CN104375709B - 触控电极及其制作方法、触摸屏、显示装置 - Google Patents

触控电极及其制作方法、触摸屏、显示装置 Download PDF

Info

Publication number
CN104375709B
CN104375709B CN201410725283.6A CN201410725283A CN104375709B CN 104375709 B CN104375709 B CN 104375709B CN 201410725283 A CN201410725283 A CN 201410725283A CN 104375709 B CN104375709 B CN 104375709B
Authority
CN
China
Prior art keywords
control electrode
touch control
touch
graphene
screen
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201410725283.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN104375709A (zh
Inventor
杨久霞
白峰
刘建涛
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BOE Technology Group Co Ltd
Beijing BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Original Assignee
BOE Technology Group Co Ltd
Beijing BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by BOE Technology Group Co Ltd, Beijing BOE Optoelectronics Technology Co Ltd filed Critical BOE Technology Group Co Ltd
Priority to CN201410725283.6A priority Critical patent/CN104375709B/zh
Publication of CN104375709A publication Critical patent/CN104375709A/zh
Priority to US14/799,449 priority patent/US20160162086A1/en
Application granted granted Critical
Publication of CN104375709B publication Critical patent/CN104375709B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G06F3/0412—Digitisers structurally integrated in a display
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
    • C01B32/15—Nano-sized carbon materials
    • C01B32/182—Graphene
    • C01B32/194—After-treatment
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/26—Deposition of carbon only
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F2203/00—Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
    • G06F2203/041—Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
    • G06F2203/04103—Manufacturing, i.e. details related to manufacturing processes specially suited for touch sensitive devices

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)

Abstract

本发明实施例公开了一种触控电极及其制作方法、触摸屏、显示装置，涉及显示技术领域，可降低触控电极的方块电阻，从而可提高触摸屏的灵敏度。该触控电极的材质包括掺杂石墨烯。

