CN104101185A - 硅片烘干箱 - Google Patents
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Abstract
一种硅片烘干箱,包括箱体、红外线灯、回流管道和管道风机,在所述箱体内的左侧、右侧及上侧分别设置所述红外线灯;所述回流管道的一端与箱体顶端贯通连接,另一端与箱体底端贯通连接,所述管道风机贯通连接在所述回流管道中;所述箱体上设置有门体。本发明通过红外线灯对硅片进行烘烤,不采用电热丝,维修方便,而且红外灯的数量根据需求投入,使用方便;通过在箱体上设置回流管道,使箱内气体循环,提高了硅片烘烤效率。
Description
技术领域
本发明涉及一种硅片烘干箱。
背景技术
在硅片制作工艺中,传统的硅片烘烤都采用专用烤箱,但烤箱成本高,结构复杂,维修困难,如果发生损坏,需要返厂维修,不仅维修成本高,而且对生产造成影响,而且,烤箱内的气体也不能循环流动,硅片烘烤时间长。
发明内容
为了克服上述现有技术存在的缺点,本发明的目的在于提供一种结构简单,维修方便,烤箱内气体可循环流动的硅片烘干箱。
为了解决上述问题,本发明采用以下技术方案:一种硅片烘干箱,其特征在于,包括箱体、红外线灯、回流管道和管道风机,在所述箱体内的左侧、右侧及上侧分别设置所述红外线灯;所述回流管道的一端与箱体顶端贯通连接,另一端与箱体底端贯通连接,所述管道风机贯通连接在所述回流管道中;所述箱体上设置有门体。
进一步的,在所述箱体内的底部设置有气流分散盒,所述气流分散盒的上端设置有若干通孔,所述回流管道的下端与气流分散盒贯通连接。
优选的,若干所述红外线灯并联,每一所述红外线灯对应一个开关按钮。
进一步的,在所述箱体上设置有耐高温温度计。
本发明的有益效果是:它通过红外线灯对硅片进行烘烤,不采用电热丝,维修方便,而且红外灯的数量根据需求投入,使用方便;通过在箱体上设置回流管道,使箱内气体循环,提高了硅片烘烤效率。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明做进一步的说明:
图1为本发明的整体结构示意图;
图2为本发明气流分散盒的剖视图。
图中,1箱体、11门体、12耐高温温度计、2红外线灯、3回流管道、4管道风机、5气流分散盒、51通孔。
具体实施方式
如图1和图2所示,本发明的具体实施例包括箱体1、红外线灯2、回流管道3、管道风机4和气流分散盒5。
在所述箱体1内的左侧、右侧及上侧分别设置所述红外线灯2,本实施例中在每一侧设置四个红外线灯,红外线灯的功率可以根据箱体的大小选择。所述回流管道3的一端与箱体1顶端贯通连接,另一端与箱体1底端贯通连接,所述管道风机4贯通连接在所述回流管道3中。所述箱体1上设置有门体11。所述箱体1、回流管道3和气流分散盒5均采用不锈钢材质,在箱体1和回流管道3的外侧还可以设置金属网,防止烫伤。
为了使回流的气体从箱体1底部充分扩散,在所述箱体1内的底部设置有气流分散盒5,所述气流分散盒5的上端设置有若干通孔51,所述回流管道3的下端与气流分散盒5贯通连接。
优选的,若干所述红外线灯2采用并联形式,每一所述红外线灯2对应一个开关按钮,当然也可以两个红外线灯用一个开关按钮。
为了防止工作人员忘记烘烤时间,对硅片过度烘烤,本方案中还可以加入定时装置,可对所述红外线灯的工作时间进行定时,简单的,采用时间继电器即可实现该功能,当然也可以采用数字式定时装置。
为了能直观的观察到箱体1内的温度,在所述箱体1上设置有耐高温温度计12。
使用时,根据需要及放入硅片的多少,选择开启几个红外线灯2,管道风机4的电源开关也独立设置,用户可根据需要决定是否开启管道风机。
以上所述只是本发明的优选实施方式,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也被视为本发明的保护范围。
Claims (4)
1.一种硅片烘干箱,其特征在于,包括箱体、红外线灯、回流管道和管道风机,在所述箱体内的左侧、右侧及上侧分别设置所述红外线灯;所述回流管道的一端与箱体顶端贯通连接,另一端与箱体底端贯通连接,所述管道风机贯通连接在所述回流管道中;所述箱体上设置有门体。
2.根据权利要求1所述的硅片烘干箱,其特征在于,在所述箱体内的底部设置有气流分散盒,所述气流分散盒的上端设置有若干通孔,所述回流管道的下端与气流分散盒贯通连接。
3.根据权利要求1或2所述的硅片烘干箱,其特征在于,若干所述红外线灯并联,每一所述红外线灯对应一个开关按钮。
4.根据权利要求1或2所述的硅片烘干箱,其特征在于,其特征在于,在所述箱体上设置有耐高温温度计。
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Application publication date: 20141015 |