CN104101185A - 硅片烘干箱 - Google Patents
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Abstract
一种硅片烘干箱，包括箱体、红外线灯、回流管道和管道风机，在所述箱体内的左侧、右侧及上侧分别设置所述红外线灯；所述回流管道的一端与箱体顶端贯通连接，另一端与箱体底端贯通连接，所述管道风机贯通连接在所述回流管道中；所述箱体上设置有门体。本发明通过红外线灯对硅片进行烘烤，不采用电热丝，维修方便，而且红外灯的数量根据需求投入，使用方便；通过在箱体上设置回流管道，使箱内气体循环，提高了硅片烘烤效率。
Description
技术领域
本发明涉及一种硅片烘干箱。
背景技术
在硅片制作工艺中，传统的硅片烘烤都采用专用烤箱，但烤箱成本高，结构复杂，维修困难，如果发生损坏，需要返厂维修，不仅维修成本高，而且对生产造成影响，而且，烤箱内的气体也不能循环流动，硅片烘烤时间长。
发明内容
为了克服上述现有技术存在的缺点，本发明的目的在于提供一种结构简单，维修方便，烤箱内气体可循环流动的硅片烘干箱。
为了解决上述问题，本发明采用以下技术方案：一种硅片烘干箱，其特征在于，包括箱体、红外线灯、回流管道和管道风机，在所述箱体内的左侧、右侧及上侧分别设置所述红外线灯；所述回流管道的一端与箱体顶端贯通连接，另一端与箱体底端贯通连接，所述管道风机贯通连接在所述回流管道中；所述箱体上设置有门体。
进一步的，在所述箱体内的底部设置有气流分散盒，所述气流分散盒的上端设置有若干通孔，所述回流管道的下端与气流分散盒贯通连接。
优选的，若干所述红外线灯并联，每一所述红外线灯对应一个开关按钮。
进一步的，在所述箱体上设置有耐高温温度计。
本发明的有益效果是：它通过红外线灯对硅片进行烘烤，不采用电热丝，维修方便，而且红外灯的数量根据需求投入，使用方便；通过在箱体上设置回流管道，使箱内气体循环，提高了硅片烘烤效率。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明做进一步的说明：
图1为本发明的整体结构示意图；
图2为本发明气流分散盒的剖视图。
图中，1箱体、11门体、12耐高温温度计、2红外线灯、3回流管道、4管道风机、5气流分散盒、51通孔。
具体实施方式
如图1和图2所示，本发明的具体实施例包括箱体1、红外线灯2、回流管道3、管道风机4和气流分散盒5。
在所述箱体1内的左侧、右侧及上侧分别设置所述红外线灯2，本实施例中在每一侧设置四个红外线灯，红外线灯的功率可以根据箱体的大小选择。所述回流管道3的一端与箱体1顶端贯通连接，另一端与箱体1底端贯通连接，所述管道风机4贯通连接在所述回流管道3中。所述箱体1上设置有门体11。所述箱体1、回流管道3和气流分散盒5均采用不锈钢材质，在箱体1和回流管道3的外侧还可以设置金属网，防止烫伤。
为了使回流的气体从箱体1底部充分扩散，在所述箱体1内的底部设置有气流分散盒5，所述气流分散盒5的上端设置有若干通孔51，所述回流管道3的下端与气流分散盒5贯通连接。
优选的，若干所述红外线灯2采用并联形式，每一所述红外线灯2对应一个开关按钮，当然也可以两个红外线灯用一个开关按钮。
为了防止工作人员忘记烘烤时间，对硅片过度烘烤，本方案中还可以加入定时装置，可对所述红外线灯的工作时间进行定时，简单的，采用时间继电器即可实现该功能，当然也可以采用数字式定时装置。
为了能直观的观察到箱体1内的温度，在所述箱体1上设置有耐高温温度计12。
使用时，根据需要及放入硅片的多少，选择开启几个红外线灯2，管道风机4的电源开关也独立设置，用户可根据需要决定是否开启管道风机。
以上所述只是本发明的优选实施方式，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也被视为本发明的保护范围。
Claims (4)
1.一种硅片烘干箱，其特征在于，包括箱体、红外线灯、回流管道和管道风机，在所述箱体内的左侧、右侧及上侧分别设置所述红外线灯；所述回流管道的一端与箱体顶端贯通连接，另一端与箱体底端贯通连接，所述管道风机贯通连接在所述回流管道中；所述箱体上设置有门体。
2.根据权利要求1所述的硅片烘干箱，其特征在于，在所述箱体内的底部设置有气流分散盒，所述气流分散盒的上端设置有若干通孔，所述回流管道的下端与气流分散盒贯通连接。
3.根据权利要求1或2所述的硅片烘干箱，其特征在于，若干所述红外线灯并联，每一所述红外线灯对应一个开关按钮。
4.根据权利要求1或2所述的硅片烘干箱，其特征在于，其特征在于，在所述箱体上设置有耐高温温度计。
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Application publication date: 20141015 |