Description

触控电极及其制作方法、触摸屏、显示装置
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种触控电极及其制作方法、触摸屏、显示装置。
背景技术
通常，显示装置包括触摸屏，以实现无需安装机械式的按钮面板，仅通过触摸显示装置的显示屏幕即可操作显示装置。其中，触摸屏包括触控电极，常见的触控电极的材质为氧化铟锡和金属网格。
发明人发现，在使用上述材质制作触控电极时，触控电极的方块电阻较高，使得制成的触摸屏的灵敏度较低，因而用户需多次触摸显示屏幕才可操作显示装置，从而会降低触摸屏的使用寿命，并且用户体验较差。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于提供一种触控电极及其制作方法、触摸屏、显示装置，可降低触控电极的方块电阻，从而可以提高触摸屏的灵敏度。
为解决上述技术问题，本发明提供了一种触控电极采用如下技术方案：
一种触控电极，所述触控电极的材质包括掺杂石墨烯。
所述掺杂石墨烯的掺杂材质包括氯化铝和/或碘化锌。
所述触控电极包括至少一层掺杂石墨烯。
所述触控电极还包括位于所述掺杂石墨烯一面上的至少一层石墨烯，以及位于所述掺杂石墨烯另一面上的一层石墨烯。
本发明实施例提供了一种触控电极，该触控电极的材质包括掺杂石墨烯，由于掺杂石墨烯中的掺杂材质可增加触控电极中电荷的浓度，因而可增加触控电极的电导率，从而降低触控电极的方块电阻，提高触摸屏的灵敏度，进而可增加触摸屏的使用寿命，并且改善用户体验。
本发明实施例还提供了一种触摸屏，所述触摸屏包括以上任一项所述的触控电极。
所述触摸屏可弯曲。
本发明实施例还提供了一种显示装置，所述显示装置包括以上所述的触摸屏。
所述显示装置的至少两个相邻的表面上连续设置有所述触摸屏。
本发明所要解决的另一个技术问题在于提供了一种触控电极的制作方法，该方法包括：
在基板上形成包括触控电极的图形，所述触控电极的材质包括掺杂石墨烯。
所述在基板上形成包括触控电极的图形，包括以下步骤：
在基板上形成一层石墨烯；
对所述石墨烯进行掺杂，形成一层掺杂石墨烯；
重复上述步骤N-1次，以在所述基板上形成N层掺杂石墨烯，其中N为大于等于1的正整数；
经过构图工艺形成包括触控电极的图形。
所述在基板上形成包括触控电极的图形，包括以下步骤：
在基板上形成具有包括触控电极的图形的一层石墨烯；
对所述石墨烯进行掺杂，形成一层掺杂石墨烯；
重复上述步骤N-1次，以在所述基板上形成N层掺杂石墨烯，其中N为大于等于1的正整数。
所述在基板上形成包括触控电极的图形，包括以下步骤：
在基板上形成具有包括触控电极的图形的至少两层石墨烯；
对距离所述基板最远的一层石墨烯进行掺杂，形成一层掺杂石墨烯；
在形成了所述掺杂石墨烯的所述基板上，形成具有包括触控电极的图形的一层石墨烯。
所述对所述石墨烯进行掺杂，包括：通过真空蒸镀的方法对所述石墨烯进行掺杂。
所述真空蒸镀的蒸镀腔室在室温时的真空度为10-4托以上，所述真空蒸镀的蒸镀温度为150℃～500℃。
本发明实施例提供了一种触控电极的制作方法，该方法包括：在基板上形成包括触控电极的图形，触控电极的材质包括掺杂石墨烯，由于掺杂石墨烯中的掺杂材质可增加触控电极中电荷的浓度，因而可增加触控电极的电导率，从而可降低触控电极的方块电阻，提高触摸屏的灵敏度，进而可增加触摸屏的使用寿命，并且改善用户体验。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例中第一种触控电极的截面示意图；
图2为本发明实施例中第二种触控电极的截面示意图；
图3为本发明实施例中触控电极的第一种制作方法流程图；
图4为本发明实施例中触控电极的第二种制作方法流程图；
图5为本发明实施例中触控电极的第三种制作方法流程图。
附图标记说明：
1—掺杂石墨烯； 2—基板； 3—石墨烯。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例一
本发明实施例提供了一种触控电极，该触控电极的材质包括掺杂石墨烯。其中，掺杂石墨烯中的掺杂材质可增加触控电极中电荷的浓度，使得触控电极的电导率增加，并且由于电导率的大小与方块电阻的大小呈反比，因而可降低触控电极的方块电阻，提高触摸屏的灵敏度。举例而言，在触控电极的光线透过率相同时，材质包括石墨烯的触控电极的方块电阻为120Ω，而材质包括掺杂石墨烯的触控电极的方块电阻为10Ω以下。
具体地，掺杂石墨烯的掺杂材质可为氯化铝和碘化锌中的一种或两种，也可为其他可增加触控电极中电荷浓度但不会降低触控电极光线透过率的材质。
为了便于本领域技术人员理解，本发明实施例提供了两种触控电极的具体结构。
第一种结构，触控电极包括至少一层掺杂石墨烯。示例性地，如图1所示，触控电极包括五层掺杂石墨烯1，以及基板2等其他组件。当触控电极中掺杂石墨烯1的层数增加时，触控电极中电荷的浓度增加，因而触控电极的方块电阻减小。因此，可通过改变触控电极中掺杂石墨烯1的层数获得具有不同方块电阻的触控电极。
具有上述结构的触控电极可以应用于On-cell、In-cell、Out-cell和OGS模式的显示装置中，其中，On-cell模式中，触控电极嵌入到显示装置的彩色滤光片和偏光片之间；In-cell模式中，触控电极嵌入到液晶分子层和阵列基板之间；Out-cell模式中，触控电极设置于显示装置外侧；OGS模式中，触控电极直接形成于保护玻璃上。在On-cell、In-cell、Out-cell和OGS模式中，对触控电极的方块电阻的需求不同，因而可通过在具有第一种结构的触控电极中设置不同层数的掺杂石墨烯1，以适应上述四种模式中对触控电极方块电阻的不同需求。
第二种结构，触控电极除包括至少一层掺杂石墨烯1之外，还包括位于掺杂石墨烯1一面上的至少一层石墨烯3，以及位于掺杂石墨烯1另一面上的一层石墨烯3。示例性地，如图2所示，触控电极包括依次位于基板2上的三层石墨烯3、一层掺杂石墨烯1和一层石墨烯3。其中，位于石墨烯3上的一层掺杂石墨烯1可增加触控电极中电荷的浓度，因而可减小触控电极的方块电阻，但是由于这一层掺杂石墨烯1中的掺杂材质的分布可能不均匀，使得触控电极某一位置处的电荷浓度大于另一位置处的电荷浓度，因而为减少触控电极中不同位置处电荷浓度不同对方块电阻产生的影响，可在掺杂石墨烯1上增加一层石墨烯3，以使不同位置处的电荷浓度之间的差值减小，从而可在减小触控电极的方块电阻的同时不会对方块电阻产生影响。
在第二种结构中，由于触控电极包括多层石墨烯，因而当触控电极包括的材质的层数相同时，具有第二种结构的触控电极的方块电阻大于具有第一种结构的触控电极的方块电阻，此时，具有第二种结构的触控电极可适用于对触控电极的方块电阻要求不高的On-cell等模式。
在上述两种结构中，当触控电极包括的材质的层数相同时，由于具有第一种结构的触控电极仅包括至少一层掺杂石墨烯1，因而具有第一种结构的触控电极的方块电阻小于具有第二种结构的触控电极的方块电阻，使得使用具有第一种结构的触控电极的触摸屏的灵敏度更高；并且当限制触控电极所包括的材质的层数时，具有第一种结构的触控电极的方块电阻的变化范围较大，应用范围更广，因而本发明实施例中优选具有第一种结构的触控电极，即触控电极由至少一层掺杂石墨烯1组成。
本发明实施例提供了一种触控电极，该触控电极的材质包括掺杂石墨烯，由于掺杂石墨烯中的掺杂材质可增加触控电极中电荷的浓度，因而可增加触控电极的电导率，从而可降低触控电极的方块电阻，提高触摸屏的灵敏度，进而可增加触摸屏的使用寿命，并且改善用户体验。
此外，本发明实施例还提供了一种触摸屏，该触摸屏包括以上实施方式中的触控电极。具体地，触摸屏可包括一层或两层触控电极，当触摸屏包括两层触控电极时，两层触控电极之间具有绝缘层。其中，触控电极的材质包括掺杂石墨烯1，由于石墨烯3具有柔性，使得掺杂石墨烯1同样具有柔性，因而当触摸屏包括的其他组件如基板2具有柔性时，该触摸屏具有柔性，可弯曲，此时触摸屏可用于柔性显示装置如电子纸，可穿戴显示装置中，还可用于其他可弯曲的装置中。
此外，本发明实施例还提供了一种显示装置，该显示装置包括以上实施方式中的触摸屏。该显示装置可以为液晶面板、平板电脑、电视机、显示器、笔记本电脑等任何具有显示功能的可弯曲和不可弯曲的产品或部件。
具体地，由于触摸屏可弯曲，因而显示装置的至少两个相邻的表面上可连续设置有触摸屏。当设置于显示装置正面的触摸屏的控制软件与设置于显示装置侧面或背面的触摸屏的控制软件不同时，可以无需点亮位于显示装置正面的显示屏幕即可操作显示装置，因而可以节约能耗，延长显示装置的续航时间。并且，将触摸屏设置于显示装置的侧面或背面，可减少设置于显示装置正面的触控键的数量，从而可以增大显示屏幕的有效显示面积。
实施例二
本发明实施例提供了一种用以制作实施例一中所述的触控电极的制作方法，该制作方法包括：在基板上形成包括触控电极的图形，该触控电极的材质包括掺杂石墨烯。
具体地，本发明实施例提供了三种在基板上形成包括触控电极的图形的具体制作方法：
第一种制作方法，如图3所示，包括以下步骤：
S301、在基板上形成一层石墨烯。
具体地，可直接在基板上贴附一层石墨烯薄膜，也可以通过化学气相沉积的方法在基板上形成一层石墨烯。
S302、对上述石墨烯进行掺杂，形成一层掺杂石墨烯。
S303、将步骤S301和步骤S302重复N-1次，以在基板上形成N层掺杂石墨烯，其中N为大于等于1的整数。
具体地，可根据On-cell、In-cell、Out-cell和OGS模式中对触控电极的方块电阻的需求，确定N的值。
S304、经过构图工艺形成包括触控电极的图形。
第二种制作方法，如图4所示，包括以下步骤：
S401、在基板上形成具有包括触控电极的图形的一层石墨烯。
具体地，可直接在基板上贴附具有包括触控电极的图形的一层石墨烯薄膜；也可通过化学气相沉积的方法在基板上形成一层石墨烯后，再经过构图工艺形成包括触控电极的图形，还可为通过其他方法在基板上形成具有包括触控电极的图形的一层石墨烯，本发明对此不作具体限定。
S402、对石墨烯进行掺杂，形成一层掺杂石墨烯。
S403、将步骤S401和步骤S402重复N-1次，以形成N层掺杂石墨烯，其中N为大于或等于1的正整数。
具体地，可根据On-cell、In-cell、Out-cell和OGS模式中对触控电极的方块电阻的需求，确定N的值。
第三种制作方法，如图5所示，包括以下步骤：
S501、在基板上形成具有包括触控电极的图形的至少两层石墨烯。
具体地，可直接在基板上贴附具有包括触控电极的图形的至少两层石墨烯薄膜，也可以在基板上形成至少两层石墨烯后，再经过构图工艺形成包括触控电极的图形，本发明对此不作具体限定。
S502、对距离基板最远的一层石墨烯进行掺杂，形成一层掺杂石墨烯。
S503、在形成了掺杂石墨烯的基板上，形成具有包括触控电极的图形的一层石墨烯。
具体地，可直接在形成了掺杂石墨烯的基板上，贴附一层包括触控电极的图形的石墨烯薄膜，也可通过其他方法在形成了掺杂石墨烯的基板上，形成具有包括触控电极的图形的一层石墨烯。
在上述三种制作方法中，对石墨烯进行掺杂的掺杂方法为真空蒸镀方法，其中，真空蒸镀的蒸镀腔室在室温时的真空度为10-4托以上，真空蒸镀的蒸镀温度为150℃～500℃。
并且，在上述三种制作方法中，由于第一种制作方法与第二种制作方法相比，无需多次构图，因而工艺复杂度较低，可提高成品率，并且由于第一种制作方法与第三种制作方法相比，制成的触控电极的方块电阻较低，因而本发明实施例优选第一种方法作为制作触控电极的方法。
此外，当触摸屏包括两层触控电极时，在通过上述三种制作方法中的任一种制作方法制作一层触控电极后，还需在上述一层触控电极上形成绝缘层，以及，在绝缘层上通过上述三种制作方法中的任一种制作方法形成另一层触控电极。
本发明实施例提供了一种触控电极的制作方法，该方法包括在基板上形成包括触控电极的图形，触控电极的材质包括掺杂石墨烯。由于掺杂石墨烯中的掺杂材质可增加触控电极中电荷的浓度，因而可提高触控电极的电导率，从而可降低触控电极的方块电阻，提高触摸屏的灵敏度，进而可增加触摸屏的使用寿命，并且改善用户体验。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种触控电极，所述触控电极的材质包括掺杂石墨烯，其特征在于，所述触控电极还包括位于所述掺杂石墨烯一面上的至少一层石墨烯，以及位于所述掺杂石墨烯另一面上的一层石墨烯。
2.根据权利要求1所述的触控电极，其特征在于，所述掺杂石墨烯的掺杂材质包括氯化铝和/或碘化锌。
3.根据权利要求1或2所述的触控电极，其特征在于，所述触控电极包括至少一层掺杂石墨烯。
4.一种触摸屏，其特征在于，所述触摸屏包括如权利要求1-3任一项所述的触控电极。
5.根据权利要求4所述的触摸屏，其特征在于，所述触摸屏可弯曲。
6.一种显示装置，其特征在于，所述显示装置包括如权利要求5所述的触摸屏。
7.根据权利要求6所述的显示装置，其特征在于，所述显示装置的至少两个相邻的表面上连续设置有所述触摸屏。
8.一种触控电极的制作方法，其特征在于，包括：
在基板上形成具有包括触控电极的图形的至少两层石墨烯；
对距离所述基板最远的一层石墨烯进行掺杂，形成一层掺杂石墨烯；
在形成了所述掺杂石墨烯的所述基板上，形成具有包括触控电极的图形的一层石墨烯。
9.根据权利要求8所述的触控电极的制作方法，其特征在于，所述对距离所述基板最远的一层石墨烯进行掺杂，包括：通过真空蒸镀的方法对距离所述基板最远的一层石墨烯进行掺杂。
10.根据权利要求9所述的触控电极的制作方法，其特征在于，所述真空蒸镀的蒸镀腔室在室温时的真空度为10-4托以上，所述真空蒸镀的蒸镀温度为150℃～500℃。
CN201410725283.6A 2014-12-03 2014-12-03 触控电极及其制作方法、触摸屏、显示装置 Active CN104375709B (zh)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410725283.6A CN104375709B (zh) 2014-12-03 2014-12-03 触控电极及其制作方法、触摸屏、显示装置
US14/799,449 US20160162086A1 (en) 2014-12-03 2015-07-14 Touch control electrode, touch screen, and display device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410725283.6A CN104375709B (zh) 2014-12-03 2014-12-03 触控电极及其制作方法、触摸屏、显示装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN104375709A CN104375709A (zh) 2015-02-25
CN104375709B true CN104375709B (zh) 2018-01-09

Family

ID=52554678

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410725283.6A Active CN104375709B (zh) 2014-12-03 2014-12-03 触控电极及其制作方法、触摸屏、显示装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US20160162086A1 (zh)
CN (1) CN104375709B (zh)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102312314B1 (ko) * 2015-01-28 2021-10-13 삼성디스플레이 주식회사 터치 센서 장치 및 그 제조 방법
KR102320639B1 (ko) * 2015-02-04 2021-11-02 삼성디스플레이 주식회사 터치 스크린 패널 및 이의 제조 방법
CN104916727A (zh) * 2015-04-24 2015-09-16 京东方科技集团股份有限公司 太阳能电池及其制作方法、显示模组及显示装置
CN108845715A (zh) * 2018-09-05 2018-11-20 业成科技（成都）有限公司 触控显示装置及触控显示装置的制造方法
CN112447509B (zh) * 2020-11-26 2023-05-16 广东省科学院半导体研究所 一种透明柔性Micro-LED显示***及其制备方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103279239A (zh) * 2013-05-24 2013-09-04 重庆绿色智能技术研究院 一种石墨烯电容式触摸屏
KR20130130293A (ko) * 2012-05-22 2013-12-02 엘지이노텍 주식회사 장비 커넥터와 직접 연결되는 터치윈도우 및 그 제조방법
CN103425347A (zh) * 2013-08-02 2013-12-04 敦泰科技有限公司 触控显示装置
CN103543867A (zh) * 2012-07-12 2014-01-29 和鑫光电股份有限公司 可挠式触摸屏
CN103970334A (zh) * 2013-02-05 2014-08-06 明兴光电股份有限公司 触控面板及其制造方法以及触控显示面板
CN104021881A (zh) * 2014-06-03 2014-09-03 无锡格菲电子薄膜科技有限公司 一种降低石墨烯方阻的掺杂转移方法
CN104156109A (zh) * 2014-08-05 2014-11-19 京东方科技集团股份有限公司 一种导电薄膜、触摸面板及其制作方法、显示装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9105793B2 (en) * 2009-10-30 2015-08-11 The Regents Of The University Of California Graphene device and method of using graphene device
US9393048B2 (en) * 2010-02-23 2016-07-19 K2M, Inc. Polyaxial bonescrew assembly
KR101295664B1 (ko) * 2011-06-24 2013-08-13 그래핀스퀘어 주식회사 안정한 그래핀 필름 및 그의 제조 방법
TWI496739B (zh) * 2011-11-30 2015-08-21 Univ Chang Gung Chemically modified graphene and its preparation method
US10151245B2 (en) * 2013-03-06 2018-12-11 United Technologies Corporation Fixturing for thermal spray coating of gas turbine components

