CN104023942A - 成型方法和成型装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够简单且廉价地使曲面成型在具有微细图案的膜的成型方法和用于该成型方法的成型装置。该成型方法用于使超过该膜（20）的厚度的曲面成型在膜（20）的规定的被成型区域中，该膜（20）包括具有微细图案（20a）的图案面和与该图案面相向的背面，该成型方法通过下述工序形成预曲面：用固定机构（94）将膜（20）的被成型区域的外周固定的固定工序；用加热机构（95）对膜（20）进行加热的第一加热工序；以及，以使在固定工序中将膜（20）固定的一侧的压力较小的方式通过调压机构在膜（20）的两个面产生规定的压力差的调压工序。使该预曲面在具有作为规定曲面的受压面的受压台（32）上成型，形成所期望的曲面。

Description

成型方法和成型装置

技术领域

本发明涉及一种将曲面成型在具有微细图案的膜的成型方法和成型装置。

背景技术

以往，作为形成微米级、纳米级的微细图案的方法，已知有纳米压印技术。这是在树脂等被成型物对具有微细图案的模具进行加压，利用热或光将该图案转印在被成型物的技术(例如参照专利文献1)。此外，还考虑了压印装置(例如参照专利文献2)，其为了实现转印面积的增大而通过流体压力对具有可挠性的模具或工作台进行加压。

专利文献1：国际公开号WO2004/062886

专利文献2：日本特开2009-154393

发明内容

近年来，一直期待使用压印技术在透镜(lens)的曲面上形成蛾眼(moth-eye)构造。这里，为了将微细图案转印在曲面上，需要曲面状的模具。然而，存在制作用于将微细图案转印在曲面等非平面上的转印用模具很难并且成本花费较高的问题。

此外，本申请的发明人也考虑了将形成有微细图案的膜状的树脂膜具推抵于透镜曲面状的工作台来形成曲面的方法，但是对于曲率较大的曲面而言存在曲面无法成型、微细图案产生误差等问题。

因此，在本发明中，其目的在于提供一种能够简单且廉价地使曲面成型在具有微细图案的膜的成型方法和用于该成型方法的成型装置。

为了实现上述目的，本发明的成型方法，其用于在膜的规定的被成型区域成型超过该膜的厚度的曲面，该膜包括具有微细图案的图案面和与该图案面相向的背面，上述成型方法，包括：将上述膜的上述被成型区域的外缘部固定的固定工序；以及，以使得在上述固定工序中将上述树脂膜固定的一侧的流体压力相对较小的方式在上述树脂膜的两个面产生规定的压力差的调压工序。

在这种情况下，根据上述膜的材质，优选具有对该膜进行加热的第一加热工序。此外，优选在上述第一加热工序中，使被加热了的导热台与上述膜的背面接触来进行加热。

此外，上述调压工序可以将上述膜的图案面和背面中的任一方维持在大气压。此外，上述调压工序可以对上述图案面侧进行加压，也可以进行减压。

此外，成型方法还包括：将上述膜配置在具有作为所期望的曲面的受压面的受压台上，以使得在上述调压工序中形成的预曲面的背面重叠在受压面上的配置工序；以及，从上述图案面侧通过流体对上述膜向上述受压台进行加压的加压工序。

在这种情况下，根据上述膜的材质，优选具有在上述加压工序之前对该膜进行加热的第二加热工序。此外，优选具有在上述加压工序之前对上述膜与上述受压台之间的气体进行减压的减压工序。

此外，本发明的成形装置，其用于在膜的规定的被成型区域成型超过该膜的厚度的曲面，其中，该膜包括具有微细图案的图案面和与该图案面相向的背面，上述成型装置，包括：第一箱体，其在上述膜的图案面侧构成第一压力室；第二箱体，其在上述膜的背面侧构成第二压力室；固定机构，其将上述膜的上述被成型区域的外缘部固定；以及调压机构，其以使得由上述固定机构将上述膜固定的一侧的流体压力相对较小的方式调节上述第一压力室与上述第二压力室的压力差。

在这种情况下，根据上述膜的材质，优选具有用于对该膜进行加热的加热机构。此外，优选上述加热机构具有导热台，其形成为能够与上述膜的背面接触、分离，用于对与上述膜接触的部分均匀地加热。

此外，上述调压机构可以将上述第一压力室或上述第二压力室维持在大气压。此外，上述调压机构具有用于对上述第一压力室或上述第二压力室进行加压的加压机构，或者具有用于对上述第一压力室或上述第二压力室进行减压的减压机构。

此外，上述固定机构与上述第一箱体或上述第二箱体形成为一体。

本发明的成型装置和成型方法，能够简单且廉价地在膜上形成曲面。此外，如果在膜上先形成预曲面然后形成最终的曲面，则能够在膜上形成曲率较大且形成有精密的微细图案的曲面。

附图说明

图1是表示本发明的成型装置的局部截面图。

图2是表示本发明的成型装置的局部截面图。

图3是表示本发明的成型装置的局部截面图。

图4是表示本发明的另一成型装置的局部截面图。

图5是表示本发明的另一成型装置的局部截面图。

图6是表示本发明的另一成型装置的局部截面图。

图7是表示本发明的又一成型装置的局部截面图。

图8是表示本发明的又一成型装置的局部截面图。

图9是表示本发明的又一成型装置的局部截面图。

图10是表示本发明的成型装置的第二箱体的概略立体图。

图11是表示将预曲面成型为规定曲面的成型装置的局部截面图。

图12是表示将预曲面成型为规定曲面的成型装置的局部截面图。

符号说明

20 膜

20a 微细图案

32 受压台

91 第一箱体

92 第二箱体

93 调压机构

94 固定机构

95 加热机构

910第一压力室

920 第二压力室

具体实施方式

本发明的成型方法，用于在膜20的规定的被成型区域成型超过该膜20的厚度的曲面，该膜20包括具有微细图案20a的图案面和与该图案面相向的背面，该成型方法主要包括(参照图1至图9)：将膜20的被成型区域的外缘部固定的固定工序；以及，以使在固定工序中将树脂膜20固定的一侧的流体压力相对较小的方式在树脂膜20的两个面产生规定的压力差的调压工序。由此，在膜20上使预曲面成型。此外，根据膜20的材质，也可以进一步增加对膜20进行加热的第一加热工序。

接着，通过在具有作为所期望的曲面的受压面的受压台32上以使得在调压工序中形成的预曲面的背面重叠在受压面32上的方式配置膜20的配置工序、以及从图案面侧通过流体对膜20向受压台32进行加压的加压工序，来形成最终的曲面(参照图11、图12)。在这种情况下，根据膜20的材质，也可以进一步增加对膜20进行加热的第二加热工序，。

这里，微细图案20a是指由深度比膜20的厚度小的凹凸构成的几何形状。例如作为蛾眼发挥功能的凹凸构造等属于这种情况。微细图案20a的平面方向的凸部的宽度或者凹部的宽度的最小尺寸形成为100μm以下、10μm以下、2μm以下、1μm以下、100nm以下、10nm以下等各种大小。此外，深度方向的尺寸也形成为10nm以上、100nm以上、200nm以上、500nm以上、1μm以上、10μm以上、100μm以上等各种大小。

此外，被成型区域是指：在膜20中，在成型时形成曲面的区域。此外，作为曲面，例如透镜用曲面等符合条件，预曲面是指用于形成最终曲面的临时的曲面。

此外，膜20只要是能够在规定的温度下使被成型区域变形成曲面的材质即可，无论何种材质都可以，例如能够使用树脂或金属。作为树脂，能够使用环烯烃开环聚合物/氢化剂(COP)或环烯烃共聚物(COC)等环烯烃类树脂、丙烯酸树脂、聚碳酸酯、乙烯基醚树脂、全氟烷氧基烷烃(PFA)或聚四氟乙烯(PTFE)等氟树脂、聚苯乙烯、聚酰亚胺类树脂、聚酯类树脂等热可塑性树脂。作为金属，能够使用镍或金、银等。在作为压印(imprint)用模具使用的情况下，优选能够因流体压力而变形的具有可挠性的材质。

在固定工序中，通过固定机构94将膜20的被成型区域的外缘部固定，使得在调压工序中仅膜20的被成型区域向负压侧变形(参照图1、图4、图7)。

在第一加热工序中，使用加热机构95对膜20进行加热。在该工序中，只要能够至少加热被成型区域即可。加热温度只要是在调压工序时能够使膜20变形为曲面的温度即可，例如如果是树脂膜，则只要在该树脂的玻璃化转变温度以上即可。就加热而言，只要能够加热膜20，无论何种方法都可以选择，但是如果使被加热的导热台951与被成型区域的整个背面接触进行加热，则因能够将被成型区域加热到均匀的温度而优选。在这种情况下，在调压工序之前使导热台951退避到不会妨碍成型的位置(参照图2、图5、图8)。此外，在膜20是金属这种能够塑形变形的材质的情况下，也能够省略第一加热工序。

在调压工序中，进行调节使得在固定工序中将膜20固定的一侧的流体压力与另一侧压力相比相对较小，使膜20的两个面产生规定的压力差。该压力差成为成型压力。由此，在膜20的被成型区域负荷均等的压力，向负压侧形成凸状的预曲面(参照图3、图6、图9)。此外，在这里流体是指气体或液体。

接着，对使形成于膜20的预曲面成型为所期望的曲面的工序进行说明(参照图11、图12)。

在配置工序中，以预曲面的背面侧重叠在受压面321上的方式配置膜20。即，为了防止在成型期间微细图案20a发生损伤，使没有形成微细图案20a的表面为受压面321一侧。在这种情况下，优选受压面321形成为不会损害微细图案20a的表面粗糙度，例如形成为镜面状。

在第二加热工序中加热膜20。在该工序中，只要能够至少加热预曲面即可。加热温度只要是在加压工序时能够使膜20变形为曲面的温度即可，例如如果是树脂膜，则只要在该树脂的玻璃化转变温度以上即可。就加热而言，只要能够加热膜20，无论何种方法都可以选择，但是如果加热受压台，则因能够将膜20加热成均匀的温度而优选。此外，在膜20的材质是金属等情况下，也能够省略第二加热工序。

在加压工序中，从图案面侧通过流体压力对膜20向受压台32进行加压。此外，加压工序无论在第二加热工序之前还是之后都可以，能够根据膜20的硬度等适当决定。

然后，如果需要，则经过将膜20的温度冷却到规定温度例如如果是树脂膜则冷却到该树脂的玻璃化转变温度以下的冷却工序，在膜20成型所期望的曲面。

此外，为了将存在于膜20与受压台32之间的气体除去，并能够均匀地推压膜20和受压台32，最好在加压工序之前设有对膜20与受压台32之间的气体(atmosphere)进行减压的减压工序。在这种情况下，优选在减压时使膜20和受压台32之间分离，将膜20与受压台32之间的气体可靠地除去后，将预曲面与受压面321重叠。此外，很显然，为了防止在减压时膜20发生变形，最好使膜20的两个面的压力相同。

这样，能够简单且廉价地在具有微细图案20a的膜20成型所期望的曲面。此外，这样形成的部件能够作为压印用模具而使用，该压印用模具用于使用压印技术将蛾眼等微细图案转印在透镜曲面等上。

接着，对用于形成与本发明的成型方法中的预曲面相当的曲面的成型装置进行说明。本发明的成型装置，用于在膜20的规定的被成型区域成型超过该膜20的厚度的曲面，该膜20包括具有微细图案20a的图案面和与该图案面相向的背面，该成型装置主要包括：第一箱体91，其在膜20的图案面侧构成第一压力室910；第二箱体92，其在膜20的背面侧构成第二压力室920；固定机构94，其将膜20的被成型区域的外缘部固定；以及调压机构93，其以使固定机构94支承膜20的一侧的流体的压力相对较小的方式调节第一压力室910与第二压力室920的压力差。此外，根据膜20的材质，也可以还具有用于对膜20进行加热的加热机构95。

加热机构95只要是能够加热膜20的机构，则无论何种机构都可以，优选使用通过使其与膜20的背面接触而能够传导电加热器的热的导热台951。在这种情况下，导热台951具有移动机构952，形成为能够在相对于膜20靠近或远离的方向上移动。作为移动机构952，例如使用通过电动马达和滚珠丝杠使导热台951相对于膜20相对地靠近或远离的机构即可。当然，只要是能够使导热台951相对于膜20相对地靠近或远离的机构，则无论何种机构都可以，也能够通过液压式或气动式汽缸进行移动。由此，在加热时能够使导热台951与膜20的背面接触，高速且均匀地加热膜20，在成型时能够使导热台951退避到不会妨碍成型的位置。此外，作为加热机构的另一示例，虽然没有图示，但是也可以使用对供给到第一压力室910或第二压力室920的气体进行加热的机构。此外，在膜20的材质是金属等情况下，也能够省略加热机构95。

第一箱体91只要能够在膜20的图案面侧构成第一压力室910，则无论何种部件都可以，例如如图7至图9所示那样，只要使用形成为具有开口部的有底筒状，并且通过由膜20封闭开口部来构成第一压力室910的部件即可。此外，如图1至图6所示那样，只要能够隔离第一压力室910和第二压力室920，也可以不仅由膜20而是使其与固定机构或第二箱体92一起封闭开口部。

此外，第二箱体92只要能够在膜20的背面侧构成第二压力室920，则无论何种部件都可以。例如只要使用形成为具有开口部的有底筒状，并且通过由膜20封闭开口部来构成第二压力室920的部件即可。此外，只要第一压力室910和第二压力室920被隔离，也可以不仅由膜20而是使其与固定机构或第一箱体91一起封闭开口部(参照图1至图3)。

第一箱体91和第二箱体92的材质只要是相对于成型条件具有耐压性、耐热性的材质，则无论何种材质都可以，例如能够使用不锈钢等金属。

此外，第一箱体91和第二箱体92也可以具有用于开放第一压力室910或第二压力室920的能够接触、分离的离接机构。离接机构在附图中没有示出，其是以调节第一箱体91与第二箱体92的距离的方式相对地移动的机构。例如可以通过电动马达和滚珠丝杠使第一箱体91相对于第二箱体92相对地靠近或远离。当然，只要是能够使第一箱体91相对于第二箱体92相对地靠近或远离的机构，则无论何种机构都可以，也能够通过液压式或气动式汽缸进行移动。

此外，在图1至图3中，对在第二箱体92的内部设置导热台951的情况进行了说明，但是也可以如图4至图9所示那样，使导热台951与第二箱体92形成为一体。在这种情况下，第二箱体92包括：在两端具有孔的筒状的第二箱体侧壁部921；以及与能够嵌插在该孔中的导热台951形成为一体的凸状的第二箱体底部922。此外，在第二箱体侧壁部921与第二箱体底部922之间，也可以配置弹簧9521等弹性体作为移动机构952的一部分。由此，当使第一箱体91和第二箱体侧壁部921靠近或远离时，能够使导热台951在第二箱体侧壁部921的孔中移动，使其与膜20接触或分离。

固定机构94将膜20的被成型区域的外缘部固定，使得在成型时仅膜20的被成型区域发生变形。例如如图1至图3所示那样，能够使用具有形状与被成型区域相同的孔的筒状框体。膜20可以由夹子等夹持机构941夹持于该框体。此外，固定机构94也可以与第一箱体91或第二箱体92形成为一体(例如参照图7至图9)。此外，框体配置于要成型的曲面成为凸状的一侧的压力室。即，在成型时第一压力室910一侧相比第二压力室920成为正压的情况下，框体配置于第二压力室920一侧，在成型时第二压力室920一侧相比第一压力室910成为正压的情况下，框体配置于第一压力室910一侧。

此外，也可以在第一箱体91、第二箱体92或框体(固定机构94)配置密闭机构96，将第一压力室910或第二压力室920可靠地密闭。例如如图1至图9所示，准备O形环以作为密闭机构96，在第一箱体91、第二箱体92或框体形成比O形环的截面直径浅的凹状的槽，将O形环配置于该槽即可。

调压机构93是用于调节第一压力室910与第二压力室920的压力差而对膜20的被成型区域施加规定的压力来形成曲面的机构。就压力而言，以使固定机构94将膜20固定的一侧的流体压力相对较小的方式进行调节。作为调压机构93，只要是能够调节第一压力室910和第二压力室920内的气体的压力的机构，则无论何种机构都可以，例如能够使用使第一压力室910或第二压力室920中的任一方的压力一定，而使另一方的压力仅加压或减压成型所需要的压力的机构。

