CN103943964A - 一种基于CMOS制造工艺的Si基场效应晶体管环形太赫兹探测器天线 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种基于CMOS制造工艺的Si基场效应晶体管(FET)环形太赫兹(THz)探测器天线,属于天线领域。本发明包括环形天线,Si基FET,低噪声放大器;其中环形天线用于接收THz波,同时把接收到的THz波转化为电信号给FET,FET把高频信号转化为低频信号给低噪声放大器,信号经过低噪声放大器后最终能实现对THz信号的探测。本发明在安保扫描、射电天文、生物遥感、生产监控等领域具有重要应用。
Description
技术领域
本发明涉及天线技术和太赫兹技术,特别涉及环形天线技术。
背景技术
太赫兹(THz)波是指频率在0.1THz到10THz范围的电磁波,波长在0.03mm到3mm范围内,介于毫米波与红外之间,即通常所认为的电子学与光学的交界区域。但是由于THz波在空气中较高的损耗,需要高增益的发射源和足够灵敏的探测天线,使其无法在通信领域商业化,制约了技术的发展,因此这一频段是有待开发的空白频段,也被称为THz间隙。
由THz波具有瞬态性、宽带性、高时间和空间相干性、低能性以及独特的传输特性等特点,使其在安全监测、波谱分析、成像与通信、化学、生物、材料科学和药学等领域展现出广泛的应用前景。而要实现以上技术,就必须提供高功率的THz波源或THz发生器,同时配备经济而高质量的THz探测器和成像设备(包括THz照相机)。
发明人在实现本发明的过程中,发现现有技术至少存在以下缺点和不足:
由于THz波处于远红外波段,其热效应很强,其探测器基本上可以分为两类:一类是利用其热效应制成的探测器,如热功率计、热电探测器等;另一类是利用其光波性质的探测器,如光电导探测器和肖特基二极管等。这些探测器当进一步发展为成像设备时往往存在着以下的问题:一是需要添加额外的工艺和设备,如小型机械等;二是热效应探测器其热弛豫时间常数限制了成像过程中的视频速率。而基于Si基场效应晶体管(FET)反型层等离子体的THz探测器可以克服以上 缺点,并从单个CMOS场效应晶体管通过焦平面阵列(FPA)实现THz成像,具有更大的优势,而目前国内对于此方面的研究还处于起步阶段。对于此类THz探测器,天线是除FET外最重要的部件,这不仅因为天线是接收THz辐射的最先前的一个部件,而且还具有对其它不同频段的信号起到隔离和防干扰作用,一个好的天线可以至少使探测器的灵敏度提高1~2个数量级,因此设计出高增益和高辐射效率的THz探测器天线具有至关重要的意义。
发明内容
为了实现以天线作为THz波接收器件,以Si基FET作为THz探测器件,并与低噪声放大器相结合共同构成的THz探测器,本发明实施提供了一种环形天线,所述技术方案如下:
集成天线的THz探测器,包括:环形天线,Si基FET,低噪声放大器。
整个天线的设计基于65nmCMOS制造工艺,天线设计在顶层金属上,FET和低噪声放大器设计在底层Si基上,同时利用倒装焊技术将上述器件集成在扩展半球Si透镜上。该环形天线上同时引出端口1和端口2,分别与对应的两个FET的栅极相连,同时在两个FET的共源极上加上偏压V2,以提高探测器的灵敏度;环形天线外加偏压V1,以激活FETT作的阈值电压;THz信号通过天线接收后,通过FET将高频信号转换为低频信号给低噪声放大器;FET通过50欧姆的微带传输线(TL1和TL2)与低噪声放大器相连,这样易于实现输入输出端口的阻抗匹配;低噪声放大器将信号放大,最终能实现对THz信号的探测;环形天线与FET结合后可以制成焦平面阵列,实现灵敏度和分辨率更高的THz成像。
所述天线为环形天线,其特征是利用扩展半球Si透镜提高天线的增益,进而提高探测器的灵敏度,扩展半球Si透镜可以换成椭球型和过半球型Si透镜。
所述环形天线具有高阻抗特性,易于实现与FET的阻抗匹配,通过改变环形天线的几何尺寸,还可以实现其它工作频段的阻抗匹配。
所述环形天线与FET结合后还可以制成焦平面阵列,从而实现灵敏度和分辨率更高的THz成像。
附图说明:
为了更清楚地说明发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造劳动性的前提下,还可以根据附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例提供的电路结构示意图。
图2是本发明的环形天线结构示意图。
图3是本发明的环形天线设计实例。
具体实施方式:
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。
为了实现以天线作为THz波接收器件,以Si基FET作为THz探测器件,并与低噪声放大器相结合共同构成的THz探测器,本发明实施提供了一种环形天线,详见下文描述:
图1是本发明实施例提供的电路结构示意图。参照图1,该环形天线引出端口1和端口2,分别与对应的两个FET的栅极相连,同时在两个FET的共源极上加上偏压V2,以提高探测器的灵敏度;THz信号通过天线接收后,通过FET将高频信号转换为低频信号给低噪声放大器;FET通过50欧姆的微带传输线(TL1和TL2)与低噪声放大器相连,这样易于实现输入输出端口的阻抗匹配;低噪声放大器经过信号放大,最终能实现对THz信号的探测。
图2是本发明的环形天线结构示意图。参照图2,Si透镜包括半球部分和扩展的圆柱部分,半球部分的半径为R,扩展的圆柱部分的高度为H,环形天线利用65nm的CMOS制造工艺设计在顶层金属上,中间SiO2的厚度为H1,探测器和低噪声放大器设计在底层Si介质基片上。
图3为本发明的环形天线设计实例,其包括:扩展半球Si透镜,环形天线。其几何尺寸为:R=1500um,H=185um,H1=6.8um,a=500um,d=170um,整个天线的工作频率为600GHz,增益为13dB。
进一步地,为了实现工程的需要,扩展半球Si透镜可以换成椭圆 半球Si透镜和过半球Si透镜,具体实现时,本发明实施例对此不作限制。
进一步地,通过改变环形天线的几何尺寸,可以实现在其它频段工作的阻抗匹配,具体实现时,本发明实施例对此不作限制。
综上所述,本发明实施例提供了一种基于CMOS制造工艺的Si基场效应晶体管环形THz探测器天线。该发明在安保扫描、射电天文、生物遥感、生产监控等领域具有重要应用。
本领域技术人员可以理解附图只是一个优先实施例的示意图,上述本发明实施例序号仅仅为了描述,不代表实施例的优劣。
以上所述仅为本发明的较佳实施例,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种基于CMOS制造工艺的Si基场效应晶体管(FET)环形太赫兹(THz)探测器天线,其特征是:
该环形天线和FET集成在Si基上,同时利用扩展半球Si透镜提高环形天线的增益;环形天线阻抗较大,易于实现与FET的阻抗匹配;环形天线引出端口1和端口2,分别与对应的两个FET的栅极相连,同时在两个FET的共源极上加上偏压V2,以提高探测器的灵敏度;环形天线外加偏压V1,以激活FET工作的阈值电压;THz信号通过天线接收后,通过FET将高频信号转换为低频信号给低噪声放大器;FET通过50欧姆的微带传输线(TL1和TL2)与低噪声放大器相连,这样易于实现输入输出端口的阻抗匹配;低噪声放大器将信号放大,最终能实现对THz信号的探测;环形天线与FET结合后制成焦平面阵列,可以实现灵敏度和分辨率更高的THz成像。
2.根据权利1的要求,该环形天线利用扩展半球Si透镜提高天线的增益,进而提高探测器的灵敏度,扩展半球Si透镜可以换成椭球型和过半球型Si透镜。
3.根据权利1的要求,所述天线为环形天线,其特征是利用环天线的高阻抗特性,易于实现环形天线与FET的阻抗匹配,通过改变环形天线的几何尺寸,还可以实现其它工作频段的阻抗匹配。
4.根据权利1的要求,环形天线与FET结合后制成焦平面阵列,可以实现灵敏度和分辨率更高的THz成像。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201410134315.5A CN103943964A (zh) | 2014-04-01 | 2014-04-01 | 一种基于CMOS制造工艺的Si基场效应晶体管环形太赫兹探测器天线 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201410134315.5A CN103943964A (zh) | 2014-04-01 | 2014-04-01 | 一种基于CMOS制造工艺的Si基场效应晶体管环形太赫兹探测器天线 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103943964A true CN103943964A (zh) | 2014-07-23 |
Family
ID=51191523
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201410134315.5A Pending CN103943964A (zh) | 2014-04-01 | 2014-04-01 | 一种基于CMOS制造工艺的Si基场效应晶体管环形太赫兹探测器天线 |
Country Status (1)
Country | Link |
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CN (1) | CN103943964A (zh) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN105300530A (zh) * | 2015-11-10 | 2016-02-03 | 中国科学院半导体研究所 | 带有读出电路的太赫兹波探测器 |
CN105333951A (zh) * | 2015-11-10 | 2016-02-17 | 中国科学院半导体研究所 | 基于场效应晶体管的太赫兹波探测器 |
CN106887670A (zh) * | 2017-02-27 | 2017-06-23 | 天津大学 | 偶极子天线与nmos温度传感器一体化的太赫兹探测器 |
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2014
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CN105333951B (zh) * | 2015-11-10 | 2017-11-21 | 中国科学院半导体研究所 | 基于场效应晶体管的太赫兹波探测器 |
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C06 | Publication | ||
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