CN103994760A

CN103994760A - Mems器件的弹簧***

Info

Publication number: CN103994760A
Application number: CN201410056521.9A
Authority: CN
Inventors: 安德鲁·C·麦克耐尔; 加里·G·李
Original assignee: Freescale Semiconductor Inc
Current assignee: NXP USA Inc
Priority date: 2013-02-19
Filing date: 2014-02-19
Publication date: 2014-08-20
Also published as: JP2014160070A; US20140230549A1

Abstract

弹簧***（74）联接MEMS器件（72）的一对驱动质量块（30、32）。所述弹簧***（74）包括被定向以形成平行四边形布置（84）的不易弯曲横梁(76、78、80、82)。所述横梁与所述质量块（30、32）的驱动方向（56）对角定向。所述平行四边形布置（84）的斜对角耦合于驱动质量块（30、32）。弹簧（90）耦合于角（94）以及弹簧（92）耦合于所述平行四边形布置（84）的斜对角（96）。所述弹簧（92、94）与围绕所述驱动质量块的感测框架（34）互连。所述横梁和侧弹簧是不易弯曲的以基本防止所述驱动质量块的同相运动（66）。然而，旋转的柔性弯曲(102、104、106、108)允许所述布置（84）压扁和扩展以使能所述驱动质量块的反相运动（60）。

Description

MEMS器件的弹簧***

技术领域

本发明通常涉及微机电***（MEMS）器件。更具体地说，本发明涉及不易受同相运动影响的MEMS器件。

背景技术

近年来，微机电***（MEMS）技术取得了广泛的关注，因为它提供了一种制造非常小的机械结构并且能使用常规的批量半导体处理技术将这些结构与电器件集成在单一衬底上的方法。MEMS的一个常见的应用是传感器器件的设计和制造。MEMS传感器器件被广泛用于例如汽车、惯性制导***、家用电器、游戏器件、各种器件的保护***、以及许多其它的工业、科学、以及工程***的应用中。MEMS传感器的一个例子是MEMS角速率传感器。角速率传感器感测绕着一个或多个轴的角速度或角速率。

附图说明

当结合附图考虑时参阅详细说明书以及权利要求，对本发明可以有比较完整的理解。其中在整个附图中类似的参考符号表示相同的元件，以及：

图1示出了现有技术的角速率传感器的俯视图；

图2示出了在两个操作模式下的现有技术的角速率传感器的驱动质量块的概念模型；

图3示出了根据实施例的角速率传感器的俯视图；

图4示出了图3的角速率传感器的一部分的俯视图；

图5示出了根据实施例的通过弹簧***耦合的图3的角速率传感器的驱动质量块的概念模型；

图6示出了示范驱动质量块在第一方向的反相运动的图5的概念模型；以及

图7示出了示范驱动质量块在第二方向的反相运动的图5的概念模型。

具体实施方式

参照图1和图2，图1示出了现有技术的角速率传感器20的俯视图以及图2示出了在两个操作模式下的现有技术的角速率传感器20的驱动质量块的概念模型21。现有技术的角速率传感器20在本发明中被提供以说明在现有技术设计中可能发生的不希望的同相运动。角速率传感器20通常被配置为感测绕着被称为输入轴22的轴旋转的角速率。在所图示的配置中，输入轴22是在三维坐标***的X-轴。按照惯例，角速率传感器20被图示为在X-Y平面24中具有基本平面的结构，其中Z-轴26延伸到页外，垂直于图1的X-Y平面24。

角速率传感器20包括衬底28、驱动质量块30、另一个驱动质量块32、传感质量块34以及各种机械联动装置。在图1的示例中，传感质量块34是感测框架，以及驱动质量块30和32位于延伸通过传感质量块34的中心开口36。驱动质量块32远离驱动质量块30横向部署于X-Y平面24中，以及驱动质量块30和32围绕输入轴22相对于彼此对称放置。

连接弹簧组件38将驱动质量块30和32中的每一个分别耦合于传感质量块34。因此，驱动质量块30和32悬挂于衬底28的表面40上，并且不直接物理附着到衬底28。角速率传感器20还包括以耦合于传感质量块34的扭力弹簧42的形式的弹性支撑元件。扭力弹簧42通过锚44将传感质量块34连接到衬底28的表面40。

