CN104993357B - 不可见激光器***及其光路可视化方法 - Google Patents

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Abstract

本公开提供了一种不可见激光器***及其光路可视化方法，属于激光技术领域。根据本公开，不可见激光器***包括：产生不可见激光的不可见激光发生器；产生可见光的可见光发生器；以及光路可视化部件，其布置在不可见激光和可见光的光路中，至少包括第一入射端、第二入射端和第一出射端，不可见激光在第一入射端入射，可见光在第二入射端入射，并且全部的不可见激光和至少部分的可见光在第一出射端相互平行地出射。根据本公开，所有不可见激光只存在于与可见光的光路平行的方向上，而其它方向上不存在不可见激光，由此消除了辐射风险。

Description

不可见激光器***及其光路可视化方法
技术领域
本公开涉及激光技术领域，具体地涉及一种不可见激光器***及其光路可视化方法。
背景技术
不可见激光器广泛应用于器件加工等领域。例如，在液晶显示器(LCD)制作工艺中，诸如Nd:YAG激光器(波长1.064μm)、CO2激光器(波长10.6μm)的不可见激光器经常被用于切割玻璃基板，修复显示面板，切断线路，以及制作多晶硅有源层。在激光器安装时以及出现加工不良时，需要工程人员调试激光器。然而，由于这种激光器发出的激光是不可见的，这给工程人员在调试激光器时带来不便和辐射风险。
图1示出一种不可见激光器***100的示意图。不可见激光发生器110发出的不可见激光111经过激光调节部件120，然后到达待加工物件130的表面。激光调节部件120被用于调节激光的行进方向、发散角、束斑形状等，并且可以包括偏转单元、扩束望远镜(beamexpanding telescope, BET)、会聚透镜(condensing lens)、束斑形状控制单元、聚焦透镜(focusing lens)等。通常要求不可见激光111垂直其光路中各透镜的水平面。为此，工程人员一般使用红外观测仪(IR-Viewer)观测和调试不可见激光111的光路。然而这种红外观测仪只能观测光路的某一个点而无法看见和调试整个光路，调试过程非常耗时，并且辐射危险性较大。
因此，本领域中存在对一种改进的不可见激光器***的需求。
发明内容
本公开提出了一种不可见激光器***及其光路可视化方法，从而减轻或解决前文所提到的问题的一个或多个。具体而言，根据本公开的不可见激光器***及其光路可视化方法可以彻底消除不可见激光在调试过程中的辐射风险。
在第一方面，本公开提供了一种不可见激光器***，包括：产生不可见激光的不可见激光发生器；以及产生可见光的可见光发生器。所述不可见激光器***还包括：光路可视化部件，其中所述光路可视化部件至少包括第一入射端、第二入射端和第一出射端，其中所述不可见激光在所述第一入射端入射，所述可见光在所述第二入射端入射，并且全部的所述不可见激光和至少部分的所述可见光在所述第一出射端相互平行地出射。
根据本公开，所有不可见激光只存在于与可见光的光路平行的方向上，而其它方向上不存在不可见激光，由此彻底消除了辐射风险。在所述不可见激光器***中，不可见激光的光路始终被可视化，使得工程人员始终能够方便、直观地调试不可见激光的光路，避免了在调试过程中不可见激光无参照物调试的盲目性，提升了不可见激光调试的效率。再者，由于全部的不可见激光被引导至待加工物件的表面，使得该光路可视化部件的引入并不影响不可见激光的强度，即，所述不可见激光器***的器件加工性能不受任何负面影响。
