CN104661423B - 一种大气压低温等离子体射流发生器 - Google Patents
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Abstract
一种大气压低温等离子体射流发生器属于介质阻挡放电等离子技术领域，其特征在于，电极部分由接高压端且放在毛细玻璃管内的内电极、同轴地套在外玻璃管外周的接地极共同组成，外壳部分从下向上由外壁、电极支撑套和接线固定套共同连接而成，电源接入部分由内嵌入接线固定套上端面的高压极插头及低压极***组成，高压极插头经由固定在接线固定套下端面和电极支撑套上端面之间的高压传导块及缠绕在内电极上起导电的作用的弹簧拼成，外电极上的接地线经由外壳及接线固定套内的线槽连接到地线固定端面，与接地极插头相连；进气部分由嵌入接地极插头上端面上的进气管拼成；从而在实用化的同时提高了使用的安全可靠性。
Description
技术领域
一种大气压低温等离子体射流发生器属于常压介质阻挡放电等离子体技术领域。
背景技术
大气压低温等离子体射流发生器是近年来兴起的一种新的大气压低温等离子体放电技术，利用气流和电场的作用使放电区域产生的等离子体从喷管或孔口中喷出，在无固体边界约束的外界气体环境中作朝向工作区域的定向流动形成等离子体射流，在航天、环境、生物医学、材料表面处理、食品保鲜、消毒杀菌、废水处理等领域应用广泛。大气压低温等离子体射流源种类繁多，其中采用介质阻挡结构的大气压低温等离子体射流技术因其具有结构简单、运行稳定、作用距离长、活性物种种类多、数量大等特点，在现阶段蓬勃开展的材料表面改性、生物医学(辅助伤口治疗、血液凝结、牙齿根管治疗、杀灭癌细胞、消毒杀菌、各种皮肤病治疗)、环境治理(空气净化与污染的防治、污水处理)等领域具有独特的技术优势和良好的应用前景。
1.材料的改性与表面处理
生物材料长期与人体接触时，必须充分满足与生物体环境的相容性，即生物体不与之发生任何不良生物反应。这些都取决于材料表面与生物体环境的相互作用。目前，对生物材料表面进行处理达到改善材料表面性能的常用方法有化学湿法处理、光化学法处理、紫外辐射以及等离子体处理等。其中化学湿法实践过程中多使用一些有毒的化学试剂，不仅严重污染环境，对人体也有极大的危害。而光化学法以及紫外辐射法等处理技术受射线能量限制，其处理效果较难控制。与其相比，大气压低温等离子体射流表面处理技术对材料表面的作用深度仅数百埃，不会影响基体材料的性质，并且可以处理各种形状的材料表面，具有工艺简单、操作简便、易于控制、无污染等优点。除了对生物材料的改性外，介质阻挡放电等离子体还用于聚合物材料(聚四氟乙烯、聚乙烯)、纤维材料(羊毛纤维、聚乙烯纤维、大豆纤维涤纶和丙纶)、木材、无机金属、非金属材料、航空材料、纳米材料等材料的改性处理。
2.生物医学
在医学领域，目前多采用药物治疗各种疾病，随着低温等离子体的发展，应用领域的逐渐扩大，众多研究人员将其应用在医学领域。其主要研究的是等离子体对生物体(病毒、细菌、细胞、组织、器官、皮肤等)的作用效应。等离子体对生物体的作用是通过等离子体所产生的各类自由基(其寿命从ns到s量级)、带电粒子、紫外线、激发态粒子等对生物体从分子层面的综合作用来实现的。迄今为止等离子体在医学上应用及研究最多的方面为细菌灭活的研究，开发了除垢消毒、皮肤病的治疗、牙齿根管治疗、手术伤口消毒等医疗器械。研究结果表明，等离子体对于病菌(革兰阴氏菌、革兰阳氏菌、细菌孢子、细菌生物膜、真菌等)都具有灭活能力。同时应用等离子体对癌细胞杀灭的研究表明，适量的等离子体处理能够促进癌细胞凋亡，且不会对周围的正常细胞产生明显的伤害。等离子体还能促进细胞分化和伤口愈合，应用空气或惰性气体产生的等离子体射流接触空气时，都会生成与细胞内部天然存在类似的活性氧成分(ROS)和活性氮成分(RNS)，这些活性粒子是等离子体医学应用中的关键成分，其作用于动物细胞和组织时，刺激细胞和组织产生一系列的生理生化反应，从而达到临床治疗的效果；采用介质阻挡放电等离子体对皮肤特别是伤口的直接处理，在消毒灭菌的同时实现刺激细胞分化和促进伤口的愈合。在研究者实验过程中，发现等离子体能与血细胞和血液中的其它成分发生化学反应，促进伤口血液凝固。因此介质阻挡放电等离子体技术在生物医学上具有不可替代的作用。
3.环境治理
随着目前环境形势的日益严峻，各种环境治理的技术应运而出。环境治理主要是两大方面，空气和水源。在各种方法中，大气压低温等离子体技术以它安全性高、电极寿命长、处理范围广、效率高、净化速率快等优点，得到了研究者的广泛关注。这一技术将高能电子轰击、O3氧化、紫外光解等多种处理技术集合于一体，使环境治理效率更高、经济性更好，同时由于不采用过滤网、化学试剂等方法治理污染物，不会产生对环境的二次污染。
在常压下，根据不同的应用需求去设计适用的低温等离子体射流源，一直是等离子体科学及应用研究中的重要方向。其中，采用针—筒电极结构的大气压介质阻挡放电等离子体射流装置是人们最早开始使用的大气压低温等离子体射流源，也是目前在材料表面改性、生物医学、环境治理等领域应用较为成熟的一类射流源。1992年，日本东京工业学院的Koinuma等人采用13.56MHz射频源，以惰性气体(氦气、氩气)和其他化学活性气体的混合物为工作气体，首次利用针—筒电极射流源在介质阻挡方式下获得了宏观气体温度在200—400℃范围内的大气压冷等离子体射流[Appl.Phys.Lett.1992,60:816-817]。研究人员又在已有工作基础上对射流源结构进行了改进，其中包括：①采用靠近射流下游端的环电极替代筒状电极，并适当增加针电极尖端与环电极的距离，由此形成针—环电极结构射流源[Thin Solid Films 2006,506-507:404-408；Appl.Phys.Lett.2008,93:111501；发明专利申请号200810018165.6；发明专利申请号201210425333.X；发明专利申请号02159260.8]；②利用介质层覆盖针电极，通过双层介质阻挡结构进一步控制放电强度，防止热化，有效增加等离子体射流稳定性，这一改进使之在对生物体作用时安全性大大提高，更加适用于修复和改善损伤组织结构和功能等相关应用，例如华中科技大学博士学位论文“大气压低温等离子体射流的研究”[Appl.Phys.Lett.2008,92:081502]及相应的发明专利200810046794.X(2008.7.30日公开，公开号为CN 101232770A)，介绍了一种大气压介质阻挡放电等离子体射流，“高压电极为金属圆棒，放置在一根一端封口的毛细介质管中，高压电极和毛细介质管共同固定于外部介质管中央，接地环形电极可有可无”，以加强等离子体射流的轴向电场，并有利于产生等离子体射流以及增强射流的化学特性，产生的等离子体射流长度可达十几厘米，气体温度接近室温，安全性很高。但这一改进尚属于原理性结构，未实现实用化，其电源引入部分的具体结构，电源线引入部件，进气机构，等离子体射流发生器的外壳结构等，均需进一步研发，以满足实用化操作。
发明内容
本发明的目的在于提供一种实用化的大气压低温等离子体射流发生器，以克服现有技术尚处于原理性结构设计层面，难以实用化的缺陷。
本发明的特征在于，是一种达到了实用化的使用可靠的常压介质阻挡放电等离子体发生器，含有外石英玻璃管(1)、喷嘴(2)、外电极(3)、接地线(4)、外壁(5)、弹簧(6)、内电极支撑环(7)、地线固定端(8)、螺母(9)、垫片(10)、接线固定套(11)、接地极插头(12)、高压极插头(13)、中心石英玻璃管(14)、高压传导块(15)、内电极(16)、中心支撑环(17)、电极支撑套(18)、玻璃管支撑固定套(19)、进气管(20)、螺栓(21)，其中：
内电极(16)，呈棒状，两端呈半圆形，位于所述大气压低温等离子体射流发生器的中心轴线上，用钨制成，
