CN105006254A - 一种具有双位移放大的大行程快速响应x-y微动工作台 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种具有双位移放大的大行程快速响应X-Y微动工作台，包括：底座、运动平台、顶盖、调平螺钉、压电陶瓷、载物台、电容位移传感器等。其中底座、运动平台和顶盖用螺钉固定，压电陶瓷安装在位移放大机构中，用锁紧螺钉固定，电容位移传感器安装在载物台与倒圆角直梁型柔性铰链之间。本发明采用一种应用于微纳米结构的改进型平行四边形位移放大机构，关节部分采用圆形柔性铰链，其刚度决定了位移放大机构的带负载能力以及快速响应性；采用双位移放大机构并联的方式，使得输出力和输出位移加倍，且减小载物台位移耦合；采用对称结构，使***具有较高带宽和重复精度；采用倒圆角直梁型和平行板柔性铰链的组合结构，位移单向性好。

Description

一种具有双位移放大的大行程快速响应X-Y微动工作台

技术领域

本发明涉及一种微纳测量与加工技术领域的装置，尤其涉及一种具有双位移放大的大行程快速响应X-Y微动工作台。

背景技术

微纳定位技术是现代高新科技和现代工业中的一项关键技术，在精密制造、超精测量和微操纵等诸多领域有着广泛的应用。近年来，对微纳定位技术提出了大行程、高精度、小体积和快速响应等更高的要求，其中对定位精度和分辨率的要求达到了纳米量级。

微纳定位技术的水平反映了一个国家的科技发展状况和综合实力，各国政府纷纷投入大量人力和物力。开展微纳定位技术的相关研究，对促进我国先进制造、超精密加工与测量、生物医学工程、国防军工等高新技术行业的快速发展有着重大而深远的意义。微纳定位工作台及其测控***作为核心部分直接决定了整个应用***的精度、效率及适应性，对其关键技术开展研究成为当务之急。

中国专利CN 103225728 A提出了一种压电陶瓷驱动的二维并联微动平台。该定位平台采用柔性铰链的二级放大机构和复合平行四杆导向机构难以加工，且柔性铰链要比杆的刚度小很多，导致放大机构尺寸过大；两级位移放大机构还会使得最终的输出力成倍下降，进而平台带负载能力也会下降；多次采用柔性铰链机构实现运动传递会使得***运动精度迅速下降，***带宽缩小，***较难实现高速精确定位。

中国专利CN 102962683 A提出了一种二自由度平动并联高带宽微动平台，该平台的二维高带宽平动特性牺牲了位置传感器的安装位置和平台的可用面积；***中未增加位移放大机构，无法实现大行程运动。

中国专利CN 10176995 A提出了一种具有冗余支链的二平动微动平台，该工作台的设计使得整个工作台的利用面积很小，空白面积很大；而且两侧的刚度差距很大，在施加单一方向力的时候，平台在另一侧会发生明显的偏转，导致附加角位移的出现；平台过大，未经过任何减重处理，会使得整体运动平台各个位置位移不一致，从而影响定位精度，同时也会导致压电陶瓷的驱动能力降低，***动态特性较差。

中国专利CN 103411106 A提出了一种嵌套式菱形放大二维精密定位平台，该方案相对于运动平台的尺寸，驱动和放大机构的尺寸过小，若未经过任何减重处理的话会导致***的驱动能力和动态特性下降；而且运动平台过大会导致运动平台各个位置的位移不一致；此种依靠四个边的拉伸变形产生位移放大的平行四边形位移放大机构的位移放大系数呈现非线性，没有确定系数；***呈现不对称结构，会导致平台固有频率降低。

鉴于上述专利中提出的微动平台存在的一些问题，本专利设计一种具有双位移放大的大行程快速响应X-Y微动工作台，该工作台具有载物台利用面积大、带负载能力强、固有频率高、响应速度快、运动行程大、结构对称等诸多特点，通过对工作台的设计与优化，使其定位准确性、可靠性、快速响应以及稳定性较类似X-Y微动平台更加优越。