例如，倍频晶体被用于在不可见激光器的不可见光路中引入可见光，以用于标示不可见光路。又例如，可见光源和分光镜被引入不可见光路中，可见光源的可见光被分光镜反射到激光器的不可见光路中。然而这两种方法都存在缺陷。在采用倍频晶体的情况下，只有在光路调试时，倍频晶体才定位在不可见激光器的不可见光路中。当倍频晶体被移出不可见光路时，激光器的光路仍是不可见的，从而潜在地导致辐射危险。在采用可见光源和分光镜的情况下，分光镜将不可见激光器的不可见光路一分为二，可见光仅仅被引入到两个不可见光路的其中之一，而另一个不可见光路将潜在地导致辐射危险。也就是说，这两种情况都存在辐射危险。
优选地，所述光路可视化部件可以包括全反射棱镜(total reflection prism,TRP)，所述全反射棱镜具有第一侧面、垂直所述第一侧面的第二侧面和斜面，以及，所述第一侧面形成所述第一入射端，所述斜面形成所述第二入射端，并且所述第二侧面形成所述第一出射端。
根据本公开，全反射棱镜被用于实施该光路可视化部件。利用光在全反射棱镜内部的全内反射，将不可见激光转向为平行于可见光，由此达成本公开的目的。
优选地，所述不可见激光可以在所述全反射棱镜的所述第一侧面垂直入射，在所述斜面全反射，并且在所述第二侧面垂直出射；以及所述可见光可以在所述全反射棱镜的所述斜面入射并且在所述第二侧面垂直出射。
根据本公开，不可见激光在全反射棱镜的第一侧面垂直入射，在斜面全内反射，并且在第二侧面垂直出射，使得全部的不可见激光被引导至待加工物件的表面。同时，可见光在全反射棱镜的斜面入射，入射角被调谐为使得可见光在斜面的折射角为45度，从而在第二侧面垂直出射。藉此，全部的不可见激光和至少部分的可见光在第二侧面垂直出射，平行地被引导至待加工物件的表面，由此达成本公开的目的。
优选地，所述光路可视化部件可以包括偏振分光镜(polarized beam splitter,PBS，又称偏振分光棱镜)。所述偏振分光镜可以由第一直角棱镜和第二直角棱镜贴合形成。所述第一直角棱镜具有第一侧面、垂直所述第一侧面的第二侧面和斜面。所述第二直角棱镜具有第三侧面、垂直所述第三侧面的第四侧面和斜面。所述第一直角棱镜的斜面和第二直角棱镜的斜面相互贴合，所述第一侧面与所述第三侧面相对，以及所述第二侧面与所述第四侧面相对。所述第一侧面形成所述第一入射端，所述第四侧面形成所述第二入射端，以及所述第二侧面形成所述第一出射端。
根据本公开，偏振分光镜被用于实施该光路可视化部件。入射激光为偏振光时，偏振分光镜将入射光分成相互垂直的两束偏振光。通过适当调整入射光和偏振分光镜的相对取向，可以将全部的入射激光偏转以平行于出射可见光，由此达到本公开的目的。
优选地，所述不可见激光可以在所述第一直角棱镜的第一侧面垂直入射，在所述第一直角棱镜的斜面和所述第二直角棱镜的斜面的界面全反射，并且在所述第二侧面垂直出射；以及所述可见光可以在所述第四侧面垂直入射，并且至少部分在所述第二侧面垂直出射。
根据本公开，不可见激光为线偏振光并且在第一直角棱镜的第一侧面垂直入射时，通过调整不可见激光的偏振方向与第一直角棱镜的光轴之间的角度，全部的不可见激光在第一直角棱镜的斜面和第二直角棱镜的斜面的界面出被全反射，以S偏振光的形式在第一直角棱镜的第二侧面出垂直出射。同时，可见光在第二直角棱镜的第四侧面垂直入射，从而至少部分地在所述第二侧面垂直出射，由此达成本公开的目的。
优选地，所述光路可视化部件还可以包括相位延迟器，所述相位延迟器布置在所述光路可视化部件的所述第一入射端的上游。
根据本公开，当不可见激光为圆偏振光或者椭圆偏振光时，相位延迟器可以布置在光路可视化部件的第一入射端的上游，在不可见激光的两个偏振分量之间引入相位差，在不可见激光入射第一直角棱镜之前将其转换为线偏振光，以便将全部的不可见激光从两个斜面的界面反射后，经由第一直角棱镜的第二侧面出射。应指出，此处的表述"相位延迟器布置在光路可视化部件的第一入射端的上游"是指相位延迟器在不可见激光的光路中布置在光路可视化部件的第一入射端的上游。即，不可见激光在经过相位延迟器之后入射到光路可视化部件。相位延迟器可以挨着光路可视化部件布置，二者之间不设置其它光学元件。当然，相位延迟器和光路可视化部件之间也可以存在其它光学元件。
优选地，所述相位延迟器可以为四分之一波片(quarter wave plate)。
根据本公开，该相位延迟器可以为四分之一波片。圆偏振光或椭圆偏振光通过四分之一波片后，两个偏振分量之间产生π/2的附加相位差，该圆偏振光或椭圆偏振光转变为线偏振光。
优选地，所述光路可视化部件还可以包括起偏器(polarizer)，所述起偏器布置在所述光路可视化部件的所述第二入射端的上游。
根据本公开，起偏器可以布置在光路可视化部件的第二入射端的上游，将可见光转换为偏振光，使得大部分或者全部的可见光可以经由第一直角棱镜的第二侧面出射。所述起偏器可以为诸如偏振片(polaroid)、尼科尔棱镜(Nicol prism)。
优选地，全部的所述不可见激光和至少部分的所述可见光可以在所述光路可视化部件的所述第一出射端同轴出射。
根据本公开，通过调整不可见激光在第一入射端的入射位置以及可见光在第二入射端的入射位置，可以使不可见激光和可见光在第一出射端的出射位置重合。藉此，从第一出射端出射的不可见激光和可见光的光路同轴，为工程人员提供更直接和直观的可视化效果。
优选地，所述光路可视化部件还可以包括可调谐狭缝，所述可调谐狭缝布置在所述光路可视化部件的所述第一出射端的下游。
根据本公开，可调谐狭缝可以布置在光路可视化部件的第一出射端的下游。藉此，可以根据需要调整出射的不可见激光和可见光的光束形状和尺寸。此外，可以将可见光的光束尺寸调整为与不可见激光的光束尺寸相同。应指出，此处的表述"可调谐狭缝布置在光路可视化部件的第一出射端的下游"是指可调谐狭缝在不可见激光的光路中布置在光路可视化部件的第一出射端的下游。即，不可见激光和可见光在从光路可视化部件出射之后经过可调谐狭缝。可调谐狭缝可以挨着光路可视化部件布置，二者之间不设置其它光学元件。当然，光路可视化部件和可调谐狭缝之间也可以存在其它光学元件。
优选地，所述可见光发生器和所述光路可视化部件其中之一或二者可以集成在所述不可见激光发生器中。
根据本公开，可见光发生器和/或光路可视化部件可以集成在不可见激光发生器中。这有利于实现紧凑和微型化的不可见激光器***。当可见光发生器和光路可视化部件均集成在不可见激光发生器中时，不可见激光发生器本身具有光路可视化的功能，
优选地，所述可见光可以为可见激光或者可见自然光。
根据本公开，可见光发生器产生可见光即可，该可见光可以是激光或者自然光，并且该自然光可以是单波长、离散多波长或连续波长。
在第二方面，本公开提供了一种不可见激光器***的光路可视化方法。所述不可见激光器***包括：产生不可见激光的不可见激光发生器；产生可见光的可见光发生器；以及光路可视化部件，其中所述光路可视化部件布置在所述不可见激光的光路和所述可见光的光路中。所述方法包括步骤：调整所述不可见激光发生器、所述可见光发生器和所述光路可视化部件，使得全部的所述不可见激光和至少部分的所述可见光被导向为相互平行的输出光束。
优选地，所述光路可视化部件可以包括全反射棱镜，并且所述步骤可以包括：
