时，检测工艺腔室是否占用电源。

步骤S130，当工艺腔室未占用电源时，执行步骤S200，检测电源的工作状态。通过检测申请使用电源的工艺腔室是否占用电源，即判断申请使用电源的工艺腔室是否为正在使用该电源的工艺腔室，当申请使用电源的工艺腔室并不是此时正在使用电源的工艺腔室时，则进一步检测电源的工作状态，判断电源是否被其他工艺腔室所使用，在避免同一工艺腔室重复申请使用电源的逻辑错误的同时，保证了工艺的正常进行。

当检测电源的工作状态为空闲状态时，此时申请使用电源的工艺腔室可获得电源使用权，在其获得电源使用权之前，可执行步骤S210，隔离其他申请使用电源的工艺腔室，以防止外界干扰，同样保证了工艺的正常进行；并且，当该工艺腔室获取电源使用权之后，控制电源将电源当前使用者ID变更为该工艺腔室，使得该工艺腔室占用该电源进行工艺任务。

较佳地，作为一种可实施方式，还包括如下步骤：

步骤S130’，当工艺腔室占用电源时，控制工艺腔室终止申请使用电源；即当检测出申请使用电源的工艺腔室为此时正在使用该电源的工艺腔室，则发出报警，同样在避免同一工艺腔室重复申请使用电源的逻辑错误的同时，保证了工艺的正常进行。

较佳地，参见图1，作为一种可实施方式，还包括如下步骤：

步骤S310，当电源的工作状态为占用状态时，控制工艺腔室等待第一预设时间。

步骤S320，当工艺腔室在第一预设时间内获取电源使用权时，控制工艺腔室与电源的连接电路导通，并执行步骤S400。

步骤S330，当工艺腔室在第一预设时间内未获取电源使用权时，控制工艺腔室终止申请使用电源，并发出报警。

由于多个工艺腔室共同使用一个电源，因此当检测到电源的工作状态为占用状态时，表明此时电源正被其中一个工艺腔室使用，因此可通过控制此时申请使用电源的工艺腔室等待第一预设时间(值得说明的是，第一预设时间根据实际需要可任意设定，如可设定为5min、10min或30min)；当第一预设时间到后，如果此时电源被前一使用者释放，即前一使用电源的工艺腔室完成其工艺任务后，不再使用该电源，则此时申请使用电源的工艺腔室可获得该电源使用权，进行工艺任务；当第一预设时间到后，前一使用电源的工艺腔室仍在使用电源，即前一使用电源的工艺腔室的工艺任务还未完成时，控制工艺腔室终止申请使用电源，并发出报警。

当该工艺腔室共享电源方法应用于同种类型的工艺腔室时，可有效提高工艺效率。其中，相同类型的工艺腔室指的是根据实际需要，腔室内所进行的工艺配方相同或相近。在本实施例中，以两个工艺腔室共享一个电源为例，如表1和表2所示：

表1工艺腔室A执行的配方

Name	Data Object	Step_1：	Step_2：	Step_3：	Step_4：	Step_5：	Step_6：	Step_7：	Step_8：	Step_9：	Step_10：	Step_11：
													Step Name		gas-in	igni	dc-dep	cool	igni	dc-dep	cool	igni	dc-dep、	cool	end
Time		5	3	20	30	3	20	30	3	20	30	3
													Source DC		0	1000	6000	0	1000	6000	0	1000	6000	0	0
Source DC Ramp		0	0	0	0	0	0	0	0	0	0	0
													Ar1		20	20	20	20	20	20	20	20	20	20	0
Ar2		20	20	20	20	20	20	20	20	20	20	0

表2工艺腔室B执行的配方

Name	DataObject	Step_1：	Step_2：	Step_3：	Step_4：	Step_5：	Step_6：	Step_7：	Step_8：	Step_9：	Step_10：	Step_11：	Step_12：
														Step Name		gas-in	cool	igni	dc-dep	cool	igni	dc-dep	cool	igni	dc-dep	cool	end
Time		10	20	3	30	30	3	20	30	3	20	30	3
														Source DC		0	0	1000	6000	0	1000	6000	0	1000	6000	0	0
Source DC Ramp		0	0	0	0	0	0	0	0	0	0	0	0
														Ar1		20	20	20	20	20	20	20	20	20	20	20	0
Ar2		20	20	20	20	20	20	20	20	20	20	20	0

当工艺腔室A使用电源时，工艺腔室B执行进气(gas-in)和冷却(cool)步骤，当工艺腔室A释放电源执行冷却(cool)步骤时，工艺腔室B开始获取电源使用权并使用电源进行电离(igni)和沉积(dc-dep)步骤，从而使得在配方同时执行时，等待获取电源使用权的工艺腔室并非只是为了等待而空闲，而是在等待的同时，执行配方中的其他步骤，其极大地提高了电源的利用率，保证了电源在切换时的最小等待时间，最终提高了工艺效率。

值得说明的是，本发明提供的工艺腔室共享电源方法也可以应用于不同类型的工艺腔室，其中，不同类型的工艺腔室指的是根据不同的实际需要，腔室内所进行的工艺配方不同。

参见图2，较佳地，作为一种可实施方式，当申请使用电源的工艺腔室在等待第一预设时间过程中，还包括如下步骤：

步骤S310’，当电源的工作状态为占用状态时，检测当前等待队列。

步骤S320’，判断工艺腔室是否在当前等待队列中。

步骤S330’，当工艺腔室不在当前队列中时，控制工艺腔室按照优先级的高低排队到所述当前等待队列中。

步骤S340’，当工艺腔室在当前等待队列中时，终止申请使用电源。

当工艺腔室个数为两个以上时，如：工艺腔室个数为三个，即三个工艺腔室共用一个电源时，如果其中一个工艺腔室正在使用电源，另外两个工艺腔室在申请使用电源过程中，可通过排队等待获取电源使用权第一预设时间。

在此，需要说明的是，等待使用电源的工艺腔室排队可根据优先级的高低或申请的先后顺序进行排队，有效的防止了程序混乱的问题，并且当检测到申请使用电源的工艺腔室在当前等待队列中时，控制工艺腔室终止申请使用电源；其防止了工艺腔室重复申请使用电源的现象，保证了工艺的正常进行。

其中，工艺腔室的优先级指的是工艺腔室获取电源使用权的先后顺序，其可根据实际情况进行人为设定。

较佳地，作为一种可实施方式，当控制工艺腔室按照优先级的高低排队时，还包括如下步骤：

步骤S331’，检测工艺腔室优先级是否高于当前等待队列中其他任一工艺腔室。

步骤S332’，当工艺腔室优先级高于当前等待队列中其他任一工艺腔室时，工艺腔室排到当前等待队列中优先级低于工艺腔室优先级的其他工艺腔室前面。

通过控制工艺腔室按照优先级的高低进行排队，保证了多个工艺腔室申请使用电源的有序性。

值得说明的是，当工艺腔室优先级低于当前等待队列中其他任一工艺腔室时，执行步骤S333’，工艺腔室排到当前等待队列中所有工艺腔室的后面。通过优先级的高低对工艺腔室进行排队轮流使用该电源，有效地解决了传统工艺中一个工艺腔室配备一个电源所引起的工艺成本增加的问题。

值得说明的是，当工艺腔室使用电源进行工艺任务完毕后，还包括如下步骤：

步骤S510，查询当前等待队列。

步骤S520，当前等待队列不为空时，控制当前等待队列中排在最前面的工艺腔室与电源的连接电路导通，并返回执行步骤S400；

步骤S530，当前等待队列为空时，释放电源。

当其中一个工艺腔室获得电源使用权并使用电源完毕后，通过进一步的查询当前等待列表，使得处于当前等待列表中最前面的工艺腔室获得电源使用权，从而实现多个工艺腔室对同一电源的轮流更换使用，直至当前等待列表为空，即不再有申请使用电源的工艺腔室为止，释放电源，结束任务。

相应的，基于同一发明构思，本发明还提供了一种工艺腔室共享电源设备，该工艺腔室共享电源设备解决问题采取的思路与工艺腔室共享电源方法的思路相类似，重复之处不再赘述。

参见图3，一种工艺腔室共享电源设备，包括工艺腔室310和电源320，还包括电源接触器330和控制器340，电源接触器330个数与工艺腔室310个数相等，其中：

控制器340分别与电源320、电源接触器330和工艺腔室310通讯连接，用于接收工艺腔室310发出的申请使用电源命令，并根据电源320的工作状态，控制电源接触器330的闭合或断开。

电源接触器330串联在工艺腔室310与电源320的连接电路上，用于根据控制器340的命令导通或断开连接电路。

较佳的，控制器340包括命令接收模块、第一检测模块、第一控制模块和第二控制模块，其中：

命令接收模块，用于接收申请使用电源320命令。

第一检测模块，用于检测电源320的工作状态。

第一控制模块，用于当第一检测模块检测电源320的工作状态为空闲状态时，向与工艺腔室310相应的电源接触器330发出命令，导通工艺腔室310与电源320的连接电路，并向工艺腔室310发出电源回馈命令。

第二控制模块，用于当工艺腔室310使用电源320完成工艺任务后，向与工艺腔室310相应的电源接触器330发出命令，断开工艺腔室310与电源320的连接电路，释放电源320。

在工艺腔室共享电源设备中，电源接触器330相当于开关，用于控制工艺腔室310与电源320的连接与断开。

当电源接触器330线圈通电后，线圈产生电流，电流产生的磁场拉动电源接触器330中的开关，使得电源接触器330吸合，进而接通电源320。当电源接触器330处于吸合状态时，电源320和与电源接触器330相对应的工艺腔室310处于导通状态，电源320产生的功率通过导通的线路输出到工艺腔室310中，进行工艺。

在该工艺腔室共享电源设备中，同一时刻只有一个电源接触器330处于吸合状态，控制器340通过程序控制电源接触器330的吸合状态，进而控制电源320与工艺腔室310的连接与断开。

在其中一个实施例中，控制器340还包括第二检测模块和第三控制模块，其中：

第二检测模块，用于检测工艺腔室310在第一预设时间内是否收到电源320回馈命令；

第三控制模块，用于工艺腔室310在第一预设时间内未收到电源回馈命令时，发出终止申请使用电源320命令。

在其中一个实施例中，控制器340还包括第四控制模块、第三检测模块、第五控制模块和第六控制模块，其中：

第四控制模块，用于当电源320的工作状态为占用状态时，向工艺腔室310发出等待获取电源320使用权第一预设时间命令。

第三检测模块，用于检测在第一预设时间内工艺腔室310与电源320的连接电路是否导通。

第五控制模块，用于当工艺腔室310与电源320的连接电路在第一预设时间内导通时，向工艺腔室310发出电源回馈命令，实现工艺腔室310使用电源320进行工艺任务的目的。

