CN104948465A - 共享干泵的处理方法及*** - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种共享干泵的处理方法及***。其中***包括使用干泵模块和释放干泵模块；使用干泵模块，用于发出请求使用干泵信号，若干泵处于使用状态，则发出请求使用干泵信号的请求者在请求队列中排队等待，若干泵处于空闲状态，则发出请求使用干泵信号的请求者使用干泵；释放干泵模块，用于发出请求释放干泵信号，若发出请求释放干泵信号的请求者为当前使用干泵者，则释放干泵，干泵处于空闲状态，若发出请求释放干泵信号的请求者不是当前使用干泵者，则将请求者从请求队列中删除。其多个请求者共享一个干泵，但各个请求者是相对独立的***，不会引起气体倒灌，也不需要手动操作，降低操作人员的操作负责度。
Description
技术领域
本发明涉及半导体工艺领域，特别是涉及共享干泵的处理方法及***。
背景技术
在半导体领域，工艺***是由TM（Transmission Module，传输模块），PM（Process Module，工艺模块）组成。传输模块负责把晶片传输到工艺腔进行工艺操作，并把工艺操作后的晶片传回；工艺模块负责对晶片进行加工。晶片加工需要真空的环境，因此工艺腔室需要抽真空操作，传输腔需要传输晶片到真空环境中，因此也需要真空环境，同样需要抽真空操作。
TM抽气***和PM抽气***是两个独立的子***。传统技术中，为了减小成本，TM抽气***和PM抽气***经常共用一个干泵。在共用一个干泵时，需要人工进行干预，才能避免引起气体倒灌；且在PM抽气***中可以操作TM的相关阀，在TM抽气***中可以操作PM的相关阀，增加了这两个抽气***的耦合性，不好维护，且很不安全。
发明内容
针对传统技术中气体倒灌和不安全问题，本发明提供了一种不会出现气体倒灌现象，TM抽气***和PM抽气***可以同时执行的共享干泵的处理方法及***。
为达到技术目的，本发明实施例采用如下技术方案：
本发明提供一种共享干泵的处理方法，包括以下步骤：
发出请求使用干泵信号；
若干泵处于使用状态，则发出请求使用干泵信号的请求者在请求队列中排队等待；
若干泵处于空闲状态，则发出请求使用干泵信号的请求者使用所述干泵；
发出请求释放干泵信号；
若发出请求释放干泵信号的请求者为当前使用所述干泵者，则释放干泵，干泵处于空闲状态；
若发出请求释放干泵信号的请求者不是当前使用所述干泵者，则将请求者从请求队列中删除。
作为一种可实施方式，所述发出请求使用干泵信号之后，包括如下步骤：
判断所述干泵是否处于空闲状态；
若处于空闲状态，则将每个共享阀的状态进行保存后，将不需要的共享阀关闭，所述请求者使用干泵进行抽真空操作；
若处于使用状态，判断发出请求使用干泵信号的请求者是否在请求队列中；
若是，则在请求队列中排队等待；
否则，根据请求者的优先级在请求队列中进行排队。
作为一种可实施方式，所述发出请求释放干泵信号之后，包括如下步骤：
判断发出请求释放干泵信号的请求者是否为当前使用干泵者；
若是，则将此时共享阀的状态恢复为保存的共享阀的状态，并释放干泵；
否则，将请求者从请求队列中删除。
作为一种可实施方式，所述将此时共享阀的状态恢复为保存的共享阀的状态，并释放干泵之后，还包括如下步骤：
判断请求队列中是否有请求者；
若有，则请求队列中排在队列头的请求者使用所述干泵；
否则，所述干泵处于空闲状态。
作为一种可实施方式，所述请求者包括第一请求者和第二请求者；
所述第一请求者为TM抽气***；
所述第二请求者为PM抽气***。
本发明还提供一种共享干泵的处理***，包括使用干泵模块和释放干泵模块，其中：
所述使用干泵模块，用于发出请求使用干泵信号；
若干泵处于使用状态，则发出请求使用干泵信号的请求者在请求队列中排队等待；
若干泵处于空闲状态，则发出请求使用干泵信号的请求者使用所述干泵；
所述释放干泵模块，用于发出请求释放干泵信号；
若发出请求释放干泵信号的请求者为当前使用所述干泵者，则释放干泵，干泵处于空闲状态；
若发出请求释放干泵信号的请求者不是当前使用所述干泵者，则将请求者从请求队列中删除。
作为一种可实施方式，所述使用干泵模块包括第一判断单元；
