CN104096428A - 真空泵前置过滤设备 - Google Patents

Abstract

本发明为一种真空泵前置过滤设备，属于过滤设备领域。其主要由过滤桶、过滤网及致动器组成，其中过滤桶形成腔室、进气口、出气口及集尘区，过滤网以一轴心围绕并装设于该腔室，而致动器装设有一连接该过滤网并可转动该过滤网的转轴，且该转轴设置一装设于该过滤桶并使用联轴器以达到转轴及致动器的密封，藉此，可将会产生高浓度微粒的设备进行高浓度微粒过滤，并且透过旋转过滤网即可将过滤的微粒透过离心力方式将微粒脱离过滤网，进而达到无需拆卸过滤网即可达到清洁及重复使用之目的。

Description

真空泵前置过滤设备

技术领域

本发明一种过滤设备，尤指一种透过旋转过滤网即可达到清洁过滤网上的微粒，且无须拆卸即可重复使用的真空泵前置过滤设备。

背景技术

按，目前在制程中会产生高浓度微粒的产业大多是太阳能、半导体以及部分化工，其中特别是单晶炉，为能减少因为制程物的微粒进入帮浦腔室沉积导致造成真空泵转子卡死，甚至于损坏，因此目前的作法是加装过滤器设备，透过过滤方式将前述的微粒去除，进而有效延长真空泵使用寿命。

然，现阶段的过滤器设备于使用一段时间后必须将其内部的过滤网抽离后清洁，不管是利用气体吹凈过滤网或是更换新的过滤网，于清洁时仍必须拆卸过滤器设备，此种方式不仅在清洁时费工费时，且不定时的更换过滤网易导致成本增加。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：提供一种过滤设备，其利用过滤网可将高浓度微粒透过进气口可直接被过滤网阻隔而达到过滤效果，完成过滤的气体再由出气口排出，而后在利用旋转过滤网可达到清洁效果，且过程完全不需要拆下过滤网。

一种真空泵前置过滤设备，其特征在于：

其包括

一过滤桶，该过滤桶形成一腔室、一与该腔室相通的进气口及出气口及一位于该过滤桶下方且与该腔室相通的集尘区；

一过滤网，该过滤网以一轴心方向围绕并装设于该腔室；及

一致动器，该致动器装设有一连接该过滤网并可转动该过滤网的转轴，且该转轴设置一装设于该过滤桶并将该腔室与该转轴密封的联轴器。

其中该出气口连接一真空泵。

其中该过滤网形成复数网目。

其中该致动器为人力手摇或机械力其中之一者。

其中该机械力为马达。

其中该联轴器亦可为磁性联轴器。

通过上述设计方案，本发明可以带来如下有益效果：本发明一种真空泵前置过滤设备，其包括：一过滤桶，该过滤桶形成一腔室、一与该腔室相通的进气口及出气口及一位于该过滤桶下方且与该腔室相通的集尘区；一过滤网，该过滤网以一轴心方向围绕并装设于该腔室；及一致动器，该致动器装设有一连接该过滤网并可转动该过滤网的转轴，且利用联轴器密封其转轴。

根据本发明之一实施例，其中该出气口连接一真空泵。

根据本发明之一实施例，其中该过滤网形成复数网目。

根据本发明之一实施例，其中该致动器为人力手摇或机械力其中之一者。

根据本发明之一实施例，其中该机械力为马达。

根据本发明之一实施例，其中该联轴器亦可为磁性联轴器。

本发明可进行逆洗功能，其主要由出气口进气，再由进气口排气，藉由逆向气体将过滤网上的微粒吹落，让残留在过滤网上的微粒可脱离并落在集尘区，进而达到无须拆卸过滤网即可清洁之目的。

本发明利用收集装置可将清洁后累积的微粒沉积进行处理。

本发明内部组件少，故发生故障机率相对低。

本发明制造成本较为低廉、组装容易。

附图说明

以下结合附图和具体实施方式对本发明作进一步的说明：

图1为本发明较佳实施例的示意图。

图2为本发明进气过滤微粒的作动示意图。

图3为本发明转动过滤网并清除附着微粒的作动示意图。

图4为本发明进行逆洗功能的作动示意图。

图5为本发明过滤微粒的路径示意图。

图6为本发明另一较佳实施例的示意图。

具体实施方式

以下藉由特定的具体实例说明本发明的实施方式，熟悉此技艺的人士可由本说明书所揭示的内容轻易地了解本发明的优点及功效。本发明亦可以其它不同的方式予以实施，即，在不悖离本发明所揭示的范畴下，能予不同的修饰与改变。

请参阅图1所示，为本发明较佳实施例的示意图。本发明为一种真空泵前置过滤设备1，其主要由过滤桶10、过滤网12及致动器14组成，其中过滤桶10形成一腔室100、一与该腔室100相通的进气口102及出气口104及一位于该过滤桶10下方且与该腔室100相通的集尘区106，而过滤网12则以一轴心方向2围绕并装设于该腔室100，另外，致动器14装设有一连接该过滤网12并可转动该过滤网12的转轴140，且该转轴140设置一装设于该过滤桶10并将该腔室100与该转轴140密封的联轴器142。

一并参阅图2、图3、图4及图5所示，为本发明进气过滤微粒的作动示意图、转动过滤网并清除附着微粒的作动示意图、进行逆洗功能的作动示意图及过滤微粒的路径示意图。前述的出气口104连接一真空泵3，本发明以运用于会产生高浓度微粒的单晶炉为例，单晶炉4产生高浓度微粒时，则会将具有微粒的气体输送至真空泵前置过滤设备1，此时气体则会由进气口102进入腔室100，由于过滤网12上的多个网目120必须是运用制程设备而觉得网目120的直径大小，网目120直径大小主要配合制程的生物颗粒大小选定用，过小的网目120易造成过滤网12迅速沉积而失效；过大则无任何过滤效果。本发明中的网目120直径以400mm为例，此时的微粒均会附着于过滤网12，而过滤后的气体则由出气口140排出。

当过滤网12上的微粒累积到一定程度时(过滤效果变差或排气量不足)，关闭阀门6、7，后利用致动器14(可以马达或手动方式操作)透过转轴140而转动过滤网12，此时透过旋转过滤网12即可将微粒5透过离心力方式将微粒5脱离过滤网12，进而达到无需拆卸过滤网12即可达到清洁及重复使用之目的，而脱离的微粒5则掉落于集尘区106。

完成前述的清洁后，可再次透过正压气体进行逆洗方式彻底将过滤网12再次清洁，其主要由出气口104进气，再由进气口102排气，藉由逆向气体将过滤网12上的微粒5吹落，让残留在过滤网12上的微粒5可脱离并落在集尘区106，进而达到无须拆卸过滤网即可清洁之目的。

再者，转轴140设置有联轴器142，利用装设于过滤桶10上的联轴器142能够将腔室100与转轴140完全隔离，以避免制程中的气体散逸到大气中。

本发明的真空泵前置过滤设备1，其为配合实际空间配置的需求必须有水平及垂直两种态样，以搭配应用场地进行变化，而前述的态样以垂直为主，另一种水平态样请参阅图6所示，进气口102a位于过滤桶10a侧边而出气口104a则位于过滤桶10a上方，另外，致动器14a装设有一连接该过滤网12a并可转动该过滤网12a的转轴140a，而过滤网12a则以一轴心方向2a围绕并装设于滤桶10a的腔室100a中，前述的转轴140a设置一装设于该过滤桶10a并将该腔室100a与该转轴140a密封的联轴器142a(以磁性联轴器为例)，一般的联轴器在枢接轴的部分会有缝隙产生，因此易发生漏气现象，惟，利用以磁性带动旋转的磁性联轴器在结构上无缝隙产生，因此则不会发生漏气现象。而在过滤桶10a下方则有用以收集微粒5a的集尘区106a。其气体过滤方式、清洁过滤网12a与逆洗方式均与前述垂直设置的真空泵前置过滤设备1相同，而达到的效果亦相同因此不再赘述。

藉由本发明的真空泵前置过滤设备1能有效将大部分的粉尘微粒及制程物先行过滤，避免真空泵3中造成沉积于转子间，最后导致转子干涉卡死而发生故障。

上述实施例仅为例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此项技艺的人士均可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修改。因此本发明的权利保护范围，应如后述申请专利范围所列。

Claims (6)

1.一种真空泵前置过滤设备，其特征在于：

其包括

一过滤桶，该过滤桶形成一腔室、一与该腔室相通的进气口及出气口及一位于该过滤桶下方且与该腔室相通的集尘区；

一过滤网，该过滤网以一轴心方向围绕并装设于该腔室；及

一致动器，该致动器装设有一连接该过滤网并可转动该过滤网的转轴，且该转轴设置一装设于该过滤桶并将该腔室与该转轴密封的联轴器。

2.根据权利要求1所述的真空泵前置过滤设备，其特征在于：其中该出气口连接一真空泵。

3.根据权利要求1所述的真空泵前置过滤设备，其特征在于：其中该过滤网形成复数网目。

4.根据权利要求1所述的真空泵前置过滤设备，其特征在于：其中该致动器为人力手摇或机械力其中之一者。

5.根据权利要求4所述的真空泵前置过滤设备，其特征在于：其中该机械力为马达。

6.根据权利要求1所述的真空泵前置过滤设备，其特征在于：其中该联轴器亦可为磁性联轴器。