CN104014509B - 一种大片清洗机 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种大片清洗机，它包括机架（6），高压风干装置（15），机架（6）中下部架设有上料工作台（7）、超声波清洗槽（9）、超声波震板、慢拉脱水槽（10）、输送装置（12），机架（6）上部设置有减速电机、导轨（2）和单臂机械手（3），单臂机械手（3）跨设于导轨（2）上并由减速电机驱动单臂机械手（3）在导轨（2）上水平移动，单臂机械手（3）上端设置有气缸（4），减速电机位于气缸（4）后下方，气缸（4）使单臂机械手（3）上下移动，机架（6）上还设置有一控制器（5），控制器（5）与减速电机（1）和气缸（4）电连接。本发明的有益效果是：它具有自动化程度高、产品良率高、产品品质高和能耗低的优点。
Description
技术领域
本发明涉及清洗机，特别是一种大片清洗机。
背景技术
在生产和生活当中，需要清洁的东西很多，需要清洗的种类和环节也很多。因此，为了应对该众多需要清洁的东西，社会上已出现了多种清洗设备，采用了多种清洗工艺方法，譬如浸洗、刷洗、压力冲洗、振动清洗和蒸气清洗等等，但是当面对需要清洗的物品表面比较复杂，像一些表面凹凸不平、有盲孔的机械零部件，一些特别小而对清洁度有较高要求的产品，如：钟表和精密机械的零件、电子元器件、电路板组件等时；常规的清洗方法已无法达到要求，即使是蒸汽清洗和高压水射流清洗也无法满足对清洁度较高的需求。
目前超声波清洗机已作为一种清洗效果好的清洗装置，它已广泛地应用于电子电器、宝石、钟表、光学机械等领域。超声波清洗机一般由超声波清洗槽、超声波发生器以及包括有振动板和超声波换能器的超声波振板等构成，其中，超声波清洗槽一般采用弹性好、耐腐蚀的优质不锈钢制成，超声波振板可以采用侧挂式或者底置式安装于超声波清洗槽内，超声波换能器固定安装于振动板，超声波换能器通过连接线与超声波发生器电连接。
超声波清洗机原理主要是换能器将功率超声频源的声能转换成机械振动并通过清洗槽壁向槽子中的清洗液辐射超声波，使槽内液体中的微气泡能够在声波的作用下从而保持振动。当声压或者声强受到压力到达一定程度时候，气泡就会迅速膨胀，然后又突然闭合。在这段过程中，气泡闭合的瞬间产生冲击波，使气泡周围产生1012-1013pa的压力及局调温，这种超声波空化所产生的巨大压力能破坏不溶性污物而使他们分化于溶液中，蒸汽型空化对污垢的直接反复冲击。一方面破坏污物与清洗件表面的吸附，另一方面能引起污物层的疲劳破坏而被驳离从而达到清洗物件表面的目的。
目前晶片清洗工艺为将晶片散放在清洗框中，在单槽超声波机器中上下晃动清洗，经过两道超洗，一道漂洗，再用烤箱烘干，完成最终的工作，但是晶片散放在清洗框中，晶片叠在一起，很难分开，晶片清洗不干净，且晃动清洗及在不同槽体间的移动需手动作业，晶片采用烤箱烘干，高温烘烤影响晶片的物理特性。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种晶片清洗度高、清洗过程自动化高和人力成本低的大片清洗机。
本发明的目的通过以下技术方案来实现：一种大片清洗机，它包括机架，高压风干装置，所述的机架中下部从右往左依次架设有上料工作台、多个超声波清洗槽、超声波震板、慢拉脱水槽、输送装置，所述的超声波震板设置在超声波清洗槽体内的下方，所述的机架上部设置有减速电机、导轨和单臂机械手，单臂机械手跨设于导轨上并由减速电机驱动单臂机械手在导轨上水平移动，所述的单臂机械手上端设置有气缸，气缸使单臂机械手上下移动，单臂机械手下端设置有多个挂钩，所述的挂钩上挂有盛装大片晶片的清洗架，所述的清洗架包括至少两块卡板，卡板上开设有多个卡槽，卡板的两端连接有连接板，所述的机架上还设置有一控制器，控制器与减速电机和气缸电连接。
所述的导轨两端设置有使单臂机械手水平往返运动的行程开关，行程开关与控制器用信号线连接。
所述的输送装置包括多个导轮、输送带和输送电机，所述的导轮为五个且水平间隔安装在机架上，输送带环绕在导轮上，并由两端的导轮绷紧，所述的输送电机安装在位于导轮下方的机架上，且输送电机通过皮带传动带动导轮转动。
所述的机架底面上设置有便于机架移动的滚轮。
所述的清洗架上的卡板为六块，每两块卡板为一组，且每组卡板的卡槽对应设置。
所述的清洗架的连接板为槽钢，连接板之间连接有多根连接杆，连接杆将清洗架的卡板框在其中的空腔内。
所述的清洗架的每组卡板的两侧和底面均设置有一挡杆。
所述的挂钩均匀等距的排列在单臂机械手上。
所述的高压风干装置位于输送装置上方，并且高压风干装置架设在机架上。
所述的机架右上方设置有一层流罩。
本发明具有以下优点：本发明的大片清洗机，将晶片***清洗架中，清洗架上的卡板使晶片间完全隔离，减少晶片的支撑面积，确保晶片每个面能清洗干净，提升了晶片的生产良率，提高了晶片的产品品质；采用自动进出料，槽体间的移动采用单臂多勾机械手，采用全自动代替人工手动作业，可以精简两个人力，提高了清洗机的自动化程度，缩减了晶片生产的人力成本；设置层流罩，避免了晶片的二次污染，保证了产品的品质；采用高压风机，用自然风将晶片表面的水份吹干，降低了能耗，降低了对晶片特性的影响。
