CN104145041B - 涂层切削工具 - Google Patents
涂层切削工具 Download PDFInfo
- Publication number
- CN104145041B CN104145041B CN201380011922.6A CN201380011922A CN104145041B CN 104145041 B CN104145041 B CN 104145041B CN 201380011922 A CN201380011922 A CN 201380011922A CN 104145041 B CN104145041 B CN 104145041B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- composition
- region
- target
- cutting tool
- coated cutting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims abstract description 27
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 48
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 42
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 42
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 17
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 20
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 31
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 17
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 10
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 8
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 4
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000002203 pretreatment Methods 0.000 description 3
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 3
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000997 High-speed steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010037 TiAlN Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 230000005260 alpha ray Effects 0.000 description 1
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 230000004807 localization Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000005480 shot peening Methods 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Abstract
本发明涉及一种包括基底和多层(Ti，Al)N涂层的涂层切削工具。所述涂层包括三个区域：最靠近基底的第一区域(A)，与第一区域相邻的第二区域(B)和最外的第三区域(C)。所有三个区域都各自包括(Ti，Al)N的多层非周期结构，其中每个区域的平均组成都彼此不同，和其中区域C和区域B的厚度之比为1.3至2.2，和其中z区域C＞z区域B，其中z是各个区域的平均组成的比值z＝Ti/Al。该涂层具有低的残余应力。
Description
技术领域
本发明涉及一种包括基底和PVD涂层的涂层切削工具，其中(Ti，Al)N涂层具有非周期多层涂层结构。
发明背景
切削工具上的(Ti，Al)N的PVD涂层在现有技术中是公知的。已在现有技术中描述了均质涂层和包括多个薄层的涂层。
EP 983393A1描述了一种交替氮化物层的非周期多层结构，例如TiN/TiAlN多层。
EP 1795628A1描述了一种具有PVD涂层的涂层切削工具刀片，包括交替的AlxTi1- xN层和TiyAl1-yN层的非周期多层结构，其中x＝0.4-0.7，和y＝0.6-1，其中一个A+B-亚层的平均厚度在30-300nm，优选60-120nm的范围内。
多层(Ti，Al)N的PVD涂层通常具有随着涂层厚度而增加的残余压应力。如果残余压应力变得过高，则涂层将会破裂，特别是在靠近切削刃的位置处。另一方面，较厚的涂层具有更高的耐磨性，可增加工具寿命。
不断做出努力来提高多层(Ti，Al)N的PVD涂层的性能，和总是旨在实现具有低压应力的较厚涂层。
发明内容
因此本发明的目的是提供具有较低残余压应力的多层(Ti，Al)NPVD涂层。
本发明的另一目的是提供在不破裂情况下可具有增大的厚度的多层(Ti，Al)NPVD涂层。
本发明的又一目的是提供一种制备多层(Ti，Al)N PVD涂层的方法。
此时已经发现，通过如下文所述的本发明能够实现上述目的。
附图说明
图1是根据本发明涂层的示意图，其中A、B和C表示三个不同的区域A、B和C，和其中D表示基底。
图2示出根据本发明的涂层的XRD衍射图。可清晰看出I(111)、I(200)和I(220)峰具有显著强度。
图3示出根据实施例3(对比例1)的涂层的XRD衍射图。与图1(本发明)相比，I(111)和I(200)峰没那么显著。
图4示出根据实施例2(现有技术)的涂层的XRD衍射图。与图1(本发明)相比，I(111)和I(200)峰没那么显著。
发明详述
本发明涉及一种包括基底和多层(Ti，Al)N涂层的涂层切削工具。所述涂层包括三个区域：最靠近基底的第一区域(A)，与第一区域相邻的第二区域(B)和最外的第三区域(C)。区域B和C各自包括交替的单独(Ti，Al)N层X和Y的多层非周期结构，其中单独层X的组成具有与单独层Y相比更高的Ti含量。每个区域的平均组成彼此不同，和其中区域C和区域B厚度之比是1.3至2.2，优选1.4至1.9，和其中z区域C＞z区域B，其中z是各个区域的平均组成的比值z＝Ti/Al。
适当地，区域A是均质的(Ti，Al)N层，其组成为TiaAl1-aN，其中70≤a≤90，优选70≤a≤80。区域A的厚度适当地为0.05至0.5μm，优选0.075至0.2μm。
在本发明的一个实施方式中，区域B和C各自由交替的单独(Ti，Al)N层X和Y的多层非周期结构组成，即，在区域B和C中无其它层沉积。
每个区域都包括多层非周期结构，其在各区域中是随机的，即，在多层结构中特定单独层的厚度既与直接在其下的单独层的厚度无关，也与该特定单独层之上的单独层的厚度无关。所述多层结构在至少10个连续单独层的序列中无任何重复周期。所述单独层的平均厚度大于0.1nm但小于100nm，优选大于0.5nm但小于50nm，最优选大于1nm小于30nm。所述多层结构中任何十个连续层之和小于300nm。
在区域B和C的每个中，所述层厚度的结构还导致所述多层非周期结构的组成以随机的方式变化。虽然在特定位点处测量的组成将不同，但测量超过至少100个单独层得到的平均组成将在整个区域B和区域C中分别保持相同。这意味着，在整个区域中，除了非周期层结构导致的随机变化，在组成中将不存在明确的梯度或其它控制模式。
由于厚度小，因此没有相邻层的贡献的情况下，不能容易地测得所述多层结构中每个单独层的组成。可以被测出的是很大数量的单独层，优选在整个多层结构中的平均组成。然而，每个单独层的组成可根据所使用靶材的组成进行评估，但这并不能给出精确组成。当沉积了较厚的层时，其足够厚以进行分析，已经显示，沉积层的组成可与靶材材料的组成相差几个百分比。由于这个原因，下文所提及本发明多层结构的单独层的任何组成都是从沉积期间使用的靶材的组成中进行评估的。
此处多层结构是指包括至少5个单独层的结构。然而，其可包括多至数千个单独层。区域B和C中的多层结构包括彼此具有不同组成的交替的(Ti，Al)N单独层X和Y。
在本发明的一个实施方式中，所述单独层X具有TiaAl1-aN的组成，其中70≤a≤90，优选70≤a≤80，和所述单独层Y具有TibAl1-bN的组成，其中33≤b≤40，优选34≤b≤39。
根据本发明的涂层适当地具有-0.5至-1.5GPa，优选-0.75至-1.25GPa的残余压应力。通过X射线衍射测量，使用I.C.Noyan，J.B.Cohen在Residual Stress Measurement byDiffraction and Interpretation(通过衍射和解释测量残余应力)，Springer-Verlag，纽约，1987(117-130页)中所述的公知sin2ψ方法，评估残余应力。使用CuKα射线在(Ti，Al)N(200)反射上进行所述测量。在选择的sin2ψ范围内六到十一个、优选八个等距ψ角的情况下，使用侧倾技术(ψ几何学)。优选90°Φ扇形内等距分布的Φ角。为了确认双向应力状态，试样在ψ内倾斜时应旋转到Φ＝0和90°。建议考察可能存在的剪切应力，因此正的和负的ψ角都应测量。在欧拉1/4摇架(cradle)的情况下，这对于不同的ψ角也通过在Φ＝180和270°下测量试样来完成。测量应在尽可能平的表面上进行，优选在刀片的后刀面上进行。为计算残余应力值，使用的泊松比＝0.20，和杨氏模量E＝450GPa。对于数据评估，使用可商业获得的软件例如Bruker AXS的DIFFRACPlusStress32v1.04，优选用Pseudo-Voigt-Fit功能定位(200)反射。在双向应力状态情况下，总应力计算为获得的双轴应力的平均值。
当用XRD测量时，根据本发明的涂层适当地具有显著强度的I(111)、I(200)和I(220)。111和200峰的强度之比适当地是0.7到1.5，优选0.8到1.4，最优选0.9到1.35。111和220峰的强度之比适当地是1至7，优选2至6。
根据本发明的涂层适当地具有25至45GPa，优选30至40GPa的硬度。所述涂层还具有450至650GPa，优选500至600GPa的弹性模量。在50mN下用纳米压痕评估硬度和弹性模量。
整体涂层的总厚度适当地为0.5至15μm，优选1至10μm，最优选3至6μm。在此处给出的所有厚度都是在从靶材直视线所及合理平的表面上进行测量的。对于沉积期间固定在针形支架(pins stick)上的刀片，这意味着是在直接面对靶材的侧面的中心测量厚度。对于不规则表面，例如在钻头和端铣刀上的那些表面，此处给出的厚度是指在任何合理平的表面或具有相对大曲率和与任何边缘或拐角有一些距离的表面上测量的厚度。例如，在钻头上，在外周上进行测量，而在端铣刀上，是在后刀面进行测量。此处所述测量是在抛光的横截面上进行的。
所述多层结构中的平均化学组成是使用EDS(能谱仪)在涂层上视图上测量的。
此处所述切削工具是指刀片、钻头、端铣刀和可更换钻尖。
在本发明的一个实施方式中，所述基底是硬质合金、金属陶瓷、陶瓷或立方氮化硼的切削工具刀片。
在本发明的一个实施方式中，所述基底是硬质合金或高速钢的钻头或端铣刀。
本发明还涉及一种使用阴极电弧蒸发沉积制造根据上文所述的涂层切削工具的方法。沉积室包括6个法兰，每个法兰包括至少一个(Ti，Al)靶材。所述法兰中的3个法兰包括具有组成X的靶材，而其它3个法兰包括具有组成Y的靶材，其中组成X与组成Y相比具有更高的Ti含量。所述方法还包括：
-第一沉积步骤，其中具有组成X的靶材处于激活状态，在氮气的存在下，和偏压是100至200V，优选125至175V。
-第二沉积步骤，其中所有6个法兰的靶材处于激活状态，在氮气的存在下，和偏压是30至60V，优选35至50V。
-第三沉积步骤，其中将包含具有组成Y的靶材的法兰之一关闭，使其余的靶材保持在激活状态，在N2气体存在下，和偏压是30至60V，优选35至50V。
在本发明的一个实施方式中，所述沉积是连续的。在此处是指，在不间断的情况下，完成不同沉积步骤之间的变化，即，总是有至少3个法兰处于激活状态。
每个法兰包括至少一个靶材，优选1-6个靶材，更优选3-5个靶材，最优选4个靶材。适当地，在一个法兰中的所有靶材都具有相同的组成。以如下方式将靶材设置在沉积室内，该方式使得包含具有X组成的靶材的法兰总是与包含具有Y组成的靶材的法兰相邻。
在本发明的一个实施方式中，所述靶材和待涂覆切削工具之间的距离＜200mm。
在本发明的一个实施方式中，所述靶材组成X具有组成TiaAl1-aN，其中70≤a≤90，优选70≤a≤80，和所述靶材组成Y具有组成TibAl1-bN，其中33≤b≤40，优选34≤b≤39。
所述单独层厚度的非周期序列是通过随机旋转或移动在所述靶材前的待涂覆基底而产生的。这优选通过将基底置于3重旋转基底转台上而实现，设置该3重旋转基底转台以获得所述非周期结构。该3重旋转可在旋转速度和旋转方向方面顺时针或逆时针地进行调节。
在本发明的一个实施发送中，在EP 2037000A1所述的沉积室中进行所述沉积。
本发明的方法还可包括不同的前处理或后处理步骤。
在本发明的一个实施方式中，所述方法包括前处理，其包括对基底进行喷砂，优选两步喷砂操作，其包括第一干式喷砂步骤以提供倒角的基底，随后是第二湿式喷砂步骤以去除干式喷砂步骤的残留物。然而，该喷砂也可用干式喷砂或湿式喷砂进行。前处理喷砂的参数可以变化，且对本领域技术人员而言是公知的。
在一个实施方式中，使通过一个或多个上述步骤形成的涂层经受后处理，该后处理包括喷砂，可选的喷丸加工等。在一个方面，所述喷砂可提供更平滑的表面。
具体实施方式
实施例1(本发明)
将由硬质合金制成的可更换钻尖形的切削工具置于如EP 2037000A1所述的PVD涂覆室内。由电弧蒸发完成沉积。沉积室含有各具有4个靶材的6个法兰。3个法兰包括的靶材为Al0.25Ti0.75合金，而另外3个法兰包括的靶材为Al0.67Ti0.33合金。
在8微巴(μbar)压力下的氮气气氛中，用Al0.25Ti0.75靶材沉积(Ti，Al)N粘附层(层A)。所述粘附层的厚度为约0.15μm。在20微巴压力下在氮气气氛中使所有法兰处于激活状态沉积第二层(层B)。通过沉积室中工具的三重旋转，获得非周期薄层结构。第二层的厚度为1.9μm。用SEM-EDS检测得到该层的平均组成为Al0.42Ti0.58。在20微巴压力下在氮气气氛中沉积第三层(层C)，其中使用6个法兰中的5个，具有组成为Al0.67Ti0.33的靶材的一个法兰被关闭，从而处于激活状态的Al0.67Ti0.33合金靶材的量是处于激活状态的Al0.25Ti0.75合金靶材的量的2/3。
通过沉积室中工具的三重旋转，获得非周期薄层结构。第三层的厚度为3μm。用SEM-EDS检测得到第三层的平均靶材组成为Al0.38Ti0.62。施加的涂层的总厚度为5μm。用SEM-EDS在上视图检测得到的整体涂层组成为Al0.40Ti0.60。
实施例2(现有技术)
将具有与实施例1相同的尺寸、几何结构和组成的可更换钻尖形的切削工具置于来自Oerlikon Balzers的被称为RCS的PVD涂覆室中，用电弧蒸发完成沉积。用Ti靶材在氮气和氩气气氛下沉积TiN粘附层。TiN粘附层的涂层厚度为0.15μm。使用由Al0.50Ti0.50和Ti合金组成的靶材在32微巴压力下在N2气氛中沉积第二层。通过沉积室中工具的三重旋转，获得非周期薄层结构。第二层的厚度为3.2μm。用SEM-EDS检测得到该涂层的平均组成为Al0.15Ti0.85。用由Al0.16Ti0.84合金组成的靶材在氮气和氩气气氛下沉积最外的第三层。通过沉积室中工具的三重旋转，获得非周期薄层结构。第三层的厚度为0.3μm。用SEM-EDS检测得到第三层的平均组成为Al0.16Ti0.84。施加的涂层的整体厚度为3.7μm。
实施例3(对比例1)
作为对比例，使用与实施例1所述的同样原理沉积得到包括层A、B和C的涂层，不同之处在于层B和C的厚度之比为1，即，两层具有相同的厚度。涂层总厚度为3.2μm。该涂层被称为对比例1。
实施例4(对比例2)
作为另一对比例，沉积仅包括层A和B的涂层。使用与实施例1中相同的原理沉积涂层。该涂层被称为对比例2。
实施例5(残余应力)
在如实施例1-5中所沉积涂层上测量残余应力。使用如说明书中所述的方法用XRD进行测量。在表1中示出结果。
表1
| 试样 | 残余应力(GPa) |
| 本发明(实施例1) | -0.92 |
| 现有技术(实施例2) | -3.5 |
| 对比例1(C/B比值＝1) | -2.6 |
| 对比例2(A+B) | -3.7 |
实施例6
对实施例1和2的工具进行钻孔测试。
工具寿命评价标准是沿切削刃崩刃和角磨损。通过到达工具寿命标准时所钻的孔的数目，测量工具寿命。在表2中示出结果。
表2
| 孔数目 | |
| 本发明(实施例1) | 2000 |
| 现有技术(实施例2) | 1268 |
实施例7
对实施例1、2和3(对比例1)的工具进行钻孔测试。
工具寿命评价标准是沿切削刃崩刃和角磨损。通过到达工具寿命标准时所钻的孔的数目，测量工具寿命。在表3中示出结果。
表3
| 孔数目 | |
| 本发明(实施例1) | 2000 |
| 现有技术(实施例2) | 1024 |
| 对比例1 | 854 |
Claims (11)
1.一种包括基底和多层(Ti,Al)N涂层的涂层切削工具，其中所述涂层包括三个区域：最靠近基底的第一区域(A)，与第一区域相邻的第二区域(B)和最外的第三区域(C)，其中区域B和C各自包括交替的单独(Ti,Al)N层X和Y的多层非周期结构，其中单独层X的组成具有与单独层Y相比更高的Ti含量，其中每个区域的平均组成都彼此不同，和特征在于，所述单独层X具有组成TiaAl1-aN，其中0.7≤a≤0.9，和所述单独层Y具有组成TibAl1-bN，其中0.33≤b≤0.4，区域C和区域B的厚度之比为1.3至2.2，和其中z区域C＞z区域B，其中z是各个区域的平均组成的比值z＝Ti/Al。
2.根据权利要求1所述的涂层切削工具，其特征在于所述单独层X具有组成TiaAl1-aN，其中0.7≤a≤0.8，和所述单独层Y具有组成TibAl1-bN，其中0.34≤b≤0.39。
3.根据前述任一项权利要求所述的涂层切削工具，其特征在于在所述非周期结构中的十个连续单独层的厚度之和小于300nm。
4.根据权利要求1或2所述的涂层切削工具，其特征在于残余压应力为-0.5GPa至-1.5GPa。
5.根据权利要求1或2所述的涂层切削工具，其特征在于区域C和区域B的厚度之比为1.4至1.9。
6.根据权利要求1或2所述的涂层切削工具，其特征在于区域A是均质的(Ti,Al)N层，其具有组成TiaAl1-aN，其中0.7≤a≤0.9。
7.根据权利要求1或2所述的涂层切削工具，其特征在于区域B和C各自由交替的(Ti,Al)N层X和Y的多层非周期结构组成。
8.一种制备根据权利要求1-7中的任一项所述涂层切削工具的方法，所述方法包括提供待涂覆基底，和将所述基底置于一共包括6个法兰的沉积室中的步骤，每个法兰包括至少一个(Ti,Al)靶材，其中3个法兰包括的靶材具有X组成，和另外3个法兰包括的靶材具有Y组成，其中X组成与Y组成相比具有更高的Ti含量，其中所述方法包括：
第一沉积步骤，其中具有组成X的靶材处于激活状态，在氮气的存在下，和偏压是100-200V，
第二沉积步骤，其中所有6个法兰的靶材处于激活状态，在氮气的存在下，和偏压是30-60V，
第三沉积步骤，其中将包含具有组成Y的靶材的法兰之一关闭，使其余的靶材保持在激活状态，在氮气存在下，和偏压是30-60V。
9.根据权利要求8所述的制备涂层切削工具的方法，其特征在于靶材X具有组成TiaAl1- aN，其中0.7≤a≤0.9，和靶材Y具有组成TibAl1-bN，其中0.33≤b≤0.4。
10.根据权利要求8-9中的任一项所述的制备涂层切削工具的方法，其特征在于靶材X具有组成TiaAl1-aN，其中0.7≤a≤0.8，和靶材Y具有组成TibAl1-bN，其中0.34≤b≤0.39。
11.根据权利要求8或9所述的制备涂层切削工具的方法，其特征在于所述沉积是连续的。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP12157471.9A EP2634285A1 (en) | 2012-02-29 | 2012-02-29 | Coated cutting tool |
| EP12157471.9 | 2012-02-29 | ||
| PCT/EP2013/053807 WO2013127786A1 (en) | 2012-02-29 | 2013-02-26 | Coated cutting tool |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN104145041A CN104145041A (zh) | 2014-11-12 |
| CN104145041B true CN104145041B (zh) | 2016-11-30 |
Family
ID=
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1978192A (zh) * | 2005-12-08 | 2007-06-13 | 山特维克知识产权股份有限公司 | 用于铣削钢的刀片 |
| CN101318229A (zh) * | 2007-06-01 | 2008-12-10 | 山特维克知识产权股份有限公司 | 带涂层硬质合金切削工具刀片 |
| CN101327524A (zh) * | 2007-06-15 | 2008-12-24 | 山特维克知识产权股份有限公司 | 用于切断、切槽和车螺纹的硬质合金刀片 |
| CN101596611A (zh) * | 2008-06-02 | 2009-12-09 | 山特维克知识产权股份有限公司 | 用于切断、切槽和车螺纹的硬质合金刀片 |
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1978192A (zh) * | 2005-12-08 | 2007-06-13 | 山特维克知识产权股份有限公司 | 用于铣削钢的刀片 |
| CN101318229A (zh) * | 2007-06-01 | 2008-12-10 | 山特维克知识产权股份有限公司 | 带涂层硬质合金切削工具刀片 |
| CN101327524A (zh) * | 2007-06-15 | 2008-12-24 | 山特维克知识产权股份有限公司 | 用于切断、切槽和车螺纹的硬质合金刀片 |
| CN101596611A (zh) * | 2008-06-02 | 2009-12-09 | 山特维克知识产权股份有限公司 | 用于切断、切槽和车螺纹的硬质合金刀片 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN100484672C (zh) | 涂覆切削刀片 | |
| CN104204275B (zh) | 纳米层压的涂层切削工具 | |
| CN102091923B (zh) | 多层涂覆切削工具 | |
| CN103764873B (zh) | 用于高性能工具的纳米层涂层及其制备方法 | |
| CN102859026B (zh) | 氮化铝钛涂层以及其制造方法 | |
| Babu et al. | The influence of erodent hardness on the erosion behavior of detonation sprayed WC-12Co coatings | |
| CN104520472B (zh) | TiAlN‑涂层工具 | |
| Jokar et al. | Comparison of the wear and corrosion behavior between CrN and AlCrN coatings deposited by Arc-PVD method | |
| CN105247099B (zh) | 具有cvd涂层的工具 | |
| CN104093881B (zh) | 涂层切削工具及其制备方法 | |
| CN107743527B (zh) | 涂覆的基材 | |
| CN104011256A (zh) | 具有涂层的切削工具 | |
| Dobrzański et al. | Corrosion resistance of multilayer and gradient coatings deposited by PVD and CVD techniques | |
| CN105593397A (zh) | 一种涂覆的切削工具和涂覆切削工具的方法 | |
| CN114829676B (zh) | 涂覆切削工具 | |
| CN104271792B (zh) | 切削工具用硬质涂层 | |
| Dobrzański et al. | The structure and functional properties of PVD and CVD coated Al2O3+ ZrO2 oxide tool ceramics | |
| Thirumalaikumarasamy et al. | Establishing empirical relationships to predict porosity level and corrosion rate of atmospheric plasma-sprayed alumina coatings on AZ31B magnesium alloy | |
| JP6141886B2 (ja) | 被覆された切削工具 | |
| CN103732785B (zh) | 阴极电弧沉积法 | |
| Roy | Solid particle erosion behavior of WC coating obtained by electrospark technique and detonation spraying | |
| CN104145041B (zh) | 涂层切削工具 | |
| Bobzin et al. | Deposition of a nanocomposite (Ti, Al, Si) N coating with high thickness by high‐speed physical vapor deposition | |
| CN108368618B (zh) | 制造pvd层的方法和涂覆的切削工具 | |
| Liu et al. | Tribological properties and corrosion resistance of CrSiN coatings prepared via hybrid HiPIMS and DCMS |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20161130 |