CN103951410A - 一种BiFeO3薄膜的制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种BiFeO3薄膜的制备方法。原料为Fe(NO3)3·9H2O和Bi(NO3)3·5H2O，摩尔比为1:1.1，溶剂为冰乙酸和乙二醇，体积比为1:1，螯合剂为乙酰丙酮，乙酰丙酮的用量与冰乙酸、乙二醇的体积比为(1~4):1:1，配体为乙醇胺，乙醇胺的用量与冰乙酸的体积比为(0.01~0.04):1，所得前驱体溶液的浓度为0.2~0.4mol/L；本发明还提供了BiFeO3薄膜的制备方法。本发明溶胶-凝胶法制备的BiFeO3薄膜具有以下优点：前驱体溶液性能稳定，制备工艺简单，设备成本低，利于大规模工业化生产，易于制备表面均匀致密的铁酸铋薄膜，且制备过程中没有杂相生成。
Description
技术领域
本发明涉及一种铁电功能薄膜的制备方法，具体涉及一种BiFeO3薄膜的制备方法，属于钙钛矿结构环境协调型铁电薄膜技术领域。
背景技术
铁酸铋(BiFeO3，BFO)属于多铁材料的一种，具有铁电性和反铁磁性，是当前多铁材料研究的热点之一。其铁电居里温度为830℃，反铁磁尼尔温度为370℃，因此在室温下具有多铁性，在铁电存储器、磁电传感器和自旋电子器件等领域具有广阔的应用前景。
溶胶－凝胶法属于无机液相合成的一种，就是以金属无机物或金属醇盐作前驱体，在液相下将这些原料均匀混合，并进行水解、缩合化学反应，在溶液中形成稳定的透明溶胶体系，溶胶经陈化形成三维空间网络结构的凝胶，凝胶再经干燥和热处理等工艺流程制成不同形态的产物。该方法制备薄膜具有化学计量比易控制，热处理温度低，成本低及易于大面积成膜等优点，在近几年的研究中得到了广泛的应用。在溶胶凝胶法制备BiFeO3薄膜的过程中，前驱体溶液质量的好坏是影响薄膜最终性能的决定性因素，若不能配制出稳定的前驱体溶液，单纯试图从制备工艺方面改进薄膜质量收效甚微，因此对溶胶凝胶法制备BiFeO3薄膜中的前驱液进行改进是非常必要的。
发明内容
本发明针对溶胶凝胶法制备BiFeO3薄膜中存在的问题和缺陷，提供了一种BiFeO3薄膜的制备方法，由该方法制得的薄膜没有杂相，结构均匀致密，电滞回线的矩形度较高，剩余极化较大，铁电性能较优异。
本发明一种BiFeO3薄膜的制备方法的特征在于：原料为Fe(NO3)3·9H2O和Bi(NO3)3·5H2O，摩尔比为1:1.1，溶剂为冰乙酸和乙二醇，体积比为1:1，螯合剂为乙酰丙酮，乙酰丙酮的用量为其与冰乙酸及乙二醇的的体积比为(1~4):1:1，配体为乙醇胺，乙醇胺的用量为其与冰乙酸的体积比为(0.01~0.04):1，所得前驱体溶液的浓度为0.2mol/L~0.4 mol/L。
作为本发明的一种优选方案，所述乙酰丙酮的用量为其与冰乙酸及乙二醇的的体积比为2:1:1，所述乙醇胺的用量为其与冰乙酸的体积比为0.01:1，所述前驱体溶液的浓度为0.3mol/L。
本发明一种BiFeO3薄膜的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
步骤1：前驱体溶液的配制：以硝酸铋Fe(NO3)3·9H2O和Bi(NO3)3·5H2O为原料，以乙二醇和冰乙酸为溶剂，以乙酰丙酮为螯合剂，以乙醇胺为配体，按照BiFeO3化学计量比精确称取Fe(NO3)3·9H2O和Bi(NO3)3·5H2O粉末，其中Bi(NO3)3·5H2O需有适当过量，将两者混合后溶于冰乙酸和乙二醇的混合液中，在室温下用磁力搅拌器搅拌8小时至粉末完全溶解，然后在溶液中加入螯合剂乙酰丙酮，再加入适量的配体乙醇胺，调节溶液的pH值为1~2之间，将混合后的溶液在室温下搅拌12小时，最终形成一定浓度的、均匀、透明、稳定的溶液，将所得溶液在25℃下老化24小时，得到所需前驱体溶液。
步骤2：衬底的预处理：将ITO/glass衬底依次用丙酮、无水乙醇和去离子水各超声清洗15分钟以去除某些有机污染物和颗粒污染，清洗完成后，用匀胶机甩掉衬底上的水分，然后置于250℃的电热板上烘干180s，最后放入快速退火炉中在450℃条件下预处理180秒，以去除衬底材料中存在的残余应力，将处理好的衬底置于干净的培养皿中，注意保持干燥和清洁；
步骤3：薄膜的制备：将步骤1得到的前驱体溶液利用匀胶机旋转涂膜至步骤2所得的衬底表面，涂膜结束后快速置于250℃的电热板上烘干，时间为60s，将烘干后的薄膜放入快速退火炉中退火，退火工艺为先在350℃预处理180s，450℃保温60s，然后在550℃退火300s；
步骤4：重复步骤3直到获得所需的薄膜厚度后，将制得的薄膜在快速退火炉中在550℃终退1200s。
上述制备方法中，为弥补高温下Bi的挥发，Bi(NO3)3·5H2O按过量10mol%计算。
上述制备方法中，匀胶机的匀胶速度为3000r/min，匀胶时间为30s，每次匀胶后的薄膜厚度为80nm。
本发明溶胶-凝胶法制备的BiFeO3薄膜具有以下优点：前驱体溶液性能稳定，制备工艺简单，设备成本低，利于大规模工业化生产，易于制备表面均匀致密的铁酸铋薄膜，且制备过程中没有杂相生成。
附图说明
图1为本发明实施例1所得样品的XRD图，其中横坐标为衍射角2θ，纵坐标为衍射强度；
图2为本发明实施例2所得样品的XRD图，其中横坐标为衍射角2θ，纵坐标为衍射强度；
图3为本发明实施例2所得样品的电滞回线示意图，其中横坐标为电场强度，千伏/平方厘米，纵坐标为极化强度，微库/平方厘米；
图4为本发明实施例2所得样品的扫描电子显微镜图像，放大倍数为50000；
图5为本发明实施例3所得样品的XRD图，其中横坐标为衍射角2θ，纵坐标为衍射强度；
图6为本发明实施例4所得样品的XRD图，其中横坐标为衍射角2θ，纵坐标为衍射强度；
图7为本发明实施例5所得样品的XRD图，其中横坐标为衍射角2θ，纵坐标为衍射强度；
图8为本发明实施例6所得样品的XRD图，其中横坐标为衍射角2θ，纵坐标为衍射强度；
图9为本发明实施例7所得样品的XRD图，其中横坐标为衍射角2θ，纵坐标为衍射强度；
图10为本发明实施例8所得样品的XRD图，其中横坐标为衍射角2θ，纵坐标为衍射强度。
具体实施方式
实施例1
步骤1：按照BiFeO3化学计量比精确称取摩尔比为1:1.1的Fe(NO3)3·9H2O和Bi(NO3)3·5H2O粉末，将两者混合后溶于体积比为1:1的冰乙酸、乙二醇的混合液中，在室温下用磁力搅拌器搅拌8小时至粉末完全溶解，然后在溶液中加入螯合剂乙酰丙酮，乙酰丙酮与冰乙酸、乙二醇的体积比为1:1:1，再加入配体乙醇胺，乙醇胺与冰乙酸的体积比为0.01:1，调节溶液的pH值为1，将混合后的溶液在室温下搅拌12小时，最终形成均匀、透明、稳定的溶液，溶液浓度为0.3 mol/L，将所得溶液在25℃下老化24小时，得到所需前驱体溶液。
步骤2：将ITO/glass衬底切割为2cm×2cm规格，依次用丙酮、无水乙醇和去离子水各超声清洗15分钟以去除某些有机污染物和颗粒污染，清洗完成后，用匀胶机甩掉衬底上的水分，然后置于250℃的电热板上烘干180s，最后放入快速退火炉中在450℃预处理180s，去除衬底材料中存在的残余应力，将处理好的衬底置于干净的培养皿中，注意保持干燥；
步骤3：将步骤2得到的前驱体溶液利用匀胶机旋转涂膜至步骤1所得的衬底表面，匀胶速度为3000r/min，匀胶时间为30s，涂膜结束后快速置于250℃的电热板上烘干，时间为60s，将烘干后的薄膜放入快速退火炉中退火，退火工艺为先在350℃预处理180s，450℃保温60s，然后在550℃退火300s；
步骤4：重复步骤3直到获得所需的薄膜厚度后，将制得的薄膜在快速退火炉中在550℃终退1200s。
如图1，经X-射线衍射仪（德国布鲁克，D8）对本实施例条件下所得到的BiFeO3薄膜进行结构测试，发现所制备的薄膜结晶性良好，且晶相结构较好，未发现杂相。
实施例2
步骤1：按照BiFeO3化学计量比精确称取摩尔比为1:1.1的Fe(NO3)3·9H2O和Bi(NO3)3·5H2O粉末，将两者混合后溶于体积比为1:1的冰乙酸、乙二醇的混合液中，在室温下用磁力搅拌器搅拌8小时至粉末完全溶解，然后在溶液中加入螯合剂乙酰丙酮，乙酰丙酮与冰乙酸、乙二醇的体积比为2:1:1，再加入配体乙醇胺，乙醇胺与冰乙酸的体积比为0.01:1，调节溶液的pH值为1，将混合后的溶液在室温下搅拌12小时，最终形成均匀、透明、稳定的溶液，溶液浓度为0.3 mol/L，将所得溶液在25℃下老化24小时，得到所需前驱体溶液。
步骤2：与实施例1中的步骤2一致。
步骤3：与实施例1中的步骤3一致。
步骤4：与实施例1中的步骤4一致。
如图2，经X-射线衍射仪（德国布鲁克，D8）对本实施例条件下所得到的BiFeO3薄膜进行结构测试，发现所制备的薄膜结晶性良好，且晶相结构好，未发现杂相。利用铁电测试***（Precision Pro. Radiant Technologies）对所得BiFeO3薄膜的电滞回线进行表征，如图3所示，发现电滞回线的矩形度较高，剩余极化（2Pr）可达74μC/cm2。图4为利用扫描电镜对所得BiFeO3薄膜进行的薄膜表面形貌的表征，从图中可以看出制备的薄膜表面平整光滑，没有观察到微裂纹和气孔，说明制备的薄膜结构均匀致密，晶粒大小较均匀。以上测试结果表明，所制备的BiFeO3薄膜具有优异的晶体结构和表面形貌，且铁电性能较好。
实施例3
步骤1：按照BiFeO3化学计量比精确称取摩尔比为1:1.1的Fe(NO3)3·9H2O和Bi(NO3)3·5H2O粉末，将两者混合后溶于体积比为1:1的冰乙酸、乙二醇的混合液中，在室温下用磁力搅拌器搅拌8小时至粉末完全溶解，然后在溶液中加入螯合剂乙酰丙酮，乙酰丙酮与冰乙酸、乙二醇的体积比为3:1:1，再加入配体乙醇胺，乙醇胺与冰乙酸的体积比为0.01:1，调节溶液的pH值为1，将混合后的溶液在室温下搅拌12小时，最终形成均匀、透明、稳定的溶液，溶液浓度为0.3 mol/L，将所得溶液在25℃下老化24小时，得到所需前驱体溶液。
步骤2：与实施例1中的步骤2一致。
步骤3：与实施例1中的步骤3一致。
步骤4：与实施例1中的步骤4一致。
从图5可以看出，所得BiFeO3薄膜晶体结构较好的，且薄膜中未出现杂相。
实施例4
步骤1：按照BiFeO3化学计量比精确称取摩尔比为1:1.1的Fe(NO3)3·9H2O和Bi(NO3)3·5H2O粉末，将两者混合后溶于体积比为1:1的冰乙酸、乙二醇的混合液中，在室温下用磁力搅拌器搅拌8小时至粉末完全溶解，然后在溶液中加入螯合剂乙酰丙酮，乙酰丙酮与冰乙酸、乙二醇的体积比为4:1:1，再加入配体乙醇胺，乙醇胺与冰乙酸的体积比为0.01:1，调节溶液的pH值为1，将混合后的溶液在室温下搅拌12小时，最终形成均匀、透明、稳定的溶液，溶液浓度为0.3 mol/L，将所得溶液在25℃下老化24小时，得到所需前驱体溶液。
步骤2：与实施例1中的步骤2一致。
步骤3：与实施例1中的步骤3一致。
步骤4：与实施例1中的步骤4一致。
从图6可以看出，所得BiFeO3薄膜晶体结构较好的，且薄膜中未出现杂相。
实施例5