各种传导板或电极连同角速率传感器20的其它固定组件可以形成于衬底28的表面40上。在该简化说明中，电极包括被用于感测角速率传感器20围绕X-轴22的旋转的传感电极46和48。电极46和48在图1中被上覆的传感质量块34遮住。因此，在图1中，电极46和48用虚线的形式表示以说明它们相对于传感质量块34的物理放置。

驱动***位于中心开口36中。驱动***50包括被配置为振荡驱动质量块30和32的驱动元件集合。驱动元件的每个集合包括被称为可移动指状物52和固定指状物54的电极对。在所示出的示例中，可移动指状物52耦合于每一个驱动质量块30和32并且从其延伸以及固定指状物54被固定到衬底28的表面40。固定指状物54与可移动指状物52彼此间隔开并且与可移动指状物52以交叉布置来定位。由于它们附着于驱动质量块30和32，可移动指状物52可与驱动质量块30和32一起移动。相反，由于它们固定地附着于衬底28，固定指状物54相对于可移动指状物52是静止的。

驱动质量块30和32可以被配置为在X-Y平面24中经受振荡运动。通常，交流电（AC）电压作为驱动信号可以通过驱动电路（未示出）被应用于固定指状物54以使驱动质量块30和32在三维坐标***中沿着驱动轴56即Y-轴振荡。驱动质量块结构30和32通过耦合弹簧58被联接在一起以沿着Y-轴56在相对方向上即反相运动。

在操作中，驱动***50在X-Y平面24中反相施加在驱动质量块30和32上振荡线性运动。在所说明的实施例中，其中旋转轴被指定为X-轴22，驱动质量块30和32在大致平行于Y-轴46的相对方向振荡（即，图1中的上下）。驱动质量块30和32的反相运动在图1和图2中通过相对的指向箭头60表示，并且因此被称为反相运动60。一旦驱动质量块30和32进入沿着Y-轴46的振荡运动（即，反相运动60），质量块30、32和34的***可以检测由围绕X-轴22旋转角速率传感器20产生的角速率，即角速度。具体地，由于科里奥利加速度分量，扭力弹簧42使传感质量块34能够通过根据围绕X-旋转轴22的角速率传感器20的角速率即角速度枢转扭力弹簧42来在X-Y平面24外振荡。该运动具有与在电极46和48处感测的围绕输入轴即X-轴22的角速率传感器20的角旋转率成比例的幅度。

特别参照图2的概念模型21，角速率传感器20（图1）由通过耦合弹簧58和联接弹簧组件38联接的驱动质量块30和32表示，其中联接弹簧组件38将驱动质量块30和32耦合于传感质量块34。弹簧38和58的***使能驱动质量块30和32的反相运动60。等式62表示施加在驱动质量块30和32上的反相运动60的反相驱动频率分量64。

由于外部的振动、冲击、干扰等等，驱动质量块30和32可以经受同相运动。同相运动是指其中两个驱动质量块30和32在相同方向以相同的幅度振荡的状况。驱动质量块30和32的同相运动在图2中通过一对指向相同方向的箭头66表示，并且因此在本发明中被称为同相运动66。同相运动66在角速率传感器20中是不利的。事实上，不希望的同相模式的谐振频率的外部振动可以产生显著的同相运动66，从而造成驱动质量块30和32不可控制的大运动，导致角速率传感器不准确。不幸的是，示例现有技术设计中的弹簧38和58的***可能允许驱动质量块30和32的不希望的同相运动66。等式68表示了施加在驱动质量块30和32的同相运动66上的同相频率分量70。

本发明所公开的实施例涉及一种微机电***（MEMS）器件的弹簧***、包括该弹簧***的MEMS器件以及制造具有该弹簧***的MEMS器件的方法。具体地，MEMS角速率传感器包括弹簧***，所述弹簧***耦合使能启动质量块的基本“音叉”反相运动的一对驱动质量块。弹簧***包括耦合于驱动质量块的与不易弯曲横梁对角定向的矩形结构。弹簧***还包括互连在所述矩形结构和周围的感测框架之间的侧弹簧，其中所述侧弹簧在驱动运动方向是不易弯曲的，但在与驱动运动方向正交的方向是柔性的。对角布置的横梁被联接到带有旋转地柔性弯曲部分的侧弹簧。由此产生的结构约束驱动质量块运动的反向振荡，并向驱动质量块的同相振荡提供强大抵抗。虽然本发明描述了MEMS角速率传感器，应理解，弹簧***或可适合于使用在其它MEMS器件中，其中所述其它MEMS器件实现反相驱动的双移动驱动质量块，并且也对其抑制同相运动。

参照图3-图4，图3示出了根据实施例的角速率传感器72的俯视图，以及图4示出了角速率传感器72的一部分的俯视图。如同角速率传感器20，角速率传感器72通常被配置为感测绕着被称为输入轴22即X-轴的旋转轴的角速率，其中驱动轴56是Y-轴以及感测轴26是Z-轴。角速率传感器72的许多组件与角速率传感器20的相同。因此，相同的参考符号将用于相同的元件，并且对它们的结构和功能的说明将不再重复。然而，根据实施例，耦合弹簧58（图1）被弹簧***74代替。弹簧***74被配置为减少驱动质量块30和32的同相运动66。

弹簧***74包括不易弯曲横梁集合，所述集合包括第一横梁76、第二横梁78、第三横梁80和第四横梁82。横梁76、78、80和82与驱动质量块30和32的驱动方向对角定向，即相对倾斜。即，横梁76、78、80和82与驱动轴56对角定向。本发明所用的术语“对角”是指一种配置，其中每一个横梁76、78、80和82不与驱动质量块30和32的驱动方向平行布置，以及横梁76、78、80和82不与驱动质量块30和32的驱动方向垂直布置。相反，横梁76、78、80和82可以倾斜，虽然它们并不限定于相对于驱动方向的四十五度的倾斜。本发明所用的术语“第一”、“第二”、“第三”等等不是指可数系列元件内的元件的次序或优先次序。相反，术语“第一”、“第二”、“第三”等等是用于为了讨论清楚而将某些元件或元件组彼此区分开。

横梁76、78、80和82相对于彼此定向以形成平行四边形布置84。因此，第一和第四横梁76和82长度大致相等，并彼此平行。同样地，第二和第三横梁78和80长度大致相等，并彼此平行。横梁76、78、80和82的平行四边形布置84包括四个角。平行四边形布置84的第一角86被配置为耦合于驱动质量块30，平行四边形布置84的第二角88被配置为耦合于驱动质量块32，其中第二角88与第一角86对角相对。

弹簧***74还包括第一侧弹簧90和第二侧弹簧92。第一侧弹簧90耦合于平行四边形84的第三角94，以及第二侧弹簧92耦合于平行四边形84的第四角96，其中第四角96与第三角94对角相对。第一和第二侧弹簧90和92中的每一个的相对端98和100与感测质量块34的框架结构互连。在实施例中，第一和第二侧弹簧90和92分别在驱动质量块30和32的驱动方向是不易弯曲的。即，第一和第二侧弹簧90和92相比于它们在Y方向的长度，在X方向上是薄的。因此，第一和第二侧弹簧90和92在平行于驱动轴56的驱动方向是耐弯曲的。然而，第一和第二侧弹簧90和92在平行于X-Y平面24的另一个方向是柔性的，即能够弯曲、折曲或以其它方式变形。因此，第一和第二侧弹簧90和92在大致平行于X-轴22的方向是柔性的。因此，第一和第二侧弹簧90和92不允许在平行于驱动轴56的驱动方向运动。相反，第一和第二侧弹簧90和92允许在平行于X-轴22的另一个方向运动。这种柔性具体地在图4中示范。

弹簧***74还包括在第一角86处分别将平行四边形布置的第一横梁76和第二横梁78互连的第一弯曲布置102。同样地，第二弯曲布置104在第二角88处分别将第三和第四横梁80和82互连。第三弯曲布置106在第三角94处将第一横梁76和第三横梁80互连。以及第四弯曲布置108在第四角96处将第二横梁78和第四横梁82互连。每一个弯曲布置102、104、106和108绕着基本垂直于衬底28的平面表面40的轴是旋转地柔性的。即，每一个弯曲布置102、104、106和108由允许绕着Z-轴26的任何适当的弹簧布置形成。然而，弯曲布置102、104、106和108在轴向上是不易弯曲的，即，阻止平行于Z-轴26的线性运动，使得弯曲布置102、104、106、108的旋转运动被约束于X-Y平面24。

此外，横梁76、78、80和82的弹簧常数可以被调整为比弯曲布置102、104、106、108更不易弯曲，使得横梁76、78、80和82在很大程度上是非柔性的并且弯曲布置的柔性大于76、78、80和82的柔性。例如，横梁76、78、80和82在X-Y平面24的宽度明显大于在X-Y平面的任何弯曲布置102、104、106和108的宽度。

图5示出了根据实施例，的通过弹簧***74耦合的角速率传感器72（图3）的驱动质量块30、32的概念模式110。在概念模式110中，第一和第二侧弹簧90和92分别由元件112和弹簧114表示。如上所述，第一和第二侧弹簧90和92（由元件112和弹簧114表示）将不易弯曲横梁76、78、80和82的平行四边形布置84与感测框架34互连。

如前所述，第一和第二侧弹簧90和92在平行于Y-轴56的Y方向是不易弯曲的，即，非柔性的。硬度在概念模型110中由被固定结构116约束的元件112表示。然而，弹簧114表示第一和第二侧弹簧90和92中的每一个在平行于X-轴22的方向的运动的能力，即拉伸、压缩、或以其它方式变形的能力。

横梁76、78、80和82的硬度，以及第一和第二侧弹簧90和92在Y方向的硬度向角速率传感器72的谐振频率即操作频率处的同相运动66提供机械约束。因此，由于外部振动、杂散加速度、或干扰导致的驱动质量块30和32的同相运动66在很大程度上被防止。由于同相运动66足够高，弹簧***74的机械约束可以推进同相频率分量70（图2），使得同相频率分量70位于角速率传感器72的操作范围之外。

参照图6和图7，图6示出了示范驱动质量块30和32在第一方向118的反相运动60的概念模式110以及图7示出了示范驱动质量块30和32在第二方向120的反相运动60的概念模式110。正如上面结合图1所讨论的，驱动质量块30和32通过驱动***50被驱动进入反相运动60。

在图6中，来自驱动***50的驱动信号使驱动质量块30和32在第一方向118朝向彼此运动。随着驱动质量块30朝向彼此运动，弯曲布置102、104、106和108使能横梁76、78、80和82的旋转运动，如箭头122表示的，使得侧弹簧90和92在X方向变形并且平行四边形布置84在驱动方向压扁，即压缩。在图7中，来自驱动***50的驱动信号使驱动质量块30和32在第二方向120远离彼此运动。随着驱动质量块30远离彼此运动，弯曲布置102、104、106和108再次使能横梁76、78、80和82的旋转运动122，使得侧弹簧90和92在X方向变形并且平行四边形布置84在驱动方向延伸。因此，第一和第二驱动质量块30和32的振荡的反相运动60被使能，而同相运动66（图5）基本上被防止。此外，当由于第一和第二侧弹簧90和92在Y方向的非柔性而经受外部振动的时候，平行四边形布置84被约束到非压扁配置124（图5）。

再次参照图3，一种制造角速率传感器72的方法通常涉及形成第一驱动质量块30、第二驱动质量块32和围绕驱动质量块30和32悬浮于衬底28的表面40上的感测质量块34。弹簧***74被形成为包括相对于彼此定向以形成平行四边形结构84的硬横梁不易弯曲（例如，在X-Y平面24相对较厚）横梁76、78、80和82集合，并且被形成为分别包括第一和第二侧弹簧90和92。角速率传感器72的制造导致弹簧***74耦合于驱动质量块30和32，使得横梁76、78、80和82与驱动质量块30和32的驱动方向56对角定向。角速率传感器72的制造还导致平行四边形布置84的第一角86与第一驱动质量块30互连以及平行四边形布置84的第二角88与第二驱动质量块32互连，其中第二角88与所述第一角对角相对。角速率传感器72的制造还导致第一侧弹簧90与平行四边形布置84的第三角94互连以及第二侧弹簧92与平行四边形布置84的第四角96互连，其中第四角96与所述第三角94对角相对。此外，适当的弯曲布置102、104、106和108的互连发生，并且侧弹簧90和92的相对端98和100与感测质量块34的互连在制造期间发生。

角速率传感器72的制造可以使用任何适当的已知的或即将到来的制造过程进行。例如，制造过程实现硅微机械加工制造过程，所述过程导致适当地沉积、构图以及蚀刻的结构层和牺牲层以产生角速率传感器72的悬浮结构。

综上所述，实施例涉及一种微机电***（MEMS）器件的弹簧***、包括该弹簧***的MEMS器件以及制造具有该弹簧***的MEMS器件的方法。具体地，MEMS角速率传感器包括弹簧***，所述弹簧***耦合使能驱动质量块的基本反相运动的一对驱动质量块。弹簧***包括耦合于驱动质量块的与不易弯曲横梁对角定向的平行四边形布置。弹簧***还包括互连在平行四边形布置和周围感测框架之间的侧弹簧，其中所述侧弹簧在驱动运动方向是不易弯曲的，但在与驱动运动方向正交的方向是柔性的。对角布置的横梁被联接到具有旋转地柔性的弯曲部分的侧弹簧。由此产生的结构约束驱动质量块运动的反向振荡，并向驱动质量块的同相振荡提供了强大抵抗。因此，可以实现信号输出的较大精确度。

虽然已对本发明的优选实施例详细地进行了说明和描述，很明显在不脱离本发明精神或附属权利要求范围的情况下，可以进行各种修改。即，应理解，示范实施例仅仅是示例，不旨在限定本发明的范围、适用性或配置。

Claims

1.一种微机电***（MEMS）器件，包括：

第一可移动质量块;

第二可移动质量块；以及

用于将所述第一可移动质量块耦合于所述第二可移动质量块的弹簧***，所述弹簧***包括：

相对于彼此定向以形成平行四边形布置的不易弯曲横梁的集合，所述横梁与所述第一和第二可移动质量块的驱动方向对角定向，其中所述平行四边形布置的第一角被配置为耦合于所述第一可移动质量块以及所述平行四边形布置的第二角被配置为耦合于所述第二可移动质量块，所述第二角与所述第一角对角相对；

耦合于所述平行四边形布置的第三角的第一侧弹簧；以及

耦合于所述平行四边形布置的第四角的第二侧弹簧，所述第四角与所述第三角对角相对。

2.根据权利要求1所述的MEMS器件，其中所述弹簧***还包括：

在所述第一角处互连所述平行四边形布置的第一横梁和第二横梁的第一弯曲布置；

在所述第二角处互连所述平行四边形布置的第三横梁和第四横梁的第二弯曲布置；

在所述第三角处互连所述平行四边形布置的所述第一横梁和所述第三横梁互的第三弯曲布置；

在所述第四角处互连所述平行四边形布置的所述第二横梁和所述第四横梁的第四弯曲布置，其中所述第一、第二、第三和第四弯曲布置中的每一个绕着基本垂直于所述MEMS器件的平面衬底的轴是旋转地柔性的。

3.根据权利要求2所述的MEMS器件，其中所述第一、第二、第三和第四弯曲布置中的每一个在轴向上是不易弯曲的以基本将所述第一、第二、第三和第四弯曲布置的旋转运动限制于基本平行于所述平面衬底的平面。

4.根据权利要求1所述的MEMS器件，其中所述平行四边形布置被配置为当经受驱动信号时被压扁以使能所述第一和第二可移动质量块的反相运动。

5.根据权利要求1所述的MEMS器件，其中所述平行四边形布置在经受外部振动信号时被约束为非压扁配置。

6.根据权利要求1所述的MEMS器件，其中所述第一和第二侧弹簧在所述驱动方向是不易弯曲的，而在与所述驱动方向正交的第二方向是柔性的。

7.根据权利要求6所述的MEMS器件，其中所述驱动方向和所述第二方向基本平行于所述MEMS器件的平面衬底。

8.根据权利要求1所述的MEMS器件，还包括围绕所述第一和第二可移动质量块的框架，其中所述第一和第二侧弹簧中的每一个的相对端适于与所述框架互连。

9.根据权利要求1所述的MEMS器件，还包括平面衬底，其中所述不易弯曲横梁的集合、所述第一侧弹簧以及所述第二侧弹簧悬浮于所述平面衬底上而不直接连接到所述平面衬底。

10.一种制造微机电***（MEMS）器件的方法，所述方法包括：

在平面衬底上形成第一可移动质量块、第二可移动质量块以及围绕所述第一和第二可移动质量块的感测框架；

形成弹簧***，所述弹簧***包括相对于彼此定向以形成平行四边形布置的不易弯曲横梁的集合、第一侧弹簧以及第二侧弹簧；以及

其中所述弹簧***耦合于所述第一和第二可移动质量块使得所述横梁与所述第一和第二可移动质量块的驱动方向对角定向，其中所述平行四边形布置的第一角耦合于所述第一可移动质量块，所述平行四边形布置的第二角耦合于所述第二可移动质量块，所述第二角与所述第一角对角相对，并且其中所述第一侧弹簧耦合于所述平行四边形布置的第三角，所述第二侧弹簧耦合于所述平行四边形布置的第四角，所述第四角与所述第三角对角相对。

11.根据权利要求10所述的方法，其中在所述形成操作之后：

所述平行四边形布置的第一横梁和第二横梁通过第一弯曲布置在所述第一角处互连；

所述平行四边形布置的第三横梁和第四横梁通过第二弯曲布置在所述第二角处互连；

所述平行四边形布置的所述第一横梁和所述第三横梁通过第三弯曲布置在所述第三角处互连；

所述平行四边形布置的所述第二横梁和所述第四横梁通过第四弯曲布置在所述第四角处互连，其中所述第一、第二、第三和第四弯曲布置中的每一个绕着基本垂直于所述MEMS器件的平面衬底的轴是旋转地柔性的。

12.根据权利要求10所述的方法，其中在所述形成操作之后，所述第一和第二侧弹簧中的每一个的相对端互连到所述感测框架。

13.根据权利要求10所述的方法，其中在所述形成操作之后，所述平行四边形布置被配置为当经受驱动信号时被压扁以使能所述第一和第二可移动质量块的反相运动，以及所述平行四边形布置当经受外部振动信号时被约束为非压扁配置。

14.根据权利要求10所述的方法，其中所述第一和第二侧弹簧在所述驱动方向是不易弯曲的，而在与所述驱动方向正交的第二方向是柔性的，所述驱动方向和所述第二方向基本平行于所述MEMS器件的平面衬底。

15.根据权利要求10所述的方法，还包括将所述平行四边形布置、所述第一侧弹簧以及所述第二侧弹簧悬浮于所述MEMS器件的平面衬底上而不直接连接到所述平面衬底。

16.一种微机电***（MEMS）器件，包括：

具有平面表面的衬底；

悬浮于所述平面表面上并且可移动地锚定到所述平面表面的感测框架，所述感测框架具有中心开口；

第一驱动质量块；

第二驱动质量块，所述第一和第二驱动质量块被定位在所述感测框架的所述中心开口内；以及

被配置为减少所述第一和第二可移动质量块的同相运动的弹簧***，所述弹簧***包括：

相对于彼此定向以形成平行四边形布置的不易弯曲横梁的集合，所述横梁与所述第一和第二可移动质量块的驱动方向对角定向，其中所述平行四边形布置的第一角耦合于所述第一可移动质量块以及所述平行四边形布置的第二角耦合于所述第二可移动质量块，所述第二角与所述第一角对角相对；

耦合于所述平行四边形布置的第三角并且具有与所述感测框架互连的第一相对端的第一侧弹簧；以及

耦合于所述平行四边形布置的第四角并且具有与所述感测框架互连的第二相对端的第二侧弹簧，所述第四角与所述第三角对角相对，所述第一和第二侧弹簧在所述驱动方向是不易弯曲的，而在与所述驱动方向正交的第二方向是柔性的。

17.根据权利要求16所述的MEMS器件，其中所述弹簧***还包括：

在所述第三角处互连所述平行四边形布置的所述第一横梁和所述第三横梁的第三弯曲布置；

在所述第四角处互连所述平行四边形布置的所述第二横梁和所述第四横梁的第四弯曲布置，其中所述第一、第二、第三和第四弯曲布置中的每一个绕着基本垂直于所述衬底的所述平面表面的轴是旋转地柔性的。

18.根据权利要求17所述的MEMS器件，其中所述第一、第二、第三和第四弯曲布置中的每一个在轴向上是不易弯曲的以基本将绕所述轴的旋转运动限制于基本平行于所述衬底的所述平面表面的平面。

19.根据权利要求16所述的MEMS器件，其中所述平行四边形布置被配置为当经受驱动信号时被压扁以使能所述第一和第二可移动质量块的反相运动，以及所述平行四边形布置在经受外部振动信号时被约束为非压扁配置。

20.根据权利要求16所述的MEMS器件，其中所述驱动方向和所述第二方向基本平行于所述衬底的所述平面表面。