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20130130293A (ko) * 2012-05-22 2013-12-02 엘지이노텍 주식회사 장비 커넥터와 직접 연결되는 터치윈도우 및 그 제조방법
CN103543867A (zh) * 2012-07-12 2014-01-29 和鑫光电股份有限公司 可挠式触摸屏
CN103970334A (zh) * 2013-02-05 2014-08-06 明兴光电股份有限公司 触控面板及其制造方法以及触控显示面板
CN103279239A (zh) * 2013-05-24 2013-09-04 重庆绿色智能技术研究院 一种石墨烯电容式触摸屏
CN103425347A (zh) * 2013-08-02 2013-12-04 敦泰科技有限公司 触控显示装置
CN104021881A (zh) * 2014-06-03 2014-09-03 无锡格菲电子薄膜科技有限公司 一种降低石墨烯方阻的掺杂转移方法
CN104156109A (zh) * 2014-08-05 2014-11-19 京东方科技集团股份有限公司 一种导电薄膜、触摸面板及其制作方法、显示装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20160162086A1 (en) 2016-06-09
CN104375709A (zh) 2015-02-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104375709B (zh) 触控电极及其制作方法、触摸屏、显示装置
CN105573544B (zh) 内置式触摸lcd 设备及其制造方法及阵列基板制造方法
CN102411238B (zh) 液晶显示装置及其制造方法
US20160062518A1 (en) Touch substrate and fabricating method thereof, and touch display apparatus
CN105093725B (zh) 阵列基板、显示面板以及显示装置
CN104536633B (zh) 阵列基板及其制作方法、显示装置
CN105739739A (zh) 内嵌触摸液晶显示设备及其制造方法
CN103677410A (zh) 一种触控基板、触摸屏及显示装置
TW201215976A (en) Liquid crystal display device
CN106201145A (zh) 一种触摸屏、其制作方法及显示装置
CN104049798A (zh) 触控显示面板和触控显示装置
CN106201147A (zh) 触控基板及显示装置
CN105487717A (zh) 触摸面板以及其制造方法
CN105446512A (zh) 触控电极结构及应用其的触控面板
US20150220175A1 (en) Capacitive touch panel and display device
CN104461156B (zh) 触摸屏的制备方法、触摸屏以及触控设备
CN103558936A (zh) 触控面板
CN104111553A (zh) 触控液晶面板及其制造方法
CN104035621B (zh) 触控显示装置及其制作方法
CN104820308B (zh) 一种彩膜基板、触控显示面板及触摸显示装置
KR102316228B1 (ko) 안테나 일체형 터치 모듈장치 및 그 제조방법
CN104238167A (zh) 触控液晶面板与其制造方法
CN104571751A (zh) 触摸屏面板以及制造触摸屏面板的方法
CN108227990A (zh) 触控基板及显示装置
CN204256697U (zh) 触控面板

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant