CN103984201A - 掩模板、掩模板的制造方法及掩模板的裂纹检测装置 - Google Patents

Abstract

本发明属于显示领域，公开了一种掩膜板、掩膜板的制造方法及掩膜板的裂纹检测装置，所述掩膜板包括一基板，所述基板的表面形成有至少一个测试区，所述测试区内布置有与所述基板结合在一起的电极线，所述电极线的两端分别引出一个测试端子。本发明的掩模板的表面形成的各个测试区内布置有与所述基板结合在一起的电极线，通过测试电极线是否存在断路，就可以判断与电极线相结合的基板是否存在裂纹，从而可以简单快速判断掩模板的完整性，避免因掩模基板存在裂纹而导致产品出现质量问题。

Description

掩模板、掩模板的制造方法及掩模板的裂纹检测装置

技术领域

本发明涉及显示领域，特别是涉及一种掩膜板、掩膜板的制造方法及掩膜板的裂纹检测装置。

背景技术

TFT-LCD面板制造业中，ODF工艺中滴下液晶和涂布边框胶是同时进行的，如果不能及时固化边框胶，它与液晶材料直接接触时，容易造成液晶材料的污染，同时在短时间内边框胶没有固化也容易发生液晶穿透边框胶的现象。紫外线固化设备的作用就是利用紫外线实现边框胶的快速固化，防止发生液晶材料污染和液晶穿透边框胶的问题发生。

鉴于紫外线对液晶材料有一定影响，可能会破坏液晶分子结构，影响其特性，因此在紫外线固化设备中会用到掩模基板。掩模基板的作用就是遮挡产品的显示区域，防止紫外线直接照射到液晶材料上。实际生产应用中，ODF紫外线固化设备用的掩模基板是玻璃材质的基板，因此在使用、更换和存放过程中可能会形成微裂纹，而这种微裂纹一般很难被发现。如果在使用掩模基板生产产品的过程中，其表面的微裂纹发生扩展或破裂，就会对产品的品质造成影响，造成损失。

发明内容

为了解决掩膜板在TFT-LCD生产过程中出现破损而导致产品出现质量问题，本发明提供了一种掩膜板、掩膜板的制造方法及掩膜板的裂纹检测装置。

本发明采用的技术方案是：一种掩膜板，包括一基板，所述基板的表面形成有至少一个测试区，所述测试区内布置有与所述基板结合在一起的电极线，所述电极线的两端分别引出一个测试端子。

本发明还提供了一种掩模板的制造方法，包括：

形成一基板；

在所述基板的表面形成导电膜层；

加工所述导电膜，形成电极线。

本发明还提供了一种掩模板的裂纹检测装置，包括一用于检测所述电极线上两个端子之间模拟信号的检测表，所述检测表包括两条与待测电极线两个端子分别进行连接的导线。

本发明的有益效果是：本发明的掩模板的表面形成的各个测试区内布置有与所述基板结合在一起的电极线，通过测试电极线是否存在断路，就可以判断与电极线相结合的基板是否存在裂纹，从而可以简单快速判断掩模板的完整性，避免因掩模基板破裂而导致产品出现质量问题。

附图说明

图1为本发明一种实施例的掩模板的结构示意图；

图2为本发明第二种实施例的掩模板的结构示意图；

图3为本发明第三种实施例的掩模板的结构示意图；

图4为本发明一种实施例的掩膜板的制造方法的流程图；

图5为本发明第一种实施例的掩模板的检测装置的结构示意图；

图6为本发明第二种实施例的掩模板的检测装置的结构示意图。

具体实施方式

为使本发明要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。

如图1所示，为本发明一种实施例的掩模板的结构示意图，该掩模板包括：一基板1，所述基板1的表面形成有至少一个测试区，所述测试区内布置有与所述基板结合在一起的电极线2，所述电极线2的两端分别引出一个测试端子3。

本发明的掩模板的表面形成的各个测试区内布置有与所述基板结合在一起的电极线，通过测试电极线是否存在断路，就可以判断与电极线相结合的基板是否存在裂纹，从而可以简单快速判断掩模板的完整性，避免因掩模基板破裂而导致产品出现质量问题。

本发明的电极线与所述基板表面结合在一起，即所述电极线与基板之间产生结合力，当所述基板存在裂缝时，对应裂缝处的电极线由于结合力也会对电极线产生作用力，从而导致相应位置电极线断裂。所述电极线可以采取各种适合的方式与所述基板结合在一起，本实施例的电极线是由沉积于所述基板表面的导电膜层刻蚀形成。所述透明电极线通过沉积氧化铟锡(ITO)薄膜，再经曝光刻蚀后制得。由于氧化铟锡薄膜不会受紫外线影响，从而可以应用到掩膜板上。

如图2-3所示，为本发明的掩膜板的具体实施例的结构图，本发明的基板1表面形成多个测试区11，在每个测试区11布置有电极线2，电极线2的两端分别引出一个测试端子，通过测试两个端子之间的电压、电阻、电流等模拟信号，就可以确定该电极线是否存在断路，从而判断该电极线所在测试区是否存在裂缝。本发明对掩模板的表面形成测试区可以根据需要来设置，可以是并行的条状，形成如图3所示的平行的电极线，还可以是圆形、方形等其他合适的形状。刻蚀形成的电极线的宽度可以根据需要进行设定，优选地为0.1-5mm。

本发明的测试区还可以是整个基板表面，如图1所示，此时，在基板的表面形成有一条电极线，该电极线尽可能分布在整个表面，而且电极线越密集，检测的精度越高。本实施例的电极线分布在整张掩模玻璃基板1的正面，且薄膜导线的首尾两端设置在掩模玻璃基板1角部的固定区域范围，并制作成面积较大的测试端子3。此时，通过对两个测试端子之间的模拟信号进行检测，就可以判断该条电极线是否存在断路，从而可以判断该条电极线对应的掩膜板是否存在裂纹。

本发明掩模板的基板优选采用玻璃材质形成，当然，也可以采用其他透明材质形成。掩模板的基板具有第一面和第二面，即正面和反面，其中正面用于形成图案。本发明的电极线优选地为透明电极线，该电极线可以分布在所述基板的其中一个面上，当然，也可以在两个面上都分布有电极线。当基板的两个表面上都形成有电极线时，可以对基板两个表面的电极线分别进行断路检测，以提高检测精度。

如图4所示，为本发明一种实施例的掩膜板的制造方法的流程图，本实施例的掩模板的制造方法包括如下步骤：

步骤S101：形成一基板；

步骤S102：在所述基板的表面形成导电膜层；

步骤S103：加工所述导电膜，形成电极线。

步骤S101中形成的基板可以是塑料、树脂等透明基板，优选地为玻璃基板。

步骤S102中形成的导电膜可以是具有导电物质形成的膜层，从而与基板表面结合在一起，本实施例优选地为氧化铟锡(ITO)薄膜。

步骤S103中形成的电极线是利用曝光工艺，刻蚀形成电极线，对导电膜层根据预设图案进行曝光，刻蚀形成电极线。

如图5所示，为本发明第一种实施例的掩模板的裂纹检测装置的结构示意图，该实施例的检测装置用于对上述的掩膜板进行检测，包括一用于检测所述电极线上两个端子之间模拟信号的检测表8，所述检测表包括两条与待测电极线的两个测试端子分别进行连接的导线7。本实施例的检测表可以是电流表、电压表、电阻表等模拟信号检测表，当检测到电极线两个端子之间的模拟信号发生较大改变时，可以判断电极线存在断裂，从而可以判断对应测试区域的基板是否存在断裂。本实施例的检测表具体是欧姆表，用于检测测试区中电极线的电阻变化，当电极线断路时，电阻会陡然增大，从而判断出电极线存在断路。本实施例的检测装置可以针对各个测试区的电极线进行逐一检测，从而可以对各个测试区的基板是否存在裂缝进行判断。

再次参阅图5，所述检测装置还包括一安装台4，所述安装台4的表面形成有用于吸附掩模板的真空槽，当进行检测时，将掩膜板吸附在真空槽中，从而为检测提供了便利。所述安装台4在与真空槽相对区域形成有与所述凹槽相通的导线孔5，所述导线孔用于为检测表的引出线提供与掩模板上的电极线相连接的通道。本实施方式是在原有安装台4的两个角各开凿一个导线孔5，顶针6置于导线孔5中固定在安装台上，上端与检测表的导线7连接。两个角的顶针6通过导线7分别与欧姆计连接。基板1是随紫外线固化设备的基台9上升到接近安装台4时被真空吸附固定在其下表面的。当基板1安装到安装台4上时，两个顶针6分别与基板1背面的透明电极线2两端接触面接触，这样欧姆计就与掩模玻璃基板1背面的透明电极线2接通，从而可以判断电极线是否存在断路。

如图6所示，为本发明第一种实施例的掩模板的检测装置的结构示意图，该实施例的检测装置与第一种基本相同，区别是：还包括一导电压片10，用于在所述电极线设置在所述基板远离真空槽的表面时，连接所述检测表的引出线和电极线。

本实施例的导电压片10用于连接电极线和顶针，并且与所述安装台4旋转连接，可以沿安装台上的连接点进行旋转。导电压片10设置安装在导线孔5下端，且与顶针6连接，导电压片10可水平转动，安装或卸载掩膜玻璃基板1前，导电压片10应旋转到安装台4边缘。当掩膜玻璃基板1安装到安装台4上后，再将导电压片旋转压到掩面基板接触面3位置，这样检测表8就与掩模玻璃基板1正面的透明电极线2接通。

本实施例的检测装置用于对电极线设置于基板正面进行检测，即电极线设置于基板的正面。掩膜板是利用沉积曝光工艺形成掩膜图案，电极线设置在正面，可以便于利用相同的工艺形成电极线，制作工艺更简单，但安装掩膜板时需要制作导电压片10。而如果电极线设置在背面，在沉积曝光工艺形成电极线前，需要将掩膜板翻转，工艺相对复杂，但安装掩膜板时不需要制作导电压片10，顶针6就可以实现与背面电极线接触导通。

本实施例的基台可以自由升降，所述基台上连接有用于升降所述基台的调节器，从而方便了升降基板。

本实施例的检测装置还包括一控制器，所述控制器与所述检测表相连接，在所述检测表检测到电极线断路时进行报警。该控制器可以是计算机或者PLC，控制器与检测表相连接，用于接收检测表发送来的检测信号，当接收到检测表的示数超出某一设定值时，即发生掩模玻璃基板1破损的报警提示。本实施例的控制器还与基台的调节器相连接，用于控制基台的升降。

以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (12)

1.一种掩模板，其特征在于，包括一基板，所述基板的表面形成有至少一个测试区，所述测试区内布置有与所述基板结合在一起的电极线，所述电极线的两端分别引出一个测试端子。 

2.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，多个测试区的电极线至少部分串联在一起。 

3.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述电极线形成在所述基板的一面或者两面上。 

4.根据权利要求1-3任何一项所述的掩模板，其特征在于，所述电极线由沉积于所述基板表面的导电膜层刻蚀形成。 

5.一种掩模板的制造方法，其特征在于，包括： 

形成一基板； 

在所述基板的表面形成导电膜层； 

加工所述导电膜，形成电极线。 

6.根据权利要求5所述的掩模板，其特征在于，所述加工所述导电膜，形成电极线的步骤进一步包括：利用曝光工艺，刻蚀形成电极线。 

7.一种掩模板的裂纹检测装置，检测如权利要求1-4任何一项所述的掩模板，其特征在于，包括一用于检测所述电极线上两个端子之间模拟信号的检测表，所述检测表包括两条与待测电极线的两个端子分别进行连接的导线。 

8.根据权利要求7所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括一安装台，所述安装台的表面形成有用于吸附掩模板的真空槽。 

9.根据权利要求7所述的检测装置，其特征在于，所述安装台在与真空槽相对区域形成有与所述凹槽相通的导线孔，所述导线孔用于为检测表的引出线提供与掩模板上的电极线相连接的通道。 

10.根据权利要求8所述的检测装置，其特征在于，还包括一导电压片，用于在所述电极线设置在所述基板远离真空槽的表面时，连接所述检测表的引出线和电极线。 

11.根据权利要求8所述的检测装置，其特征在于，还包括一与所述安装 台相对设置的用于放置待检测掩模板的基台，所述基台上连接有用于升降所述基台的调节器。 

12.根据权利要求7-11任何一项所述的检测装置，其特征在于，还包括一控制器，所述控制器与所述检测表相连接，在所述检测表检测到电极线断路时进行报警。