CN104766908A - 链式扩散非制绒面涂磷装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种链式扩散非制绒面涂磷装置，包括转动轴、吸液外圈和储酸槽，所述吸液外圈固定在转动轴的中间，所述转动轴的两端转动设于储酸槽的上方，所述储酸槽一侧设有进酸口，储酸槽的下方设有出酸口，储酸槽内还设有一液位传感器，所述液位传感器连接控制进酸口开关的进酸控制器。本发明充分利用了滚轮携带磷酸，并将磷酸均匀涂抹到硅片背面从而实现链式扩散非制绒面涂磷的目的，使得在扩散中实现和提高磷吸杂的作用，最终提高电池的转化效率。
Description
技术领域
本发明涉及硅片链式扩散设备技术领域，尤其涉及一种链式制绒槽非制绒面涂磷设备。
背景技术
扩散是晶硅太阳能电池制造的关键步骤之一，常用的扩散方式有管式扩散和链式扩散，管式扩散通过通入三氯氧磷和氧气，在硅片表面生成磷单质后再向内扩散形成PN结。链式扩散通过在制绒面喷涂磷酸，磷酸分解后和硅反应生成磷单质。
多晶硅中有大量的缺陷和金属杂质，这些缺陷和金属杂质会形成一些深能级，并成为载流子的复合中心，影响电池的效率，因此减少杂质的影响能一定程度上提高载流子寿命，从而提高电池的效率。生产中常用的吸杂方式有铝吸杂和磷吸杂，铝吸杂是通过在硅片印刷铝背场达到吸杂效果，磷吸杂是通过在硅片背表面扩磷原子达到吸杂作用，吸杂效果和磷原子的浓度有关。
发明内容
为了克服上述缺陷，本发明提供了一种链式扩散非制绒面涂磷装置，使用该设备可以在硅片非制绒面涂上磷酸，扩散后使硅片背面形成一定浓度磷原子，达到磷吸杂的目的。
本发明为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种链式扩散非制绒面涂磷装置，包括转动轴，吸液外圈和储酸槽，所述吸液外圈固定在转动轴的中间，所述转动轴的两端转动设于储酸槽的上方，所述储酸槽一侧设有进酸口，储酸槽的下方设有出酸口，储酸槽内还设有一液位传感器，所述液位传感器连接控制进酸口开关的进酸控制器。
作为本发明的进一步改进，所述吸液外圈的材料为耐酸腐蚀性吸水材料。
作为本发明的进一步改进，所述吸液外圈的材料为耐酸腐蚀性海绵、纱布和带有螺纹的滚轮中的一种或几种的组合。
作为本发明的进一步改进，所述吸液外圈的内径为1-10厘米，吸液外圈的外径为2-20厘米。
作为本发明的进一步改进，所述的吸液外圈长度为10-200厘米。
作为本发明的进一步改进，所述的储酸槽为长方体槽体，长度为10-200厘米，宽度为3-100厘米，高度为3-50厘米。
作为本发明的进一步改进，所述的转动轴两端有传动齿轮，传动齿轮受传动链带动转动。
作为本发明的进一步改进，所述的出酸口设在储酸槽的底部
作为本发明的进一步改进，所述的进酸口设在储酸槽侧面，进酸口上有控制阀门。
作为本发明的进一步改进，所述液位传感器由压力传感器，电容式液位传感器和电动浮筒液位传感器组成。
本发明的有益效果是：本发明使硅片在扩散的时候能够在非制绒面也掺入磷原子，使非制绒面形成磷吸杂效应，提高了载流子的寿命，增加了电池的效率，本设备简单易改造，具有良好的可操作性。
附图说明
图1为本发明的实施例一的主视图；
图2为本发明的实施例一的侧视图；
图3为本发明的实施例二的主视图；
图4为本发明的实施例二的侧视图；
具体实施方式
为了加深对本发明的理解，下面将结合实施例和附图对本发明作进一步详述，该实施例仅用于解释本发明，并不构成对本发明保护范围的限定。
实施例一
图1为本发明的设备结构，吸液外圈2的材料为耐酸腐蚀性海绵，吸液外圈2的内径为3厘米，吸液外圈2的外径为5厘米，吸液外圈2的长度为100厘米，储酸槽3为长方体槽体，长度为110厘米，宽度为20厘米，高度为30厘米，转动轴1两端有传动齿轮，传动齿轮受传动链带动转动，储酸槽3上有进酸口，进酸口4在储酸槽3的侧面，位置接近底部，储酸槽3上有出酸口5，出酸口5在储酸槽3的底部，储酸槽3槽内底部有液位传感器7，液位传感器7由压力传感器，电容式液位传感器和电动浮筒液位传感器组成。