附图说明
图1为本发明的结构示意图
图2为清洗架的主视示意图
图3为清洗架的俯视示意图
图4为清洗架的左视示意图
图中，1-层流罩，2-导轨，3-单臂机械手，4-气缸，5-控制器，6-机架，7-上料工作台，8-滚轮，9-超声波清洗槽，10-慢拉脱水槽，11-输送电机，12-输送装置，13-导轮，14-输送带，15-高压风干装置，16-挂钩，17-清洗架，18-卡板，19-连接杆，20-连接板，21-挡杆。
具体实施方式
下面结合附图对本发明做进一步的描述，本发明的保护范围不局限于以下所述：
如图1所示，一种大片清洗机，它包括机架6，高压风干装置15，所述的机架6中下部从右往左依次架设有上料工作台7、多个超声波清洗槽9、本实施例中的超声波清洗槽9为两个，超声波震板、慢拉脱水槽10、输送装置12，所述的超声波震板设置在超声波清洗槽9体内的下方，所述的机架6上部设置有减速电机、导轨2和单臂机械手3，单臂机械手3跨设于导轨2上并由减速电机驱动单臂机械手3在导轨2上水平移动，所述的单臂机械手3上端设置有气缸4，气缸4使单臂机械手3上下移动，减速电机位于气缸（4）后下方，单臂机械手3下端设置有多个挂钩16，所述的挂钩16上挂有盛装大片晶片的清洗架17，单臂机械手3上的挂钩16能同时勾住四个清洗架，如图2~图4，所述的清洗架17包括至少两块卡板18，卡板18上开设有多个卡槽，卡板18的两端连接有连接板20，所述的机架6上还设置有一控制器5，控制器5与减速电机和气缸4电连接。
本实施例中为了实现单臂机械手3自动回转，在所述的导轨2两端设置有使单臂机械手3水平往返运动的行程开关，行程开关与控制器5用信号线连接，减速电机正转时，减速电机驱动单臂机械手3往左水平移动，当单臂机械手3触碰到导轨2左端的行程开关时，减速电机停止工作，行程开关将信号通过无线信号传输到控制器5，控制器5启动气缸4，气缸4使单臂机械手3往下移动，当单臂机械手3移动到下行程时，单臂机械手3的挂钩16上的清洗架17放置在对应的位置，然后气缸4再使单臂机械手3往上移动，当单臂机械手3运行到上行程时，气缸4停止工作，控制器5启动减速电机反转，使单臂机械手3水平往右移动，当触碰到导轨2右端的行程开关时，减速电机停止工作，然后行程开关将信号通过无线信号输送给控制器5，控制器5控制气缸4下行，使单臂机械手3上的挂钩16钩住清洗架17，然后控制器5控制气缸4上行，将清洗架17提起，单臂机械手3运行到上行程时，气缸4停止工作，控制器5启动减速电机正转，使单臂机械手3往左水平移动，然后依次循环上述动作，完成清洗架17的自动上下料。
本实施例中，上料工作台7上的清洗架17，是通过人工将清洗架17放置在上料工作台7上，为了满足单臂机械手3的挂钩16能方便的钩住清洗架17，所述的挂钩16均匀等距的排列在单臂机械手3上，且所述的上料工作台7、超声波清洗槽9和慢拉脱水槽10上的清洗架17的距离与单臂机械手3上的挂钩16的距离等距。
本实施例中，所述的输送装置12包括多个导轮13、输送带14和输送电机11，所述的导轮13为五个且水平间隔安装在机架6上，输送带14环绕在导轮13上，并由两端的导轮13绷紧，所述的输送电机11安装在位于导轮13下方的机架6上，且输送电机11通过皮带传动带动导轮13转动。
本实施列中，所述的清洗架17上的卡板18为六块，每两块卡板为一组，且每组卡板的卡槽对应设置，晶片卡在卡槽内，使晶片之间完全隔开，在超声波作用下，确保每片晶片都能均匀清洗，进一步地为了提高清洗架17的使用寿命，清洗架17的连接板20为不锈钢，连接板20之间连接有多根连接杆19，连接杆19将清洗架17的卡板18框在其中的空腔内，清洗架17的每组卡板的两侧和底面均设置有一挡杆21。
本实施例中，所述的机架6右上方设置有一层流罩1，层流罩1避免清洗过的晶片再次污染，保证了产品的品质。
本实施例中，所述的高压风干装置15位于输送装置12上方，并且高压风干装置15架设在机架6上，输送装置12将清洗架17缓慢输送到高压风干装置15下方，使被清洗过的晶片通过风干的方式进行干燥。
进一步地为了实现机架6的移动，在机架6底面上设置有滚轮8。
本发明的工作过程分为以下步骤：
1.大片装架：将晶片***清洗架中17，使晶片间完全隔离，减少晶片的支撑面积，确保超声波的强度能均匀的打在晶片上；
2.进料：将装好晶片的清洗架17放入清洗机上料工作台7上；
3.移动清洗：减速电机驱动单臂机械手3左右水平移动，气缸4伸缩运动，使单臂机械手3上下移动；单臂机械手3上的挂钩16能同时勾住四个清洗架17，将最右侧的四个清洗架17（含进料位）向左移动一个料位，使最左侧的清洗架17被放在流水线工位上；重复动作，使清洗架17依次经过每个工位，完成清洗；
4.干燥：清洗架17进入流水线上的风干区域（两个工位），经感应后，高压风机装置15工作，用自然风将清洗架17上的晶片表面的水分吹干；
