CN104965290A - 一种五自由度镜面调整装置 - Google Patents
一种五自由度镜面调整装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN104965290A CN104965290A CN201510283320.7A CN201510283320A CN104965290A CN 104965290 A CN104965290 A CN 104965290A CN 201510283320 A CN201510283320 A CN 201510283320A CN 104965290 A CN104965290 A CN 104965290A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- adjusting mechanism
- lens
- adjusting
- movable
- platform
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/023—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses permitting adjustment
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
一种五自由度镜面调整装置,属于光学镜面装调领域,为了解决现有技术的超高反射率反射镜对安装精度要求高,装调困难的问题,该装置包括固定安装基座方向位置调整台、角度调整台、透镜安装台和透镜,固定安装基座、方向位置调整台、角度调整台与透镜安装台依次共轴设置,角度调整台通过可动角度调整机构安装在位置调整上;当光线调整到经过镜面中心时,镜面的位置调整和角度调整独立;安装精度要求高,装调简单,镜面固定后,调整过程不需要接触镜子,对镜面起到很好的保护作用。
Description
技术领域
本发明属于光学镜面装调领域,具体涉及到一种五自由度镜面调整装置。
背景技术
镜面装调是每一套实用光学***必须经历的过程,只有在完成镜面设计、镜面加工和镜面装调后,光学***才能按照预期目标工作。通常我们在实验室或工作间中通过不断调整镜面支撑方式和角度、高度即可达到设计目标。目前镜面装调设备为分立的三维坐标调整设备和角度调整设备,然而,在一些要求较高的设备中,仅仅通过这些简单调节并不能够达到设计要求。在谐振腔检测领域,通常需要让光线在两面或多面镜子间反射很多次,一般反射次数在千次以上,这时需要镜面的安装角度非常精确,否则光线很容易发生泄露,不能完成预定次数的反射。而反射次数直接决定了谐振腔的品质因数,不能降低。以腔谐振衰荡光谱(CRDS)为例,一般镜面反射率为0.9999,反射次数在5000次以上。另外,由于镜面反射率如此高,安装过程中的反射率保持也是需要考虑的因素。一般的洁净实验室不能满足这一指标,因此需要将透镜或反射镜先密封在谐振腔内,密封后再调整镜面位置和角度多有不便,首先没有固定的参考点,位置信息和角度信息带有较强的偶合;其次没有固定装置,每次调整后,镜面位置不易保持。
发明内容
为了解决现有技术的超高反射率反射镜对安装精度要求高,装调困难的问题,本发明提出了一种五自由度镜面调整装置。
本发明的技术方案为:
一种五自由度镜面调整装置,其包括:固定安装基座、第一基座固定机构、第二基座固定机构、第三基座固定机构、第四基座固定机构、y方向位置调整台、y方向可动位置调整机构、x方向位置调整台、x方向可动位置调整机构、角度调整台、ɑ可动角度调整机构、β可动角度调整机构、γ可动角度调整机构、透镜安装台和透镜,固定安装基座、y方向位置调整台、x方向位置调整台、角度调整台与透镜安装台依次共轴设置,固定安装基座、y方向位置调整台、x方向位置调整台和角度调整台中心带有通光孔,固定安装基座通过第一基座固定机构、第二基座固定机构、第三基座固定机构和第四基座固定机构安装固定,y位置调整台通过y方向可动位置调整机构安装在固定安装基座上,x位置调整台通过x方向可动位置调整机构安装在y位置调整台上,角度调整台通过ɑ可动角度调整机构、β可动角度调整机构和γ可动角度调整机构安装在x位置调整台上,透镜安装台与角度调整台刚性连接,透镜安装在透镜安装台上,
所述ɑ可动角度调整机构、β可动角度调整机构与γ可动角度调整机构角度间隔均为120°。
本发明的有益效果是:当光线调整到经过镜面中心时,镜面的位置调整和角度调整独立;安装精度高,便于装调;镜面固定后,调整过程不需要接触镜子,对镜面起到很好的保护作用。
附图说明
图1:本发明一种五自由度调整装置的俯视示意图。
图2:本发明一种五自由度调整装置的剖面示意图。
图3:本发明一种五自由度调整装置的两镜腔式实施例装调前侧视图。
图4:本发明一种五自由度调整装置的两镜腔式实施例装调后侧视图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明做进一步详细说明。
如图1和图2所示,一种五自由度镜面调整装置,其包括:固定安装基座1-1、第一基座固定机构1-2、第二基座固定机构1-3、第三基座固定机构1-4、第四基座固定机构1-5、y方向位置调整台2-1、y方向可动位置调整机构2-2、x方向位置调整台3-1、x方向可动位置调整机构3-2、角度调整台4-1、ɑ可动角度调整机构4-2、β可动角度调整机构4-3、γ可动角度调整机构4-4、透镜安装台5-1和透镜5-2。
固定安装基座1-1、y方向位置调整台2-1、x方向位置调整台3-1、角度调整台4-1与透镜安装台5-1依次共轴设置。固定安装基座1-1、y方向位置调整台2-1、x方向位置调整台3-1和角度调整台4-1中心带有通光孔。固定安装基座1-1通过第一基座固定机构1-2、第二基座固定机构1-3、第三基座固定机构1-4和第四基座固定机构1-5安装固定,y位置调整台2-1通过y方向可动位置调整机构2-2安装在固定安装基座1-1上,x位置调整台3-1通过x方向可动位置调整机构3-2安装在y位置调整台2-1上,角度调整台4-1通过ɑ可动角度调整机构4-2、β可动角度调整机构4-3和γ可动角度调整机构4-4安装在x位置调整台3-1上,透镜安装台5-1与角度调整台4-1刚性连接,透镜5-2安装在透镜安装台5-1上。
所述ɑ可动角度调整机构4-2、β可动角度调整机构4-3与γ可动角度调整机构4-4角度间隔均为120°,用于调整ɑ、β、γ三个角度维度的角度坐标。
y方向可动位置调整机构2-2用于调整y方向位置调整台2-1所在平面的y维度的位置坐标。
x方向可动位置调整机构3-2用于调整x方向位置调整台3-1所在平面的x维度的位置坐标,x维度与y维度垂直。
如图3所示,激光器6发射的光依次经过调整准确的第一五自由度调整装置7、谐振腔体8和未调整的第二五自由度调整装置9,发射光在质心探测器10上形成光斑,光斑不在质心探测器10的中心位置,这时第二五自由度调整装置9的法线L1与谐振腔体8的中心轴线L2不重合。
调整x方向可动位置调整机构3-2和y方向可动位置调整机构2-2使未调整的第二五自由度调整装置9的法线L1与谐振腔体8的中心轴线L2交与一点或使谐振腔体8的中心轴线L2通过透镜5-2的中心点。
如图4所示,调整ɑ可动角度调整机构4-2、β可动角度调整机构4-3与γ可动角度调整机构4-4,谐振腔体8输出光斑在质心探测器也随之变化,直到谐振腔体8输出光斑在质心探测器的中心位置,未调整的第二五自由度调整装置9的法线L1与谐振腔体8的中心轴线L2重合,调整完毕。
Claims (2)
1.一种五自由度镜面调整装置,其包括:固定安装基座(1-1)、第一基座固定机构(1-2)、第二基座固定机构(1-3)、第三基座固定机构(1-4)、第四基座固定机构(1-5)、y方向位置调整台(2-1)、y方向可动位置调整机构(2-2)、x方向位置调整台(3-1)、x方向可动位置调整机构(3-2)、角度调整台(4-1)、ɑ可动角度调整机构(4-2)、β可动角度调整机构(4-3)、γ可动角度调整机构(4-4)、透镜安装台(5-1)和透镜(5-2),其特征是,固定安装基座(1-1)、y方向位置调整台(2-1)、x方向位置调整台(3-1)、角度调整台(4-1)与透镜安装台(5-1)依次共轴设置,固定安装基座(1-1)、y方向位置调整台(2-1)、x方向位置调整台(3-1)和角度调整台(4-1)中心带有通光孔,固定安装基座(1-1)通过第一基座固定机构(1-2)、第二基座固定机构(1-3)、第三基座固定机构(1-4)和第四基座固定机构(1-5)安装固定,y位置调整台(2-1)通过y方向可动位置调整机构(2-2)安装在固定安装基座(1-1)上,x位置调整台(3-1)通过x方向可动位置调整机构(3-2)安装在y位置调整台(2-1)上,角度调整台(4-1)通过ɑ可动角度调整机构(4-2)、β可动角度调整机构(4-3)和γ可动角度调整机构(4-4)安装在x位置调整台(3-1)上,透镜安装台(5-1)与角度调整台(4-1)刚性连接,透镜(5-2)安装在透镜安装台(5-1)上。
2.根据权利要求1所述的一种五自由度镜面调整装置,其特征在于,所述ɑ可动角度调整机构(4-2)、β可动角度调整机构(4-3)与γ可动角度调整机构(4-4)角度间隔均为120°。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510283320.7A CN104965290B (zh) | 2015-05-28 | 2015-05-28 | 一种五自由度镜面调整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510283320.7A CN104965290B (zh) | 2015-05-28 | 2015-05-28 | 一种五自由度镜面调整装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN104965290A true CN104965290A (zh) | 2015-10-07 |
CN104965290B CN104965290B (zh) | 2017-07-14 |
Family
ID=54219331
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201510283320.7A Active CN104965290B (zh) | 2015-05-28 | 2015-05-28 | 一种五自由度镜面调整装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN104965290B (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107932522A (zh) * | 2017-11-28 | 2018-04-20 | 中国矿业大学 | 五自由度光学镜面加工设备及其工作方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003149522A (ja) * | 2001-11-08 | 2003-05-21 | Olympus Optical Co Ltd | レンズ鏡筒とレンズ鏡筒の組み立て方法とレンズ鏡筒調整治具装置 |
CN101059595A (zh) * | 2007-06-05 | 2007-10-24 | 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 | 基于弹性元件的三自由度精密运动支撑机构 |
-
2015
- 2015-05-28 CN CN201510283320.7A patent/CN104965290B/zh active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003149522A (ja) * | 2001-11-08 | 2003-05-21 | Olympus Optical Co Ltd | レンズ鏡筒とレンズ鏡筒の組み立て方法とレンズ鏡筒調整治具装置 |
CN101059595A (zh) * | 2007-06-05 | 2007-10-24 | 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 | 基于弹性元件的三自由度精密运动支撑机构 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
温正方,张景旭,张丽敏: "五自由度次镜调整机构的研究", 《工程设计学报》 * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107932522A (zh) * | 2017-11-28 | 2018-04-20 | 中国矿业大学 | 五自由度光学镜面加工设备及其工作方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN104965290B (zh) | 2017-07-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107782254B (zh) | 一种混合补偿式子孔径拼接面形检测方法 | |
CN102937738B (zh) | 实现偏轴非球面反射镜光轴精确定位***及方法 | |
CN104391366B (zh) | 一种太赫兹波段离轴三反射镜***及其装调方法 | |
CN104075668B (zh) | 凸双曲面Hindle检测中的高精度几何量测量方法 | |
CN104930971A (zh) | 非零位检测中部分补偿透镜和被测面对准装置及对准方法 | |
CN108801294B (zh) | 一种针对空间旋转多光轴***的多光轴平行性调校方法 | |
CN105157578A (zh) | 测量离轴抛物面主反射镜离轴量和离轴角的***及方法 | |
CN104374334B (zh) | 自由曲面形貌三维测量方法及装置 | |
CN101571383A (zh) | 测量球面拼接望远镜子镜间相对曲率半径差的检测装置 | |
CN110531531B (zh) | 卡塞格林光学***主次反射镜的装调方法 | |
CN102788563A (zh) | 一种在平面子孔径拼接测量中调整被测镜倾斜的装置和方法 | |
EP2177872A1 (en) | Optical wave interference measuring apparatus | |
CN107817095B (zh) | 一种高精度同向双光轴以及多光轴平行性调校方法 | |
CN113739719B (zh) | 一种高精度施密特校正板的面形检测***及方法 | |
CN115202061A (zh) | 一种大口径望远镜的主光学***装调对准方法 | |
CN103487929B (zh) | 软x射线与极紫外复合型望远镜光轴和焦面的调整方法 | |
CN107817094A (zh) | 一种高精度同向双光轴以及多光轴平行性调校方法 | |
US8243282B2 (en) | Interferometric shape measurement of different signs of curvature | |
CN103134443B (zh) | 一种大口径大径厚比反射镜面形自准直检测装置及方法 | |
WO2007001327A2 (en) | Apparatus and methods for scanning conoscopic holography measurements | |
CN201926803U (zh) | 一种分光***批量生产装调工装 | |
CN102096196A (zh) | 一种分光***批量生产装调方法及工装 | |
CN110082073B (zh) | 一种在子孔径拼接检测光学***透射波前中调整平面反射镜倾斜的装置和方法 | |
CN104965290A (zh) | 一种五自由度镜面调整装置 | |
CN110567392B (zh) | 一种凸自由曲面反射镜面形测试方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |