CN103934576A - 一种飞秒激光诱导材料表面二维周期性结构的方法 - Google Patents

一种飞秒激光诱导材料表面二维周期性结构的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN103934576A
CN103934576A CN201410151218.7A CN201410151218A CN103934576A CN 103934576 A CN103934576 A CN 103934576A CN 201410151218 A CN201410151218 A CN 201410151218A CN 103934576 A CN103934576 A CN 103934576A
Authority
CN
China
Prior art keywords
laser
sample
light
femtosecond laser
periodic structure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201410151218.7A
Other languages
English (en)
Inventor
姜澜
房巨强
曹强
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Beijing Institute of Technology BIT
Original Assignee
Beijing Institute of Technology BIT
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beijing Institute of Technology BIT filed Critical Beijing Institute of Technology BIT
Priority to CN201410151218.7A priority Critical patent/CN103934576A/zh
Publication of CN103934576A publication Critical patent/CN103934576A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36—Removing material
    • B23K26/361—Removing material for deburring or mechanical trimming
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/062—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam
    • B23K26/0622—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam by shaping pulses
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
    • B23K26/0643—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms comprising mirrors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
    • B23K26/0652—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms comprising prisms
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/142—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor for the removal of by-products

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)

Abstract

本发明涉及激光应用领域，尤其涉及一种飞秒激光诱导材料表面二维周期性结构的方法。本发明的方法，采用飞秒激光器产生近红外飞秒激光单脉冲，利用飞秒激光光学参量放大器将近红外飞秒激光单脉冲的波长调节在290-2600nm的范围内，然后利用迈克尔逊干涉仪结构的光路把激光单脉冲调制为偏振方向垂直的激光双脉冲，再利用连续衰减片调整激光双脉冲总能量不低于被加工样品的烧蚀阈值；之后调整光路使变波长垂直偏振双脉冲通过平凸透镜后沿垂直方向聚焦，移动待加工样品使激光焦点位于样品的上表面；最后控制待加工样品以设定的速度水平运动，即可在样品表面扫描出二维周期性结构。本发明能够在材料表面诱导出各种亚波长尺寸的均匀的二维周期性结构。

Description

一种飞秒激光诱导材料表面二维周期性结构的方法
技术领域
本发明涉及激光应用领域，尤其涉及一种飞秒激光诱导材料表面二维周期性结构的方法。
背景技术
激光诱导材料表面周期性结构具有防光反射和高疏水性等特点，在有机发光二极管、太阳能电池、自清洁表面等领域都有着广泛的应用。飞秒激光可以诱导出亚波长的周期性条纹结构，其周期方向与激光偏振方向互相垂直，然而通常情况下这种结构是一维的。在文献M.Huang,F.L.Zhao,T.Q.Jia,Y.Cheng,N.S.Xu,and Z.Z Xu:Nanotechnology.18,505301(2007)中，作者使用圆偏振光在ZnO表面制成了二维纳米颗粒结构；在文献T.H.Her,R.J.Finlay,C.Wu,S.Deliwala,and E.Mazur:Appl.Phys.Lett.73,1673(1998)中，作者将样品Si放置于气体环境Cl2和SF6条件下加工，得到了二维的圆柱以及圆锥结构，然而这些结构都是排布不规则的或者以一种自组织的方式形成于材料表面。虽然在文献T.Kondo,S.Matsuo,S.Juodkazis,V.Mizeikis,and H.Misawa:Appl.Phys.Lett.82,2758(2003)中，作者使用多光束干涉的方法得到了均匀排布的二维周期结构，但是这种方法需要调节光学延迟来保证两束光在时间和空间上严格相干。当要实现多束飞秒激光干涉时，上述装置的光路将更加复杂，更难于调节。
发明内容
本发明的目的是为了克服无法使用简单有效的方式获得均匀而且具有规则几何形貌的二维纳米结构的不足，提供一种通过偏振方向垂直的飞秒激光双脉冲的技术来制备表面二维周期性结构的方法，该方法同时改变入射激光波长，继而在材料上获得各种亚波长尺寸的表面二维周期性结构。
本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：
本发明的一种飞秒激光诱导材料表面二维周期性结构的方法，所述方法包括以下步骤：
步骤1）采用飞秒激光器产生近红外飞秒激光单脉冲，利用飞秒激光光学参量放大器将近红外飞秒激光单脉冲的波长调节在290-2600nm的范围内，然后利用迈克尔逊干涉仪结构的光路把激光单脉冲调制为偏振方向垂直的激光双脉冲，再利用连续衰减片调整激光双脉冲总能量不低于被加工样品的烧蚀阈值；
步骤2）调整光路使步骤1）中所得到的变波长垂直偏振双脉冲通过平凸透镜后沿垂直方向聚焦，移动待加工样品使激光焦点位于样品的上表面；
步骤3）控制待加工样品以设定的速度水平运动，即可在样品表面扫描出二维周期性结构。
进一步的，步骤1）中，双脉冲序列两个子脉冲之间的延时时间大于20ps。
进一步的，步骤2）中，借助CCD和白光光源实现样品的上表面成像并用以检测激光聚焦。
进一步的，步骤3）中，待加工样品的移动速度为200-1000μm/s。
进一步的，步骤3）中，可以使用氮气吹走材料表面喷溅出来的碎屑。
有益效果：
本发明通过改变入射激光波长，并利用偏振方向垂直的双脉冲序列，与传统的飞秒激光只能加工出一维周期性结构相比，能够在材料表面诱导出各种亚波长尺寸的均匀的二维周期性结构。
附图说明
图1是本发明飞秒激光变波长垂直偏振双脉冲加工方法的光路图。
其中，1-飞秒激光器；2-光学参量放大器；3-连续衰减片；4-第一光阑、7-第二光阑；13-第三光阑；5-偏振分光棱镜；6-偏振合光棱镜；8-第一反射镜、9-第二反射镜；10-第三反射镜；11-第四反射镜；12-机械平移台；14-光纤光谱仪；15-自相关仪；16-光学快门；17-光学快门控制***；18-二向色镜；19-平凸透镜；20-样品；21-移动平台；22-移动平台控制***；23-白光光源；24-CCD；25-氮气。
图2是本发明实施例所述的在Ge材料表面诱导的一维周期结构。
图3是本发明实施例所述的在Ge材料表面诱导的二维周期的圆锥结构。
图4是本发明实施例所述的在ZnO材料表面诱导的一维周期结构。
图5是本发明实施例所述的在ZnO材料表面诱导的二维周期的方块结构。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明的内容作进一步说明。
实施例1：
以采用本发明的飞秒激光变波长垂直偏振双脉冲加工方法，在Ge材料表面诱导二维周期的圆锥结构为例，具体应用设备如下：
飞秒激光***1是美国光谱物理（Spectrum Physics）公司生产的激光器，激光波长800nm，脉冲宽度50fs，重复频率1KHz，单脉冲最大能量3mJ，光强分布为高斯型，线偏振。
光学参量放大器2为美国Light Conversion公司生产的TOPAS-C，可以将800nm的飞秒激光脉冲在290-2600nm波长范围内连续调节，调节精度为0.1nm。
迈克尔逊干涉仪结构组成部分包括：偏振分光棱镜5，偏振合光棱镜6，第一反射镜8，第二反射镜9，第三反射镜10，第四反射镜11，机械平移台12。通过调节机械平移台12的移动距离可以改变两个子脉冲间的延时。其中，机械平移台12调节范围为±25mm，调整精度为2um，则双脉冲延时调整范围为0—83ps（首尾子脉冲最大间隔时间），延时调节精度为6.6fs。
连续衰减片3为大恒光电GCC-3030圆形中性密度渐变滤光片，在可见光到红外光区内可通过调整镜片的旋转角度，改变吸收/反射光与透射光的比例来改变光衰减的大小，激光能量调节范围为1%—90%。
移动平台21为PI公司生产的HEXAPOD六自由度并联微运动机器人，在XY方向的移动精度为1-3μm，Z方向的移动精度为0.5-1μm，重复定位精度小于1μm。
具体加工步骤如下：
（1）利用飞秒激光器1产生800nm飞秒激光脉冲；关闭光学参量放大器2，不对激光波长作任何改变；激光脉冲穿过光阑4进入偏振分光棱镜5后分为两束偏振方向垂直的子脉冲光，其中反射光为S偏振光，透射光为P偏振光；S偏振光穿过光阑7经由第一反射镜8、第二反射镜9反射，P偏振光经由安装在机械平移台12上的第三反射镜10、第四反射镜11反射，之后两束子脉冲光通过偏振合光棱镜6合束，再通过光阑13对双脉冲光进行准直和限高；其中手动控制机械平移台12的移动距离，使两束子脉冲在合光棱镜处的光程差为12mm，即两个子脉冲间的延时时间为40ps，延时零点由自相关仪15确认；再利用连续衰减片3调整双脉冲光到达加工处的脉冲总能量为1.4μJ；
（2）将飞秒激光垂直偏振双脉冲穿过光学快门16、并通过二向色镜18沿垂直方向反射到物镜19中聚焦；待加工样品20水平固定在移动平台21上；借助CCD24和白光光源23成像，通过平台控制***22移动移动平台21使激光焦点位于水平放置的样品20的上表面，聚焦后的光斑半径为15.1μm，能量密度约为0.39J/cm2；
（3）利用光学快门控制***17打开光学快门16；之后通过平台控制***22控制移动平台21以200μm/s的速度水平运动，即可在样品20表面扫描出呈六边形分布的（如图3所示），其底部直径为350-450nm，高度为60-70nm，周期间隔为0.9-1μm，加工过程中使用氮气25吹走材料表面喷溅出来的碎屑，确保加工过后的结构表面干净整洁。
实施例2：
其他步骤与实施例1相同，不同之处在于：步骤（1）中通过光学参量放大器2调节激光波长为620nm，其中波长调节精度由光纤光谱仪14校正；二维周期的圆锥结构的周期间隔变为：700-780nm。
实施例3：
其他步骤与实施例1相同，不同之处在于：步骤（1）中通过光学参量放大器2调节激光波长为1000nm，其中波长调节精度由光纤光谱仪14校正；二维周期的圆锥结构的周期间隔变为：1.1-1.25μm。
实施例4：
以采用本发明的飞秒激光变波长垂直偏振双脉冲加工方法，在ZnO材料表面诱导二维周期的方块结构为例，具体应用设备如下：
飞秒激光***1是美国光谱物理（Spectrum Physics）公司生产的激光器，激光波长800nm，脉冲宽度50fs，重复频率1KHz，单脉冲最大能量3mJ，光强分布为高斯型，线偏振。
光学参量放大器2为美国Light Conversion公司生产的TOPAS-C，可以将800nm的飞秒激光脉冲在290-2600nm波长范围内连续调节，调节精度为0.1nm。
迈克尔逊干涉仪结构组成部分包括：偏振分光棱镜5，偏振合光棱镜6，第一反射镜8，第二反射镜9，第三反射镜10，第四反射镜11，机械平移台12。通过调节机械平移台12的移动距离可以改变两个子脉冲间的延时。其中，机械平移台12调节范围为±25mm，调整精度为2um，则双脉冲延时调整范围为0—83ps（首尾子脉冲最大间隔时间），延时调节精度为6.6fs。
连续衰减片3为大恒光电GCC-3030圆形中性密度渐变滤光片，在可见光到红外光区内可通过调整镜片的旋转角度，改变吸收/反射光与透射光的比例来改变光衰减的大小，激光能量调节范围为1%—90%。
移动平台21为PI公司生产的HEXAPOD六自由度并联微运动机器人，在XY方向的移动精度为1-3μm，Z方向的移动精度为0.5-1μm，重复定位精度小于1μm。
具体加工步骤如下：
（1）利用飞秒激光器1产生800nm飞秒激光脉冲；关闭光学参量放大器2，不对激光波长作任何改变；激光脉冲穿过光阑4进入偏振分光棱镜5后分为两束偏振方向垂直的子脉冲光，其中反射光为S偏振光，透射光为P偏振光；S偏振光穿过光阑7经由第一反射镜8、第二反射镜9反射，P偏振光经由安装在机械平移台12上的第三反射镜10、第四反射镜11反射，之后两束子脉冲光通过偏振合光棱镜6合束，再通过光阑13对双脉冲光进行准直和限高；其中手动控制机械平移台12的移动距离，使两束子脉冲在合光棱镜处的光程差为12mm，即两个子脉冲间的延时时间为40ps，延时零点由自相关仪15确认；再利用连续衰减片3调整双脉冲光到达加工处的脉冲总能量为10μJ；
（2）将飞秒激光垂直偏振双脉冲穿过光学快门16、并通过二向色镜18沿垂直方向反射到物镜19中聚焦；待加工样品20水平固定在移动平台21上；借助CCD24和白光光源23成像，通过平台控制***22移动移动平台21使激光焦点位于水平放置的样品20的上表面，聚焦后的光斑半径为15.1μm，能量密度约为2.8J/cm2；
（3）利用光学快门控制***17打开光学快门16；之后通过平台控制***22控制移动平台21以500μm/s的速度水平运动，即可在样品20表面扫描出尺寸均匀的二维周期的方块结构（如图5所示），其周期间隔为250-350nm。加工过程中使用氮气25吹走材料表面喷溅出来的碎屑，确保加工过后的结构表面干净整洁；
实施例5：
其他步骤与实施例4相同，不同之处在于：步骤（1）中通过光学参量放大器2调节激光波长为620nm，其中波长调节精度由光纤光谱仪14校正；二维周期的方块结构的周期间隔变为：190-270nm。
实施例6：
其他步骤与实施例4相同，不同之处在于：步骤（1）中通过光学参量放大器2调节激光波长为1000nm，其中波长调节精度由光纤光谱仪14校正；二维周期的方块结构的周期间隔变为：310-430nm。
实施例7：
以采用本发明的飞秒激光变波长垂直偏振双脉冲加工方法，在Si材料表面诱导二维周期的方块结构为例，具体应用设备如下：
飞秒激光***1是美国光谱物理（Spectrum Physics）公司生产的激光器，激光波长800nm，脉冲宽度50fs，重复频率1KHz，单脉冲最大能量3mJ，光强分布为高斯型，线偏振。
光学参量放大器2为美国Light Conversion公司生产的TOPAS-C，可以将800nm的飞秒激光脉冲在290-2600nm波长范围内连续调节，调节精度为0.1nm。
迈克尔逊干涉仪结构组成部分包括：偏振分光棱镜5，偏振合光棱镜6，第一反射镜8，第二反射镜9，第三反射镜10，第四反射镜11，机械平移台12。通过调节机械平移台12的移动距离可以改变两个子脉冲间的延时。其中，机械平移台12调节范围为±25mm，调整精度为2um，则双脉冲延时调整范围为0—83ps（首尾子脉冲最大间隔时间），延时调节精度为6.6fs。
连续衰减片3为大恒光电GCC-3030圆形中性密度渐变滤光片，在可见光到红外光区内可通过调整镜片的旋转角度，改变吸收/反射光与透射光的比例来改变光衰减的大小，激光能量调节范围为1%—90%。
移动平台21为PI公司生产的HEXAPOD六自由度并联微运动机器人，在XY方向的移动精度为1-3μm，Z方向的移动精度为0.5-1μm，重复定位精度小于1μm。
具体加工步骤如下：
（1）利用飞秒激光器1产生800nm飞秒激光脉冲；关闭光学参量放大器2，不对激光波长作任何改变；激光脉冲穿过光阑4进入偏振分光棱镜5后分为两束偏振方向垂直的子脉冲光，其中反射光为S偏振光，透射光为P偏振光；S偏振光穿过光阑7经由第一反射镜8、第二反射镜9反射，P偏振光经由安装在机械平移台12上的第三反射镜10、第四反射镜11反射，之后两束子脉冲光通过偏振合光棱镜6合束，再通过光阑13对双脉冲光进行准直和限高；其中手动控制机械平移台12的移动距离，使两束子脉冲在合光棱镜处的光程差为12mm，即两个子脉冲间的延时时间为40ps，延时零点由自相关仪15确认；再利用连续衰减片3调整双脉冲光到达加工处的脉冲总能量为0.8μJ；
（2）将飞秒激光垂直偏振双脉冲穿过光学快门16、并通过二向色镜18沿垂直方向反射到物镜19中聚焦；待加工样品20水平固定在移动平台21上；借助CCD24和白光光源23成像，通过平台控制***22移动移动平台21使激光焦点位于水平放置的样品20的上表面，聚焦后的光斑半径为15.1μm，能量密度约为0.23J/cm2；
（3）利用光学快门控制***17打开光学快门16；之后通过平台控制***22控制移动平台21以500μm/s的速度水平运动，即可在样品20表面扫描出尺寸均匀的二维周期的方块结构，其周期间隔为560-770nm。加工过程中使用氮气25吹走材料表面喷溅出来的碎屑，确保加工过后的结构表面干净整洁；
实施例8：
其他步骤与实施例7相同，不同之处在于：步骤（1）中通过光学参量放大器2调节激光波长为620nm，其中波长调节精度由光纤光谱仪14校正；二维周期的方块结构的周期间隔变为：430-590nm。
实施例9：
其他步骤与实施例7相同，不同之处在于：步骤（1）中通过光学参量放大器2调节激光波长为1000nm，其中波长调节精度由光纤光谱仪14校正；二维周期的方块结构的周期间隔变为：690-960nm。
实施例10：
以采用本发明的飞秒激光变波长垂直偏振双脉冲加工方法，在GaP材料表面诱导二维周期的方块结构为例，具体应用设备如下：
飞秒激光***1是美国光谱物理（Spectrum Physics）公司生产的激光器，激光波长800nm，脉冲宽度50fs，重复频率1KHz，单脉冲最大能量3mJ，光强分布为高斯型，线偏振。
光学参量放大器2为美国Light Conversion公司生产的TOPAS-C，可以将800nm的飞秒激光脉冲在290-2600nm波长范围内连续调节，调节精度为0.1nm。
迈克尔逊干涉仪结构组成部分包括：偏振分光棱镜5，偏振合光棱镜6，第一反射镜8，第二反射镜9，第三反射镜10，第四反射镜11，机械平移台12。通过调节机械平移台12的移动距离可以改变两个子脉冲间的延时。其中，机械平移台12调节范围为±25mm，调整精度为2um，则双脉冲延时调整范围为0—83ps（首尾子脉冲最大间隔时间），延时调节精度为6.6fs。
连续衰减片3为大恒光电GCC-3030圆形中性密度渐变滤光片，在可见光到红外光区内可通过调整镜片的旋转角度，改变吸收/反射光与透射光的比例来改变光衰减的大小，激光能量调节范围为1%—90%。
移动平台21为PI公司生产的HEXAPOD六自由度并联微运动机器人，在XY方向的移动精度为1-3μm，Z方向的移动精度为0.5-1μm，重复定位精度小于1μm。
具体加工步骤如下：
（1）利用飞秒激光器1产生800nm飞秒激光脉冲；关闭光学参量放大器2，不对激光波长作任何改变；激光脉冲穿过光阑4进入偏振分光棱镜5后分为两束偏振方向垂直的子脉冲光，其中反射光为S偏振光，透射光为P偏振光；S偏振光穿过光阑7经由第一反射镜8、第二反射镜9反射，P偏振光经由安装在机械平移台12上的第三反射镜10、第四反射镜11反射，之后两束子脉冲光通过偏振合光棱镜6合束，再通过光阑13对双脉冲光进行准直和限高；其中手动控制机械平移台12的移动距离，使两束子脉冲在合光棱镜处的光程差为12mm，即两个子脉冲间的延时时间为40ps，延时零点由自相关仪15确认；再利用连续衰减片3调整双脉冲光到达加工处的脉冲总能量为0.45μJ；
（2）将飞秒激光垂直偏振双脉冲穿过光学快门16、并通过二向色镜18沿垂直方向反射到物镜19中聚焦；待加工样品20水平固定在移动平台21上；借助CCD24和白光光源23成像，通过平台控制***22移动移动平台21使激光焦点位于水平放置的样品20的上表面，聚焦后的光斑半径为15.1μm，能量密度约为0.13J/cm2；
（3）利用光学快门控制***17打开光学快门16；之后通过平台控制***22控制移动平台21以500μm/s的速度水平运动，即可在样品20表面扫描出尺寸均匀的二维周期的方块结构，其周期间隔为520-680nm。加工过程中使用氮气25吹走材料表面喷溅出来的碎屑，确保加工过后的结构表面干净整洁；
实施例11：
其他步骤与实施例10相同，不同之处在于：步骤（1）中通过光学参量放大器2调节激光波长为620nm，其中波长调节精度由光纤光谱仪14校正；二维周期的方块结构的周期间隔变为：400-520nm。
实施例12：
其他步骤与实施例10相同，不同之处在于：步骤（1）中通过光学参量放大器2调节激光波长为1000nm，其中波长调节精度由光纤光谱仪14校正；二维周期的方块结构的周期间隔变为：640-840nm。
实施例13：
以采用本发明的飞秒激光变波长垂直偏振双脉冲加工方法，在GaAs材料表面诱导二维周期的方块结构为例，具体应用设备如下：
飞秒激光***1是美国光谱物理（Spectrum Physics）公司生产的激光器，激光波长800nm，脉冲宽度50fs，重复频率1KHz，单脉冲最大能量3mJ，光强分布为高斯型，线偏振。
光学参量放大器2为美国Light Conversion公司生产的TOPAS-C，可以将800nm的飞秒激光脉冲在290-2600nm波长范围内连续调节，调节精度为0.1nm。
迈克尔逊干涉仪结构组成部分包括：偏振分光棱镜5，偏振合光棱镜6，第一反射镜8，第二反射镜9，第三反射镜10，第四反射镜11，机械平移台12。通过调节机械平移台12的移动距离可以改变两个子脉冲间的延时。其中，机械平移台12调节范围为±25mm，调整精度为2um，则双脉冲延时调整范围为0—83ps（首尾子脉冲最大间隔时间），延时调节精度为6.6fs。
连续衰减片3为大恒光电GCC-3030圆形中性密度渐变滤光片，在可见光到红外光区内可通过调整镜片的旋转角度，改变吸收/反射光与透射光的比例来改变光衰减的大小，激光能量调节范围为1%—90%。
移动平台21为PI公司生产的HEXAPOD六自由度并联微运动机器人，在XY方向的移动精度为1-3μm，Z方向的移动精度为0.5-1μm，重复定位精度小于1μm。
具体加工步骤如下：
（1）利用飞秒激光器1产生800nm飞秒激光脉冲；关闭光学参量放大器2，不对激光波长作任何改变；激光脉冲穿过光阑4进入偏振分光棱镜5后分为两束偏振方向垂直的子脉冲光，其中反射光为S偏振光，透射光为P偏振光；S偏振光穿过光阑7经由第一反射镜8、第二反射镜9反射，P偏振光经由安装在机械平移台12上的第三反射镜10、第四反射镜11反射，之后两束子脉冲光通过偏振合光棱镜6合束，再通过光阑13对双脉冲光进行准直和限高；其中手动控制机械平移台12的移动距离，使两束子脉冲在合光棱镜处的光程差为12mm，即两个子脉冲间的延时时间为40ps，延时零点由自相关仪15确认；再利用连续衰减片3调整双脉冲光到达加工处的脉冲总能量为0.6μJ；
（2）将飞秒激光垂直偏振双脉冲穿过光学快门16、并通过二向色镜18沿垂直方向反射到物镜19中聚焦；待加工样品20水平固定在移动平台21上；借助CCD24和白光光源23成像，通过平台控制***22移动移动平台21使激光焦点位于水平放置的样品20的上表面，聚焦后的光斑半径为15.1μm，能量密度约为0.16J/cm2；
（3）利用光学快门控制***17打开光学快门16；之后通过平台控制***22控制移动平台21以500μm/s的速度水平运动，即可在样品20表面扫描出尺寸均匀的二维周期的方块结构，其周期间隔为550-750nm。加工过程中使用氮气25吹走材料表面喷溅出来的碎屑，确保加工过后的结构表面干净整洁；
实施例14：
其他步骤与实施例13相同，不同之处在于：步骤（1）中通过光学参量放大器2调节激光波长为620nm，其中波长调节精度由光纤光谱仪14校正；二维周期的方块结构的周期间隔变为：420-580nm。
实施例15：
其他步骤与实施例13相同，不同之处在于：步骤（1）中通过光学参量放大器2调节激光波长为1000nm，其中波长调节精度由光纤光谱仪14校正；二维周期的方块结构的周期间隔变为：680-940nm。
实施例16：
以采用本发明的飞秒激光变波长垂直偏振双脉冲加工方法，在InP材料表面诱导二维周期的方块结构为例，具体应用设备如下：
飞秒激光***1是美国光谱物理（Spectrum Physics）公司生产的激光器，激光波长800nm，脉冲宽度50fs，重复频率1KHz，单脉冲最大能量3mJ，光强分布为高斯型，线偏振。
光学参量放大器2为美国Light Conversion公司生产的TOPAS-C，可以将800nm的飞秒激光脉冲在290-2600nm波长范围内连续调节，调节精度为0.1nm。
迈克尔逊干涉仪结构组成部分包括：偏振分光棱镜5，偏振合光棱镜6，第一反射镜8，第二反射镜9，第三反射镜10，第四反射镜11，机械平移台12。通过调节机械平移台12的移动距离可以改变两个子脉冲间的延时。其中，机械平移台12调节范围为±25mm，调整精度为2um，则双脉冲延时调整范围为0—83ps（首尾子脉冲最大间隔时间），延时调节精度为6.6fs。
连续衰减片3为大恒光电GCC-3030圆形中性密度渐变滤光片，在可见光到红外光区内可通过调整镜片的旋转角度，改变吸收/反射光与透射光的比例来改变光衰减的大小，激光能量调节范围为1%—90%。
移动平台21为PI公司生产的HEXAPOD六自由度并联微运动机器人，在XY方向的移动精度为1-3μm，Z方向的移动精度为0.5-1μm，重复定位精度小于1μm。
具体加工步骤如下：
（1）利用飞秒激光器1产生800nm飞秒激光脉冲；关闭光学参量放大器2，不对激光波长作任何改变；激光脉冲穿过光阑4进入偏振分光棱镜5后分为两束偏振方向垂直的子脉冲光，其中反射光为S偏振光，透射光为P偏振光；S偏振光穿过光阑7经由第一反射镜8、第二反射镜9反射，P偏振光经由安装在机械平移台12上的第三反射镜10、第四反射镜11反射，之后两束子脉冲光通过偏振合光棱镜6合束，再通过光阑13对双脉冲光进行准直和限高；其中手动控制机械平移台12的移动距离，使两束子脉冲在合光棱镜处的光程差为12mm，即两个子脉冲间的延时时间为40ps，延时零点由自相关仪15确认；再利用连续衰减片3调整双脉冲光到达加工处的脉冲总能量为0.4μJ；
（2）将飞秒激光垂直偏振双脉冲穿过光学快门16、并通过二向色镜18沿垂直方向反射到物镜19中聚焦；待加工样品20水平固定在移动平台21上；借助CCD24和白光光源23成像，通过平台控制***22移动移动平台21使激光焦点位于水平放置的样品20的上表面，聚焦后的光斑半径为15.1μm，能量密度约为0.12J/cm2；
（3）利用光学快门控制***17打开光学快门16；之后通过平台控制***22控制移动平台21以500μm/s的速度水平运动，即可在样品20表面扫描出尺寸均匀的二维周期的方块结构，其周期间隔为590-750nm。加工过程中使用氮气25吹走材料表面喷溅出来的碎屑，确保加工过后的结构表面干净整洁；
实施例17：
其他步骤与实施例16相同，不同之处在于：步骤（1）中通过光学参量放大器2调节激光波长为620nm，其中波长调节精度由光纤光谱仪14校正；二维周期的方块结构的周期间隔变为：450-590nm。
实施例18：
其他步骤与实施例16相同，不同之处在于：步骤（1）中通过光学参量放大器2调节激光波长为1000nm，其中波长调节精度由光纤光谱仪14校正；二维周期的方块结构的周期间隔变为：730-930nm。
实施例19：
以采用传统的红外波段飞秒激光单脉冲加工方法，在Ge材料表面诱导一维周期结构为例，具体应用设备如下：
飞秒激光***1是美国光谱物理（Spectrum Physics）公司生产的激光器，激光波长800nm，脉冲宽度50fs，重复频率1KHz，单脉冲最大能量3mJ，光强分布为高斯型，线偏振。
连续衰减片3为大恒光电GCC-3030圆形中性密度渐变滤光片，在可见光到红外光区内可通过调整镜片的旋转角度，改变吸收/反射光与透射光的比例来改变光衰减的大小，激光能量调节范围为1%—90%。
移动平台21为PI公司生产的HEXAPOD六自由度并联微运动机器人，在XY方向的移动精度为1-3μm，Z方向的移动精度为0.5-1μm，重复定位精度小于1μm。
具体加工步骤如下：
（1）利用飞秒激光器1产生800nm飞秒激光脉冲；关闭光学参量放大器2，不对激光波长作任何改变；使用遮光板挡住S偏振子脉冲光；再利用连续衰减片3调整P偏振子脉冲光到达加工处的脉冲总能量为0.6μJ；
（2）将P偏振子脉冲光通过二向色镜18沿垂直方向反射到物镜19中聚焦；待加工样品20水平固定在移动平台21上；借助CCD24和白光光源23成像，通过平台控制***22移动移动平台21使激光焦点位于样品20的上表面，聚焦后的光斑半径为15.1μm，能量密度约为0.17J/cm2；
（3）利用光学快门控制***17打开光学快门16；之后通过平台控制***22控制移动平台21以200μm/s的速度水平运动，即可在样品20表面扫描出与偏振方向垂直的一维周期结构，周期间隔为：650-780nm（如图2所示），加工过程中使用氮气25吹走材料表面喷溅出来的碎屑，确保加工过后的结构表面干净整洁。
实施例20：
以采用传统的红外波段飞秒激光单脉冲加工方法，在ZnO材料表面诱导一维周期结构为例，具体应用设备如下：
飞秒激光***1是美国光谱物理（Spectrum Physics）公司生产的激光器，激光波长800nm，脉冲宽度50fs，重复频率1KHz，单脉冲最大能量3mJ，光强分布为高斯型，线偏振。
连续衰减片3为大恒光电GCC-3030圆形中性密度渐变滤光片，在可见光到红外光区内可通过调整镜片的旋转角度，改变吸收/反射光与透射光的比例来改变光衰减的大小，激光能量调节范围为1%—90%。
移动平台21为PI公司生产的HEXAPOD六自由度并联微运动机器人，在XY方向的移动精度为1-3μm，Z方向的移动精度为0.5-1μm，重复定位精度小于1μm。
具体加工步骤如下：
（1）利用飞秒激光器1产生800nm飞秒激光脉冲；关闭光学参量放大器2，不对激光波长作任何改变；使用遮光板挡住S偏振子脉冲光；再利用连续衰减片3调整P偏振子脉冲光到达加工处的脉冲总能量为10μJ；
（2）将P偏振子脉冲光通过二向色镜18沿垂直方向反射到物镜19中聚焦；待加工样品20水平固定在移动平台21上；借助CCD24和白光光源23成像，通过平台控制***22移动移动平台21使激光焦点位于样品20的上表面，聚焦后的光斑半径为15.1μm，能量密度约为2.8J/cm2；
（3）利用光学快门控制***17打开光学快门16；之后通过平台控制***22控制移动平台21以500μm/s的速度水平运动，即可在样品20表面扫描出与偏振方向垂直的一维周期结构，周期间隔为：630-730nm（如图4所示），加工过程中使用氮气25吹走材料表面喷溅出来的碎屑，确保加工过后的结构表面干净整洁。
由实施例1—20比较可见：
（1）在0.39J/cm2的能量密度下，使用波长800nm的偏振方向垂直的双脉冲（两个子脉冲之间延迟时间40ps），以200μm/s的扫描速度在Ge材料表面诱导出了呈六边形分布的二维周期的圆锥结构，其底部直径为350-450nm，高度为60-70nm，周期为0.9-1μm。
（2）在稍高于材料烧蚀阈值的能量密度下，使用波长800nm的偏振方向垂直的双脉冲（两个子脉冲之间延迟时间40ps），以200-1000μm/s的扫描速度在ZnO、Si、GaP、GaAs和InP等半导体材料上诱导出了尺寸均匀的二维周期的方块结构，这种二维规则结构的周期分别为250-350nm、560-770nm、520-680nm、550-750nm和590-750nm。
（3）将入射激光波长在290-2600nm的范围内进行调节，所获得的二维结构周期Λ与波长λ呈线性关系，满足公式Λ=λ/n或Λ=λ/2n，其中n为材料的折射率。

Claims (5)

1.一种飞秒激光诱导材料表面二维周期性结构的方法，其特征是所述方法包括以下步骤：
步骤1）采用飞秒激光器产生近红外飞秒激光单脉冲，利用飞秒激光光学参量放大器将近红外飞秒激光单脉冲的波长调节在290-2600nm的范围内，然后利用迈克尔逊干涉仪结构的光路把激光单脉冲调制为偏振方向垂直的激光双脉冲，再利用连续衰减片调整激光双脉冲总能量不低于被加工样品的烧蚀阈值；
步骤2）调整光路使步骤1）中所得到的变波长垂直偏振双脉冲通过平凸透镜后沿垂直方向聚焦，移动待加工样品使激光焦点位于样品的上表面；
步骤3）控制待加工样品以设定的速度水平运动，即可在样品表面扫描出二维周期性结构。
2.如权利要求1所述的一种飞秒激光诱导材料表面二维周期性结构的方法，其特征是：步骤1）中，双脉冲序列两个子脉冲之间的延时时间大于20ps。
3.如权利要求1所述的一种飞秒激光诱导材料表面二维周期性结构的方法，其特征是：步骤2）中，借助CCD和白光光源实现样品的上表面成像并用以检测激光聚焦。
4.如权利要求1所述的一种飞秒激光诱导材料表面二维周期性结构的方法，其特征是：步骤3）中，待加工样品的移动速度为200-1000μm/s。
5.如权利要求1所述的一种飞秒激光诱导材料表面二维周期性结构的方法，其特征是：步骤3）中，使用氮气吹走材料表面喷溅出来的碎屑。
CN201410151218.7A 2014-04-15 2014-04-15 一种飞秒激光诱导材料表面二维周期性结构的方法 Pending CN103934576A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410151218.7A CN103934576A (zh) 2014-04-15 2014-04-15 一种飞秒激光诱导材料表面二维周期性结构的方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410151218.7A CN103934576A (zh) 2014-04-15 2014-04-15 一种飞秒激光诱导材料表面二维周期性结构的方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN103934576A true CN103934576A (zh) 2014-07-23

Family

ID=51182591

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410151218.7A Pending CN103934576A (zh) 2014-04-15 2014-04-15 一种飞秒激光诱导材料表面二维周期性结构的方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103934576A (zh)

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104889576A (zh) * 2015-06-26 2015-09-09 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所 一种高深径比微孔的制备方法及制备装置
CN106216833A (zh) * 2016-08-10 2016-12-14 北京理工大学 基于电子动态调控激光加工半导体双级表面结构的方法
CN106842588A (zh) * 2017-03-28 2017-06-13 北京印刷学院 激光诱导向前转移制备结构色薄膜的装置和方法
CN106825915A (zh) * 2017-03-28 2017-06-13 北京印刷学院 脉冲激光诱导向前转移制备图案化金属薄层的***和方法
CN108568594A (zh) * 2018-03-22 2018-09-25 北京工业大学 基于类等离子体透镜效应调控晶硅表面波纹结构的方法
CN108637489A (zh) * 2018-05-11 2018-10-12 北京卫星制造厂有限公司 一种利用超快激光进行铣削微槽加工的方法
CN109014566A (zh) * 2018-10-16 2018-12-18 北京理工大学 一种简易控制激光诱导表面周期性结构排布方向的方法
CN109132998A (zh) * 2018-08-01 2019-01-04 南京理工大学 单脉冲纳秒激光诱导透明介电材料表面周期性结构的方法
CN109277692A (zh) * 2018-12-04 2019-01-29 湘潭大学 聚二甲基硅氧烷表面微纳结构飞秒激光双脉冲调控方法
CN110814515A (zh) * 2019-11-15 2020-02-21 中南大学 一种led的中空微结构及其制造方法
CN111007586A (zh) * 2019-12-18 2020-04-14 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所 一种大尺寸纳米周期光栅的制备方法
CN111716004A (zh) * 2020-06-19 2020-09-29 西安交通大学 陶瓷基复合材料的飞秒-纳秒超脉冲激光平整加工***
CN113102892A (zh) * 2021-03-10 2021-07-13 清华大学 利用飞秒激光在钛表面加工纳米凸起结构的***及方法
CN113226632A (zh) * 2021-03-31 2021-08-06 长江存储科技有限责任公司 用于切割半导体结构的激光***及其操作方法
CN113210873A (zh) * 2021-06-03 2021-08-06 北京理工大学 一种基于电子动态调控的金属纳米网的制备方法
CN114509836A (zh) * 2022-02-25 2022-05-17 中山大学 一种正交光栅型微纳结构的制备方法及制备***

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101011325B1 (ko) * 2009-11-03 2011-01-28 윤태중 레이저를 이용한 도광판 가공장치 및 그 가공방법
CN102000912A (zh) * 2010-09-21 2011-04-06 中国科学院理化技术研究所 一种激光微纳加工***及方法
CN102658424A (zh) * 2012-05-18 2012-09-12 杭州士兰明芯科技有限公司 激光加工led衬底的***及方法
CN103424389A (zh) * 2013-07-25 2013-12-04 华南师范大学 一种测量荧光粉的pl光谱及ple光谱的测试***
JP2014012290A (ja) * 2012-07-04 2014-01-23 Hamamatsu Photonics Kk レーザ加工方法、及び、レーザ加工装置
CN103613278A (zh) * 2013-12-02 2014-03-05 北京理工大学 一种基于电子动态调控的飞秒激光刻蚀玻璃的方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101011325B1 (ko) * 2009-11-03 2011-01-28 윤태중 레이저를 이용한 도광판 가공장치 및 그 가공방법
CN102000912A (zh) * 2010-09-21 2011-04-06 中国科学院理化技术研究所 一种激光微纳加工***及方法
CN102658424A (zh) * 2012-05-18 2012-09-12 杭州士兰明芯科技有限公司 激光加工led衬底的***及方法
JP2014012290A (ja) * 2012-07-04 2014-01-23 Hamamatsu Photonics Kk レーザ加工方法、及び、レーザ加工装置
CN103424389A (zh) * 2013-07-25 2013-12-04 华南师范大学 一种测量荧光粉的pl光谱及ple光谱的测试***
CN103613278A (zh) * 2013-12-02 2014-03-05 北京理工大学 一种基于电子动态调控的飞秒激光刻蚀玻璃的方法

