CN103915358A - 一种工艺角自动检测装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明提出了一种工艺角自动检测装置及方法，该工艺角自动检测装置包括鉴相器、压控振荡器、环路分频器和自动判断纠正模块，鉴相器输入端输入的频率信号含有工艺角信息；自动判断纠正模块根据鉴相器输出的控制电压大小向压控振荡器输出不同的控制字；压控振荡器在控制字的控制下输出频带，频带的大小与控制字的大小一一对应；环路分频器将压控振荡器输出的频带信息反馈给鉴相器，调整鉴相器输出的控制电压大小，当鉴相器输出的控制电压大小满足阈值要求时，控制字的大小与工艺角的大小相关。本发明通过自动判断纠正模块输出控制字对多频带锁相环进行自动纠正，实现了工艺角的自动检测，满足了高精度模拟电路对工艺角偏差进行修正的需要。

Description

一种工艺角自动检测装置及方法

技术领域

本发明涉及电路设计技术领域，特别涉及一种能够自动检测工艺角大小的检测装置及方法。 

背景技术

工艺角反映了芯片生产过程中某些工艺参数的变化情况，例如栅氧厚度，掺杂浓度等，目前芯片的性能参数变化范围通常以工艺角的形式给出。如果采用3-corner model，会有TT、FF和SS 3个corners。TT指NFET-Typical corner和PFET-Typical corner(N型场效应晶体管的典型工艺角和p型场效应晶体管的典型工艺角)、FF指NFET-Fast corner和PFET-Fast corner(N型场效应晶体管的快工艺角和p型场效应晶体管的快工艺角)、SS指NFET-Slowcorner和PFET-Slow corner(N型场效应晶体管的慢工艺角和p型场效应晶体管的慢工艺角)。其中，Typical指晶体管驱动电流是一个平均值，Fast指驱动电流是其最大值，而Slow指驱动电流是其最小值，这是从测量角度解释，也可以理解为载流子迁移率的快慢。 

在目前对芯片指标高要求的情况下，往往需要针对工艺的偏差来调节相关配置，尽量消除工艺偏差带来的性能恶化，这样才能获得高精度高性能的芯片。在这样的背景下，芯片上具有工艺角自动检测电路就显得尤为重要。 

现有工艺角探测方法是利用标准单元的延迟判断工艺角的大小，标准单元 的延迟由电源电压，温度和工艺角决定，如果其中两个变量，例如电源电压和温度固定，则工艺角由这个延迟时间决定，这种方法虽然能够检测出工艺角的大小，但是这个方案需要两个电源，电路复杂。 

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题，特别创新地提出了一种工艺角自动检测装置及方法。 

为了实现本发明的上述目的，根据本发明的第一个方面，本发明提供了一种工艺角自动检测装置，包括：鉴相器、压控振荡器、环路分频器和自动判断纠正模块，所述鉴相器、压控振荡器和环路分频器构成锁相环，所述鉴相器的输入端分别与所述环路分频器的输出端和外部频率信号相连，所述外部频率信号含有工艺角信息；所述自动判断纠正模块的输入端与所述鉴相器的输出端相连，所述自动判断纠正模块根据所述鉴相器输出的控制电压大小向所述压控振荡器输出不同的控制字；所述压控振荡器的输入端分别与所述鉴相器的输出端和所述自动判断纠正模块的输出端相连，所述压控振荡器在所述控制字的控制下输出频带，所述频带的大小与所述控制字的大小一一对应；所述环路分频器的输入端与所述压控振荡器的输出端相连，所述环路分频器将所述压控振荡器输出的频带信息反馈给所述鉴相器，调整所述鉴相器输出的控制电压大小，当所述鉴相器输出的控制电压大小小于第一阈值电压且大于第二阈值电压时，根据所述自动判断纠正模块输出的控制字的大小所对应的频带大小获得所述工艺角的大小。 