发明内容

针对现有技术不足，提供一种具有双位移放大机构的大行程X-Y微动工作台，该平台结构合理、性能优越，采用双位移放大机构并联实现位移放大，不仅减少放大机构所占空间，提高载物台可利用面积，而且提高位移放大机构输出力，使得***带负载能力大大增强，对称的结构保证该微动平台具有较高的固有频率，位移传感器放置在两个平行板柔性铰链之间，使得该平台具有结构紧凑，体积小，精度高，响应速度快等优点。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：本发明提供的一种具有双位移放大的大行程快速响应X-Y微动工作台，其特征在于，它主要包括底座、运动平台、顶盖、调平螺钉、压电陶瓷、载物台、电容位移传感器以及内六角头螺钉。其中调平螺钉安装在底座的四个边角，底座上面是运动平台，运动平台上面是顶盖，底座、运动平台和顶盖三者用四个螺钉固定在一起，第一压电陶瓷安装在第一平行四边形位移放大机构中，用第一锁紧螺钉锁紧固定，第二压电陶瓷安装在第二平行四边形位移放大机构中，用第二锁紧螺钉锁紧固定，第三压电陶瓷安装在第三平行四边形位移放大机构中，用第三锁紧螺钉锁紧固定，第四压电陶瓷安装在第四平行四边形位移放大机构中，用第四锁紧螺钉锁紧固定，第一电容位移传感器安装在载物台右侧、第一倒圆角直梁型柔性铰链和第二倒圆角直梁型柔性铰链之间，第三电容位移传感器安装在载物台右侧、第三倒圆角直梁型柔性铰链和第四倒圆角直梁型柔性铰链之间。

所述X-Y微动工作台包括X方向运动和Y方向运动。其中，所述X-Y微动工作台的X方向包括第一平行四边形位移放大机构，第二平行四边形位移放大机构，第一倒圆角直梁型柔性铰链，第二倒圆角直梁型柔性铰链，第一平行板柔性铰链，第二平行板柔性铰链，其中第一平行四边形位移放大机构和第二平行四边形位移放大机构平行放置，两者左侧均采用具有大圆角的固定凸台与运动平台机架相连；第一平行四边形位移放大机构和第二平行四边形位移放大机构右侧与载物台采用具有大圆角的固定凸台与运动平台机架相连；第一倒圆角直梁型柔性铰链和第二倒圆角直梁型柔性铰链水平放置，两者的左侧均与载物台右侧相连；第一倒圆角直梁型柔性铰链与第一平行板柔性铰链垂直连接；第二倒圆角直梁型柔性铰链与第二平行板柔性铰链垂直连接。

所述X-Y微动工作台的Y方向包括第三平行四边形位移放大机构，第四平行四边形位移放大机构，第三倒圆角直梁型柔性铰链，第四倒圆角直梁型柔性铰链，第三平行板柔性铰链，第四平行板柔性铰链，其中第三平行四边形位移放大机构和第四平行四边形位移放大机构平行放置，两者上侧均采用具有大圆角的固定凸台与运动平台机架相连；第三平行四边形位移放大机构和第四平行四边形位移放大机构下侧与载物台采用具有大圆角的固定凸台与运动平台机架相连；第三倒圆角直梁型柔性铰链和第四倒圆角直梁型柔性铰链水平放置，两者的上侧均与载物台下侧相连；第三倒圆角直梁型柔性铰链与第三平行板柔性铰链垂直连接；第四倒圆角直梁型柔性铰链与第四平行板柔性铰链垂直连接。

