CN105040108A - 多晶硅太阳能电池的制绒方法 - Google Patents
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- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 24
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 27
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 24
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 20
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims abstract description 18
- 239000000654 additive Substances 0.000 claims abstract description 17
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 claims abstract description 17
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims abstract description 15
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 13
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 claims abstract description 8
- GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N Triethanolamine Chemical compound OCCN(CCO)CCO GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- 230000003301 hydrolyzing effect Effects 0.000 claims abstract description 8
- 229920000141 poly(maleic anhydride) Polymers 0.000 claims abstract description 8
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 claims abstract description 8
- 229920000036 polyvinylpyrrolidone Polymers 0.000 claims abstract description 8
- 239000001267 polyvinylpyrrolidone Substances 0.000 claims abstract description 8
- 235000013855 polyvinylpyrrolidone Nutrition 0.000 claims abstract description 8
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 7
- GVGUFUZHNYFZLC-UHFFFAOYSA-N dodecyl benzenesulfonate;sodium Chemical compound [Na].CCCCCCCCCCCCOS(=O)(=O)C1=CC=CC=C1 GVGUFUZHNYFZLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 229940080264 sodium dodecylbenzenesulfonate Drugs 0.000 claims abstract description 5
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 claims description 22
- 210000002268 wool Anatomy 0.000 claims description 21
- 235000008216 herbs Nutrition 0.000 claims description 18
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims description 12
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 8
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 7
- 229960004418 trolamine Drugs 0.000 claims description 7
- 230000002000 scavenging effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 17
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 14
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 14
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 6
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 abstract description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 abstract description 4
- 238000000861 blow drying Methods 0.000 abstract 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 4