步骤1：按照BiFeO3化学计量比精确称取摩尔比为1:1.1的Fe(NO3)3·9H2O和Bi(NO3)3·5H2O粉末，将两者混合后溶于体积比为1:1的冰乙酸、乙二醇的混合液中，在室温下用磁力搅拌器搅拌8小时至粉末完全溶解，然后在溶液中加入螯合剂乙酰丙酮，乙酰丙酮与冰乙酸、乙二醇的体积比为2:1:1，再加入配体乙醇胺，乙醇胺与冰乙酸的体积比为0.01:1，调节溶液的pH值为1，将混合后的溶液在室温下搅拌12小时，最终形成均匀、透明、稳定的溶液，溶液浓度为0.2 mol/L，将所得溶液在25℃下老化24小时，得到所需前驱体溶液。
步骤2：与实施例1中的步骤2一致。
步骤3：与实施例1中的步骤3一致。
步骤4：与实施例1中的步骤4一致。
从图7可以看出，所得BiFeO3薄膜晶体结构较好的，且薄膜中未出现杂相。
实施例6
步骤1：按照BiFeO3化学计量比精确称取摩尔比为1:1.1的Fe(NO3)3·9H2O和Bi(NO3)3·5H2O粉末，将两者混合后溶于体积比为1:1的冰乙酸、乙二醇的混合液中，在室温下用磁力搅拌器搅拌8小时至粉末完全溶解，然后在溶液中加入螯合剂乙酰丙酮，乙酰丙酮与冰乙酸、乙二醇的体积比为2:1:1，再加入配体乙醇胺，乙醇胺与冰乙酸的体积比为0.01:1，调节溶液的pH值为1，将混合后的溶液在室温下搅拌12小时，最终形成均匀、透明、稳定的溶液，溶液浓度为0.4 mol/L，将所得溶液在25℃下老化24小时，得到所需前驱体溶液。
步骤2：与实施例1中的步骤2一致。
步骤3：与实施例1中的步骤3一致。
步骤4：与实施例1中的步骤4一致。
从图8可以看出，所得BiFeO3薄膜晶体结构较好的，且薄膜中未出现杂相。
实施例7
步骤1：按照BiFeO3化学计量比精确称取摩尔比为1:1.1的Fe(NO3)3·9H2O和Bi(NO3)3·5H2O粉末，将两者混合后溶于体积比为1:1的冰乙酸、乙二醇的混合液中，在室温下用磁力搅拌器搅拌8小时至粉末完全溶解，然后在溶液中加入螯合剂乙酰丙酮，乙酰丙酮与冰乙酸、乙二醇的体积比为2:1:1，再加入配体乙醇胺，乙醇胺与冰乙酸的体积比为0.025:1，调节溶液的pH值为1.5，将混合后的溶液在室温下搅拌12小时，最终形成均匀、透明、稳定的溶液，溶液浓度为0.3 mol/L，将所得溶液在25℃下老化24小时，得到所需前驱体溶液。
步骤2：与实施例1中的步骤2一致。
步骤3：与实施例1中的步骤3一致。
步骤4：与实施例1中的步骤4一致。
从图9可以看出，所得BiFeO3薄膜晶体结构较好的，且薄膜中未出现杂相。
实施例8
步骤1：按照BiFeO3化学计量比精确称取摩尔比为1:1.1的Fe(NO3)3·9H2O和Bi(NO3)3·5H2O粉末，将两者混合后溶于体积比为1:1的冰乙酸、乙二醇的混合液中，在室温下用磁力搅拌器搅拌8小时至粉末完全溶解，然后在溶液中加入螯合剂乙酰丙酮，乙酰丙酮与冰乙酸、乙二醇的体积比为2:1:1，再加入配体乙醇胺，乙醇胺与冰乙酸的体积比为0.04:1，调节溶液的pH值为2，将混合后的溶液在室温下搅拌12小时，最终形成均匀、透明、稳定的溶液，溶液浓度为0.3 mol/L，将所得溶液在25℃下老化24小时，得到所需前驱体溶液。
步骤2：与实施例1中的步骤2一致。
步骤3：与实施例1中的步骤3一致。
步骤4：与实施例1中的步骤4一致。
从图10可以看出，所得BiFeO3薄膜晶体结构较好的，且薄膜中未出现杂相。
以上所述仅为本发明的一种实施方式，不是全部或唯一的实施方式，本领域普通技术人员通过阅读本发明说明书而对本发明技术方案采取的任何等效的变换，均为本发明的权利要求所涵盖。
Claims (5)
1.一种BiFeO3薄膜的制备方法，其特征在于：原料为Fe(NO3)3·9H2O和Bi(NO3)3·5H2O，摩尔比为1:1.1，溶剂为冰乙酸和乙二醇，体积比为1:1，螯合剂为乙酰丙酮，乙酰丙酮的用量与冰乙酸、乙二醇的体积比为(1~4):1:1，配体为乙醇胺，乙醇胺的用量与冰乙酸的体积比为(0.01~0.04):1，所得前驱体溶液的浓度为0.2 ~0.4 mol/L。