所述第一平行四边形位移放大机构包括第一放大机构第一边、第一放大机构第二边，第一放大机构第三边，第一放大机构第四边，第一放大机构第一压电陶瓷安装座，第一放大机构第二压电陶瓷安装座，第一放大机构第一柔性铰链，第一放大机构第二柔性铰链，第一放大机构第三柔性铰链，第一放大机构第四柔性铰链，第一放大机构第五柔性铰链，第一放大机构第六柔性铰链，第一放大机构第七柔性铰链，第一放大机构第八柔性铰链，其中第一放大机构第一边通过第一放大机构第一柔性铰链与凸台连接，通过第一放大机构第二柔性铰链与第一放大机构第一压电陶瓷安装座相连，第一放大机构第一压电陶瓷安装座通过第一放大机构第三柔性铰链与第一放大机构第二边连接，第一放大机构第二边通过第一放大机构第四柔性铰链与凸台连接，凸台通过第一放大机构第五柔性铰链与第一放大机构第四边连接，第一放大机构第四边通过第一放大机构第六柔性铰链与第一放大机构第二压电陶瓷安装座连接，第一放大机构第二压电陶瓷安装座连接通过第一放大机构第七柔性铰链与第一放大机构第四边连接，第一放大机构第四边通过第一放大机构第八柔性铰链与凸台连接。

所述第二平行四边形位移放大机构，第三平行四边形位移放大机构，第四平行四边形位移放大机构，与第一平行四边形位移放大机构组成和连接类似，在此不再赘述。

所述运动平台第一锁紧螺钉，第二锁紧螺钉、第三锁紧螺钉、第四锁紧螺钉与平台基座正对处分别有一个通孔，用于从基座外侧锁紧螺钉。

所述运动平台要求的性能指标包括：安装空间在90mm*90mm、分辨率10nm、定位时间小于30s。

所述运动平台仿真后的性能包括：最大应力出现在第四平行四边形位移放大机构的第八柔性铰链处，为455.057249N/mm^2，小于材料的屈服应力505 N/mm^2；拖动平台最大位移为138μm，耦合位移为3.185μm，耦合度为2.31%。

所述底座、运动平台、顶盖材料为铝合金7075-T651，采用精密线切割机床采用慢走丝切割完成。

所述底座上还设有压电陶瓷信号线出口。

所述运动平台上四个角有螺钉通孔，用于连接顶盖和底座。

本发明与现有的微动平台相比，具有以下有益效果：

（1）本发明采用一种应用于微纳米结构的改进型平行四边形位移放大机构，关节部分采用圆形柔性铰链，该处采用柔性铰链结构既可以实现类似于铰链的旋转功能，实现平行四边形结构的运动，进而产生位移放大，也可以通过计算此处的受力状态来确定平行四边形位移放大机构的刚度，进而提高平行四边形位移放大机构的带负载能力以及快速响应性；此种设计使得***的位移放大比例可根据输出位移要求和输出位移进行设计。

（2）本发明采用并联双平行四边形位移放大机构，在保证大位移行程的同时，使得位移放大机构的输出力加倍。通过对同一方向的两个平行四边形位移放大机构的静力矩分析，确定两者之间的比例系数，进而分别控制两个平行四边形位移放大机构的输出力，使得载物台在其他方向的位移趋近于零，进而消除位移耦合。

（3）本发明整体上采用对称结构，使得载物台两侧刚度尽量接近，从而使得***具有尽可能高的带宽，能够在高频操作环境下具有很高的重复精度。

（4）本发明采用倒圆角直梁型柔性铰链和平行板柔性铰链的组合结构，使得***位移具有良好的单向性，即：单一方向施加力时，同一方向倒圆角直梁型柔性铰链刚度大而平行板柔性铰链刚度小，垂直方向倒圆角直梁型柔性铰链刚度小而平行板柔性铰链刚度大，使得***在施力方向的位移行程远大于垂直方向的附加位移。

附图说明

图1为本发明提供的X-Y微动工作台的整体外形图；

图2为本发明提供的X-Y微动工作台内部结构立体结构图；

图3为本发明提供的运动平台的机构原理图；

图4为本发明提供的运动平台的结构图；

图5为本发明提供的平行四边形位移放大机构结构图；

图6为本发明提供的X-Y微动工作台前五阶模态示意图；

图7为本发明提供的平行四边形位移放大机构所采用的圆形柔性铰链的尺寸示意图；

图8为本发明提供的倒圆角直梁型柔性铰链的尺寸是意图。

图中：1顶盖，2运动平台，3底座，4调平螺钉，5电容位移传感器1上片，6电容位移传感器1下片，7载物台，8电容传感器2下片，9电容传感器上片，10锁紧螺钉，11第一压电陶瓷，12第二压电陶瓷，13第三压电陶瓷，14第四压电陶瓷，15螺栓孔，16第一平行板柔性铰链，17第一倒圆角直梁型柔性铰链,18第二倒圆角直梁型柔性铰链，19第二平行板柔性铰链，20拖动平台，21第三平行板柔性铰链,22第三倒圆角直梁型柔性铰链,23第四倒圆角直梁型柔性铰链,24第四平行板柔性铰链,25第二右连接凸台，26第二平行四边形位移放大机构，27第二左连接凸台，28第一平行四边形位移放大机构，29第一右连接凸台，30第一左连接凸台，31螺钉孔，32第三下连接凸台，33第三上连接凸台，34第三平行四边形位移放大机构，35第四平行四边形位移放大机构，36第四上凸台连接，37第四下凸台连接，38运动平台机架，39第二柔性铰链，40第一压电陶瓷安装座,41第三柔性铰链，42第二边，43第四柔性铰链，44输出凸台，45第五柔性铰链，46第三边，47第六柔性铰链，48第二压电陶瓷安装座，49第七柔性铰链，50第四边，51第八柔性铰链，52固定凸台。

具体实施方式

下面对本发明的实施例作详细说明，本实施例在以本发明技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本发明的保护范围不限于下述的实施例。

如图1，2，4所示，本发明提供的一种具有双位移放大机构的大行程X-Y微动工作台，其特征在于，它主要包括底座3、运动平台2、顶盖1、调平螺钉4、压电陶瓷（11、12、13、14）、载物台7、电容位移传感器（5、6、8、9）以及锁紧螺钉10。其中调平螺钉4安装在底座3的四个边角，底座3上面是运动平台2，运动平台2上面是顶盖1，底座3、运动平台2和顶盖1三者用四个螺钉固定在一起，第一压电陶瓷11安装在第一平行四边形位移放大机构26中，用第一锁紧螺钉10锁紧固定，第二压电陶瓷12安装在第二平行四边形位移放大机构28中，用第二锁紧螺钉锁紧固定，第三压电陶瓷13安装在第三平行四边形位移放大机构34中，用第三锁紧螺钉锁紧固定，第四压电陶瓷14安装在第四平行四边形位移放大机构35中，用第四锁紧螺钉锁紧固定，载物台用四个螺钉固定在运动平台2的拖动平台20第一电容位移传感器5和6安装在拖动平台20右侧、第一倒圆角直梁型柔性铰链17和第二倒圆角直梁型柔性铰链18之间，第三电容位移传感器8和9安装在拖动平台20右侧、第三倒圆角直梁型柔性铰链22和第四倒圆角直梁型柔性铰链23之间。

所述X-Y微动工作台的X方向包括第一平行四边形位移放大机构26，第二平行四边形位移放大机构28，第一倒圆角直梁型柔性铰链17，第二倒圆角直梁型柔性铰链18，第一平行板柔性铰链16，第二平行板柔性铰链19，其中第一平行四边形位移放大机构26和第二平行四边形位移放大机构28平行放置，两者左侧均采用具有大圆角的固定凸台27和28与运动平台机架38相连；第一平行四边形位移放大机构26和第二平行四边形位移放大机构28右侧与载物台采用具有大圆角的固定凸台29和25与运动平台机架38相连；拖动平台20中部被掏空；第一倒圆角直梁型柔性铰链17和第二倒圆角直梁型柔性铰链18水平放置，两者的左侧均与拖动平台20右侧相连；第一倒圆角直梁型柔性铰链17与第一平行板柔性铰链16垂直连接；第二倒圆角直梁型柔性铰链18与第二平行板柔性铰链19垂直连接。

所述X-Y微动工作台的Y方向包括第三平行四边形位移放大机构34，第四平行四边形位移放大机构35，第三倒圆角直梁型柔性铰链22，第四倒圆角直梁型柔性铰链23，第三平行板柔性铰链21，第四平行板柔性铰链24，其中第三平行四边形位移放大机构34和第四平行四边形位移放大机构35平行放置，两者上侧均采用具有大圆角的固定凸台33和36与运动平台机架38相连；第三平行四边形位移放大机构34和第四平行四边形位移放大机构35下侧与拖动平台20采用具有大圆角的固定凸台32和37与运动平台机架38相连；第三倒圆角直梁型柔性铰链22和第四倒圆角直梁型柔性铰链23水平放置，两者的上侧均与拖动平台20下侧相连；第三倒圆角直梁型柔性铰链22与第三平行板柔性铰链21连接；第四倒圆角直梁型柔性铰链23与第四平行板柔性铰链24垂直连接。

如图3所示是本发明提供的具有双位移放大机构并联的大行程X-Y微动工作台的机构示意图。当第一压电陶瓷11通电工作时，在自身长度方向产生一个同向位移，由于第一锁紧螺钉10的约束，使得第一平行四边形位移放大机构26的第一压电陶瓷安装座40，和第二压电陶瓷安装座48移动，由于第二柔性铰链39和第三柔性铰链41的约束，第一压电陶瓷安装座40移动带动第二柔性铰链39和第三柔性铰链41变形，从而实现第一边54和第二边42运动，由于第一边54和第二边42分别绕第一柔性铰链53和第四柔性铰链43转动，且第一柔性铰链53固定在固定凸台52上，竖直位移传递给第四柔性铰链43，并造成输出凸台44的运动。同理，第二压电陶瓷安装座48移动，由于第六柔性铰链47和第七柔性铰链49的约束，第二压电陶瓷安装座48移动会带动第六柔性铰链47和第七柔性铰链49变形，从而带动第三边46和第四边50运动，由于第三边46和第四边50分别绕第五柔性铰链45和第八柔性铰链51转动，且第八柔性铰链51固定在固定凸台52上，竖直位移传递给了第五柔性铰链45，并造成输出凸台44的运动。第二平行四边形位移放大机构26的运动传递和第一平行四边形位移放大机构28一致，两个位移放大机构配合共同使得拖动平台20在X方向产生位移。拖动平台在X方向的运动带动第一倒圆角直梁型柔性铰链17和第二倒圆角直梁型柔性铰链18，两者的运动分别会带动第一平行板柔性铰链16和第二平行板柔性铰链19。拖动平台在X轴方向的运动同时带动第三倒圆角直梁型柔性铰链22和第四倒圆角直梁型柔性铰链23的运动，两者的运动分别带动第三平行板柔性铰链21和第四平行板柔性铰链24。

如图5所示，所述第一平行四边形位移放大机构包括第一放大机构第一边54、第一放大机构第二边42，第一放大机构第三边46，第一放大机构第四边50，第一放大机构第一压电陶瓷安装座40，第一放大机构第二压电陶瓷安装座48，第一放大机构第一柔性铰链53，第一放大机构第二柔性铰链39，第一放大机构第三柔性铰链41，第一放大机构第四柔性铰链43，第一放大机构第五柔性铰链45，第一放大机构第六柔性铰链47，第一放大机构第七柔性铰链49，第一放大机构第八柔性铰链51，其中第一放大机构第一边54通过第一放大机构第一柔性铰链53与凸台连接52，通过第一放大机构第二柔性铰链39与第一放大机构第一压电陶瓷安装座40相连，第一放大机构第一压电陶瓷安装座40通过第一放大机构第三柔性铰链41与第一放大机构第二边连接42相连，第一放大机构第二边42通过第一放大机构第四柔性铰链43与凸台44连接，凸台44通过第一放大机构第五柔性铰链45与第一放大机构第三边46连接，第一放大机构第三边46通过第一放大机构第六柔性铰链47与第一放大机构第二压电陶瓷安装座48连接，第一放大机构第二压电陶瓷安装座48连接通过第一放大机构第七柔性铰链49与第一放大机构第四边50连接，第一放大机构第四边50通过第一放大机构第八柔性铰链51与凸台52连接。

如图6所示，运动工作台采用对称结构以及大圆角连接的结构使得运动工作台的固有频率处于较高值：如图6中(a)、（b）所示，前两阶固有频率反映平面内特性，分别为1938.3Hz和2057.6Hz；后几阶固有频率反映平面外的特性，其中第三阶反映在Z轴的振动特性，图6中（c）所示，为2289.9Hz，图6中（d）、（e）所示第四阶、第五阶固有频率分别反映微动平台绕X，Y轴旋转特性，分别为2874.2Hz、4881.2Hz。平面外的高固有频率使得微动平台在工作时，运动工作台2保持良好的平动特性。因而微动平台具有较高的动态特性，便于控制。

图7为本发明提供的X-Y微动工作台的圆形柔性铰链结构图，所有平行四边形位移放大机构使用的柔性铰链均采用圆形柔性铰链，并且所有的圆形柔性铰链结构和尺寸相同，柔性铰链圆半径r为1mm，铰链宽度t为0.5mm，铰链厚度w为10mm。

图8为本发明提供的X-Y微动工作台的平行板柔性铰链结构图，并且所有的平行板柔性铰链的结构和尺寸相同，平行板柔性铰链宽度b为10mm， 高度H为6mm，最小厚度t为1.5mm 倒圆角半径R为1.5mm，直梁部分长度L为12mm。

Claims (10)

1.一种具有双位移放大的大行程快速响应X-Y微动工作台，其特征在于，它主要包括底座、运动平台、顶盖、调平螺钉、压电陶瓷、载物台、电容位移传感器以及内六角头螺钉。

2.其中调平螺钉安装在底座的四个边角，底座上面是运动平台，运动平台上面是顶盖，底座、运动平台和顶盖三者用四个螺钉固定在一起，第一压电陶瓷安装在第一平行四边形位移放大机构中，用第一锁紧螺钉锁紧固定，第二压电陶瓷安装在第二平行四边形位移放大机构中，用第二锁紧螺钉锁紧固定，第三压电陶瓷安装在第三平行四边形位移放大机构中，用第三锁紧螺钉锁紧固定，第四压电陶瓷安装在第四平行四边形位移放大机构中，用第四锁紧螺钉锁紧固定，第一电容位移传感器安装在载物台右侧、第一倒圆角直梁型柔性铰链和第二倒圆角直梁型柔性铰链之间，第三电容位移传感器安装在载物台右侧、第三倒圆角直梁型柔性铰链和第四倒圆角直梁型柔性铰链之间。

3.如权利要求1所述一种具有双位移放大的大行程快速响应X-Y微动工作台，其特征在于，所述X-Y微动工作台的X方向包括第一平行四边形位移放大机构，第二平行四边形位移放大机构，第一倒圆角直梁型柔性铰链，第二倒圆角直梁型柔性铰链，第一平行板柔性铰链，第二平行板柔性铰链，其中第一平行四边形位移放大机构和第二平行四边形位移放大机构平行放置，两者左侧均采用具有大圆角的固定凸台与运动平台机架相连，可减少应力集中；第一平行四边形位移放大机构和第二平行四边形位移放大机构右侧与载物台采用具有大圆角的固定凸台与运动平台机架相连；载物台中部被掏空，这种设计方案可以减少载物台重量，提高平台的动态特性；第一倒圆角直梁型柔性铰链和第二倒圆角直梁型柔性铰链水平放置，两者的左侧均与载物台右侧相连；第一倒圆角直梁型柔性铰链与第一平行板柔性铰链垂直连接；第二倒圆角直梁型柔性铰链与第二平行板柔性铰链垂直连接。

4.如权利要求1所述一种具有双位移放大的大行程快速响应X-Y微动工作台，其特征在于，所述X-Y微动工作台的Y方向包括第三平行四边形位移放大机构，第四平行四边形位移放大机构，第三倒圆角直梁型柔性铰链，第四倒圆角直梁型柔性铰链，第三平行板柔性铰链，第四平行板柔性铰链，其中第三平行四边形位移放大机构和第四平行四边形位移放大机构平行放置，两者左侧均采用具有大圆角的固定凸台与运动平台机架相连，可减少应力集中；第三平行四边形位移放大机构和第四平行四边形位移放大机构右侧与载物台采用具有大圆角的固定凸台与运动平台机架相连；载物台中部被掏空，这种设计方案可以减少载物台重量，提高平台的动态特性；第三倒圆角直梁型柔性铰链和第四倒圆角直梁型柔性铰链水平放置，两者的左侧均与载物台右侧相连；第三倒圆角直梁型柔性铰链与第三平行板柔性铰链垂直连接；第四倒圆角直梁型柔性铰链与第四平行板柔性铰链垂直连接。

5.如权利要求1所述一种具有双位移放大的大行程快速响应X-Y微动工作台，其特征在于，所述第一平行四边形位移放大机构包括第一放大机构第一边、第一放大机构第二边，第一放大机构第三边，第一放大机构第四边，第一放大机构第一压电陶瓷安装座，第一放大机构第二压电陶瓷安装座，第一放大机构第一柔性铰链，第一放大机构第二柔性铰链，第一放大机构第三柔性铰链，第一放大机构第四柔性铰链，第一放大机构第五柔性铰链，第一放大机构第六柔性铰链，第一放大机构第七柔性铰链，第一放大机构第八柔性铰链，其中第一放大机构第一边通过第一放大机构第一柔性铰链与凸台连接，通过第一放大机构第二柔性铰链与第一放大机构第一压电陶瓷安装座，第一放大机构第一压电陶瓷安装座通过第一放大机构第三柔性铰链与第一放大机构第二边连接，第一放大机构第二边通过第一放大机构第四柔性铰链与凸台连接，凸台通过第一放大机构第五柔性铰链与第一放大机构第四边连接，第一放大机构第四边通过第一放大机构第六柔性铰链与第一放大机构第二压电陶瓷安装座连接，第一放大机构第二压电陶瓷安装座连接通过第一放大机构第七柔性铰链与第一放大机构第四边连接，第一放大机构第四边通过第一放大机构第八柔性铰链与凸台连接。

6.如权利要求1所述一种具有双位移放大的大行程快速响应X-Y微动工作台，其特征在于，所述第二平行四边形位移放大机构、第三平行四边形位移放大机构、第四平行四边形位移放大机构结构与第一平行四边形位移放大机构的结构相同，在此不再赘述。

7.如权利要求1所述一种具有双位移放大的大行程快速响应X-Y微动工作台，其特征在于，所述运动平台第一锁紧螺钉，第二锁紧螺钉、第三锁紧螺钉、第四锁紧螺钉与平台基座正对处分别有一个通孔，用于从基座外侧锁紧螺钉。

8.如权利要求1所述一种具有双位移放大的大行程快速响应X-Y微动工作台，其特征在于，所述底座、运动平台、顶盖材料为铝合金7075-T651，采用精密线切割机床采用慢走丝切割完成。

9.如权利要求1所述一种具有双位移放大的大行程快速响应X-Y微动工作台，其特征在于，所述底座上还设有压电陶瓷信号线出口。

10.如权利要求1所述一种具有双位移放大的大行程快速响应X-Y微动工作台所述运动平台上四个角有螺钉通孔，用于连接顶盖和底座。