调整所述不可见激光以在所述全反射棱镜的第一侧面垂直入射，在斜面全反射，并且在第二侧面垂直出射；以及
调整所述可见光以在所述全反射棱镜的斜面入射并且在第二侧面垂直出射。
优选地，所述光路可视化部件可以包括由第一直角棱镜和第二直角棱镜贴合形成的偏振分光镜，并且所述步骤可以包括：
调整所述不可见激光以在所述第一直角棱镜的第一侧面垂直入射，在所述第一直角棱镜的斜面和所述第二直角棱镜的斜面的界面全反射，并且在所述第一直角棱镜的第二侧面垂直出射；以及
调整所述可见光以在与所述第一直角棱镜的第二侧面相对的所述第二直角棱镜的侧面垂直入射，并且至少部分在所述第一直角棱镜的第二侧面垂直出射。
优选地，所述步骤可以包括：调整所述不可见激光发生器、所述可见光发生器和所述光路可视化部件，使得全部的所述不可见激光和至少部分的所述可见光被导向为同轴出射。
根据本公开的光路可视化方法具有与前文所述的不可见激光器***相同或相似的益处，此处不再赘述。
本公开是在已知的不可光激光器***中引入可见光发生器和光路可视化部件，全部的不可见激光和至少部分的可见光在光路可视化部件的第一出射端相互平行地出射。由于所有不可见激光只存在于与可见光的光路平行的方向上，而其它方向上不存在不可见激光，由此彻底消除了辐射风险。
在该不可见激光器***中，不可见激光的光路始终被可视化，使得工程人员始终能够方便、直观地调试不可见激光的光路，避免了在调试过程中不可见激光无参照物调试的盲目性，提升了不可见激光调试的效率。再者，由于全部的不可见激光被引导至待加工物件的表面，使得该光路可视化部件的引入并不影响不可见激光的强度，即，所述不可见激光器***的器件加工性能不受任何负面影响。
附图说明
图1为已知的不可见激光器***的示意图；
图2为根据本公开一实施例的不可见激光器***的示意图；
图3为根据本公开一实施例的光路可视化部件的示意图；
图4为根据本公开一实施例的光路可视化部件的示意图；
图5为根据本公开一实施例的光路可视化部件的示意图；以及
图6为根据本公开一实施例的光路可视化方法的流程图。
附图标记：
100、200 不可见激光器***；
110、210 不可见激光发生器；
111、211、212 不可见激光；
120、220 激光调节部件；
130、230 待加工物件；
240 可见光发生器；
241、242 可见光；
250、300、400、500 光路可视化部件；
310、410 全反射棱镜；
420、520 可调谐狭缝；
510 偏振分光镜；
530 相位延迟器；
540 起偏器；
θ1 可见光的入射角；
θ2 可见光的折射角。
具体实施方式
下面结合附图，对本公开的不可见激光器***及其光路可视化方法的具体实施方式进行详细地说明。本公开的各附图示意性地绘示出与发明点有关的结构、部分和/或步骤，而没有绘示或者仅仅部分地绘示与发明点无关的结构、部分和/或步骤。
图2示出本公开一实施例的不可见激光器***200的示意图。不可见激光发生器210发出的不可见激光211经过激光调节部件220，然后到达待加工物件230的表面。
不可见激光器***200还包括产生可见光发生器240。可见光发生器240产生可见光241。可见光241可以为可见激光，也可以是可见自然光。该可见自然光可以为单波长、离散多波长或者连续波长。
不可见激光器***200还包括光路可视化部件250。光路可视化部件250布置在不可见激光211的光路和可见光241的光路中。光路可视化部件250至少包括第一入射端、第二入射端和第一出射端。不可见激光211在第一入射端入射，可见光241在第二入射端入射，并且全部的不可见激光211和至少部分的可见光241在第一出射端相互平行地出射。由于不可见激光211的光路平行于可见光241的光路，可见光241可以被用作参照引导光，使得工程人员可以容易地定位不可见激光211的光路，即，不可见激光211的光路被"可视化"。
在图2中，光路可视化部件250被示意性示为在不可见激光211的光路中布置在激光调节部件220的下游。当然，光路可视化部件250还可以在不可见激光211的光路中布置在激光调节部件220的上游，或者布置在激光调节部件220所包含的各个光学元件之间。
可见光发生器240和光路可视化部件250其中之一或二者可以设置不可见激光发生器210中。这有利于实现紧凑和微型化的不可见激光器***200。
以下结合图3、图4、图5详细描述光路可视化部件250的示例性实施例。
图3示意性示出光路可视化部件300的光路。在本实施例中，光路可视化部件300包括全反射棱镜310。全反射棱镜310具有第一侧面、垂直第一侧面的第二侧面和斜面。第一侧面形成光路可视化部件300的第一入射端，斜面形成第二入射端，并且第二侧面形成第一出射端。
不可见激光211在全反射棱镜310的第一侧面垂直入射，在斜面全反射，并且在第二侧面垂直出射。可见光241在全反射棱镜的斜面入射。调整可见光241在全反射棱镜310的斜面的入射角θ1，从而调整可见光241的折射角θ2，使得可见光241在第二侧面垂直出射。如图3所示，从全反射棱镜310的第二侧面出射的不可见激光212和可见光242相互平行。
图4示意性示出光路可视化部件400的光路。在本实施例中，光路可视化部件400包括全反射棱镜410。不可见激光211在全反射棱镜410的第一侧面垂直入射，在斜面全反射，并且在第二侧面垂直出射。可见光241在全反射棱镜的斜面入射。调整可见光241在全反射棱镜410的斜面的入射角θ1，从而调整可见光241的折射角θ2，使得可见光241在第二侧面垂直出射。
与图3的实施例不同在于，在图4所示实施例中，全部的不可见激光211和至少部分的可见光241在所述光路可视化部件的所述第一出射端同轴出射。具体而言，通过调整不可见激光211在第一侧面的入射位置以及可见光241在斜面的入射位置，可以使不可见激光211和可见光241在第二侧面的出射位置重合。如图4所示，从全反射棱镜410的第二侧面出射的不可见激光212和可见光242相互重合。藉此，从第一出射端出射的不可见激光212和可见光242的光路同轴，为工程人员提供更直接和直观的可视化效果，可以进一步节约工程人员的调试时间并且进一步降低辐射风险。
如图4所示，光路可视化部件400还可以包括可调谐狭缝420。可调谐狭缝420可以在不可见激光211的光路中布置在全反射棱镜410的第二侧面的下游。利用该可调谐狭缝420，可以根据需要调整出射的不可见激光212和可见光242的光束形状和尺寸。此外，可以将可见光242的光束尺寸调整为与不可见激光212的光束尺寸相同。
在图3、4所示的实施例中，全部的不可见激光211在全反射棱镜310、410的斜面全内反射并且在第二侧面垂直出射，使得全部的不可见激光211被引导至待加工物件230的表面。同时，可见光241在全反射棱镜310、410的第二侧面垂直出射。藉此，全部的不可见激光211和至少部分的可见光241在第二侧面垂直出射，平行地被引导至待加工物件的表面，由此消除了辐射风险。