第六控制模块，用于当工艺腔室310与电源320的连接电路在第一预设时间内未导通时，发出报警指令。

在其中一个实施例中，控制器340还包括第四检测模块、第一判断模块、第七控制模块和第八控制模块，其中：

第四检测模块，用于当电源320的工作状态为占用状态时，检测当前等待队列。

第一判断模块，用于判断工艺腔室310是否在当前等待队列中。

第七控制模块，用于当工艺腔室310不在当前等待队列中时，控制工艺腔室310按照优先级的高低排队到当前等待队列中。

第八控制模块，用于当工艺腔室310在当前等待队列中时，发出终止申请使用电源320命令。

在其中一个实施例中，第六控制模块包括第一检测单元和第一控制单元，其中：

第一检测单元，用于检测所述工艺腔室优先级是否高于所述当前等待队列中其他任一工艺腔室。

第一控制单元，用于当工艺腔室310优先级高于当前等待队列中其他任一工艺腔室时，工艺腔室310排到当前等待队列中优先级低于工艺腔室优先级的其他工艺腔室前面。

在其中一个实施例中，第二控制模块包括第二检测单元、第二控制单元和第三控制单元，其中：

第二检测单元，用于当工艺腔室310使用电源320完成工艺任务后，检测当前等待队列。

第二控制单元，用于当第二检测单元检测到当前等待队列不为空时，控制与当前等待队列中排在最前面的工艺腔室相应的电源接触器330闭合，导通当前等待队列中排在最前面的工艺腔室与电源320的连接电路，并返回第一控制模块。

第三控制单元，用于当第二检测单元检测到当前等待队列为空时，释放电源320。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (12)

1.一种工艺腔室共享电源方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤S100，接收工艺腔室发出的申请使用电源命令；

步骤S200，检测电源的工作状态；

步骤S300，当所述电源的工作状态为空闲状态时，所述工艺腔室获取所述电源使用权，控制所述工艺腔室与所述电源的连接电路导通；

步骤S400，所述工艺腔室使用所述电源进行工艺任务；

步骤S500，当所述工艺腔室使用所述电源进行所述工艺任务完毕后，控制所述工艺腔室与所述电源的连接电路断开，释放所述电源。

2.根据权利要求1所述的工艺腔室共享电源方法，其特征在于，还包括如下步骤：

步骤S310，当所述电源的工作状态为占用状态时，控制所述工艺腔室等待第一预设时间；

步骤S320，当所述工艺腔室在所述第一预设时间内获取所述电源使用权时，控制所述工艺腔室与所述电源的连接电路导通，并执行所述步骤S400；

步骤S330，当所述工艺腔室在所述第一预设时间内未获取所述电源使用权时，控制所述工艺腔室终止申请使用所述电源，并发出报警。

3.根据权利要求2所述的工艺腔室共享电源方法，其特征在于，还包括如下步骤：

步骤S310’，当所述电源的工作状态为占用状态时，检测当前等待队列；

步骤S320’，判断所述工艺腔室是否在所述当前等待队列中；

步骤S330’，当所述工艺腔室不在所述当前等待队列中时，控制所述工艺腔室按照优先级的高低排队到所述当前等待队列中；

步骤S340’，当所述工艺腔室在所述当前等待队列中时，终止申请使用所述电源。

4.根据权利要求3所述的工艺腔室共享电源方法，其特征在于，所述步骤S330’包括如下步骤：

步骤S331’，检测所述工艺腔室优先级是否高于所述当前等待队列中其他任一工艺腔室；

步骤S332’，当所述工艺腔室优先级高于所述当前等待队列中其他任一工艺腔室时，所述工艺腔室排到所述当前等待队列中优先级低于所述工艺腔室优先级的其他工艺腔室前面。

5.根据权利要求3或4所述的工艺腔室共享电源方法，其特征在于，所述步骤S500还包括如下步骤：

步骤S510，查询所述当前等待队列；

步骤S520，当所述当前等待队列不为空时，控制所述当前等待队列中排在最前面的工艺腔室与所述电源的连接电路导通，并返回执行所述步骤S400；

步骤S530，当所述当前等待队列为空时，释放所述电源。

6.一种工艺腔室共享电源设备，包括工艺腔室和电源，其特征在于，还包括电源接触器和控制器，所述电源接触器个数与所述工艺腔室个数相等；

所述控制器分别与所述电源、所述电源接触器和所述工艺腔室通讯连接，用于接收所述工艺腔室发出的申请使用所述电源命令，并根据所述电源的工作状态，控制所述电源接触器闭合或断开；