5.出料：清洗架17被输送装置14输送到流水线的末端，将清洗17架取出，再将请洗架17放入上料工作台7中，然后依次循环，完成大片清洗机的自动清洗。
Claims (10)
1.一种大片清洗机，它包括机架（6），高压风干装置（15），其特征在于：所述的机架（6）中下部从右往左依次架设有上料工作台（7）、多个超声波清洗槽（9）、超声波震板、慢拉脱水槽（10）、输送装置（12），所述的超声波震板设置在超声波清洗槽（9）体内的下方，所述的机架（6）上部设置有减速电机、导轨（2）和单臂机械手（3），单臂机械手（3）跨设于导轨（2）上并由减速电机驱动单臂机械手（3）在导轨（2）上水平移动，所述的单臂机械手（3）上端设置有气缸（4），气缸（4）使单臂机械手（3）上下移动，减速电机位于气缸（4）后下方，单臂机械手（3）下端设置有多个挂钩（16），所述的挂钩（16）上挂有盛装大片晶片的清洗架（17），所述的清洗架（17）包括至少两块卡板（18），卡板（18）上开设有多个卡槽，卡板（18）的两端连接有连接板（20），所述的机架（6）上还设置有一控制器（5），控制器（5）与减速电机和气缸（4）电连接。
2.根据权利要求1所述的一种大片清洗机，其特征在于：所述的导轨（2）两端设置有使单臂机械手（3）水平往返运动的行程开关，行程开关与控制器（5）用信号线连接。
3.根据权利要求1所述的一种大片清洗机，其特征在于：所述的输送装置（12）包括多个导轮（13）、输送带（14）和输送电机（11），所述的导轮（13）为五个且水平间隔安装在机架（6）上，输送带（14）环绕在导轮（13）上，并由两端的导轮（13）绷紧，所述的输送电机（11）安装在位于导轮（13）下方的机架（6）上，且输送电机（11）通过皮带传动带动导轮（13）转动。
4.根据权利要求1所述的一种大片清洗机，其特征在于：所述的机架（6）底面上设置有便于机架（6）移动的滚轮（8）。
5.根据权利要求1所述的一种大片清洗机，其特征在于：所述的清洗架（17）上的卡板（18）为六块，每两块卡板为一组，且每组卡板的卡槽对应设置。
6.根据权利要求1所述的一种大片清洗机，其特征在于：所述的清洗架（17）的连接板（20）为不锈钢，连接板（20）之间连接有多根连接杆（19），连接杆（19）将清洗架（17）的卡板（18）框在其中的空腔内。
7.根据权利要求1所述的一种大片清洗机，其特征在于：所述的清洗架（17）的每组卡板的两侧和底面均设置有一挡杆（21）。
8.根据权利要求1所述的一种大片清洗机，其特征在于：所述的挂钩（16）均匀等距的排列在单臂机械手（3）上。
9.根据权利要求1所述的一种大片清洗机，其特征在于：所述的高压风干装置（15）位于输送装置（12）上方，并且高压风干装置（15）架设在机架（6）上。
10.根据权利要求1所述的一种大片清洗机，其特征在于：所述的机架（6）右上方设置有一层流罩（1）。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201410251767.1A CN104014509B (zh) | 2014-06-09 | 2014-06-09 | 一种大片清洗机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201410251767.1A CN104014509B (zh) | 2014-06-09 | 2014-06-09 | 一种大片清洗机 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN104014509A CN104014509A (zh) | 2014-09-03 |
| CN104014509B true CN104014509B (zh) | 2015-12-02 |
Family
ID=51431669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201410251767.1A Active CN104014509B (zh) | 2014-06-09 | 2014-06-09 | 一种大片清洗机 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN104014509B (zh) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105057298B (zh) * | 2015-08-26 | 2017-06-13 | 厦门申颖科技有限公司 | 一种容器自动清洗烘干机 |
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| CN105363733A (zh) * | 2015-11-30 | 2016-03-02 | 苏州林信源自动化科技有限公司 | 一种超声波清洗机 |
| CN105539947B (zh) * | 2016-03-01 | 2018-04-03 | 四川南格尔生物科技有限公司 | 一种气动洗袋装置及方法 |
| CN107051966A (zh) * | 2017-03-08 | 2017-08-18 | 常州市科沛达超声工程设备有限公司 | 全自动硅片清洗线及其工作方法 |
| CN107470267A (zh) * | 2017-09-26 | 2017-12-15 | 镇江金利源轴承有限公司 | 一种清洗轴承的流水线 |
| CN109013529A (zh) * | 2018-07-09 | 2018-12-18 | 邝婷 | 一种用于医疗儿科压舌板的清洗消毒装置 |
| CN109382367A (zh) * | 2018-09-14 | 2019-02-26 | 芜湖美奥机械科技有限公司 | 空调压缩机外壳的上端盖清洗装置 |
| CN109454149A (zh) * | 2018-11-06 | 2019-03-12 | 天津开山金属模具科技有限公司 | 带振动式自动出料截角铁模具的角铁处理*** |
| CN109454148A (zh) * | 2018-11-06 | 2019-03-12 | 天津开山金属模具科技有限公司 | 带传送带式自动出料截角铁模具的角铁生产*** |
| CN110404874B (zh) * | 2019-06-25 | 2022-02-01 | 深圳市荣之鑫科技有限公司 | 集成电路板生产用电镀硅片清洗干燥装置 |
| CN111069169A (zh) * | 2019-12-30 | 2020-04-28 | 荆门微田智能科技有限公司 | 轨道式晶圆清洗干燥整机流水线 |
| CN112474563A (zh) * | 2020-11-10 | 2021-03-12 | 深圳市创智联环保设备有限公司 | 一种电镀件往复水平移动的清洗烘干装置 |
| CN112569381B (zh) * | 2020-12-02 | 2022-05-27 | 戴元君 | 一种医疗器械消毒装置 |
| CN113263009B (zh) * | 2021-05-19 | 2023-06-23 | 南京政通建设工程有限公司 | 一种抖动提升式花坛假花摘除清洗装置 |
| CN114737199B (zh) * | 2022-03-28 | 2023-06-27 | 成都泰美克晶体技术有限公司 | 一种sc圆片腐蚀清洗*** |
| CN116441228B (zh) * | 2023-06-14 | 2023-11-07 | 苏州时钰表业有限公司 | 一种钟表摆锤无菌清洁装置及其清洁方法 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58104823A (ja) * | 1981-12-11 | 1983-06-22 | Sonitsuku Fueroo Kk | 自動洗浄装置の被洗浄物横送り装置 |
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| CN102601094A (zh) * | 2011-04-11 | 2012-07-25 | 福建中澳科技有限公司 | 超声波清洗工具框悬吊移位装置及其方法 |
| CN103658099A (zh) * | 2013-12-18 | 2014-03-26 | 常熟市天河机械设备制造有限公司 | 全自动水剂超声波清洗机 |
-
2014
- 2014-06-09 CN CN201410251767.1A patent/CN104014509B/zh active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN104014509A (zh) | 2014-09-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20181113 Address after: 636600 First Floor, Building 10-1, Zhongshan Road Volkswagen Pioneer Park, Bazhong Economic Development Zone, Sichuan Province Patentee after: Sichuan Taimeike Technology Co., Ltd. Address before: 610017 No. 103 Tianying Road, West Park of Chengdu High-tech Zone, Sichuan Province Patentee before: Chengdu Tai Meike Crystal Tech Inc. |
|
| TR01 | Transfer of patent right |