图5示意性示出光路可视化部件500的光路。在本实施例中，光路可视化部件500包括偏振分光镜510。图5以剖面图表示偏振分光镜510。如本领域所知晓，全反射棱镜510通常由第一直角棱镜和第二直角棱镜贴合形成。第一直角棱镜具有第一侧面、垂直第一侧面的第二侧面和斜面。第二直角棱镜具有第三侧面、垂直第三侧面的第四侧面和斜面。第一直角棱镜的斜面和第二直角棱镜的斜面相互贴合，第一侧面与第三侧面相对，以及第二侧面与第四侧面相对。第一侧面形成第一入射端，第四侧面形成第二入射端，以及第二侧面形成第一出射端。
不可见激光211在第一直角棱镜的第一侧面垂直入射，在第一直角棱镜的斜面和第二直角棱镜的斜面的界面全反射，并且在第二侧面垂直出射。可见光241在第四侧面垂直入射，并且至少部分在第二侧面垂直出射。如图5所示，从偏振分光镜510的第二侧面出射的不可见激光212和可见光242相互重合。
在图5所示的实施例中，通过调整不可见激光211的偏振方向与第一直角棱镜的光轴之间的角度，全部的不可见激光211在第一直角棱镜的斜面和第二直角棱镜的斜面的界面出被全反射，以例如S偏振光的形式在第一直角棱镜的第二侧面出垂直出射。同时，可见光241在第二直角棱镜的第四侧面垂直入射，从而至少部分地在所述第二侧面垂直出射，平行或同轴地被引导至待加工物件的表面，由此彻底消除了辐射风险。
与图4所示实施例相似，光路可视化部件500还可以包括可调谐狭缝520。可调谐狭缝520可以布置在偏振分光镜510中第一直角棱镜的第二侧面的下游。利用该可调谐狭缝520，可以根据需要调整出射的不可见激光212和可见光242的光束形状和尺寸，并且可以将可见光242的光束尺寸调整为与不可见激光212的光束尺寸相同。
如图5所示，光路可视化部件500还可以包括相位延迟器530。相位延迟器530在不可见激光211的光路中布置在偏振分光镜510中第一直角棱镜的第一侧面的上游。当不可见激光211为圆偏振光或者椭圆偏振光时，相位延迟器530可以在不可见激光211的两个偏振分量之间引入相位差。不可见激光211入射到偏振分光镜510之前被转换为线偏振光，使得全部的不可见激光211从偏振分光镜510的两个斜面的界面反射后，经由第一直角棱镜的第二侧面出射。
优选地，该相位延迟器530可以为四分之一波片。圆偏振光或椭圆偏振光通过四分之一波片后，两个偏振分量之间产生π/2的附加相位差，使得圆偏振光或椭圆偏振光被转变为线偏振光。
如图5所示，光路可视化部件还可以包括起偏器540。起偏器540布置在光路可视化部件510的第二入射端的上游，将可见光241转换为偏振光，使得大部分或者全部的可见光可以经由偏振分光镜510中第一直角棱镜的第二侧面出射。
本公开还提供一种不可见激光器***的光路可视化方法。该不可见激光器***包括：产生不可见激光的不可见激光发生器；产生可见光的可见光发生器；以及光路可视化部件，其中所述光路可视化部件布置在所述不可见激光的光路和所述可见光的光路中。如图6的流程图所示，所述方法包括步骤：调整所述不可见激光发生器和所述光路可视化部件，使得全部的所述不可见激光被导向到待加工物件的表面；以及调整所述可见光发生器，使得至少部分的所述可见光被导向为平行于所述不可见激光。
应指出，调整所述不可见激光发生器和所述光路可视化部件的步骤和调整所述可见光发生器的步骤的顺序不限于上文所述。例如，可以调整所述可见光发生器使得可见光沿特定光路被导向到待加工物件的表面，然后调整所述不可见激光发生器和所述光路可视化部件，使得全部的不可见激光沿着平行于可见光的方向被导向到待加工物件的表面。
还应指出，诸如"调整所述不可见激光发生器和所述光路可视化部件"的描述是指调整所述不可见激光发生器和所述光路可视化部件的相对空间取向。也就是说，可以仅调整所述不可见激光发生器和所述光路可视化部件的其中之一，或者在需要时调整所述不可见激光发生器和所述光路可视化部件。
在优选实施例中，所述光路可视化部件可以包括全反射棱镜，所述光路可视化部件包括全反射棱镜。在此实施例中，调整所述不可见激光发生器和所述光路可视化部件的步骤包括：调整所述不可见激光以在所述全反射棱镜的第一侧面垂直入射，在斜面全反射，并且在第二侧面垂直出射。同时，调整所述可见光发生器的步骤包括：调整所述可见光以在所述全反射棱镜的斜面入射并且在第二侧面垂直出射。
在优选实施例中，所述光路可视化部件包括由第一直角棱镜和第二直角棱镜贴合形成的偏振分光镜。在此实施例中，调整所述不可见激光发生器和所述光路可视化部件的步骤包括：调整所述不可见激光以在所述第一直角棱镜的第一侧面垂直入射，在所述第一直角棱镜的斜面和所述第二直角棱镜的斜面的界面全反射，并且在所述第一直角棱镜的第二侧面垂直出射。同时，调整所述可见光发生器的步骤包括：调整所述可见光以在与所述第一直角棱镜的第二侧面相对的所述第二直角棱镜的侧面垂直入射，并且至少部分在所述第一直角棱镜的第二侧面垂直出射。
在优选实施例中，调整所述可见光发生器的步骤包括：调整所述可见光发生器，使得至少部分的所述可见光被导向为与所述不可见激光同轴。
仅仅是出于图示和说明的目的而给出对本公开实施例的前述描述。它们不是旨在穷举或者限制本公开内容。因此，本领域技术人员将容易想到许多调整和变型。例如，在上文描述中，以全反射棱镜和偏振分光镜作为光路可视化部件的例子，详细描述了本公开的不可见激光器***及其光路可视化方法。然而，本领域技术人员应理解，本公开的光路可视化部件并不限于上述全反射棱镜和偏振分光镜。任何能够将全部的不可见激光和至少部分的可见光导向为相互平行或重合的输出光束的光学元件或者元件组合都可以被用于实施根据本公开的光路可视化部件。例如，该光路可视化部件也可以由其它棱镜组合来实现。因此本公开的范围将由所附权利要求定义。

Claims (16)

1.一种不可见激光器***，包括：产生不可见激光的不可见激光发生器；以及产生可见光的可见光发生器，其特征在于，所述不可见激光器***还包括：
光路可视化部件，其中所述光路可视化部件为全反射棱镜或者偏振分光镜，并且所述光路可视化部件至少包括第一入射端、第二入射端和第一出射端，其中所述不可见激光在所述第一入射端入射，在所述光路可视化部件的一界面被反射并且在所述第一出射端出射，所述可见光在所述第二入射端入射，在所述界面被折射并且在所述第一出射端出射，并且全部的所述不可见激光和至少部分的所述可见光在所述第一出射端相互平行地出射。
2.如权利要求1所述的不可见激光器***，其特征在于，
所述全反射棱镜具有第一侧面、垂直所述第一侧面的第二侧面和斜面，以及，
所述第一侧面形成所述第一入射端，所述斜面形成所述第二入射端，并且所述第二侧面形成所述第一出射端。
3.如权利要求2所述的不可见激光器***，其特征在于，
所述不可见激光在所述全反射棱镜的所述第一侧面垂直入射，在所述斜面全反射，并且在所述第二侧面垂直出射；以及
所述可见光在所述全反射棱镜的所述斜面入射并且在所述第二侧面垂直出射。
4.如权利要求1所述的不可见激光器***，其特征在于，
所述偏振分光镜由第一直角棱镜和第二直角棱镜贴合形成，
所述第一直角棱镜具有第一侧面、垂直所述第一侧面的第二侧面和斜面，
所述第二直角棱镜具有第三侧面、垂直所述第三侧面的第四侧面和斜面，
所述第一直角棱镜的斜面和第二直角棱镜的斜面相互贴合，所述第一侧面与所述第三侧面相对，以及所述第二侧面与所述第四侧面相对，以及
所述第一侧面形成所述第一入射端，所述第四侧面形成所述第二入射端，以及所述第二侧面形成所述第一出射端。