所述电源接触器串联在所述工艺腔室与所述电源的连接电路上，用于根据所述控制器的命令导通或断开所述连接电路。

7.根据权利要求6所述的工艺腔室共享电源设备，其特征在于，所述控制器包括命令接收模块、第一检测模块、第一控制模块和第二控制模块，其中：

所述命令接收模块，用于接收所述申请使用所述电源命令；

所述第一检测模块，用于检测所述电源的工作状态；

所述第一控制模块，用于当所述第一检测模块检测所述电源的工作状态为空闲状态时，向与所述工艺腔室相应的电源接触器发出命令，导通所述工艺腔室与所述电源的连接电路，并向所述工艺腔室发出电源回馈命令；

所述第二控制模块，用于当所述工艺腔室使用所述电源完成工艺任务后，向与所述工艺腔室相应的电源接触器发出命令，断开所述工艺腔室与所述电源的连接电路，释放所述电源。

8.根据权利要求7所述的工艺腔室共享电源设备，其特征在于，所述控制器还包括第二检测模块和第三控制模块，其中：

所述第二检测模块，用于检测所述工艺腔室在第一预设时间内是否收到所述电源回馈命令；

所述第三控制模块，用于所述工艺腔室在所述第一预设时间内未收到所述电源回馈命令时，发出终止申请使用所述电源命令。

9.根据权利要求8所述的工艺腔室共享电源设备，其特征在于，所述控制器还包括第四控制模块、第三检测模块、第五控制模块和第六控制模块，其中：

所述第四控制模块，用于当所述电源的工作状态为占用状态时，向所述工艺腔室发出等待获取所述电源使用权第一预设时间命令；

所述第三检测模块，用于检测在所述第一预设时间内所述工艺腔室与所述电源的连接电路是否导通；

所述第五控制模块，用于当所述工艺腔室与所述电源的连接电路在所述第一预设时间内导通时，向所述工艺腔室发出所述电源回馈命令；

所述第六控制模块，用于当所述工艺腔室与所述电源的连接电路在所述第一预设时间内未导通时，发出报警指令。

10.根据权利要求9所述的工艺腔室共享电源设备，其特征在于，所述控制器还包括第四检测模块、第一判断模块、第七控制模块和第八控制模块，其中：

所述第四检测模块，用于当所述电源的工作状态为占用状态时，检测当前等待队列；

所述第一判断模块，用于判断所述工艺腔室是否在所述当前等待队列中；

所述第七控制模块，用于当所述工艺腔室不在所述当前队列中时，控制所述工艺腔室按照优先级的高低排队到所述当前等待队列中；

所述第八控制模块，用于当所述工艺腔室在所述当前等待队列中时，发出所述终止申请使用所述电源命令。

11.根据权利要求10所述的工艺腔室共享电源设备，其特征在于，所述第六控制模块包括第一检测单元和第一控制单元，其中：

所述第一检测单元，用于检测所述工艺腔室优先级是否高于所述当前等待队列中其他任一工艺腔室；

所述第一控制单元，用于当所述工艺腔室优先级高于所述当前等待队列中其他任一工艺腔室时，所述工艺腔室排到所述当前等待队列中优先级低于所述工艺腔室优先级的其他工艺腔室前面。

12.根据权利要求9或11所述的工艺腔室共享电源设备，其特征在于，所述第二控制模块包括第二检测单元、第二控制单元和第三控制单元，其中：

所述第二检测单元，用于当所述工艺腔室使用所述电源完成所述工艺任务后，检测当前等待队列；

所述第二控制单元，用于当所述第二检测单元检测到所述当前等待队列不为空时，控制与所述当前等待队列中排在最前面的工艺腔室相应的电源接触器闭合，导通所述当前等待队列中排在最前面的工艺腔室与所述电源的连接电路，并返回所述第一控制模块；

所述第三控制单元，用于当所述第二检测单元检测到所述当前等待队列为空时，释放所述电源。