Cited By (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104889576A (zh) * 2015-06-26 2015-09-09 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所 一种高深径比微孔的制备方法及制备装置
CN106216833A (zh) * 2016-08-10 2016-12-14 北京理工大学 基于电子动态调控激光加工半导体双级表面结构的方法
CN106216833B (zh) * 2016-08-10 2018-02-09 北京理工大学 基于电子动态调控激光加工半导体双级表面结构的方法
CN106842588A (zh) * 2017-03-28 2017-06-13 北京印刷学院 激光诱导向前转移制备结构色薄膜的装置和方法
CN106825915A (zh) * 2017-03-28 2017-06-13 北京印刷学院 脉冲激光诱导向前转移制备图案化金属薄层的***和方法
CN106825915B (zh) * 2017-03-28 2019-12-03 北京印刷学院 脉冲激光诱导向前转移制备图案化金属薄层的***和方法
CN108568594B (zh) * 2018-03-22 2019-11-29 北京工业大学 基于类等离子体透镜效应调控晶硅表面波纹结构的方法
CN108568594A (zh) * 2018-03-22 2018-09-25 北京工业大学 基于类等离子体透镜效应调控晶硅表面波纹结构的方法
CN108637489A (zh) * 2018-05-11 2018-10-12 北京卫星制造厂有限公司 一种利用超快激光进行铣削微槽加工的方法
CN109132998A (zh) * 2018-08-01 2019-01-04 南京理工大学 单脉冲纳秒激光诱导透明介电材料表面周期性结构的方法
CN109014566B (zh) * 2018-10-16 2021-04-06 北京理工大学 一种简易控制激光诱导表面周期性结构排布方向的方法
CN109014566A (zh) * 2018-10-16 2018-12-18 北京理工大学 一种简易控制激光诱导表面周期性结构排布方向的方法
CN109277692A (zh) * 2018-12-04 2019-01-29 湘潭大学 聚二甲基硅氧烷表面微纳结构飞秒激光双脉冲调控方法
CN110814515A (zh) * 2019-11-15 2020-02-21 中南大学 一种led的中空微结构及其制造方法
CN111007586A (zh) * 2019-12-18 2020-04-14 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所 一种大尺寸纳米周期光栅的制备方法
CN111716004A (zh) * 2020-06-19 2020-09-29 西安交通大学 陶瓷基复合材料的飞秒-纳秒超脉冲激光平整加工***
CN111716004B (zh) * 2020-06-19 2021-08-10 西安交通大学 陶瓷基复合材料的飞秒-纳秒超脉冲激光平整加工***
CN113102892A (zh) * 2021-03-10 2021-07-13 清华大学 利用飞秒激光在钛表面加工纳米凸起结构的***及方法
CN113102892B (zh) * 2021-03-10 2022-03-01 清华大学 利用飞秒激光在钛表面加工纳米凸起结构的***及方法
CN113226632A (zh) * 2021-03-31 2021-08-06 长江存储科技有限责任公司 用于切割半导体结构的激光***及其操作方法
CN113210873A (zh) * 2021-06-03 2021-08-06 北京理工大学 一种基于电子动态调控的金属纳米网的制备方法
CN113210873B (zh) * 2021-06-03 2022-04-05 北京理工大学 一种基于电子动态调控的金属纳米网的制备方法
CN114509836A (zh) * 2022-02-25 2022-05-17 中山大学 一种正交光栅型微纳结构的制备方法及制备***

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103934576A (zh) 一种飞秒激光诱导材料表面二维周期性结构的方法
CN111458776B (zh) 一种飞秒光丝干涉直写啁啾体光栅制备方法及装置
CN103862171B (zh) 双波长飞秒激光制备二维周期金属颗粒阵列结构的方法
CN105108342B (zh) 大面积二维金属光子晶体结构的飞秒激光直写制备方法
CN103878496A (zh) 一种飞秒激光高效率加工大深径比高质量微孔的方法
CN103658993A (zh) 基于电子动态调控的晶硅表面飞秒激光选择性烧蚀方法
CN104209652B (zh) 一种控制飞秒激光诱导晶硅表面微纳结构形态的方法
CN106443872B (zh) 一种基于可调光阑刻写任意栅区长度光纤光栅方法
KR20100052422A (ko) 유리에서 표면 하부 마크를 만드는 방법
CN104677497B (zh) 一种太赫兹波性能的检测装置和方法
CN101890575A (zh) 具有实时监测的基于达曼光栅的飞秒激光并行微加工装置
CN111007586B (zh) 一种大尺寸纳米周期光栅的制备方法
JP5945303B2 (ja) 検査システム及び高速焦点変更方法
CN106271105B (zh) 一种可实现光纤端面角度控制的激光切割方法及***
CN109014566A (zh) 一种简易控制激光诱导表面周期性结构排布方向的方法
El-Khoury et al. Utilizing fundamental beam-mode shaping technique for top-hat laser intensities in direct laser interference patterning
CN107577023A (zh) 一种大口径光栅脉冲压缩器姿态的调节方法
CN108422111A (zh) 利用飞秒激光在透明材料内部进行大深度结构的加工装置和加工方法
Laskin et al. Refractive field mapping beam shaping optics: important features for a right choice
CN108897075B (zh) 一种基于硅球及光子晶体负折射效应的亚波长成像器件
CN109604837A (zh) 一种无锥度激光加工方法及加工装置
Li et al. Micropattern-assisted absorption enhancement and wettability surface on ZnO via single femtosecond laser beam tailoring
CN113341628A (zh) 一种飞秒超连续白光产生装置
CN112872581A (zh) 一种ccd相机实时监测共点和同时信号的方法及其***
CN206981987U (zh) 用于光学元件的激光预处理装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20140723