本发明的工艺角自动检测装置通过自动判断纠正模块输出控制字对多频带锁相环进行自动纠正，实现了工艺角的自动检测，满足了高精度模拟电路对 工艺角偏差进行修正的需要。 

在本发明的一种优选实施方式中，所述自动判断纠正模块包括第一比较器和第二比较器，所述第一比较器的正极和第二比较器的正极均与所述鉴相器输出的控制电压相连，所述第一比较器的阴极与第一阈值电压相连，所述第二比较器的阴极与第二阈值电压相连，所述第一阈值电压高于所述第二阈值电压。 

本发明的自动判断纠正模块包括第一比较器和第二比较器，通过控制电压与第一阈值电压和第二阈值电压的大小比较控制输出的控制字大小，实现对多频带锁相环的自动纠正。 

在本发明的另一种优选实施方式中，在不同控制字的控制下所述压控振荡器输出的频带按照由小大到的顺序依次编号为：band_1，band_2，...，band_L，band_L+1，band_L+2，...，band_m，band_m+1，band_m+2，...，band_n，band_n+1，band_n+2，...，当所述鉴相器输出的控制电压大小小于第一阈值电压且大于第二阈值电压时，所述压控振荡器的频带稳定输出时，如果稳定频带对应的频带编号为band_L+1，则工艺角为快工艺角，如果稳定频带对应的频带编号为band_n+1，则工艺角为慢工艺角，如果稳定频带对应的频带编号为band_m+1，则工艺角为典型工艺角，所述L、n、m为正整数，所述n＞m＞L。 

本发明利用压控振荡器的输入输出特性，对不同控制字控制下压控振荡器输出的频带按照由小大到的顺序依次编号，鉴相器输出的控制电压满足阈值要求，压控振荡器的频带稳定输出时，稳定频带对应的频带编号即反映工艺角的大小，实现了工艺角的自动检测。 

在本发明的一种优选实施方式中，还包括低通滤波器，所述低通滤波器的输入端与所述鉴相器的输出端相连，所述低通滤波器的输出端与所述压控振荡器的输入端和所述自动判断纠正模块的输入端分别相连。 

本发明通过低通滤波器滤除鉴相器输出电压的噪声和干扰成分，提高电压的纯净。 

在本发明的另一种优选实施方式中，还包括电荷泵，所述电荷泵的输入端与所述鉴相器的输出端相连，所述电荷泵的输出端与所述低通滤波器的输入端相连。 

本发明的通过电荷泵对鉴相器输出的电压大小进行调节。 

为了实现本发明的上述目的，根据本发明的第二个方面，本发明提供了一种工艺角自动检测方法，包括如下步骤： 

S1：自动判断纠正模块向压控振荡器输出初始控制字k； 

S2：当锁相环达到稳定状态后，判断所述自动判断纠正模块输入的控制电压与第一阈值电压和第二阈值电压的大小关系； 

S3：如果控制电压大于第一阈值电压，则令k＝k-1，如果控制电压小于第二阈值电压，则令k＝k+1，返回步骤S2，如果控制电压小于第一阈值电压且大于第二阈值电压，则执行步骤S4； 

S4：输出控制字k并检查所述控制字k对应的频带编号，从而判断工艺角大小。 

本发明通过调节自动判断纠正模块输出的控制字大小，实现多频带锁相环的自动纠正，实现了工艺角的自动检测，满足了高精度模拟电路对工艺角偏差进行修正的需要。 

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。 

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中： 

图1是本发明第一优选实施方式中工艺角自动检测装置的结构示意图； 

图2是本发明第二优选实施方式中工艺角自动检测装置的结构示意图； 

图3是在本发明一种优选施方式中压控振荡器的输出特性曲线； 

图4是本发明一种优选施方式中自动判断纠正模块的结构示意图； 

图5是本发明工艺角自动检测方法的流程图。 

附图标记： 

1鉴相器；2压控振荡器；3环路分频器；4自动判断纠正模块；5低通滤波器；6电荷泵；7第一比较器；8第二比较器。 

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。 

在本发明的描述中，除非另有规定和限定，需要说明的是，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是机械连接或电连接，也可以是两个元件内部的连通，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。 

