CN104931524A - 多层绝热材料性能测试装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种多层绝热材料性能测试装置，包括外筒、设置在外筒内的内胆、以及保持内胆外部真空度的真空机组，所述外筒内壁设有安装管，所述内胆外壁设有连接管，所述安装管与连接管之间通过可拆卸结构将内胆与外筒固定；所述真空机组与外筒的抽真空接口直接对接。与现代技术相比，本发明的主要创新在于，采用可以CF密封的连接的内胆，拆卸方便。真空机组直接对接在量热器上，可以达到更好的真空度，目前已经达到10^^-6Pa量级，为国内同类型量热器真空度最好的。采用放气装置，可以精确的调整真空。起吊装置直接固定在机组上，操作更加方便。装置设计采用一体化设计，真空机组，量热器，起吊装置都封装在一起，外形美观，使用方面。

Description

多层绝热材料性能测试装置

技术领域

本发明涉及低温绝热材料，特别是针对多层绝热材料性能的测试装置。

背景技术

多层绝热材料(multilayer insulation，简称MLI)是一种超级绝热材料，其于1951年由瑞典的Peterson首次研制成功。多层绝热材料是由铝箔/镀铝薄膜和具有低热导率间隔材料复合而成，或用褶皱的单/双面镀铝薄膜复合而成，是目前世界上公认的在高真空下具有低热导率的绝热材料，被称之为“超级绝热”。

现今的多层绝热材料，为了实际工程安装上的方便，发展趋势由简单的缠绕型向复合型多层绝热材料转变。例如目前出现了一种坚固耐用型的多层绝热材料，此种绝热材料为MLI与气凝胶复合后制造出的层状绝热材料，通过相关的试验验证得出：其在高真空的时候与MLI有着等同的绝热性能，但是在低真空的时候，其绝热性能是MLI的6倍。除了在整个真空区间上都有较好的绝热性能之外，此种坚固耐用型绝热材料还具有一定的机械支撑和减震的作用。

衡量多层绝热材料绝热性能优劣主要有以下指标：表观导热系数、比热流与静态蒸发率。表观导热系数是指绝热***在导热、对流和辐射等多种传热方式稳定传热条件下，在单位时间、规定真空度、规定温差下通过单位厚度的绝热材料传递的热量，单位为W/(m·K)。比热流即为通过绝热材料单位面积上的热流，其能直观地表示多层绝热材料的性能，单位为W/m²。静态蒸发率描述的是绝热容器的绝热性能优劣，其从侧面描述了绝热材料绝热性能的优劣，定义为深冷储运设备在额定充满率下，静置达到热平衡后，24小时内自然蒸发损失的深冷液体质量与内容器有效容积下深冷液体质量的百分比，单位为百分比每天(％/d)，一般用于描述较为大型的低温容器的绝热性能。

多层绝热材料由于绝热效果好，重量轻，低污染等特点，已经成为航天器和其他低温工程应用中重要的绝热技术。如，低温液体的储存与运输、航天器输液管道和舱体设备保温。随着气体行业的发展和新能源液化天然气应用以及航空航天事业的发展，多层绝热材料的应用也得到广泛的推广。

测量多层绝热材料性能的方法可以分成两大类：稳态法和非稳态法。其中稳态法中常用的有蒸发量热器和电输入法是广泛使用的。蒸发量热器采用的是蒸发量热法，所谓蒸发量通过测定液化气体的蒸发量来确定通过绝热材料样本的热流，液化气体在一定的温度和压强下的蒸发潜热是已知的。目前蒸发量热器主要由外筒、设置在外筒内的内胆、温度检测单元、注液单元、抽真空机组、真空检测单元、鼓泡器等组成。其主要存在缺陷主要如下：

(1)检测时，需要人工将蒸发量热器升降至合适的位置，劳动强度大；

(2)蒸发量热器的内胆一旦安装即不可拆卸，检测样品更换时需要将整个内胆和外筒搬运，操作困难。

(3)同时，现有的蒸发量热器分子泵通过管路与外壳的腔体连通，密封性能差，导致检测结果偏差较大。

(4)现有的蒸发量热器多采用橡胶密封，进一步降低了装置的密封性。

发明内容

本发明提供了一种多层绝热材料性能测试装置，该装置方便了测试样品的固定和拆卸，同时可以实现对多种绝热材料的测量，可调性强，同时密封性能高，测试精确度高。

一种多层绝热材料性能测试装置，包括外筒、设置在外筒内的内胆、以及保持内胆外部真空度的真空机组，所述外筒内壁设有安装管，所述内胆外壁设有连接管，所述安装管与连接管之间通过可拆卸结构将内胆与外筒固定；所述真空机组与外筒的抽真空接口直接对接。

本发明中，内胆与外筒之间采用可拆卸方式，方便了测试样品的更换，操作简单，降低了劳动强度，同时方便了样品厚度的检测，保证了最终的检测精度。

作为优选，所述可拆卸结构为分别设置在连接管和安装管的对应端端部、且采用刀口密封的法兰盘结构。在该法兰盘结构内侧设有凸起的锋利刀口，通过挤压铜垫圈使其变形而达到密封真空的目的，本技术方案中，采用刀口密封的法兰盘结构在方便安装的同时，保证了内胆接口的密封性，避免了现有橡胶密封方式密封效果差的技术问题。

为了消除管子在连接过程中的应力集中，同时缓冲管子的受力，保证整个外筒起吊过程中的稳定性，作为优选，所述安装管上包括至少一段为波纹管段。

作为优选，所述多层绝热材料性能测试装置还包括：

用于容纳所述外筒的操作台；

水平滑动安装在操作台台面上的起吊架；

竖直滑动安装在起吊架上的承重梁，该承重梁用于与外筒连接实现外筒的升降；

驱动承重梁沿起吊架升降的驱动机构。

上述技术方案中，设置操作台，在可将外筒、以及现有的真空机组等收纳与操作台内，大大减小了本发明多层绝热材料性能测试装置的整体占用空间。通过水平移动起吊架，可实现对承重梁水平方向的调整，通过驱动机构可实现对承重梁竖直方向的调整。所述驱动机构可采用手动驱动结构，也可采用电驱动等，例如可采用驱动电机等。

作为优选，所述操作台上设有水平导轨，所述起吊架底部设有与所述水平导轨配合的滑块。水平导轨和滑块的设置，降低承重梁水平位置调整难度，同时保证了调整精度。外筒和内胆一般同轴设置，当水平调整到位后，承重梁长度方向上的中点位置一般位于外筒和内胆的中心轴线上。

作为优选，所述起吊架两侧分别设有竖向导向槽；所述承重梁两端分别设有受驱动机构驱动同时与所述竖向导向槽配合的移动块。通过移动块，实现竖直导向的同时，实现了承重梁的固定。作为进一步优选，所述驱动机构包括：步进电机、布置于所述导向槽导向槽内的丝杆、以及设于丝杆与步进电机之间的传动部件，所述的移动块上设有与所述丝杆啮合的齿槽。采用步进电机和丝杆传动，提高了承重梁位置调节精度。

为了能获得稳定可调的真空范围，作为优选，所述外筒上设有调节口，调节口处安装有调节针阀。所述调节针阀用于控制放气速率从而改变量热器内真空度，从而得到不同真空度下多层绝热材料的表观热导率数值。也就是说，在分子泵开启的条件下，通过调节针阀，可以获得1.5×10^-5Pa～1×10^-1Pa的真空范围；在分子泵关闭的条件下，通过调节针阀，可以获得1×10^-1Pa～1×10⁴Pa的真空范围。量热器***置于一个平台之上，为了更换样品的方便，平台加设了起吊装置，从而使整个试验台操作便捷。

作为优选，所述真空机组包括直接与抽真空接口对接的分子泵、以及与分子泵出气口连通的机械泵；所述抽真空接口与分子泵的对接面采用刀口密封。采用刀口密封同样为了获取高真空。现有的外筒出气口与一般采用波纹管等转接管转接后再与分子泵相连，由于接口增多，导致装置整理密封性变差，本发明采用直接对接方式，可进一步保证装置整体的密封性。

由于真空度对于绝热性能有着显著的影响，精确测量真空是本***的关键，所以，作为优选，所述外筒上设有若干用于检测所述内胆外部真空度的真空检测仪，分别为：

量程范围为1.33×10^-3Pa～13.3Pa，检测精度为0.5％的第一电容式薄膜真空计；

量程范围为13.3Pa～大气压，测量精度为0.2％的第二电容式薄膜真空计；

量程范围为5×10^-8Pa～大气压的复合真空规。

本发明采用三支真空计进行测量，一支总量程的复合规管和两支分量程的薄膜电容规进行测定，相互对比来验证真空的测量数据，使得测量的结果更加精确。根据需要还可在外筒上设置量程范围为4～1×10^-5Pa的电离规，兼做辅助检测，与复合规的数据来相互验证。

作为优选，所述外筒包括筒体、以及与筒体顶端可拆卸固定的顶盖，所述筒体与顶盖之间采用刀口密封。外筒采用可拆卸结构，进一步方便了绝热材料的更换。所述筒体与顶盖之间一般采用带有刀口密封结构的法兰结构。

本发明的量热器主要有内胆，外筒组成。外筒中固定内胆，多层绝热材料包裹在内胆上，内胆由3部分组成，上保护胆，测量胆以及下保护胆。内胆中通常注入液氮，液氮提供冷量。上保护胆和下保护胆主要用于防止测量胆上下两个端面漏热。

本发明测量多层绝热材料是在高真空条件下测量的，通常真空度低于10^-3Pa。外筒外面直接对接分子泵和机械泵，可以达到更好的真空效果。采用插板阀控制接口的闭合，可以保护机组，同时采用外接放气装置，可以精确的控制真空度，是实验装置可以测量不同真空度多层绝热材料的性能。

由于多层绝热材料的包裹的方法不一样对绝热材料的性能会产生很大的影响，内胆设计成可拆卸的内胆，采用CF密封，可以有很好的真空度，同时由于内胆的可拆卸，可以测量不同预紧力的绝热材料。提高装置的测量范围。

能够实现低温下对多层绝热材料性能的测试，使得多层绝热材料应用到实际中成为现实，实用性强。本发明除了测量多层绝热材料的性能，还可以测量珠光砂以及其他绝热材料的性能。

与现代技术相比，本发明的主要创新在于，采用可以CF密封的连接的内胆，拆卸方便。真空机组直接对接在量热器上，可以达到更好的真空度，目前已经达到10^^-6Pa量级，为国内同类型量热器真空度最好的。采用放气装置，可以精确的调整真空。起吊装置直接固定在机组上，操作更加方便。装置设计采用一体化设计，真空机组，量热器，起吊装置都封装在一起，外形美观，使用方面。

附图说明

图1为本发明的多层绝热材料性能测试装置的整体立体图。

图2为图1所示测试装置的拆解图。

图3为本发明中外筒的单独结构示意图。

图4为图3所示外筒的内部拆解图。

图5为图3所示外筒沿A-A方向的剖视图。

图6为本发明的多层绝热材料性能测试装置工作原理示意图。

上述附图中：

1、真空机组；3、上保护胆；4、测量胆；5、下保护胆；6、冷壁温度计；7、热壁温度计；8、外加热带；9、多层绝热用材料；

10、外筒；10a、筒体；10b、顶盖；11、鼓泡器；12、测量胆液氮充注口；13、保护胆液氮充注口；14、升温器；15、压力计；16、温度计；17、气体质量流量计；18、安装管；19、连接管；20、真空接口；21、分子泵；22、机械泵；23、挡板阀；24、腔体；25、上法兰；26、高真空引线(10芯)接头；27、下法兰；28、中间管；29、调节口；30、操作台；31、水平导轨；32、滑块；33、起吊架；34、竖向导向槽；35、移动块；36、驱动电机；37、内胆；38、承重梁；39、真空接口；40、移动把手。

具体实施方式

本发明的多层绝热材料性能测试装置，主要包括量热器、真空机组、数据采集***和辅助***等，其中本发明的发明点主要集中于量热***、真空机组等的改进，其他未详细描述的技术点均可采用现有技术。

如图5所示，量热器包括外筒10和设置在外筒10内的内胆37。其中内胆37内径为152mm，高度为378mm，整个测量容器的换热面积为0.1805m²，测试容积为6.3L，外筒10的内径为294.8mm。外筒10内壁设有安装管18，内胆外壁设有连接管19，安装管18与连接管19之间通过可拆卸结构将内胆与外筒10固定。可拆卸结构采用采用刀口密封的法兰盘结构，例如可采用CF16法兰接口连接。安装管18上与外筒10连接的部分为波纹管段，以消除管子在连接过程中的应力集中。外筒10外壁设有外加热带8，用于实现对外筒10及其内腔体24的加热。

结合图3和图4，外筒10包括筒体10a、以及与筒体10a顶端可拆卸固定的顶盖10b，筒体10a与顶盖10b之间采用刀口密封，在筒体10a顶端和顶盖10b上设有带有刀口密封结构的法兰盘机构，即在筒体10a顶端设置下法兰27，在筒体10a上设置上法兰25，上法兰25和下法兰27之间为刀口密封。量热器上法兰25处预留了4只高真空引线(10芯)接头26，可用于满足温度测量或其他需要。

为了能获得稳定可调的真空范围，在外筒10上半段设置了一个调节口29，调节口29处设有调节针阀，用于控制放气速率从而改变量热器内(内胆外壁与外筒10之间的空间)真空度，从而得到不同真空度下多层绝热材料的表观热导率数值。也就是说，在分子泵开启的条件下，通过调节针阀，可以获得1.5×10^-5Pa～1×10^-1Pa的真空范围；在分子泵关闭的条件下，通过调节针阀，可以获得1×10^-1Pa～1×10⁴Pa的真空范围。

内胆37由3部分组成：上保护胆3，测量胆4以及下保护胆5。内胆中通常注入液氮，液氮提供冷量。上保护胆3和下保护胆5防止测量胆上下两个端面漏热。上保护胆3和测量胆4上分别固定有连接管19。上保护胆3与下保护胆5之间通过中间管28固定连接，同时相互连通。上法兰25上同时设有测量胆液氮充注口12和保护胆液氮充注口13，测量胆液氮充注口12同时与测量胆4的连接管连通，保护胆液氮充注口13与上保护胆3的连接管连通，实现液氮的充注，保护胆液氮充注口13处同时与鼓泡器11相连。上法兰25上还设有与气体流量计17连通的检测口，气体流量计17与检测口相连的管路上设有升温器14。气体流量计17上同时设有压力计15和温度计16

真空机组1由分子泵21和机械泵22组成。量热器外筒壁上布置有抽真空接口20，为了获取更高的真空度，卧式分子泵21直接从外筒10侧壁面通过挡板阀23对接腔体24。本实施例中，真空机组1由中科科仪FF-160/700型分子泵与分子泵控制器、北仪优成TRP-24型机械泵组成，以使得量热器工作在优于10^-3Pa的高真空下。FF-160/700型分子泵的有效抽速为700L/s，极限压强为6×10^-6Pa，额定转速为36000转每分钟，能充分满足试验要求。分子泵出口处与TRP-24型机械泵相连，TRP-24型机械泵的抽气速率为6L/s，关气镇的极限压力为4×10^-1Pa，转速为1450转每分钟。

由于真空度对于绝热性能有着显著的影响，精确测准真空是本***的关键。从文献资料来看，多层绝热材料表观导热率与真空的关系中，拐点一般出现在10^-2～10^-3Pa之间，因此，能测准1×10^-3Pa～1×10⁵Pa是该量热器的关键。

量热器外筒10侧壁对应于测量内胆37的外侧布置了6只真空接口39，其中3只为CF16接口，3只为CF35接口，主要用于连接真空计以测量真空度。

我们选用INFICON薄膜电容规两个，分别是CDG025D0.1torr和CDG025D1000torr，前者量程范围在1.33×10^-3Pa～13.3Pa，测量精度为0.5％；后者量程范围在13.3Pa～大气压，测量精度为0.2％；同时，选用INFICON公司的复合规BPG400，其量程范围在5×10^-8Pa～大气压，在5×10^-8Pa～10⁴Pa范围内，其测量精度为±15％，其它范围测量精度为±50％。同时，还安装了成都正华的电离规ZJ-27。也就是说，在所需要特别关注的1×10^-3Pa～1×10⁵Pa的真空范围内，有来自薄膜电容规的高精度数据来保障，复合规以参考；在优于1×10^-3Pa时，有复合规和电离规的数据来相互验证。

如图1、图2所示，量热器***置于一个操作台30上，为了更换样品的方便，操作台30加设了起吊装置，从而使整个试验台操作便捷。其中真空机组1等设置在操作台30下方，操作台30上设有支撑和容纳量热器外筒10的放置槽。操作台30上设有水平导轨31，水平导轨31上滑动配合有滑块32，滑块32与水平导轨31相互配合，实现水平导向。滑动块32顶面固定有起吊架33，起吊架33为倒U型结构，两侧分别设有竖向导向槽34，竖向导向槽34内设有滑动配合的移动块35，两个移动块35分别与承重梁38的两端固定，起吊架33顶部设有驱动电机36，竖向导向槽34内可设置丝杆，驱动电机26通过齿轮组实现对丝杆的驱动，而移动块35上设有与丝杆配合的齿孔。通过丝杆和齿孔的配合，同时在竖向导向槽34对移动块35的限位作用下，实现移动块35沿竖直方向移动，从而带动承重梁38和量热器升降。

起吊架33一侧设有移动把手40，通过移动把手40可方便实现起吊架33水平方向的移动。外筒10的顶盖10b上根据需要设置吊钩，通过起吊绳与吊钩和承重梁38连接即可实现对量热器的升降操作。

本实施例中，为了获取高真空，所有接口均采用刀口密封。

参考图6，数据采集***主要包括气体流量采集***与温度采集***组成。本实施例中选用Alicat的气体质量流量计17，其测试范围为0～2L/min，精度为满量程的±1％。本实施例中温度采集使用PT-100铂电阻温度计，分别布置在上下保护容器与测量容器的内外侧，即冷壁温度计6和热壁温度计7，铂电阻温度计的精度为0.1K，采用四线法连接，使用1mA的恒流源(LakeShore Current 120)为温度计提供电源，采集到的电压信号通过Keithly 2700型数字万用表显示，或通过GPIB数据接口连接计算机，通过LabVIEW软件进行温度采集与记录。图5为测试平台上采集到的温度信号。

辅助***包含检漏和液氮供应***两部分。检漏仪选用中科科仪ZQJ-542型检漏仪，其主要由分子泵、质谱室、组合阀体，机械泵以及控制电路板等组成。其检漏范围为5×10^-12～1Pa·m³/s。试验前需对整个***进行检漏，确保***的漏放气速率符合标准。液氮供应***包含两个液氮储罐。

本实施例中的多层绝热材料性能测试装置实际进行测试时，过程如下：

首先应使用四氯化碳或丙酮对处于真空的表面进行清洗，以防不洁物影响真空度。对多层绝热材料进行24小时烘干处理，以排除材料中绝大部分水分，并且确保材料表面无油渍等杂物，然后再进行绝热材料的包扎。

一、真空多层绝热材料的包扎

包扎绝热材料步骤如下：

1)在量热器内容器的上上保护胆3，测量胆4以及下保护胆5上布置并粘贴冷壁测温点(可按测温仪测温通道数多少平均分配布置，最少布置3点)，要求测温点布置可靠，记录测温点位置及编号；

2)将试样高真空多层绝热用材料9缠绕在量热器内胆37上，要求缠绕包覆时操作人员佩戴手套、缠绕均匀，并做好缠绕标记记录缠绕层数；用带刻度的测针从垂直于外表面的方向穿透试样全厚度，试样外表面所指测针刻度值即为实测厚度。从6个均匀分布的测点测量，测量数据δ取6点测量记录的平均值。测针在每次试验前应用酒精擦拭干净。记录实测材料厚度δ；

3)在试样最外层表面与冷壁测温点对应的位置布置粘贴热壁测温点，要求测温点布置可靠，记录测温点位置及编号；

4)将缠绕好试样的量热器内胆37放入量热器外筒10中，确保密封良好。

二、抽真空

首先确保管路连接正确，密封量热器真空腔，在量热器内胆内壁和外壳外壁用电加热器加热去除气，同时用机械泵22抽真空；真空腔压力达到5Pa以下时，开启分子泵21抽真空。

当量热器外筒10和内胆37之间夹层真空度优于1×10^-1Pa时，向量热器上下保护胆及测量胆内缓慢加注液氮，直至液氮溢出，确保在测试时间内，夹层真空度优于1×10^-2Pa(冷态)。

三、实验数据记录

每隔10min记录一次气体流量计流量17出口处温度T₁及压力P₁，当一小时内流量的变化范围小于5％时，认为***达到稳态，继续记录接下来一小时的流量，以此计算平均流量V；

当***达到稳态后，每隔10min记录一次试样的冷、热壁温度T_c与T_h，持续记录一小时；

测量期间每隔30min向量热器的上、下保护容器加注液氮，直至注满为止。

按式(1)与(2)分别计算真空多层绝热材料的表观导热系数与比热流：

$\mathrm{\λ}=\mathrm{VL}{\mathrm{\ρ}}_g\left(\frac{T_0}{T_1}\right)\left(\frac{P_1}{P_0}\right)\frac{\ln \frac{r+\mathrm{\δ}}{r}}{2\mathrm{\πl}(T_h-T_c)}---\left(1\right)$

$q=\frac{\mathrm{VL}{\mathrm{\ρ}}_g\left(\frac{T_0}{T_1}\right)\left(\frac{P_1}{P_0}\right)}{\mathrm{\π}(2r+\mathrm{\δ})l}---\left(2\right)$

上式中：

λ为表观热导率，单位为W/(m·K)；

V为***达到稳态后，蒸发的氮气流量在一小时内的平均值，单位为m³/s，根据测量值计算得到；

L为液氮的汽化潜热，单位为J/kg；

ρ_g为273.15K下氮气气体密度，单位为kg/m³；

P₁、T₁为试验条件下流量计出口处氮气的压力和温度,单位分别为Pa、K；

P₀、T₀为标准状态下的压力和温度(1.0133×10⁵Pa，273.15K)；

T_h为***达到稳态后，热壁温度在一小时内的平均值，单位为K，根据测量值计算得到；

T_c为***达到稳态后，冷壁温度在一小时内的平均值，单位为K，根据测量值计算得到；

r为测量容器的外半径，单位为m；

δ为试样的厚度，单位为m，根据测量值计算得到；

l为测量容器的长度，单位为m。

Claims (10)

1.一种多层绝热材料性能测试装置，包括外筒(10)、设置在外筒(10)内的内胆(37)、以及保持内胆(37)外部真空度的真空机组，其特征在于：所述外筒(10)内壁设有安装管(18)，所述内胆(37)外壁设有连接管(19)，所述安装管(18)与连接管(19)之间通过可拆卸结构将内胆(37)与外筒(10)固定；所述真空机组与外筒(10)的抽真空接口(20)直接对接。

2.根据权利要求1所述的多层绝热材料性能测试装置，其特征在于：所述可拆卸结构为分别设置在连接管(19)和安装管(18)的对应端端部、且采用刀口密封的法兰盘结构。

3.根据权利要求1所述的多层绝热材料性能测试装置，其特征在于：所述安装管(18)上包括至少一段为波纹管段。

4.根据权利要求1所述的多层绝热材料性能测试装置，其特征在于：还包括：

用于容纳所述外筒(10)的操作台(30)；

水平滑动安装在操作台(30)台面上的起吊架(33)；

竖直滑动安装在起吊架(33)上的承重梁(38)，该承重梁(38)用于与外筒(10)连接实现外筒(10)的升降；

驱动承重梁(38)沿起吊架(33)升降的驱动机构。

5.根据权利要求4所述的多层绝热材料性能测试装置，其特征在于：所述操作台(30)上设有水平导轨(31)，所述起吊架(33)底部设有与所述水平导轨(31)配合的滑块(32)。

6.根据权利要求4所述的多层绝热材料性能测试装置，其特征在于：所述起吊架(33)两侧分别设有竖向导向槽(34)；所述承重梁(38)两端分别设有受驱动机构驱动同时与所述竖向导向槽(34)配合的移动块(35)。

7.根据权利要求1所述的多层绝热材料性能测试装置，其特征在于：所述外筒(10)上设有调节口(29)，调节口(29)处安装有调节针阀。

8.根据权利要求1所述的多层绝热材料性能测试装置，其特征在于：所述真空机组包括直接与抽真空接口(20)对接的分子泵(21)、以及与分子泵(21)出气口连通的机械泵(22)；所述抽真空接口(20)与分子泵(21)的对接面采用刀口密封。

9.根据权利要求1所述的多层绝热材料性能测试装置，其特征在于：所述外筒(10)上设有若干用于检测所述内胆(37)外部真空度的真空检测仪，分别为：

量程范围为1.33×10^-3Pa～13.3Pa，检测精度为0.5％的第一电容式薄膜真空计；

量程范围为13.3Pa～大气压，测量精度为0.2％的第二电容式薄膜真空计；

量程范围为5×10^-8Pa～大气压的复合真空规。

10.根据权利要求1所述的多层绝热材料性能测试装置，其特征在于：所述外筒(10)包括筒体(10a)、以及与筒体(10a)顶端可拆卸固定的顶盖(10b)，所述筒体(10a)与顶盖(10b)之间采用刀口密封。