中心石英玻璃管(14)，下端封闭，由下而上同轴地紧套在所述内电极(16)外，长度较所述内电极(16)短，
外石英玻璃管(1)，同轴地松套在所述中心石英玻璃管(14)的外周面上，所述外石英玻璃管(1)的开口端与所述中心石英玻璃管(14)下端面形成射流喷口，
外电极(3)，紫铜制成，成空心圆柱状，同轴地套在所述外石英玻璃管(1)的外周面上，所述外电极(3)的下端面位于所述外石英玻璃管(1)的开口端上方，
喷嘴(2)，用聚四氟乙烯材料，下端呈截锥状，同轴地套在所述外电极(3)的外周面上，
所述内电极(16)、中心石英玻璃管(14)、外石英玻璃管(1)、外电极(3)及喷嘴(2)共同构成了电极部分，
外壁(5)，用聚四氟乙烯制成，是一个空心圆柱体，下端是一个向内的凹凸，同轴地扣压在所述喷嘴(2)截锥面的上端面上，
电极支撑套(18)，用聚四氟乙烯制成，是一个空心圆柱体，下端呈截锥状，截锥的下端面同轴地扣压在所述外壁(5)上部的台阶上，所述电极支撑套(18)内凹端面同轴紧扣在所述中心石英玻璃管(14)上端面，
接线固定套(11)，用聚四氟乙烯制成，是一个空心圆柱体，下端是一个内凸的凹口，所述接线固定套(11)的下端面同轴地扣压在所述电极支撑套(18)的外周台阶上，所述接线固定套(11)与电极支撑套(18)用螺栓(21)固定，
所述外壁(5)、电极支撑套(18)和接线固定套(11)自下而上共同连接并组成了一个呈子弹头形状的所述大气压低温等离子体射流发生器的外壳部分，在所述电极支撑套(18)和内电极(16)上端部之间同轴地夹持着一个用紫铜制成的内电极支撑环(7)，
在所述电极支撑套(18)的上端面和位于所述外石英玻璃管(1)上端面以上的内电极(16)之间同轴地紧套着一个玻璃管支撑固定套(19)，所述玻璃管支撑固定套(19)用聚四氟乙烯制成，上端面上开有至少一个贯穿的气孔，同时，所述玻璃管支撑固定套(19)又扣压在所述外石英玻璃管(1)上端面上，从而在一部分所述中心石英玻璃管(14)的外周面和所述玻璃管支撑固定套(19)的上端面以及所述电极支撑套(18)的部分内周面形成一个进气腔，
高压极插头(13)和接地极插头(12)相对而且同轴地通过螺纹***开在所述接线固定套(11)的上端面的凹槽内，所述高压极插头(13)选用标准插头，
高压传导块(15)，偏心地外套在所述高压极插头(13)上，中间用一个所述高压极插头(13)的用来预紧所述高压传导块(15)的第一螺母(91)压住，下端面用第二螺母(92)紧固，所述高压传导块(15)在所述中心轴线的另一侧面在轴向又被所述电极支撑套(18)沿轴向向上***到所述接线固定套(11)下端面内的延伸部分固定，频率在10kHz～30kHz，交流电压在5kV～20kV的功率源的高压端经所述高压极插头(13)、紫铜制的高压传导块(15)、紫铜制的内电极支撑环(7)、施加在所述内电极(16)上，并用位于所述内电极支撑环(7)上端面和所述高压传导块(15)下端面之间的第二弹簧(62)传输到内电极(16)上，
地线固定端(8)，终断面呈“┳”形，上部套在所述接地极插头(12)下端，用垫片(10)、第三螺母(93)紧固，接地线(4)的上端从紫铜制的所述地线固定端(8)的底面***，所述接地线(4)的下端沿着开在所述电极支撑套(18)内的线槽向下连接到所述外电极(3)上；在所述外壁(5)上端面和所述地线固定端(8)下端面之间的接地线(4)上同轴缠绕着压紧用的第一弹簧(61)，
所述高压极插头(13)、接地极插头(12)、高压传导块(15)以及地线固定端(8)共同构成了电源接入部分，
中心支撑环(17)，用聚四氟乙烯制成，同轴地从外部紧套在所述中心石英玻璃管(14)的外周面，同轴地从内部紧套在所述外石英玻璃管(1)的内周面，用于保证所述中心石英玻璃管(14)与所述外石英玻璃管(1)同心，所述中心支撑环(17)上端面上开有至少一个贯穿的气孔，保证气路畅通，