液位传感器用于测量磷酸6的液位并通过电脑控制进酸口的开关，当液位过低时进酸口打开，磷酸6从***进入储酸槽3，当液位达到一定高度时，进酸口4的阀门闭合。控制液位能使吸液外圈2一部分浸泡在磷酸6溶液中，当滚轮转动起来的时候，整个吸液外圈3都能吸满磷酸6溶液。硅片从滚轮上方移动时，吸液外圈2与硅片接触，受到硅片重量的挤压，吸液外圈3内吸收的液体会向外溢出，沾到硅片的底部，达到在硅片非制绒面涂上磷酸6的目的。
实施例二
图3为本发明的设备结构，吸液外圈12为带有单头螺纹滚轮，吸液外圈12的内径为2厘米，吸液外圈12的外径为6厘米，吸液外圈2的长度为160厘米，单头螺纹之间的间距为5厘米，单头螺纹的高度为0.5厘米，单头螺纹的倾角为60度，储酸槽13为长方体槽体，长度为150厘米，宽度为30厘米，高度为40厘米，转动轴11两端有传动齿轮，传动齿轮受传动链带动转动，储酸槽13上有进酸口，进酸口14在储酸槽13的侧面，位置接近底部，储酸槽13上有出酸口15，出酸口15在储酸槽13的底部，储酸槽13槽内底部有液位传感器17，液位传感器17由压力传感器，电容式液位传感器和电动浮筒液位传感器组成。
液位传感器用于测量磷酸16的液位并通过电脑控制进酸口的开关，当液位过低时进酸口打开，磷酸16从***进入储酸槽13，当液位达到一定高度时，进酸口14的阀门闭合。控制液位能使吸液外圈12一部分浸泡在磷酸16溶液中，当滚轮转动起来的时候，单头螺纹随着转动轴11滚动，螺纹的纹理结构将磷酸16带动起来，使单头螺纹的表面会沾满磷酸16，单头螺纹表面起伏的纹理起着带动和临时储蓄液体的作用。硅片从滚轮上方移动时，螺纹纹理与硅片接触，从储酸槽13带上来的磷酸16就会沾到硅片的下表面，达到在硅片非制绒面涂上磷酸16的目的。
Claims (10)
1.一种链式扩散非制绒面涂磷装置，其特征在于：包括转动轴、吸液外圈和储酸槽，所述吸液外圈固定在转动轴的中间，所述转动轴的两端转动设于储酸槽的上方，所述储酸槽一侧设有进酸口，储酸槽的下方设有出酸口，储酸槽内还设有一液位传感器，所述液位传感器连接控制进酸口开关的进酸控制器。
2.根据权利要求1所述的链式扩散非制绒面涂磷装置，其特征在于：所述吸液外圈的材料为耐酸腐蚀性吸水材料。
3.根据权利要求1所述的链式扩散非制绒面涂磷装置，其特征在于：所述吸液外圈的材料为耐酸腐蚀性海绵、纱布和带有螺纹的滚轮中的一种或几种的组合。
4.根据权利要求1所述的链式扩散非制绒面涂磷装置，其特征在于：所述吸液外圈的内径为1-10厘米，吸液外圈的外径为2-20厘米。
5.根据权利要求1所述的链式扩散非制绒面涂磷装置，其特征在于：所述的吸液外圈长度为10-200厘米。
6.根据权利要求1所述的链式扩散非制绒面涂磷装置，其特征在于：所述的储酸槽为长方体槽体，长度为10-200厘米，宽度为3-100厘米，高度为3-50厘米。
7.根据权利要求1所述的链式扩散非制绒面涂磷装置，其特征在于：所述的转动轴两端有传动齿轮，传动齿轮受传动链带动转动。
8.根据权利要求1所述的链式扩散非制绒面涂磷装置，其特征在于：所述的出酸口设在储酸槽的底部。
9.根据权利要求1所述的链式扩散非制绒面涂磷装置，其特征在于：所述的进酸口设在储酸槽侧面，进酸口上有控制阀门。
10.根据权利要求1所述的链式扩散非制绒面涂磷装置，其特征在于：所述液位传感器由压力传感器，电容式液位传感器和电动浮筒液位传感器组成。
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|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| EXSB | Decision made by sipo to initiate substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20150708 |
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| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |