CN104701228A - 一种改进型uvw工作平台 - Google Patents

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    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment

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Abstract

本发明公开一种改进型UVW工作平台，包括底板，电机模组U，电机模组V，电机模组W，支撑模组，工作平面板和电磁铁模组，其特征在于：所述电机模组U和电机模组V对称安装于底板的X轴上，电机模组W和支撑模组对称安装于底板Y轴上，所述电磁铁模组安装固定于底板中央位置，工作平面板安装于电机模组（U、V、W）和支撑模组的四个支持轴承上。所述的一种改进型UVW工作平台，巧妙采用了电磁铁模组将工作平面锁定在所需位置，从而克服了进行加工工件时，外作用力就有可能令工作平台移动造成加工精度减小、甚至不合格的缺点，同时，大大增加了工作平台能承受的重量，增加了整体结构刚度。

Description

一种改进型 UVW 工作平台
技术领域
本发明涉及一种应用于高精度视觉对准***的机械工作平台，具体为一种改进型UVW工作平台。
背景技术
目前，高精度视觉对准***在LCD制造装备 、OGS触摸屏制造装备、触摸屏玻璃盖板制造装备、PCB或FPC制造装备、半导体装备等等，应用十分广泛。机械工作平台设计的好坏，精度的优劣将直接影响整个***的对准效果，所以开发具有较强针对性、高分辨率的精密工作平台在整个***中起着至关重要的作用，透过软件精确运算使X、Y、Ø三轴联动，而且精准度能满足各种设计要求。
现有的UVW工作平台存在一缺点，当控制***完成X、Y、Ø三轴运动定位后，工作平台没有锁紧装置，当进行工件加工时，外作用力便使工作平台移动或震动，造成加工精度锐减，甚至造成被加工件报废。另工作平台只有四个角的支持点，能承受的重量远不如设有锁紧装置的UVW工作平台。
发明内容
针对上述UVW工作平台的缺点，本发明要解决的技术问题是提供一种改进型UVW工作平台。
为解决上述问题，本发明所采取的技术方案是：
一种改进型UVW工作平台，包括底板，电机模组U，电机模组V，电机模组W，支撑模组，工作平面板和电磁铁模组，其特征在于：所述电机模组U和电机模组V对称安装于底板的X轴上，电机模组W和支撑模组对称安装于底板Y轴上，所述电磁铁模组安装固定于底板中央位置，工作平面板安装于电机模组（U、V、W）和支撑模组的四个支持轴承上。
更进一步的，所述的电机模组为伺服电机模组或步进电机模组。
更进一步的，所述工作平面板包括支撑架和工作平板，支撑架上设有对称的螺丝孔，所述工作平板通过螺丝锁定于支撑架上。
更进一步的，所述电磁铁模组包括电磁体，电磁铁吸板和电磁铁固定底座，所述的电磁铁吸板表面设有凹槽，用于存放润滑油。
更进一步的，所述的电磁体包括线圈、磁铁芯和控制电路，控制电路与线圈电连接。启动吸合锁定功能时，控制电路控制流经线圈电路缓慢线性增大，直至电磁铁牢牢吸住工作平面板，但不会产生振动。
采用上述技术方案所产生的有益效果在于：所述的一种改进型UVW工作平台，巧妙采用了电磁铁模组将工作平面锁定在所需位置，从而克服了进行工件加工时，外作用力使工作平台移动或震动，加工精度锐减的问题，从而提高被加工件的合格率；同时，大大增加了工作平台能承受的重量，增加了整体结构刚度。
附图说明
图1是本发明所述的一种改进型UVW工作平台的整体结构示意图；
图2是本发明所述的一种改进型UVW工作平台在未安装工作平台状态下的结构示意图；
图3是本发明所述的一种改进型UVW工作平台的内部结构示意图；
图4是本发明所述的一种改进型UVW工作平台的电磁铁模组结构示意图；
图5是本发明所述的一种改进型UVW工作平台的工作原理示意图。
其中，1为底板，2为电机模组U，3为电机模组V，4为电机模组W，5为支撑模组，6为工作平面板，7为电磁铁模组，61为螺丝孔，71为电磁体，72为电磁铁吸板，73为电磁铁固定底座，721为凹槽。
具体实施方式
以下结合附图，对本发明所述的一种改进型UVW工作平台进行描述，目的是为了公众更好的理解本发明所述的技术内容，而不是对所述技术内容的限制，事实上，在本发明的创新精神实质内，对所述结构的改进，包括对相应组件的增减和替换都在本发明所要求保护的技术方案之内。
如图1、图2、图3和图4所示，一种改进型UVW工作平台，包括底板1，电机模组U 2，电机模组V 3，电机模组W 4，支撑模组 5，工作平面板 6和电磁铁模组 7，其中，所述电机模组U 2和电机模组V 3对称安装于底板的X轴上，电机模组W 4和支撑模组 5对称安装于底板Y轴上，所述电磁铁模组 7安装固定于底板1中央位置，工作平面板6安装于伺服电机模组（U、V、W）和支撑模组的四个支持轴承上。
所述的电机模组为伺服电机模组或步进电机模组。
所述工作平面板上设有对称的螺丝孔61，用于固定工件在工作平面板6上。
所述电磁铁模组包括电磁体71，电磁铁吸板72和电磁铁固定底座73，所述的电磁铁吸板72表面设有凹槽721，用于存放润滑油。
所述的电磁体71包括线圈、磁铁芯和控制电路，控制电路与线圈电连接。启动吸合锁定功能时，控制电路控制流经线圈电路缓慢线性增大，直至电磁铁牢牢吸住工作平面板，但不会产生振动。
所述工作平面板包括支撑架和工作平板，所述工作平板通过螺丝锁定于支撑架上。
如图5所示，所述的一种改进型UVW工作平台，是这样工作的：
如图5-1所示，W电机运动，U、V电机静止，工作平台向X方向运动；
如图5-2所示，U、V电机同速同向运动，W电机静止，工作平台向Y方向运动；
如图5-3所示，U、V、W电机同时运动，且U、V电机同速同向，工作平台向X、Y方向同时移动；
如图5-4所示，U、V、W电机同时运动，且U、V电机同速反向，工作平台沿中心点转动Ø角度;
如图5-5所示，U、V、W电机同时运动，且U、V电机不同速反向，工作平台沿平面任一点旋转Ø角度。
从上述可以看出，控制同一平面内UVW三个电机的不同工作状态，工作平台能够在X方向，Y方向运动以及围绕工作平面任意一点为中心转动，满足工作平台在X、Y、Ø三轴的运动。在控制工作平台到所需要的位置后，启动电磁铁锁紧工作平台，然后可进行下一步加工工序。

Claims (5)

1.一种改进型UVW工作平台，包括底板，电机模组U，电机模组V，电机模组W，支撑模组，工作平面板和电磁铁模组，其特征在于：所述电机模组U和电机模组V对称安装于底板的X轴上，电机模组W和支撑模组对称安装于底板Y轴上，所述电磁铁模组安装固定于底板中央位置，工作平面板安装于伺服电机模组（U、V、W）和支撑模组的四个支持轴承上。
2.根据权利要求1所述的一种改进型UVW工作平台，其特征在于：所述的电机模组为伺服电机模组或步进电机模组。
3.根据权利要求1所述的一种改进型UVW工作平台，其特征在于：所述工作平面板包括支撑架和工作平板，支撑架上设有对称的螺丝孔，所述工作平板通过螺丝锁定于支撑架上。
4.根据权利要求1所述的一种改进型UVW工作平台，其特征在于：所述电磁铁模组包括电磁体，电磁铁吸板和电磁铁固定底座，所述的电磁铁吸板表面设有凹槽，用于存放润滑油。
5.根据权利要求1所述的一种改进型UVW工作平台，其特征在于：所述的电磁体包括线圈、磁铁芯和控制电路，控制电路与线圈电连接。
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