所述第一判断单元，用于判断所述干泵是否处于空闲状态；
若处于空闲状态，则将每个共享阀的状态进行保存后，将不需要的共享阀关闭，所述请求者使用干泵进行抽真空操作；
若处于使用状态，判断发出请求使用干泵信号的请求者是否在请求队列中；
若是，则在请求队列中排队等待；
否则，根据请求者的优先级在请求队列中进行排队。
作为一种可实施方式，所述释放干泵模块包括第二判断单元；
所述第二判断单元，用于判断发出请求释放干泵信号的请求者是否为当前使用干泵者；
若是，则将此时共享阀的状态恢复为保存的共享阀的状态，并释放干泵；
否则，将请求者从请求队列中删除。
作为一种可实施方式，所述释放干泵模块还包括第三判断单元；
所述第三判断单元，用于判断请求队列中是否有请求者；
若有，则请求队列中排在队列头的请求者使用所述干泵；
否则，所述干泵处于空闲状态。
作为一种可实施方式，所述请求者包括第一请求者和第二请求者；
所述第一请求者为TM抽气***；
所述第二请求者为PM抽气***。
本发明的有益效果：
本发明的共享干泵的处理方法及***，多个请求者共享一个干泵，请求者首先请求使用干泵，若干泵处于空闲状态，则当前请求者使用该干泵，若干泵处于使用状态，则当前请求者在请求队列中排队等待；当请求者完成相应的抽真空操作后，释放该干泵，该处于空闲状态的干泵依据请求者的优先级顺序，依次对请求者进行相应的抽真空操作；每个请求者进行抽真空操作之前，都会对所有请求者的共享阀的状态进行保存，释放干泵后，将共享阀的状态恢复至操作之前的状态。采用该方法多个请求者的相关的操作可以同时执行，且不会引起气体倒灌；在进行抽真空操作前，将每个请求者的共享阀的状态保存下来，进行抽真空操作时，当前使用干泵的请求者的共享阀打开，其他请求者的共享阀关闭，保证每个请求者都是一个相对独立的***，和其他请求者之间没有耦合性，方便维护，且相对比较安全；操作人员可以直接在软件界面上操作即可，不需要手动操作，降低了操作人员的操作负责度。
附图说明
图1为传统技术的TM抽气***的一实施例的结构示意图；
图2为传统技术的PM抽气***的一实施例的结构示意图；
图3为本发明的共享干泵的处理方法的使用干泵的一实施例的流程示意图；
图4为本发明的共享干泵的处理方法的释放干泵的一实施例的流程示意图；
图5为本发明的共享干泵的处理***的一实施例的结构示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例对本发明共享干泵的处理方法及***进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
参见图1、图2所示，图1为TM抽气***的结构示意图，包括传输模块10、第一快抽阀11、第一慢抽阀12和第一干泵13，所述第一快抽阀11和第一慢抽阀12统称为TM共享阀；图2为PM抽气***的结构示意图，包括工艺模块20、第二快抽阀21、第二慢抽阀22、摆阀23、分子泵24、隔离阀25、吹扫阀26和第二干泵27，所述第二快抽阀21、第二慢抽阀22、摆阀23、分子泵24、隔离阀25、吹扫阀26统称为PM共享阀；TM共享阀与PM共享阀统称为共享阀。
TM抽气***和PM抽气***在软件上是两个独立的子***。TM抽气***使用第一干泵13进行抽真空操作，PM抽气***使用第二干泵27进行抽真空操作，两个***完全独立，互不干涉。但在实际应用中，为了减小成本，TM抽气***和PM抽气***经常共用一个干泵。TM抽气***和PM抽气***共同使用一个干泵时，会产生如下问题：
当TM抽气***进行抽气操作时，只关注自己的第一快抽阀11和第一慢抽阀12，若此时PM抽气***的第二快抽阀21打开时，就会引起气体倒灌进工艺腔，影响工艺的结果，造成严重后果；当PM抽气***进行抽气操作时，如果TM抽气***的第一快抽阀11或者第一慢抽阀12打开时，也会引起气体倒灌，影响工艺结果。
传统技术一中，在进行TM抽气***或PM抽气***的抽气操作时，需要人工进行干预，在PM抽气***进行抽气之前，需要手动关闭TM抽气***的TM共享阀；在TM抽气***进行抽气之前，需要手动关闭PM抽气***的PM共享阀，避免气体倒灌现象。在软件界面中，操作人员经常在点了TM抽气***的抽气操作后，又点了PM抽气***的抽气操作，这样就造成TM抽气***和PM抽气***同时执行抽气操作，TM抽气***的TM共享阀和PM抽气***的PM共享阀同时打开，会造成气体压力大的一方向气体压力小的一方流动，形成气体倒灌；一些不熟悉流程的操作人员，在执行抽气操作时，没有手动关闭相应的TM共享阀或PM共享阀，造成气体倒灌，影响工艺结果。
传统技术二中，在PM抽气***和TM抽气***共享一个干泵进行抽气操作时，需要对原有的软件流程做一些修改，在PM抽气***进行抽气操作时增加了TM共享阀的相关操作，在TM抽气***进行抽气操作时增加了PM共享阀的相关操作，这样TM抽气***和PM抽气***就不再是两个相对独立的***，它们之间的耦合性增加，不便于维护，且很不安全。
实施例一
本发明实施例提供一种共享干泵的处理方法，参见图3、图4所示，包括以下步骤：
S100，干泵使用者，如PM抽气***或TM抽气***，发出请求使用干泵信号；
若干泵处于使用状态，则发出请求使用干泵信号的请求者在请求队列中排队等待；
若干泵处于空闲状态，则发出请求使用干泵信号的请求者使用所述干泵；
S200，干泵使用者发出请求释放干泵信号；
若发出请求释放干泵信号的请求者为当前使用所述干泵者，则释放干泵，干泵处于空闲状态；
若发出请求释放干泵信号的请求者不是当前使用所述干泵者，则将请求者从请求队列中删除。
本发明的共享干泵的处理方法，多个需要使用干泵进行抽真空操作的请求者共享一个干泵，请求者先发出请求使用干泵信号，若干泵正在使用中，请求者就在请求队列中排队等待，若干泵没有被使用，请求者就可以使用该干泵。操作人员不需要进行手动操作，正在使用干泵的请求者相应的共享阀处于打开状态，而没有正在使用干泵的请求者相应的共享阀处于关闭状态，这样不会出现气体倒灌现象。干泵请求者可以同时执行干泵抽真空操作，在执行其中一个请求者的抽真空操作时，不需要对另外的请求者进行操作，相当于各个请求者都是相互独立的***。操作人员在软件界面中，直接点需要进行干泵抽真空操作的请求者即可，不需要手动操作，降低了操作人员的操作负责度；在完成该请求者的抽真空操作后，发出请求释放干泵信号，释放该共享干泵，该干泵对另外请求者进行抽真空操作。
作为一种可实施方式，所述发出请求使用干泵信号之后，包括如下步骤：
S110，判断所述干泵是否处于空闲状态；
S111，若处于空闲状态，则将每个共享阀的状态进行保存后，将不需要的共享阀关闭，所述请求者使用干泵进行抽真空操作；
S112，若处于使用状态，判断发出请求使用干泵信号的请求者是否在请求队列中；
若是，则在请求队列中排队等待；
否则，根据请求者的优先级在请求队列中进行排队。
判断该共享干泵的状态，才能决定当前请求者是使用该干泵还是在请求队列中排队等待。若该干泵处于空闲状态，即该干泵没有被使用，则请求者使用该干泵进行相应抽真空操作，并将此时所有请求者相应的共享阀的状态都保存下来，在当前请求者使用干泵时，当前请求者对应的共享阀打开，其他请求者对应的共享阀关闭，这样可以避免在进行抽真空操作时，气体倒灌；当前请求者进行抽真空操作时，相当于一个独立的***，与其他请求者没有耦合性，方便维护，安全性较高；在当前请求者释放该干泵后，将所有请求者的共享阀的状态恢复到当前请求者使用干泵前的状态。若该干泵正在使用中，则判断该请求者是不是已在请求队列中，若在请求队列中，则按此时该请求者所在请求队列中的位置排队等待，待位于该请求者之前的请求者完成抽真空操作后，该请求者进行相应抽真空操作；若没有在请队列中，根据该请求者的优先级在请求队列中排队，排队完成后，等待排在其之前的请求者完成抽真空操作后，进行相应抽真空操作。
作为一种可实施方式，所述发出请求释放干泵信号之后，包括如下步骤：
S210，判断发出请求释放干泵信号的请求者是否为当前使用干泵者；
S211，若是，则将此时共享阀的状态恢复为保存的共享阀的状态，并释放干泵；
S212，否则，将请求者从请求队列中删除。
作为一种可实施方式，所述将此时共享阀的状态恢复为保存的共享阀的状态，并释放干泵之后，还包括如下步骤：
S220，判断请求队列中是否有请求者；
若有，则请求队列中排在队列头的请求者使用所述干泵；
否则，所述干泵处于空闲状态。
若是当前使用干泵者发出的请求释放干泵信号，将所有请求者的共享阀的状态恢复为当前使用干泵者使用干泵前所保存的共享阀的状态，这样每个请求者在使用干泵时都相当于一个独立的***，并且在使用干泵后，请求者的共享阀的状态恢复为原来的状态，不影响其他请求者使用干泵，解决了某些共享阀需要经常打开的情况；若是请求队列中的请求者发出的请求释放干泵信号，则将该请求者从请求队列中删除，其不再等待进行相应的抽真空操作。当前使用干泵者释放该共享干泵后，干泵处于空闲状态，若请求队列中有请求者，则根据请求者的优先级，位于请求队列队列头的请求者使用该干泵，进行相应的抽真空操作。
作为一种可实施方式，所述请求者包括第一请求者和第二请求者；
所述第一请求者为TM抽气***；
所述第二请求者为PM抽气***。
本发明的请求者包括第一请求者和第二请求者，即两个请求者共享一个干泵。当第一请求者使用该共享干泵时，第一请求者的共享阀打开，第二请求者的共享阀关闭，第一请求者和第二请求者相当于两个相对独立的***，与它们各自使用一个干泵时是一样的，因此不会引起气体倒灌。在请求使用干泵时，将第一请求者的共享阀的状态和第二请求者的共享阀状态保存起来，在请求释放干泵时，恢复第一请求者和第二请求者的共享阀的状态，和进行抽真空操作前共享阀的状态一样，不影响下次进行抽真空操作。该实施例仅用于解释本发明，并不限制本发明。本发明中的请求者还可以包括第三请求者、第四请求者、第五请求者，多个请求者共享一个干泵。
在一个实施例中，第一请求者为TM抽气***，其共享阀包括第一快抽阀11和第一慢抽阀12，第二请求者为PM抽气***，其共享阀包括第二快抽阀21、第二慢抽阀22、摆阀23、分子泵24、隔离阀25、吹扫阀26；本发明的共享干泵的处理方法使TM抽气***和PM抽气***可以同时执行抽真空操作，且不会引起气体倒灌；它们虽然共享一个干泵，但对于它们来说和没有共享是一样的，TM抽气***和PM抽气***之间没有耦合性，是两个相对独立的***，很方便维护，且安全性也相对较高。TM抽气***和PM抽气***不进行抽真空操作时，此时干泵处于空闲状态，但为了保证干泵的正常使用，要求TM抽气***的第一快抽阀处于打开状态。采用本发明的方法在请求使用干泵时会把TM抽气***和PM抽气***的共享阀的状态保存下来，释放干泵后，共享阀的状态将恢复到之前的状态，因此可以很好地解决某些共享阀需要经常打开的情况。
实施例二
基于同一发明构思，本发明还提供了一种共享干泵的处理***，由于此***解决问题的原理与前述一种共享干泵的处理方法相似，因此该***的实施可以参见前述方法的实施，重复之处不再赘述。
本发明实施例提供的共享干泵的处理***，参见图5所示，包括使用干泵模块100和释放干泵模块200，其中：
所述使用干泵模块100，用于发出请求使用干泵信号；
若干泵处于使用状态，则发出请求使用干泵信号的请求者在请求队列中排队等待；
若干泵处于空闲状态，则发出请求使用干泵信号的请求者使用所述干泵；
所述释放干泵模块200，用于发出请求释放干泵信号；
若发出请求释放干泵信号的请求者为当前使用所述干泵者，则释放干泵，干泵处于空闲状态；
若发出请求释放干泵信号的请求者不是当前使用所述干泵者，则将请求者从请求队列中删除。
作为一种可实施方式，所述使用干泵模块100包括第一判断单元110；
所述第一判断单元110，用于判断所述干泵是否处于空闲状态；
若处于空闲状态，则将每个共享阀的状态进行保存后，将不需要的共享阀关闭，所述请求者使用干泵进行抽真空操作；
若处于使用状态，判断发出请求使用干泵信号的请求者是否在请求队列中；
若是，则在请求队列中排队等待；
否则，根据请求者的优先级在请求队列中进行排队。
作为一种可实施方式，所述释放干泵模块200包括第二判断单元210；
所述第二判断单元210，用于判断发出请求释放干泵信号的请求者是否为当前使用干泵者；
若是，则将此时共享阀的状态恢复为保存的共享阀的状态，并释放干泵；
否则，将请求者从请求队列中删除。
作为一种可实施方式，所述释放干泵模块200还包括第三判断单元220；
所述第三判断单元220，用于判断请求队列中是否有请求者；
若有，则请求队列中排在队列头的请求者使用所述干泵；
否则，所述干泵处于空闲状态。
作为一种可实施方式，所述请求者包括第一请求者和第二请求者；
所述第一请求者为TM抽气***；
所述第二请求者为PM抽气***。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种共享干泵的处理方法，其特征在于，包括以下步骤：
发出请求使用干泵信号；
若干泵处于使用状态，则发出请求使用干泵信号的请求者在请求队列中排队等待；
若干泵处于空闲状态，则发出请求使用干泵信号的请求者使用所述干泵；
发出请求释放干泵信号；
若发出请求释放干泵信号的请求者为当前使用所述干泵者，则释放干泵，干泵处于空闲状态；
若发出请求释放干泵信号的请求者不是当前使用所述干泵者，则将请求者从请求队列中删除。
2.根据权利要求1所述的共享干泵的处理方法，其特征在于，所述发出请求使用干泵信号之后，包括如下步骤：
判断所述干泵是否处于空闲状态；
若处于空闲状态，则将每个共享阀的状态进行保存后，将不需要的共享阀关闭，所述请求者使用干泵进行抽真空操作；
若处于使用状态，判断发出请求使用干泵信号的请求者是否在请求队列中；
若是，则在请求队列中排队等待；
否则，根据请求者的优先级在请求队列中进行排队。
3.根据权利要求1所述的共享干泵的处理方法，其特征在于，所述发出请求释放干泵信号之后，包括如下步骤：
判断发出请求释放干泵信号的请求者是否为当前使用干泵者；
若是，则将此时共享阀的状态恢复为保存的共享阀的状态，并释放干泵；
否则，将请求者从请求队列中删除。
4.根据权利要求3所述的共享干泵的处理方法，其特征在于，所述将此时共享阀的状态恢复为保存的共享阀的状态，并释放干泵之后，还包括如下步骤：
判断请求队列中是否有请求者；
若有，则请求队列中排在队列头的请求者使用所述干泵；
否则，所述干泵处于空闲状态。
5.根据权利要求1至4任一项所述的共享干泵的处理方法，其特征在于，所述请求者包括第一请求者和第二请求者；
所述第一请求者为TM抽气***；
所述第二请求者为PM抽气***。
6.一种共享干泵的处理***，其特征在于，包括使用干泵模块和释放干泵模块，其中：
所述使用干泵模块，用于发出请求使用干泵信号；
若干泵处于使用状态，则发出请求使用干泵信号的请求者在请求队列中排队等待；
若干泵处于空闲状态，则发出请求使用干泵信号的请求者使用所述干泵；
所述释放干泵模块，用于发出请求释放干泵信号；
若发出请求释放干泵信号的请求者为当前使用所述干泵者，则释放干泵，干泵处于空闲状态；
若发出请求释放干泵信号的请求者不是当前使用所述干泵者，则将请求者从请求队列中删除。
7.根据权利要求6所述的共享干泵的处理***，其特征在于，所述使用干泵模块包括第一判断单元；
所述第一判断单元，用于判断所述干泵是否处于空闲状态；
若处于空闲状态，则将每个共享阀的状态进行保存后，将不需要的共享阀关闭，所述请求者使用干泵进行抽真空操作；
若处于使用状态，判断发出请求使用干泵信号的请求者是否在请求队列中；
若是，则在请求队列中排队等待；
否则，根据请求者的优先级在请求队列中进行排队。
8.根据权利要求6所述的共享干泵的处理***，其特征在于，所述释放干泵模块包括第二判断单元；
所述第二判断单元，用于判断发出请求释放干泵信号的请求者是否为当前使用干泵者；
若是，则将此时共享阀的状态恢复为保存的共享阀的状态，并释放干泵；
否则，将请求者从请求队列中删除。
9.根据权利要求8所述的共享干泵的处理***，其特征在于，所述释放干泵模块还包括第三判断单元；
所述第三判断单元，用于判断请求队列中是否有请求者；
若有，则请求队列中排在队列头的请求者使用所述干泵；
否则，所述干泵处于空闲状态。
10.根据权利要求6至9任一项所述的共享干泵的处理***，其特征在于，所述请求者包括第一请求者和第二请求者；
所述第一请求者为TM抽气***；
所述第二请求者为PM抽气***。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20150930 |