2. 根据权利要求1所述的一种BiFeO3薄膜的制备方法，其特征是：所述乙酰丙酮的用量为其与冰乙酸及乙二醇的的体积比为2:1:1，所述乙醇胺的用量为其与冰乙酸的体积比为0.01:1，所述前驱体溶液的浓度为0.3mol/L。
3. 根据权利要求1所述一种BiFeO3薄膜的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
步骤1：前驱体溶液的配制：按照BiFeO3化学计量比精确称取Fe(NO3)3·9H2O和Bi(NO3)3·5H2O粉末，其中Bi(NO3)3·5H2O需有适当过量，将两者混合后溶于冰乙酸和乙二醇的混合液中，在室温下用磁力搅拌器搅拌8小时至粉末完全溶解，然后在溶液中加入螯合剂乙酰丙酮，再加入适量的配体乙醇胺，调节溶液的pH值为1~2之间，将混合后的溶液在室温下搅拌12小时，最终形成一定浓度的溶液，将所得溶液在25℃下老化24小时，得到所需前驱体溶液；
步骤2：衬底的预处理：将ITO/glass衬底依次用丙酮、无水乙醇和去离子水各超声清洗15分钟，清洗完成后，用匀胶机甩掉衬底上的水分，然后置于250℃的电热板上烘干180s，最后放入快速退火炉中在450℃条件下预处理180秒，，保持干燥和清洁；
步骤3：薄膜的制备：将步骤1得到的前驱体溶液利用匀胶机旋转涂膜至步骤2所得的衬底表面，涂膜结束后快速置于250℃的电热板上烘干，时间为60s，将烘干后的薄膜放入快速退火炉中退火，退火工艺为先在350℃预处理180s，然后450℃保温60s，最后在550℃退火300s；
步骤4：重复步骤3直到获得所需的薄膜厚度后，将制得的薄膜在快速退火炉中在550℃终退1200s。
4. 根据权利要求2所述的一种BiFeO3薄膜的制备方法，其特征是：前驱体溶液配制中，Bi(NO3)3??5H2O按过量10mol%计算。
5. 根据权利要求2所述的一种BiFeO3薄膜的制备方法，其特征是：薄膜的制备中，匀胶机的匀胶速度为3000r/min，匀胶时间为30s，每次匀胶后的薄膜厚度为80nm。
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| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN103951410B (zh) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104193316A (zh) * | 2014-08-21 | 2014-12-10 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种钇铁石榴石薄膜及其制备方法 |
| CN105399339A (zh) * | 2015-12-18 | 2016-03-16 | 北京汽车股份有限公司 | 一种含掺杂元素的铁酸铋基薄膜及其制备方法 |
| CN106111482A (zh) * | 2016-08-09 | 2016-11-16 | 南京邮电大学 | 一种刮涂制备铁酸铋薄膜的方法 |
| RU2616305C1 (ru) * | 2015-12-30 | 2017-04-14 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет" | Способ получения прозрачных наноразмерных плёнок феррита висмута |
| CN106967979A (zh) * | 2017-04-14 | 2017-07-21 | 中国计量大学 | 一种磷酸钴助催化剂改性BiFeO3薄膜光电极及其制备方法 |
| CN109023313A (zh) * | 2018-09-20 | 2018-12-18 | 山东建筑大学 | 一种提高BiFeO3薄膜磁电耦合效应的退火方法 |
| CN109012685A (zh) * | 2018-09-20 | 2018-12-18 | 山东建筑大学 | 一种BiFeO3和Bi2WO6复合薄膜的制备方法 |
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2014
- 2014-04-30 CN CN201410179693.5A patent/CN103951410B/zh not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| 俞圣雯等: "溶胶-凝胶方法制备铁酸铋薄膜及膜厚的影响", 《上海大学学报（自然科学版）》, vol. 14, no. 5, 31 October 2008 (2008-10-31), pages 509 - 513 * |
| 李佳等: "无机盐-螯合-凝胶法制备的铁酸铋薄膜的工艺研究", 《功能材料》, vol. 39, no. 5, 31 December 2008 (2008-12-31), pages 821 - 823 * |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104193316A (zh) * | 2014-08-21 | 2014-12-10 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种钇铁石榴石薄膜及其制备方法 |
| CN105399339A (zh) * | 2015-12-18 | 2016-03-16 | 北京汽车股份有限公司 | 一种含掺杂元素的铁酸铋基薄膜及其制备方法 |
| CN105399339B (zh) * | 2015-12-18 | 2018-12-11 | 北京汽车股份有限公司 | 一种含掺杂元素的铁酸铋基薄膜及其制备方法 |
| RU2616305C1 (ru) * | 2015-12-30 | 2017-04-14 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет" | Способ получения прозрачных наноразмерных плёнок феррита висмута |
| CN106111482A (zh) * | 2016-08-09 | 2016-11-16 | 南京邮电大学 | 一种刮涂制备铁酸铋薄膜的方法 |
| CN106967979A (zh) * | 2017-04-14 | 2017-07-21 | 中国计量大学 | 一种磷酸钴助催化剂改性BiFeO3薄膜光电极及其制备方法 |
| CN106967979B (zh) * | 2017-04-14 | 2019-04-09 | 中国计量大学 | 一种磷酸钴助催化剂改性BiFeO3薄膜光电极及其制备方法 |
| CN109023313A (zh) * | 2018-09-20 | 2018-12-18 | 山东建筑大学 | 一种提高BiFeO3薄膜磁电耦合效应的退火方法 |
| CN109012685A (zh) * | 2018-09-20 | 2018-12-18 | 山东建筑大学 | 一种BiFeO3和Bi2WO6复合薄膜的制备方法 |
| CN109023313B (zh) * | 2018-09-20 | 2020-06-19 | 山东建筑大学 | 一种提高BiFeO3薄膜磁电耦合效应的退火方法 |
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