作为调压机构93的一个示例，能够使用将第二压力室920维持在大气压，并使用压力传感器(未图示)使第一压力室910的压力仅加压规定的成型压力以成为正压的加压机构。如图1所示，就加压机构而言，只要在第一箱体91连接第一压力室用气体给排流路9351，并通过第一压力室用气体给排流路9351和三通阀9352向第一压力室910供给空气或惰性气体等气体即可。为了供给所述气体，能够使用具有被压缩气体的气瓶或压缩机等气体供给源9353。此外，第二压力室920只要形成与外部连通的连通路径或间隙等，能够维持在大气压即可。此外，为了排出用于加压的气体，通过开关三通阀9352将气体排出到外部即可。此外，也可以适当设置安全阀等。

此外，作为调压机构93的另一示例，能够使用将第二压力室920维持在大气压，并使用压力传感器(未图示)使第一压力室910的压力仅减压规定的成型压力以成为负压的减压机构。如图4至图6所示，就减压机构而言，只要在第一箱体91经由减压室用气体给排流路9451和三通阀9452连接减压用泵9453，并从第一压力室910排出空气等气体即可。此外，第二压力室920只要形成与外部连通的连通路径或间隙等，能够维持在大气压即可。此外，为了使减压后的第一压力室910恢复原状，通过开关三通阀9452将外部的气体供给到第一压力室910即可。此外，也可以适当设置安全阀等。

此外，调压机构93也可以同时具有加压机构和减压机构这两个机构。

此外，在上述说明中，对将第二压力室920维持在大气压并对第一压力室910进行加压或减压的情况进行了说明，但是也可以采用将第一压力室910维持在大气压并对第二压力室920进行加压或减压的结构。此外，为了防止颗粒(particle)侵入等，也可以将第一压力室910和第二压力室920这两者加压到大气压以上，并在此基础上进行调节以产生压力差。

接着，对用于以由本发明的成型装置形成的预曲面为基础形成所期望的曲面的成型装置进行说明。如图11、图12所示，该成型装置用于在具有微细图案20a的膜20的预曲面精密成型规定的曲面，该成型装置主要包括：加压部3，其具有加压室30和加压机构35，加压室30用于从微细图案20a一侧通过流体对膜20进行加压，加压机构35对该加压室30内的流体的压力进行调节；以及受压台32，其具有由规定的曲面构成的受压面321，用于支承膜20。此外，根据膜20的材质，还可以具有调节该膜20的温度的温度调节部(未图示)。

加压部3包括：加压室30，其用于通过流体直接对膜20进行加压；以及加压机构35，其对加压室30内的流体的压力进行调节。此外，加压室30例如由膜20、加压室用箱体33、以及将膜20与加压室用箱体33之间进行密闭的密闭机构34构成即可。

加压室用箱体33形成为具有开口部的有底筒状，并且通过由膜20封闭开口部来构成作为密闭空间的加压室30。该开口部形成得比成型于膜20的曲面大。就材质而言，只要是相对于成型条件具有耐压性、耐热性的材质，则无论何种材质都可以，例如能够使用不锈钢等金属。此外，膜20以微细图案20a朝向加压室30一侧的方式将开口部密闭。

密闭机构34是为了将加压室30密闭而使加压室用箱体33与膜20之间密接的部件。例如如图11所示，准备O形环以作为密闭机构34，并且在加压室用箱体33的侧壁33a的受压台32一侧端部形成比O形环的截面直径浅的凹状的槽33b，将O形环配置于该槽即可。由此，能够由加压室用箱体33和受压台32夹持膜20，使加压室用箱体33与膜20密接，因此能够将加压室30内密闭。此外，即使在加压室用箱体33与膜20之间存在倾斜，只要其平行度在O形环的压缩量以内，就能够将加压室30可靠地密闭。

此外，使用开关机构来开关加压室30。开关机构在附图中并没有示出，其相对地移动以便对加压室用箱体33与受压台32的距离进行调节。例如通过电动马达和滚珠丝杠使加压室用箱体33相对于受压台32相对地靠近或远离即可。当然，只要是能够使加压室用箱体33相对于受压台32相对地靠近或远离的机构，则无论何种机构都可以，也能够通过液压式或气动式汽缸进行移动。

加压机构35只要能够将加压室30内的流体压力调节到能够将受压台32的曲面转印在膜20的压力，则无论何种机构都可以。例如如图1所示，将加压室用气体给排流路351与加压室用箱体33连接，通过加压室用气体给排流路351向加压室30供给或从加压室30中排出空气或惰性气体等气体即可。为了供给该气体，能够使用具有被压缩的气体的气瓶或压缩机等气体供给源352。此外，虽然在附图中没有示出，但是为了排出气体，通过开关放气阀来排出气体即可。此外，也可以适当设置安全阀等。

受压台32用于支承承受了加压部3的压力的膜20，并且使膜20的预曲面成型为规定的曲面。曲面形成于受压面321，受压面321是受压台的与膜20接触的一侧的面。这里，曲面例如是与凸透镜或凹透镜的曲面相当的曲面等。此外，受压面321优选形成为至少曲面的表面形成为具有不会损伤微细图案20a或曲面的功能这样的表面粗糙度的镜面状。就材质而言，只要是相对于成型条件具有耐压性、耐热性的材质，则无论何种材质都可以，例如能够使用碳素钢等钢材或不锈钢(SUS)等金属。此外，在从受压台32一侧加热膜20的情况下，优选使用金属等热传导性较高的材质。此外，在从加压室30一侧加热膜20的情况下，为了防止热量向受压台32一侧逃逸，也可以使用热传导性较低的材质，但是为了防止加热不均匀，优选台表面由热传导性较高的材质构成。

虽然在附图中没有示出，但温度调节部通过对膜20进行加热或冷却来调节膜20的温度。温度调节部由直接或间接地对膜20进行加热的加热机构和对膜20进行冷却的冷却机构构成。

加热机构只要能够将膜20加热到在向受压台32加压时能够变形为曲面的温度，例如如果是树脂膜，则只要加热到该树脂的玻璃化转变温度以上或熔融温度以上，则无论何种机构都可以。此外，既可以从受压台32一侧加热膜20，也可以从加压室30一侧加热膜20。具体而言，能够使用在受压台32内或载置受压台32的台主体320设置加热器而从受压台32一侧加热膜20的机构。此外，也能够使用在加压室30设置陶瓷加热器或卤素加热器这样的通过电磁波的辐射进行加热的辐射热源来加热膜20的机构。此外，也能够对供给到加压室30的气体进行加热，通过加热气体来进行加热。此外，在膜20的材质是金属等情况下，也能够省略加热机构。

冷却机构只要能够将膜20冷却到规定温度，例如如果是树脂膜，则只要冷却到低于该树脂的玻璃化转变温度或低于熔融温度，则无论何种机构都可以。此外，既可以从受压台32一侧冷却膜20，也可以从加压室30一侧冷却膜20。具体而言，能够使用在受压台32内或台主体320设置冷却用水路来从受压台32一侧对膜20进行冷却的机构。此外，也可以使用使冷却用气体或液体在加压室30循环来进行冷却的机构。

此外，温度调节部也可以是组合了多个上述的加热机构或冷却机构而构成的。

此外，本发明的成型装置也可以具有减压部4，减压部4具有用于对膜20与受压台32之间的气体进行减压的减压室。由此，能够将存在于膜20与受压台32之间的气体除去，均匀地推压膜20和受压台32来进行成型。

作为减压部4，例如如图1所示，由将膜20内包的减压室40和将减压室40内的气体排出的减压机构45构成即可。

减压室40由减压室用箱体、减压室用密闭机构44、以及受压台32或载置受压台32的台主体320构成。

减压室用箱体例如能够由加压室用箱体33、从加压室用箱体33的上部水平地延伸的法兰部431、以及以覆盖加压室用箱体33的方式从法兰部431垂下的折皱保护罩(蛇腹)432构成。在这种情况下，加压室30也成为减压室40的一部分。

减压室用密闭机构44为了将减压室40密闭而使减压室用箱体33与受压台32或者台主体320之间密接。例如如图1所示，准备O形环以作为减压室用密闭机构44，并且在折皱保护罩432的台主体侧端部形成比O形环的截面直径浅的凹状的槽432b，将O形环配置于该槽432b即可。由此，能够将减压室40内密闭。此外，即使在减压室用箱体与受压台32之间存在倾斜，只要其平行度在O形环的压缩量以内，也能够将减压室40可靠地密闭。

