CN104630701B - 沉积装置 - Google Patents

Abstract

本发明一实施例涉及用于将薄膜沉积到基板上的沉积装置，所述沉积装置包括：第一加载部，用于对所述基板与用于沉积第一图案层的掩模进行结合；第一沉积部，与所述第一加载部连接，并用于喷射沉积物质；第一沉积单元，具有用于传送所述基板的第一传送部；以及第一卸载部，与所述第一沉积单元连接，并用于对所述基板与所述用于沉积第一图案层的掩模进行分离，其中所述第一传送部沿着第一方向传送所述基板，并且在沿着与所述第一方向不同的第二方向传送所述基板之后，沿着与所述第一方向和第二方向不同的第三方向传送所述基板。

Description

沉积装置

技术领域

本发明的实施例涉及沉积装置。

背景技术

在显示装置中，有机发光显示装置不仅具有宽视角、优秀的对比度而且还具有快速的响应速度，因此作为次世代显示装置而备受瞩目。

有机发光显示装置具有中间层，该中间层包括彼此相对的第一电极和第二电极以及置于第一电极与第二电极之间的发光层。此时，可以以多种方法形成所述电极和中间层，其中的一种方法为独立沉积方式。为了使用沉积方法制造有机发光显示装置，将精细金属掩模（fine metal mask，简称为FMM）粘附到待形成有机层的基板面上，然后通过沉积有机层等的材料以形成预定图案的有机层，其中精细金属掩模具有与待形成的有机层等的图案相同的图案。

上述的背景技术为发明人以推导本发明为目的而保有的技术信息、或者为在推导本发明的过程中所获得的技术信息，其并不一定属于在申请本发明之前已经向公众公开的公知技术。

发明内容

本发明的实施例提供了沉积装置。

本发明的一实施例涉及用于将薄膜沉积到基板上的沉积装置，所述沉积装置包括：第一加载部，用于将所述基板与用于沉积第一图案层的掩模进行结合；第一沉积单元，与所述第一加载部相连，并且包括用于喷射沉积物质的第一沉积部和用于传送所述基板的第一传送部；以及第一卸载部，与所述第一沉积单元相连，并且用于将所述基板与所述用于沉积第一图案层的掩模进行分离，其中所述第一传送部沿着第一方向传送所述基板，之后沿着与所述第一方向不同的第二方向传送所述基板，然后再沿着与所述第一方向和第二方向不同的第三方向传送所述基板。

在本实施例中，所述沉积装置还可以包括：第一返回部，用于将在所述第一卸载部中被分离的所述用于沉积第一图案层的掩模传送到第一加载部。

在本实施例中，可以以“U”字形态形成所述第一传送部。

在本实施例中，所述第一返回部的长度可以小于所述第一传送部的长度。

在本实施例中，所述沉积装置还可以包括：第二加载部，用于将所述基板与第二图案层沉积用掩模进行结合；第二沉积单元，与所述第二加载部相连，并且包括用于喷射沉积物质的第二沉积部和用于传送所述基板的第二传送部；以及第二卸载部，与所述第二沉积单元相连，并且用于将所述基板与所述第二图案层沉积用掩模进行分离，其中所述第二传送部可以沿着第一方向传送所述基板，之后沿着与所述第一方向不同的第二方向传送所述基板，然后再沿着与所述第一方向和第二方向不同的第三方向传送所述基板。

在本实施例中，所述沉积装置还可以包括：第二返回部，用于将在所述第二卸载部中被分离的所述第二图案层沉积用掩模传送到第二加载部。

在本实施例中，所述沉积装置还可以包括：第一连接部，用于连接所述第一卸载部与所述第二加载部。

在本实施例中，所述沉积装置还可以包括：第三加载部，用于将所述基板与第三图案层沉积用掩模进行结合；第三沉积单元，与所述第三加载部相连，并且包括用于喷射沉积物质的第三沉积部和用于传送所述基板的第三传送部；以及第三卸载部，与所述第三沉积单元相连，并且用于将所述基板与所述第三图案层沉积用掩模进行分离，其中所述第三传送部可以沿着第一方向传送所述基板，之后沿着与所述第一方向不同的第二方向传送所述基板，然后再沿着与所述第一方向和第二方向不同的第三方向传送所述基板。

在本实施例中，所述沉积装置还可以包括：第三返回部，用于将在所述第三卸载部中被分离的所述第三图案层沉积用掩模传送到第三加载部。

在本实施例中，所述沉积装置还可以包括：第二连接部，用于连接所述第二卸载部与所述第三加载部。

在本实施例中，所述第一方向与所述第二方向可以实际上垂直。

在本实施例中，可以由多个腔室构成所述第一传送部，所述腔室是可分离的。

在本实施例中，第一沉积部可以包括用于形成红色发光层、绿色发光层、蓝色发光层中任一种层的沉积物质。

在本实施例中，第二沉积部可以包括用于形成红色发光层、绿色发光层、蓝色发光层中任一种层的沉积物质，其中所述沉积物质与用于在所述第一沉积部中形成层的沉积物质不同。

在本实施例中，第三沉积部可以包括用于形成红色发光层、绿色发光层、蓝色发光层中任一种层的沉积物质，其中所述沉积物质与用于在所述第一沉积部和所述第二沉积部中形成层的沉积物质不同。

通过下面的附图、所附权利要求书和发明的详细说明，上述方面、特征和效果以外的其他方面、特征和效果将变得明确。

通过本发明实施例的沉积装置，可以改善空间效率和制造效率。

附图说明

图1是根据本发明一实施例的沉积装置的***结构的简要平面示意图。

图2是图1的第一沉积部的***结构的简要立体示意图。

图3是图1的第一沉积部的***结构的简要概念示意图。

图4是根据本发明另一实施例的沉积装置的***结构的简要平面示意图。

图5是使用图1的沉积装置制造的有源矩阵型有机发光显示装置的局部剖面图。

附图标记说明

5：图案层沉积用掩模 50：基板

100、100′′：第一沉积组件 110：第一加载部

120：第一沉积单元 130：第一传送部

134：旋转部

135′、235′、335′：延伸沉积单元

140：第一沉积部 150：第一卸载部

160：第一返回部 200、200′：第二沉积组件

210：第二加载部 220：第二沉积单元

230：第二传送部 240：第二沉积部

250：第二卸载部 260：第二返回部

300、300′：第三沉积组件 310：第三加载部

320：第三沉积单元 330：第三传送部

340：第三沉积部 350：第三卸载部

360：第三返回部 1000,2000：沉积装置

具体实施方式

本发明可以有多种变形并且可以具有多种实施例，其中将特定实施例图示在附图中并通过详细说明对特定实施例进行了说明。通过参照附图以及详细后述的实施例，可以明确本发明的效果和特征、以及实现该效果和特点的方法。但是本发明并不限定于下面所公开的实施例，而是可以以多种形态实施本发明。在下面的实施例中，“第一”、“第二”等术语并不具有限定性含义，其使用目的在于将一个构件区别于另一构件。此外，除非另有明确说明，则单数的表述包括复数的表述。此外，“包括”或“具有”等术语是指存在说明书中所记载的特征或构件，而不是提前排除了附加一个以上的其他特征或构件的可能性。此外，在附图中为了便于说明，构件的大小可以被放大或缩小。例如，为了便于说明，可以以任意地示出了附图的各构件的大小和厚度，且本发明并不是必须限定于附图所示的情形。

下面将参照附图对本发明的实施例进行详细说明，其中对于相同或对应的构件赋予了相同的附图标记，并且将省略对此进行的重复说明。

图1是根据本发明一实施例的沉积装置的***结构的简要平面示意图，图2是图1的第一沉积部的***结构的简要立体示意图，图3是图1的第一沉积部的***结构的简要概念示意图。

参照图1至图3，根据本发明一实施例的沉积装置1000包括第一沉积组件100、第二沉积组件200、第三沉积组件300、入口部10、出口部20、第一连接部30和第二连接部40。

第一沉积组件100包括第一加载部110、第一沉积单元120、第一卸载部150和第一返回部160。

在第一加载部110中，将从入口部10导入的基板50与用于沉积第一图案层的掩模进行结合。具体地，将用于沉积第一图案层的掩模粘附结合到基板50的待沉积的表面，从而通过形成在用于沉积第一图案层的掩模中的图案将沉积物质沉积到基板50上。

第一沉积单元120包括用于传送基板50的第一传送部130，和用于收容和加热沉积物质并喷射沉积物质的第一沉积部140。第一沉积单元120与第一加载部110的一侧相连，从而用于从第一加载部110接收基板50并且将预定的沉积物质沉积到基板50上。

第一传送部130可以包括第一方向传送部131、第二方向传送部132和第三方向传送部133，各个传送部可以形成为多个腔室。用于指示基板的移动方向的第一方向A、第二方向B和第三方向C分别可以表示不同方向。例如，第一方向A与第二方向B可以垂直，第二方向B与第三方向C也可以垂直，而第一方向A与第三方向C可以朝着反方向彼此平行。此外，通过第一方向传送部131、第二方向传送部132和第三方向传送部133的结合，可以以“U”字形态形成第一传送部130。在本发明一实施例中，虽然图示了沿着第一方向、第二方向和第三方向传送基板，但是本发明的思想并不限于此，而是可以根据第一传送部130的结构或第一沉积单元120的配置改变基板50的传送方向，或者改变根据方向的传送部的数量。

虽然图示了以辊形态形成第一传送部130，从而通过辊的旋转驱动将结合有用于沉积第一图案层的掩模的基板50予以传送，但是本发明的思想并不限于此，只要是能够直线移动结合有用于沉积第一图案层的掩模的基板50的多种部件，诸如线性电机引导部（linear motor guide）、磁浮部件等，都可以用作第一传送部130。

为了在沿着第一方向传送部131传送基板50后将基板50传送到第二方向传送部132，第一传送部130可以包括第一旋转部134a。此外，为了在沿着第二方向传送部132传送基板50后将基板50传送到第三方向传送部133，第一传送部130可以包括第二旋转部134b。可以由用于改变基板50的移动方向的部件形成旋转部134。例如，可以以辊形态或磁浮部件形成旋转部134以改变基板50的移动方向。此外，可以以机器人结构形成旋转部134以变更基板50的移动方向。

在第一沉积部140中，通过喷嘴（未图示）喷射沉积物质，并且随着沉积物质被气化而在基板50上实施了沉积。此外，作为沉积物质，可以收容用于形成有机发光显示装置的有机层（发光层等）的有机物质。其中，优选地，第一沉积部140的所有结构维持适当的真空度。这将有助于确保物质的直进性。

在第一沉积部140中，包含沉积物质的多个沉积腔室（例如，第一沉积腔室141、第二沉积腔室142…第九沉积腔室149）被设置在第一传送部130的下部。虽然设置了诸如第一沉积腔室141、第二沉积腔室142～第九沉积腔室149的共九个沉积腔室，但是可以根据沉积物质和沉积条件而改变沉积腔室的数量。

在第一卸载部150中，将经由第一沉积单元120期间完成沉积的基板50与用于沉积第一图案层的掩模进行分离。或者，可以省略在第一卸载部150中将基板50与用于沉积第一图案层的掩模进行分离的工艺，以对经由第一沉积单元120期间经沉积的基板50进行再沉积。

第一返回部160可以用于将与经由第一沉积单元120期间完成沉积的基板50进行分离的用于沉积第一图案层的掩模回送给第一加载部110。此外，第一返回部160可以用于将在第一卸载部150中未与用于沉积第一图案层的掩模进行分离的基板50回送给第一加载部110，以对经由第一沉积单元120期间经沉积的基板50进行再沉积。由可传送基板50的部件形成第一返回部160。例如，可以由辊形状的结构、摆渡结构、或者机器人形态的结构形成第一返回部160。

根据第一加载部110与第一卸载部150之间的距离确定第一返回部160的长度。即，因为第一返回部160用于将基板50或用于沉积第一图案层的掩模从第一卸载部150回送给第一加载部110，所以第一返回部160的长度取决于第一加载部110与第一卸载部150之间的距离。

此外，因为第一加载部110与第一卸载部150是通过第一沉积单元120进行连接的，所以第一返回部160的长度取决于第一沉积单元120的设置。当第一沉积单元120的第一传送部130仅仅以同轴（IN-LINE）方式形成的情况下，则第一传送部130的长度与第一返回部160的长度相同。因此，为了将基板50或用于沉积第一图案层的掩模从第一卸载部150回送给第一加载部110，使得第一返回部160的长度变得更长。

当具有从第一加载部110开始传送基板50并沿着第一传送部重新返回第一加载部110的结构的情况下，第一返回部160的长度变得更短。具体地，当第一沉积单元120的第一传送部130包括第一方向传送部131、第二方向传送部132和第三方向传送部133、并且以彼此不同的方向或以“U”字形态形成第一方向传送部131、第二方向传送部132和第三方向传送部133的情况下，因为第一加载部110与第一卸载部150之间的距离变短，所以第一返回部160的长度变短。

例如，如图1所示，当以平行的方式设置第一方向传送部131和第三方向传送部133的情况下，则第一返回部160的长度与第二方向传送部132的长度相同。

第二沉积组件200包括第二加载部210、第二沉积单元220、第二卸载部250、第二返回部260，而第二沉积单元220包括第二传送部230和第二沉积部240。因为第二沉积组件200的设置与第一沉积组件100的设置相同或相似，所以将省略或简述与上述说明相同或相似的部分。

第二加载部210的一侧通过第一连接部30与第一卸载部150相连，第二加载部210的另一侧与第二沉积单元220相连。沿着第一连接部30将在第一卸载部150中与用于沉积第一图案层的掩模分离的基板50导入到第二加载部210。在第二加载部210中将第二图案层沉积用掩模与基板50进行结合。具体地，将第二图案层沉积用掩模粘附结合到基板50的待沉积的表面，从而通过形成在第二图案层沉积用掩模中的图案将沉积物质沉积到基板50上。

第二卸载部250将经由第二沉积单元220期间完成沉积的基板50与第二图案层沉积用掩模进行分离。或者，可以省略在第二卸载部250中将基板50与第二图案层沉积用掩模进行分离的工艺，以对经由第二沉积单元220期间经沉积的基板50进行再沉积。

第二返回部260可以用于将与经由第二沉积单元220期间完成沉积的基板50进行分离的第二图案层沉积用掩模回送给第二加载部210。此外，第二返回部260可以用于将在第二卸载部250中未与第二图案层沉积用掩模进行分离的基板50回送给第二加载部210，以对经由第二沉积单元220期间经沉积的基板50进行再沉积。

第三沉积组件300包括第三加载部310、第三沉积单元320、第三卸载部250和第三返回部360，而第三沉积单元320包括第三传送部330和第三沉积部340。因为第三沉积组件300的设置与第一沉积组件100或第二沉积组件200的设置相同或相似，所以将省略或简述与上述说明相同或相似的部分。

第三加载部310的一侧通过第二连接部40与第二卸载部250相连，第三加载部310的另一侧与第三沉积单元320相连。沿着第二连接部40将在第二卸载部250中与第二图案层沉积用掩模分离的基板50导入到第三加载部310。在第三加载部310中对第三图案层沉积用掩模与基板50进行结合。具体地，将第三图案层沉积用掩模粘附结合到基板50的待沉积的表面，从而通过形成在第三图案层沉积用掩模中的图案将沉积物质沉积到基板50上。

第三卸载部350将经由第三沉积单元320期间完成沉积的基板50与第三图案层沉积用掩模进行分离。或者，可以省略在第三卸载部350中将基板50与第三图案层沉积用掩模进行分离的工艺，以对经由第三沉积单元320期间经沉积的基板50进行再沉积。

第三返回部360可以用于将与经由第三沉积单元320期间完成沉积的基板50进行分离的第三图案层沉积用掩模回送给第三加载部310。此外，第三返回部360可以用于将在第三卸载部350中未与第三图案层沉积用掩模进行分离的基板50回送给第三加载部310，以对经由第三沉积单元320期间经沉积的基板50进行再沉积。

通过出口部20将在第三卸载部350中与第三图案层沉积用掩模进行分离的、完成沉积的基板50排出。

图4是根据本发明另一实施例的沉积装置的***结构的简要平面示意图。

参照图4，根据本发明另一实施例的沉积装置2000可以包括第一沉积组件100′、第二沉积组件200′和第三沉积组件300′。根据本发明另一实施例的沉积装置2000是在上述的根据本发明一实施例的沉积装置1000基础上进一步包括延伸沉积单元135′的沉积装置。因此，将省略或简述与上述说明相同或相似的部分。

以可分离的多个腔室形成第一传送部130′。在本发明的另一实施例中，第一方向传送部131′和第三方向传送部133′分别包括三个腔室，第二方向传送部132′包括一个腔室。因为所述腔室分别可进行分离，所以可以在第一传送部130′中添加或减少待沉积的沉积物质。

即，为了添加新的沉积物质，可以将用于形成第一传送部130′的腔室进行分离，在添加包含新的沉积物质的延伸沉积单元135′之后进行重新连接，从而形成第一传送部130′。此外，为了去除现有的沉积物质，可以将包含待去除的沉积物质的腔室进行去除之后进行重新连接并形成第一传送部130′。

例如，可以对第一传送部130′的第一方向传送部131′与旋转部134a′进行分离以添加延伸沉积单元135′。此外，可以对第一传送部130′的第三方向传送部133′与旋转部134b′进行分离以添加延伸沉积单元135′。

在第二传送部230′和第三传送部330′中也可以添加包含新的沉积物质的延伸沉积单元235′、延伸沉积单元335′，可以去除包含沉积物质的腔室以去除现有的沉积物质。因为这与上述说明相同或相似，所以将省略其详细说明。

图5是使用图1的沉积装置制造的有源矩阵型有机发光显示装置的局部剖面图。

参照图5，基板50上形成有有机发光显示装置的各种构件。可以由透明材料形成基板50，例如可以由玻璃材料、塑料材料或金属材料形成基板50。

在基板50上，诸如缓冲层51、栅极绝缘膜53、层间绝缘膜55等的公共层可以被形成在基板50的整个面上，包括沟道区域52a、源极接触区域52b和漏极接触区域52c的、被图案化的半导体层52也可以被形成在基板50上，与这种图案化的半导体层一同构成薄膜晶体管TFT构件的栅极电极54、源极电极56和漏极电极57可以被形成在基板50上。

此外，用于覆盖这种薄膜晶体管TFT的保护膜58、和位于保护膜58上并且上表面大致平坦的平坦化膜59可以被形成在基板50的整面上。

有机发光元件（OLED）可以被形成在这种平坦化膜59上，有机发光元件（OLED）包括图案化的像素电极61、与像素电极61对应的相对电极62、以及设置在像素电极61与相对电极62之间并且包括发光层的多层结构的中间层63。像素电极61可以通过通孔与薄膜晶体管TFT电连接。当然，像素限定膜60可以以大致地与基板50的整个面对应的方式形成在平坦化膜59上，其中像素限定膜60用于覆盖像素电极61的边缘位置并且具有用于定义各像素区域的开口。

例如，可以通过使用上述实施例的沉积装置形成中间层63。例如，可以通过使用上述实施例的沉积装置形成可包括于中间层63的空穴注入层（Hole Injection Layer，简称为HIL）、空穴传输层（Hole Transport Layer，简称为HTL）、发光层（Emission Layer，简称为EML）、电子传输层（Electron Transport Layer，简称为ETL）、电子注入层（ElectronInjection Layer，简称为EIL）等。

通过使用图1和图2中所示的沉积装置1000制造有机发光显示装置的方法如下。

图2所示的九个沉积腔室分别可用于沉积中间层，其中该中间层包含用于使有机发光显示装置发出红色光的发光物质。

作为设置九个沉积腔室的一示例，第一沉积腔室141和第二沉积腔室142可以包含用于空穴注入层（Hole Injection Layer，简称为HIL）的沉积物质，第三沉积腔室143和第四沉积腔室144以及第五沉积腔室145可以包含用于空穴传输层（Hole Transport Layer，简称为HTL）的沉积物质，第六沉积腔室146可以包含用于红色发光层的沉积物质，第七沉积腔室147和第八沉积腔室148可以包含用于电子传输层（Electron Transport Layer，简称为ETL）的沉积物质，第九沉积腔室149可以包含用于电子注入层（Electron InjectionLayer，简称为EIL）的沉积物质。当然，可以以多种方式变更如上所述的沉积腔室的设置。此外，不用于沉积的沉积腔室可以不填充有沉积物质。

此外，可以由九个沉积腔室形成第二沉积部以用于沉积中间层，其中该中间层包含用于使有机发光显示装置发出绿色光的发光物质。此时，第二沉积部的第六沉积腔室（未图示）可以是用于绿色发光层的沉积物质的沉积腔室。

此外，可以由九个沉积腔室形成第三沉积部以用于沉积中间层，其中该中间层包含用于使有机发光显示装置发出蓝色光的发光物质。此时，第三沉积部的第六沉积腔室（未图示）可以是用于蓝色发光层的沉积物质的沉积腔室。

在第一加载部中，将通过入口部10导入的基板50与用于沉积第一图案层的掩模进行结合。即，将基板50与用于沉积第一图案层的掩模进行对齐并结合，从而以形成在用于沉积第一图案层的掩模中的图案将用于红色发光层的沉积物质沉积到基板50上。

将基板50传送到第一沉积单元120的第一传送部130，并且将从设置于第一传送部130下部的第一沉积部140的九个沉积腔室中喷射的沉积物质沉积到基板50上。此时，通过经由包含用于红色发光层的沉积物质的第六沉积腔室146而使得用于红色发光层的沉积物质沉积到基板上，从而形成用于发出红色光的中间层。

在第一卸载部150中，将基板50与用于沉积第一图案层的掩模进行分离，通过第一连接部30将基板50传送到第二加载部210，通过第一返回部160将用于沉积第一图案层的掩模回送给第一加载部110。

在第二加载部210中，将基板50与第二图案层沉积用掩模进行结合。即，将基板50与第二图案层沉积用掩模进行对齐并结合，从而以形成在用于沉积第二图案层的掩模中的图案将用于绿色发光层的沉积物质沉积到基板50上。

将基板50传送到第二沉积单元220的第二传送部230，并且将从设置于第二传送部230下部的第二沉积部240的九个沉积腔室中喷射的沉积物质沉积到基板50上。此时，通过经由包含用于绿色发光层的沉积物质的、第二沉积部240的第六沉积腔室（未图示）而使得用于绿色发光层的沉积物质沉积到基板上，从而形成用于发出绿色光的中间层。

在第二卸载部250中，将基板50与第二图案层沉积用掩模进行分离，通过第二连接部40将基板50传送到第三加载部310，通过第二返回部260将第二图案层沉积用掩模回送给第二加载部210。

在第三加载部310中，将基板50与第三图案层沉积用掩模进行结合。即，将基板50与第三图案层沉积用掩模进行对齐并结合，从而以形成在用于沉积第三图案层的掩模中的图案将用于蓝色发光层的沉积物质沉积到基板50上。

将基板50传送到第三沉积单元320的第三传送部330，并且将从设置于第三传送部330下部的第三沉积部340的九个沉积腔室中喷射的沉积物质沉积到基板50上。此时，通过经由包含用于蓝色发光层的沉积物质的、第三沉积部340的第六沉积腔室（未图示）而使得用于蓝色发光层的沉积物质沉积到基板上，从而形成用于发出蓝色光的中间层。

在第三卸载部350中，将基板50与第三图案层沉积用掩模进行分离，然后将基板50传送到出口部20，通过第三返回部360将第三图案层沉积用掩模返送到第三加载部310。

因此，可以通过图1和图2所示的、根据本发明一实施例的沉积装置1000，使用图案层沉积用掩模5制造包括分别用于发出红色、绿色和蓝色光的多个子像素的RGB方式的有机发光显示装置。

如上所述，根据发光层中所发出的光的颜色使用图案层沉积用掩模5，当将沉积物质沉积到基板50上时，可以最小化掩模5的种类和掩模5与基板50结合的次数从而可以削减运行成本并且提高沉积设备的利用率和产量。此外，因为根据图案层沉积用掩模5改变图案的形状和图案的大小，所以可以灵活地运行沉积设备。

如上所述，通过以U字形形成用于沉积沉积物质的传送部（例如，传送部130、传送部230、传送部330），可以最小化返回区间从而确保沉积装置的有效设置空间。此外，不同于以往的内嵌式设备或集群式沉积设备，在以后需要添加沉积物质时可以通过分离传送部（例如，传送部130、传送部230、传送部330）并添加包含需要添加的沉积物质的沉积腔室，从而可以灵活地应对设备运行所需的环境变化。

虽然已参照附图所示的一实施例对本发明进行了说明，但是这仅仅是示例性的，本发明所属技术领域的普通技术人员应该理解可以由此对本发明进行多种变形或对实施例进行变形。因此，本发明真正的技术保护范围应该由所附权利要求书的技术思想范围进行定义。

Claims (14)

1.一种沉积装置，用于将薄膜沉积到基板上，所述沉积装置包括：

第一加载部，用于将所述基板与用于沉积第一图案层的掩模进行结合；

第一沉积单元，与所述第一加载部相连，并且包括用于喷射沉积物质的第一沉积部和用于传送所述基板的第一传送部；以及

第一卸载部，与所述第一沉积单元相连，并且用于将所述基板与所述用于沉积第一图案层的掩模进行分离，

其中所述第一传送部沿着第一方向传送所述基板，之后沿着与所述第一方向不同的第二方向传送所述基板，然后再沿着与所述第一方向和第二方向不同的第三方向传送所述基板，

其中，所述沉积装置还包括：

第一返回部，用于将在所述第一卸载部中被分离的所述用于沉积第一图案层的掩模传送到第一加载部，

其中所述第一返回部的长度小于所述第一传送部的长度。

2.如权利要求1所述的沉积装置，其中

所述第一传送部是“U”字形态。

3.如权利要求1所述的沉积装置，其中

所述第一方向与所述第二方向垂直。

4.如权利要求1所述的沉积装置，其中

所述第一传送部包括多个腔室，所述腔室是可分离的。

5.一种沉积装置，用于将薄膜沉积到基板上，所述沉积装置包括：

第一加载部，用于将所述基板与用于沉积第一图案层的掩模进行结合；

第一沉积单元，与所述第一加载部相连，并且包括用于喷射沉积物质的第一沉积部和用于传送所述基板的第一传送部；以及

第一卸载部，与所述第一沉积单元相连，并且用于将所述基板与所述用于沉积第一图案层的掩模进行分离，

其中所述第一传送部沿着第一方向传送所述基板，之后沿着与所述第一方向不同的第二方向传送所述基板，然后再沿着与所述第一方向和第二方向不同的第三方向传送所述基板，

其中所述沉积装置还包括：

第二加载部，用于将所述基板与第二图案层沉积用掩模进行结合；

第二沉积单元，与所述第二加载部相连，并且包括用于喷射沉积物质的第二沉积部和用于传送所述基板的第二传送部；

第二卸载部，与所述第二沉积单元相连，并且用于将所述基板与所述第二图案层沉积用掩模进行分离，以及

第二返回部，用于将在所述第二卸载部中被分离的所述第二图案层沉积用掩模传送到所述第二加载部，

其中所述第二传送部沿着所述第一方向传送所述基板，之后沿着与所述第一方向不同的所述第二方向传送所述基板，然后再沿着与所述第一方向和第二方向不同的所述第三方向传送所述基板。

6.如权利要求5所述的沉积装置，还包括：

第一连接部，用于连接所述第一卸载部与所述第二加载部。

7.如权利要求5所述的沉积装置，还包括：

第三加载部，用于将所述基板与第三图案层沉积用掩模进行结合；

第三沉积单元，与所述第三加载部相连，并且包括用于喷射沉积物质的第三沉积部和用于传送所述基板的第三传送部；以及

第三卸载部，与所述第三沉积单元相连，并且用于将所述基板与所述第三图案层沉积用掩模进行分离，

其中所述第三传送部沿着所述第一方向传送所述基板，之后沿着与所述第一方向不同的所述第二方向传送所述基板，然后再沿着与所述第一方向和第二方向不同的所述第三方向传送所述基板。

8.如权利要求7所述的沉积装置，还包括：

第三返回部，用于将在所述第三卸载部中被分离的所述第三图案层沉积用掩模传送到所述第三加载部。

9.如权利要求7所述的沉积装置，还包括：

第二连接部，用于连接所述第二卸载部与所述第三加载部。

10.如权利要求5所述的沉积装置，其中

所述第一方向与所述第二方向垂直。

11.如权利要求5所述的沉积装置，其中

所述第一传送部包括多个腔室，所述腔室是可分离的。

12.如权利要求7所述的沉积装置，其中

第一沉积部包括用于形成红色发光层、绿色发光层、蓝色发光层中任一种层的沉积物质。

13.如权利要求7所述的沉积装置，其中

第二沉积部包括用于形成红色发光层、绿色发光层、蓝色发光层中任一种层的沉积物质，其中用于在所述第二沉积部中形成层的所述沉积物质与用于在所述第一沉积部中形成层的沉积物质不同。

14.如权利要求7所述的沉积装置，其中

第三沉积部包括用于形成红色发光层、绿色发光层、蓝色发光层中任一种层的沉积物质，其中用于在所述第三沉积部中形成层的所述沉积物质与用于在所述第一沉积部和所述第二沉积部中形成层的沉积物质不同。