进气管(20)，经过所述接线固定端(11)，开在所述电极支撑套(18)的上端面上，工作气体通过所述进气管(20)进入，流入由一部分所述中心石英玻璃管(14)的外周面和所述玻璃管支撑固定套(19)的上端面以及所述电极支撑套(18)的部分内周面所形成的进气腔，经由所述玻璃管支撑固定套(19)内贯穿的气孔，沿轴向进入所述外石英玻璃管(1)和所述中心石英玻璃管(14)之间的区域，构成进气部分；此后，工作气体经由所述中心支撑环(17)内贯穿的气孔，从射流喷口流出，
根据权利要求1所述的一种大气压低温等离子体射流发生器的工作气体为：包括氦气、氩气在内的惰性气体以及空气、氮气、氧气及其混合气体。
本发明的效果是：克服了现有技术的缺陷，解决了电极及其支撑部分、外壳部分、进气部分以及电源引入部分的结构及其互相连接问题，在解决实用性的同时也显著提升了使用的安全性、可靠性及稳定性。
附图说明
图1本发明的纵剖视图。
图2本发明的进气部分结构图。
附图标识说明
1.外石英玻璃管；2.喷嘴，用聚四氟乙烯制成；3.外电极，用紫铜制成；4.接地线；5.外壁，用聚四氟乙烯制成；6.弹簧：61.第一弹簧，62.第二弹簧；7.内电极支撑环，用紫铜制成；8.地线固定端，用紫铜制成；9.螺母：91.第一螺母，92.第二螺母，93.第三螺母；10.垫片；11.接线固定套，用聚四氟乙烯制成；12.接地极插头；13.高压极插头；14.中心石英玻璃管；15.高压传导块；16.内电极，用钨制成；17.中心支撑环，用聚四氟乙烯制成；18.电极支撑套，用聚四氟乙烯制成；19.玻璃管支撑固定套，用聚四氟乙烯制成；20.进气管；21.螺栓。
具体实施方式
射流发生器主要采用的放电原理为双介质阻挡放电，主要由内、外电极组成，其中内电极16为钨棒，上下两端处为半圆形；外电极3为由紫铜制成的薄铜管；两个电极之间采用两层石英玻璃管隔开，分别为外石英玻璃管1和中心石英玻璃管14；放电产生在电极区两个石英玻璃管之间的区域，利用气流和电场的作用使放电区域产生的等离子体从喷嘴处喷出，在无固体边界约束的外界气体环境中作朝向工作区域的定向流动形成等离子体射流，其中内电极16接频率为10kHz～30kHz，交流电压5kV～20kV的高压交流电，外电极3为接地极。
外电极3套在外石英玻璃管1上，外石英玻璃管1通过玻璃管支撑固定套19和外壁5与电极支撑套18固定且保证同轴，为方便外电极3的安装更换，在端口处设计喷嘴2，一方面在轴向上固定外电极3，另一方面设计成锥形结构，使射流发生器美观大方。外电极3的接线是通过内部的传送线路与上端部的接地极插头12相连的，其中接地线4通过外壁5上的线孔传送到电极支撑套18的导线孔中，然后与地线固定端8固定，通过与螺母93接触连接进行电流的传导，为保证良好的接触，在地线固定端8下方添加弹簧61；接地极插头12采用标准接头，通过螺纹连接与接线固定端11固定，为保证牢固性，在其下方通过垫片10和螺母93将其预紧。
内电极16一端穿***中心石英玻璃管14中，另一端通过内电极支撑环7与电极支撑套18连接，内电极支撑环7为紫铜件，与内电极16紧配合，为保证接触良好在安装时一方面将钨棒***高压传导块15，另一方面通过放弹簧62可以将高压传输到内电极16；中心石英玻璃管14通过玻璃管支撑固定套19将其固定；为保证中心石英玻璃管14与外石英玻璃管1同心，中心支撑环17同轴地从外部紧套在中心石英玻璃管14的外周面，同轴地从内部紧密贴合在外石英玻璃管1的内周面，中心支撑环17上端面上开有至少一个贯穿的气孔，保证气路畅通。
高压极插头13选用标准插头，通过螺纹与接线固定套11固定，为保证固定的紧密性在其下方通过螺母91将其预紧，然后将高压传导块15套在高压极插头13上，通过螺母92将其紧固。
为保证螺母93与高压传导块15间不发生放电，在电极支撑套18上设计高台，在接线固定套11相应位置设计凹槽，将其完全隔离。在安装上，电极支撑套18和接线固定套11为插拔结构，更加利于安装，最终通过螺栓21将其固定。
进气管20，经过接线固定端11，开在所述电极支撑套18的上端面上，工作气体通过所述进气管20进入，经由所述玻璃管支撑固定套19内贯穿的气孔，沿轴向进入所述外石英玻璃管1和所述中心石英玻璃管14之间的区域，经由所述中心支撑环17内贯穿的气孔，从射流喷口流出。
工作气体：包括氦气、氩气在内的惰性气体以及空气、氮气、氧气及其混合气体。
采用低温等离子体处理的好处：
在材料表面处理方面：
化学湿法实践过程中多使用一些有毒的化学试剂，不仅严重污染环境，对人体也有极大的危害。而光化学法以及紫外辐射法等处理技术受射线能量限制，其处理效果较能控制。与其相比低温等离子体表面处理技术对材料表面的作用深度仅数百埃，不会影响基体材料的性质，并且可以处理各种形状的材料表面，具有工艺简单、操作简便、易于控制、无污染等优点。
在生物医学方面：
使用低温等离子体来取代或者辅助药物与传统的医疗手段相比，其达到的治疗效果更好，不仅可以避免药物对人体造成的副作用，而且更加快速高效，不会对人体产生明显伤害。
实验过程中的现象：
应用于氧化锆材料的表面处理：
| 时间 | 0s | 30s | 60s |
| 接触角(degree) | 78.31±2.39 | 68.78±1.77 | 49.34±4.56 |
在频率为20kHz、电压为Up-p＝6.3kV，从材料表面性能检测及细胞学与分子生物学方面开展相关实验检测。得到的初期结果：应用氦气等离子体处理氧化锆材料表面，随着处理时间的变化，可不同程度地增加材料的亲水性。分子生物学实验结果显示，在该实验条件下，处理60s最有利于成纤维细胞的粘附及增殖，处理30s及60s时，细胞接种后3hr表现出明显的粘附蛋白高表达，而随着培养时间的延长，这种优势便不再明显。实验表明，本发明的低温等离子体射流发生器能有效地改变材料表面性能。
应用于人体脚气治疗：
在频率为18kHz、电压为Up-p＝6.5kV的参数下，对患有严重脚气患者进行治疗。对皮肤糜烂处进行2min处理，处理完成后痒、疼等症状明显减轻，连续治疗3-5天后，症状明显减轻，患处开始蜕皮、好转；对有水疱的患处进行1min的处理，三天后水疱干瘪、蜕皮好转。对比采用药物治疗，初期结果表明，该方法疗效快，且无副作用。
Claims (2)
1.一种大气压低温等离子体射流发生器，其特征在于，是一种达到了实用化的使用可靠的常压介质阻挡放电等离子体发生器，含有外石英玻璃管(1)、喷嘴(2)、外电极(3)、接地线(4)、外壁(5)、弹簧(6)、内电极支撑环(7)、地线固定端(8)、螺母(9)、垫片(10)、接线固定套(11)、接地极插头(12)、高压极插头(13)、中心石英玻璃管(14)、高压传导块(15)、内电极(16)、中心支撑环(17)、电极支撑套(18)、玻璃管支撑固定套(19)、进气管(20)、螺栓(21)，其中：
内电极(16)，呈棒状，两端呈半圆形，位于所述大气压低温等离子体射流发生器的中心轴线上，用钨制成，
中心石英玻璃管(14)，下端封闭，由下而上同轴地紧套在所述内电极(16)外，长度较所述内电极(16)短，
外石英玻璃管(1)，同轴地松套在所述中心石英玻璃管(14)的外周面上，所述外石英玻璃管(1)的开口端与所述中心石英玻璃管(14)下端面形成射流喷口，
外电极(3)，紫铜制成，成空心圆柱状，同轴地套在所述外石英玻璃管(1)的外周面上，所述外电极(3)的下端面位于所述外石英玻璃管(1)的开口端上方，
喷嘴(2)，用聚四氟乙烯材料，下端呈截锥状，同轴地套在所述外电极(3)的外周面上，
所述内电极(16)、中心石英玻璃管(14)、外石英玻璃管(1)、外电极(3)及喷嘴(2)共同构成了电极部分，
外壁(5)，用聚四氟乙烯制成，是一个空心圆柱体，下端是一个向内的凹凸，同轴地扣压在所述喷嘴(2)截锥面的上端面上，
电极支撑套(18)，用聚四氟乙烯制成，是一个空心圆柱体，下端呈截锥状，截锥的下端面同轴地扣压在所述外壁(5)上部的台阶上，所述电极支撑套(18)内凹端面同轴紧扣在所述中心石英玻璃管(14)上端面，
接线固定套(11)，用聚四氟乙烯制成，是一个空心圆柱体，下端是一个内凸的凹口，所述接线固定套(11)的下端面同轴地扣压在所述电极支撑套(18)的外周台阶上，所述接线固定套(11)与电极支撑套(18)用螺栓(21)固定，
所述外壁(5)、电极支撑套(18)和接线固定套(11)自下而上共同连接并组成了一个呈子弹头形状的所述大气压低温等离子体射流发生器的外壳部分，在所述电极支撑套(18)和内电极(16)上端部之间同轴地夹持着一个用紫铜制成的内电极支撑环(7)，
在所述电极支撑套(18)的上端面和位于所述外石英玻璃管(1)上端面以上的内电极(16)之间同轴地紧套着一个玻璃管支撑固定套(19)，所述玻璃管支撑固定套(19)用聚四氟乙烯制成，上端面上开有至少一个贯穿的气孔，同时，所述玻璃管支撑固定套(19)又扣压在所述外石英玻璃管(1)上端面上，从而在一部分所述中心石英玻璃管(14)的外周面和所述玻璃管支撑固定套(19)的上端面以及所述电极支撑套(18)的部分内周面形成一个进气腔，
高压极插头(13)和接地极插头(12)相对而且同轴地通过螺纹***开在所述接线固定套(11)的上端面的凹槽内，所述高压极插头(13)选用标准插头，
高压传导块(15)，偏心地外套在所述高压极插头(13)上，中间用一个所述高压极插头(13)的用来预紧所述高压传导块(15)的第一螺母(91)压住，下端面用第二螺母(92)紧固，所述高压传导块(15)在所述中心轴线的另一侧面在轴向又被所述电极支撑套(18)沿轴向向上***到所述接线固定套(11)下端面内的延伸部分固定，频率在10kHz～30kHz，交流电压在5kV～20kV的功率源的高压端经所述高压极插头(13)、紫铜制的高压传导块(15)、紫铜制的内电极支撑环(7)、施加在所述内电极(16)上，并用位于所述内电极支撑环(7)上端面和所述高压传导块(15)下端面之间的第二弹簧(62)传输到内电极(16)上，
地线固定端(8)，终断面呈形，上部套在所述接地极插头(12)下端，用垫片(10)、第三螺母(93)紧固，接地线(4)的上端从紫铜制的所述地线固定端(8)的底面***，所述接地线(4)的下端沿着开在所述电极支撑套(18)内的线槽向下连接到所述外电极(3)上；在所述外壁(5)上端面和所述地线固定端(8)下端面之间的接地线(4)上同轴缠绕着压紧用的第一弹簧(61)，
所述高压极插头(13)、接地极插头(12)、高压传导块(15)以及地线固定端(8)共同构成了电源接入部分，
中心支撑环(17)，用聚四氟乙烯制成，同轴地从外部紧套在所述中心石英玻璃管(14)的外周面，同轴地从内部紧套在所述外石英玻璃管(1)的内周面，用于保证所述中心石英玻璃管(14)与所述外石英玻璃管(1)同心，所述中心支撑环(17)上端面上开有至少一个贯穿的气孔，保证气路畅通，
进气管(20)，经过所述接线固定端(11)，开在所述电极支撑套(18)的上端面上，工作气体通过所述进气管(20)进入，流入由一部分所述中心石英玻璃管(14)的外周面和所述玻璃管支撑固定套(19)的上端面以及所述电极支撑套(18)的部分内周面所形成的进气腔，经由所述玻璃管支撑固定套(19)内贯穿的气孔，沿轴向进入所述外石英玻璃管(1)和所述中心石英玻璃管(14)之间的区域，构成进气部分；此后，工作气体经由所述中心支撑环(17)内贯穿的气孔，从射流喷口流出。
2.根据权利要求1所述的一种大气压低温等离子体射流发生器的工作气体为：包括氦气、氩气在内的惰性气体以及空气、氮气、氧气及其混合气体。
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