5.如权利要求4所述的不可见激光器***，其特征在于，
所述不可见激光在所述第一直角棱镜的第一侧面垂直入射，在所述第一直角棱镜的斜面和所述第二直角棱镜的斜面的界面全反射，并且在所述第二侧面垂直出射；以及
所述可见光在所述第四侧面垂直入射，并且至少部分在所述第二侧面垂直出射。
6.如权利要求4所述的不可见激光器***，其特征在于，
所述光路可视化部件还包括相位延迟器，所述相位延迟器在所述不可见激光的光路中布置在所述光路可视化部件的所述第一入射端的上游。
7.如权利要求6所述的不可见激光器***，其特征在于，
所述相位延迟器为四分之一波片。
8.如权利要求4所述的不可见激光器***，其特征在于，
所述光路可视化部件还包括起偏器，所述起偏器在所述可见光的光路中布置在所述光路可视化部件的所述第二入射端的上游。
9.如权利要求1所述的不可见激光器***，其特征在于，
全部的所述不可见激光和至少部分的所述可见光在所述光路可视化部件的所述第一出射端同轴出射。
10.如权利要求9所述的不可见激光器***，其特征在于，
所述光路可视化部件还包括可调谐狭缝，所述可调谐狭缝在所述不可见激光的光路中布置在所述光路可视化部件的所述第一出射端的下游。
11.如权利要求1所述的不可见激光器***，其特征在于，
所述可见光发生器和所述光路可视化部件其中之一或二者集成在所述不可见激光发生器中。
12.如权利要求1所述的不可见激光器***，其特征在于，
所述可见光为可见激光或者可见自然光。
13.一种不可见激光器***的光路可视化方法，所述不可见激光器***包括：产生不可见激光的不可见激光发生器；产生可见光的可见光发生器；以及光路可视化部件，其中所述光路可视化部件布置在所述不可见激光的光路和所述可见光的光路中，其中所述光路可视化部件为全反射棱镜或者偏振分光镜，并且所述光路可视化部件至少包括第一入射端、第二入射端和第一出射端，其特征在于，所述方法包括步骤：
调整所述不可见激光发生器和所述光路可视化部件，使得所述不可见激光在所述第一入射端入射，在所述光路可视化部件的一界面被反射并且在所述第一出射端出射；以及
调整所述可见光发生器，使得所述可见光在所述第二入射端入射，在所述界面被折射并且在所述第一出射端出射，并且至少部分的所述可见光被导向为平行于所述不可见激光。
14.如权利要求13所述的方法，其特征在于，
调整所述不可见激光发生器和所述光路可视化部件的步骤包括：调整所述不可见激光以在所述全反射棱镜的第一侧面垂直入射，在斜面全反射，并且在第二侧面垂直出射；以及
调整所述可见光发生器的步骤包括：调整所述可见光以在所述全反射棱镜的斜面入射并且在第二侧面垂直出射。
15.如权利要求13所述的方法，其特征在于，
所述偏振分光镜由第一直角棱镜和第二直角棱镜贴合形成；
调整所述不可见激光发生器和所述光路可视化部件的步骤包括：调整所述不可见激光以在所述第一直角棱镜的第一侧面垂直入射，在所述第一直角棱镜的斜面和所述第二直角棱镜的斜面的界面全反射，并且在所述第一直角棱镜的第二侧面垂直出射；以及
调整所述可见光发生器的步骤包括：调整所述可见光以在与所述第一直角棱镜的第二侧面相对的所述第二直角棱镜的侧面垂直入射，并且至少部分在所述第一直角棱镜的第二侧面垂直出射。
16.如权利要求13所述的方法，其特征在于，
调整所述可见光发生器的步骤包括：调整所述可见光发生器，使得至少部分的所述可见光被导向为与所述不可见激光同轴。
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