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 3
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 2
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 2
- 230000001795 light effect Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 2
- 229960001866 silicon dioxide Drugs 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 2
- 229910004074 SiF6 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000003518 caustics Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000004567 concrete Substances 0.000 description 1
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000010985 leather Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 230000000877 morphologic effect Effects 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0236—Special surface textures
- H01L31/02363—Special surface textures of the semiconductor body itself, e.g. textured active layers
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
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- Photovoltaic Devices (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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Abstract
一种多晶硅太阳能电池的制绒方法,制绒水溶液包括:氢氟酸5-20%,硝酸25-55%,硅氟酸0.5-5%,醋酸0.1-0.5%,添加剂0.5-1.5%,余量水;添加剂为:聚乙烯醇0.2-0.8%,三乙醇胺0.1-6%,水解聚马来酸酐1-6%,聚乙烯吡咯烷酮0.05-0.1%,余量水:制绒水溶液温度0-30℃,将硅片置于水溶液中100-300s,并同时进行超声震动,超声频率40-60KHZ;取出置于氢氧化钠0.2-0.5%、十二烷基苯磺酸钠0.5-2%的清洗液中进行清洗、取出吹干即可。具有稳定性好,温度易于控制,多晶硅表面陷光效果好和电池的光电转化率高,绒面均匀、反射率低的优点。
Description
技术领域
本发明涉及太阳能电池制备方法技术领域,具体涉及一种多晶硅太阳能电池的制绒方法。
背景技术
多晶硅是熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅。多晶硅由于各个晶粒的晶向不一样,不能像单晶硅一样采用碱腐蚀;为了得到良好的多晶硅绒面,目前有多种方法,比如反应离子刻蚀法、机械刻槽法和化学腐蚀法。其中化学腐蚀法,由于操作方便、重复性强,在工业化生产中得到了大规模的应用。其原理如下:主要采用酸制绒工艺,体系主要包括硝酸和氢氟酸,具体反应方程式如下:
3Si+4HNO3——3SiO2+2H2O+4NO
SiO2+6HF——H2(SiF6)+2H2O
其中硝酸作为强的氧化剂,将硅养活成致密不溶于水的二氧化硅附着在硅片表面,阻止硝酸与硅的进一步反应,但二氧化硅可以与溶液中的氢氟酸发生反应,生产可溶于水的络合物H2(SiF6),导致二氧化硅破坏,此时硝酸与硅再次发生化学反应,硅片表面不断的被腐蚀,最终形成连续致密的“虫孔状”结构。虽然该方法不需要特定的反应设备,工艺也相对简单,制造成本低,但是此方法由于是纯化学反应、酸于硅片反应速度快、稳定性不容易控制,反应的温度等也是影响硅片制绒效果的关键因素,稍微控制不好会造成多晶硅表面陷光效果和电池的光电转化率低,电池绒面不均匀、反射率高等不足。
发明内容
本发明针对现有技术的上述不足,提供一种稳定性好,温度易于控制,多晶硅表面陷光效果好和电池的光电转化率高,绒面均匀、反射率低的多晶硅太阳能电池的制绒方法。
为了解决上述技术问题,本发明采用的技术方案为:一种多晶硅太阳能电池的制绒方法,步骤包括:
(1)首先在制绒槽内配制制绒水溶液,配制原料包括:氢氟酸5-20wt%,硝酸25-55wt%,硅氟酸0.5-5wt%,醋酸0.1-0.5wt%,添加剂0.5-1.5wt%,余量为水;将上述各组分混合并搅拌均匀;
所述的添加剂组成为:聚乙烯醇0.2-0.8wt%,三乙醇胺0.1-6wt%,水解聚马来酸酐1-6wt%,聚乙烯吡咯烷酮0.05-0.1wt%,余量为水:
(2)将步骤(1)的制绒水溶液维持温度为0-30℃,然后将多晶硅片置于上述水溶液中放置100-300s,并同时进行超声震动,超声频率40-60KHZ;然后取出置于氢氧化钠0.2-0.5wt%、十二烷基苯磺酸钠0.5-2wt%,余量为水构成的清洗液中进行清洗、取出吹干即可。
作为优选,所述的制绒槽内配制制绒水溶液,配制原料包括:氢氟酸10-15wt%,硝酸25-45wt%,硅氟酸0.5-1.5wt%,醋酸0.1-0.2wt%,添加剂0.5-1.0wt%,余量为水。
作为优选,所述的添加剂组成为:聚乙烯醇0.2-0.5%,三乙醇胺0.1-0.8%,水解聚马来酸酐1-2%,聚乙烯吡咯烷酮0.05-0.08%,余量为水。
本发明的优点和优异效果:
1.本发明的上述制备过程,在传统的氢氟酸、硝酸制绒液体中添加了硅氟酸、醋酸,二者可以起到缓蚀剂的作用,降低氢氟酸对多晶表面的快速腐蚀,从而增加制绒液体的稳定性和可控性;特别是醋酸的加入降低了整体的混合液浓度,从而降低腐蚀速率,同时减小了多晶硅片的表面张力,利于附着在多晶硅表面的气泡脱离,从而使得制绒液体与多晶硅片表面充分、均匀的接触,提高制绒效果和均匀度。此外,制绒过程采用超声震动,也可以实现将制绒过程附着在多晶硅表面的气泡脱离,防止对表面的遮蔽,实现各个角落均匀腐蚀,制备出较好的绒面。此外,本发明还在绒液中添加了添加剂,使得制备的绒面规则,反射率低,反应过程可控。
2.本发明的制绒后的清洗液具有能有效去除杂质,表面清洗后一致性好,反射率低的优点。
附图说明
图1本发明实施例1制备的硅片制绒微观图。
图2本发明实施例2制备的硅片制绒微观图。
具体实施方式
以下结合实施例对本发明作进一步具体描述,但不局限于此。
实施例采用的硅片为市售多晶硅硅片,尺寸为2×2cm,厚度180-200微米,电阻率为0.5-1.5Ω·cm。
实施例1
为了解决上述技术问题,本发明采用的技术方案为:一种多晶硅太阳能电池的制绒方法,步骤包括:
(1)首先在制绒槽内配制制绒水溶液,配制原料包括:氢氟酸5wt%,硝酸25wt%,硅氟酸0.5wt%,醋酸0.1wt%,添加剂0.5wt%,余量为水;将上述各组分混合并搅拌均匀;
所述的添加剂组成为:聚乙烯醇0.5%,三乙醇胺0.2%,水解聚马来酸酐3%,聚乙烯吡咯烷酮0.06%,余量为水:
(2)将步骤(1)的制绒水溶液维持温度为15℃,然后将多晶硅片置于上述水溶液中放置120s,并同时进行超声震动,超声频率40KHZ;然后取出置于氢氧化钠0.3%、十二烷基苯磺酸钠0.8%,余量为水构成的清洗液中进行清洗、取出吹干即可。
图1所示,本发明实施例制备的绒面,绒面尺寸均匀细小且比较均匀。
实施例2
其它步骤同实施例1,区别在于:所述的制绒槽内配制制绒水溶液,配制原料包括:氢氟酸10wt%,硝酸45wt%,硅氟酸1.5wt%,醋酸0.2wt%,添加剂1.0wt%,余量为水。
所述的添加剂组成为:聚乙烯醇0.5%,三乙醇胺0.7%,水解聚马来酸酐1.5%,聚乙烯吡咯烷酮0.07%,余量为水。
图2所示,本发明实施例制备的绒面,绒面尺寸均匀细小且比较均匀。
对比例
(1)首先在制绒槽内配制制绒水溶液,配制原料包括:氢氟酸5wt%,硝酸25wt%,硅氟酸0.5wt%,添加剂0.5wt%,余量为水;将上述各组分混合并搅拌均匀;
所述的添加剂组成为:聚乙烯醇0.5%,三乙醇胺0.2%,水解聚马来酸酐3%,聚乙烯吡咯烷酮0.06%,余量为水:
(2)将步骤(1)的制绒水溶液维持温度为15℃,然后将多晶硅片置于上述水溶液中放置120s,并同时进行超声震动,超声频率40KHZ;然后取出置于氢氧化钠0.3%、十二烷基苯磺酸钠0.8%,余量为水构成的清洗液中进行清洗、取出吹干即可。
通过显微镜观察,对比例制备的产品,其绒面不均匀,与上述实施例1-2有限制差别。
图1所示,本发明实施例制备的绒面,绒面尺寸均匀细小且比较均匀。
本发明实施例1-2和对比例制备的电池性能参数见表2:
表2实施例1-2和对比例制备的电池性能参数
从上述参数可知,本发明的方法制备的电池具有反射率低,能有效提高电池转换效率的优点。
Claims (3)
1.一种多晶硅太阳能电池的制绒方法,其特征在于,步骤包括:
(1)首先在制绒槽内配制制绒水溶液,配制原料包括:氢氟酸5-20wt%,硝酸25-55wt%,硅氟酸0.5-5wt%,醋酸0.1-0.5wt%,添加剂0.5-1.5wt%,余量为水;将上述各组分混合并搅拌均匀;
所述的添加剂组成为:聚乙烯醇0.2-0.8wt%,三乙醇胺0.1-6wt%,水解聚马来酸酐1-6wt%,聚乙烯吡咯烷酮0.05-0.1wt%,余量为水:
(2)将步骤(1)的制绒水溶液维持温度为0-30℃,然后将多晶硅片置于上述水溶液中放置100-300s,并同时进行超声震动,超声频率40-60KHZ;然后取出置于氢氧化钠0.2-0.5wt%、十二烷基苯磺酸钠0.5-2wt%,余量为水构成的清洗液中进行清洗、取出吹干即可。
2.根据权利要求1所述的多晶硅太阳能电池的制绒方法,其特征在于,所述的制绒槽内配制制绒水溶液,配制原料包括:氢氟酸10-15wt%,硝酸25-45wt%,硅氟酸0.5-1.5wt%,醋酸0.1-0.2wt%,添加剂0.5-1.0wt%,余量为水。
3.根据权利要求1所述的多晶硅太阳能电池的制绒方法,其特征在于,所述的添加剂组成为:聚乙烯醇0.2-0.5wt%,三乙醇胺0.1-0.8wt%,水解聚马来酸酐1-2wt%,聚乙烯吡咯烷酮0.05-0.08wt%,余量为水。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510518472.0A CN105040108B (zh) | 2015-08-21 | 2015-08-21 | 多晶硅太阳能电池的制绒方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510518472.0A CN105040108B (zh) | 2015-08-21 | 2015-08-21 | 多晶硅太阳能电池的制绒方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN105040108A true CN105040108A (zh) | 2015-11-11 |
CN105040108B CN105040108B (zh) | 2017-11-17 |
Family
ID=54447071
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201510518472.0A Active CN105040108B (zh) | 2015-08-21 | 2015-08-21 | 多晶硅太阳能电池的制绒方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
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PB01 | Publication | ||
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