此外，减压室用箱体、减压室用密闭机构44显然具有抗减压时的外力的强度。

减压机构45由与减压室40连接的减压室用气体给排流路451和通过减压室用气体给排流路451排出减压室40内的气体的减压用泵452构成即可。

减压用泵452只要能够将减压室40减压到在对膜20和受压台32加压时不会发生转印不良的范围即可。

此外，也可以在减压室40内设置分离机构46，用于在减压时将膜20与受压台32之间分离，容易地除去膜20与受压台32之间的气体。由此，能够可靠地除去气体，防止发生转印不良。分离机构46只要是能够在膜20与受压台32之间形成间隙的机构，则无论何种机构都可以，例如如图1所示，由夹持膜20的端部的夹持部461和使该夹持部461在膜20与受压台32分离的方向上移动的升降机构(未图示)构成即可。

夹持部461例如能够使用通过施加弹簧等的弹性力来夹持的夹子等。

作为升降机构，能够使用通过液压式或气动式汽缸进行移动的机构、或者通过电动马达和滚珠丝杠进行移动的机构等。

Claims (16)

1.一种成型方法，其用于在膜的规定的被成型区域成型超过该膜的厚度的曲面，该膜包括具有微细图案的图案面和与该图案面相向的背面，所述成型方法的特征在于，包括：

将所述膜的所述被成型区域的外缘部固定的固定工序；以及

以使在所述固定工序中将所述树脂膜固定的一侧的流体压力相对较小的方式在所述树脂膜的两个面产生规定的压力差的调压工序。

2.如权利要求1所述的成型方法，其特征在于，包括：

对所述膜进行加热的第一加热工序。

3.如权利要求2所述的成型方法，其特征在于：

所述第一加热工序使被加热了的导热台与所述膜的背面接触来进行加热。

4.如权利要求1至3中任一项所述的成型方法，其特征在于：

所述调压工序将所述膜的图案面或背面中的任一方维持在大气压。

5.如权利要求1至3中任一项所述的成型方法，其特征在于：

所述调压工序对所述图案面侧进行加压。

6.如权利要求1至3中任一项所述的成型方法，其特征在于：

所述调压工序对所述图案面侧进行减压。

7.如权利要求1至6中任一项所述的成型方法，其特征在于，包括：

将所述膜配置在具有作为所期望的曲面的受压面的受压台上，以使得在所述调压工序中形成的预曲面的背面重叠在受压面上的配置工序；以及

从所述图案面侧通过流体对所述膜向所述受压台进行加压的加压工序。

8.如权利要求7所述的成型方法，其特征在于，包括：

对所述膜进行加热的第二加热工序。

9.如权利要求7或8所述的成型方法，其特征在于，包括：

在所述加压工序之前对所述膜与所述受压台之间的气体进行减压的减压工序。

10.一种成型装置，其用于在膜的规定的被成型区域成型超过该膜的厚度的曲面，其中，该膜包括具有微细图案的图案面和与该图案面相向的背面，所述成型装置的特征在于，包括：

第一箱体，其在所述膜的图案面侧构成第一压力室；

第二箱体，其在所述膜的背面侧构成第二压力室；

固定机构，其将所述膜的所述被成型区域的外缘部固定；以及

调压机构，其以使所述固定机构将所述膜固定的一侧的压力较小的方式调节所述第一压力室与所述第二压力室的压力差。

11.如权利要求10所述的成型装置，其特征在于，包括：

加热机构，其用于对所述膜进行加热。

12.如权利要求11所述的成型装置，其特征在于：

所述加热机构具有导热台，其形成为能够与所述膜的背面接触、分离，用于对与所述膜接触的部分均匀地加热。

13.如权利要求10至12中任一项所述的成型装置，其特征在于：

所述调压机构将所述第一压力室或所述第二压力室维持在大气压。

14.如权利要求10至12中任一项所述的成型装置，其特征在于：

所述调压机构具有用于对所述第一压力室或所述第二压力室进行加压的加压机构。

15.如权利要求10至12中任一项所述的成型装置，其特征在于：

所述调压机构具有用于对所述第一压力室或所述第二压力室进行减压的减压机构。

16.如权利要求10至15中任一项所述的成型装置，其特征在于：

所述固定机构与所述第一箱体或所述第二箱体形成为一体。