本发明提供了一种工艺角自动检测装置，如图1所示，该工艺角自动检测装置包括鉴相器1、压控振荡器2、环路分频器3和自动判断纠正模块4。其中，鉴相器1、压控振荡器2和环路分频器3构成锁相环。自动判断纠正模块 4用于锁相环输出频带的自动纠正。如图1所示，鉴相器1的输入端分别与环路分频器3的输出端和外部频率信号Refclk相连，环路分频器3的输入端与压控振荡器2的输出端相连，环路分频器3将压控振荡器2输出的频带信号反馈给鉴相器1，外部频率信号Refclk含有工艺角信息。鉴相器1的输出端与自动判断纠正模块4的输入端相连，自动判断纠正模块4根据鉴相器1输出的控制电压Vctrl的大小向压控振荡器2输出不同大小的控制字。压控振荡器2的输入端分别与鉴相器1的输出端和自动判断纠正模块4的输出端相连，压控振荡器2在控制字的控制下输出频带，在同一工艺角下，频带的大小与控制字的大小一一对应；当工艺角不同时，相同的控制字对应的频带大小不同。在本实施方式中，控制字的大小控制注入压控振荡器2的电流大小，不同的电流大小使压控振荡器2输出不同的频带。在本发明的一种更加优选的实施方式中，在不同控制字的控制下压控振荡器2输出的频带按照由小大到的顺序依次编号为：band_1，band_2，band_3...，控制字与频带是一一对应的，在本实施方式中，控制字大小可以由四位二进制代码表示，可以设计控制字0000对应频带band_1，控制字0001对应频带band_2，控制字0010对应频带band_3，依此类推。环路分频器3的输入端与压控振荡器2的输出端相连，环路分频器3将压控振荡器2输出的频带信息反馈给鉴相器1，进而调整鉴相器1输出的控制电压Vctrl的大小，当鉴相器1输出的控制电压Vctrl满足阈值要求，即控制电压Vctrl的大小小于第一阈值电压且大于第二阈值电压，在锁相环稳定后，压控振荡器2的频带稳定输出时，控制字的大小与工艺角的大小相关，可以根据控制字大小所对应的频带大小获得工艺角的大小。 

在本实施方式中，如图2所示，该工艺角自动检测装置还包括低通滤波器 5，低通滤波器5的输入端与鉴相器1的输出端相连，低通滤波器5的输出端分别与压控振荡器2的输入端和自动判断纠正模块4的输入端相连。在本发明另外的优选实施方式中，该工艺角自动检测装置还包括电荷泵6，电荷泵6的输入端与鉴相器1的输出端相连，电荷泵6的输出端与低通滤波器5的输入端分别相连。 

如图2所示，外部频率信号Refclk和经环路分频器3分频的信号进入鉴相器1，鉴相器1比较输出的脉宽信号进入电荷泵6，电荷泵6把脉宽信息转换为电流信号，电流信号经低通滤波器5输出电压信号，自动判断纠正模块4根据电压信号调节控制字的大小，进而调整压控振荡器2的输出频带的频率，频率信号经环路分频器3分频输出到鉴相器1，在鉴相器1中与外部频率信号Refclk进行比较。 

图3示出了压控振荡器2在典型工艺角的输入输出特性曲线，图3中的不同曲线对应了不同控制字的控制。图中flock是鉴相器1输出的控制电压Vctrl的大小满足阈值要求时，锁相环稳定后，压控振荡器2输出锁定的频率点。 

在本实施方式中，在不同控制字的控制下压控振荡器2输出的频带按照大小顺序依次编号，在本发明的一个优选实施方式中，在不同控制字的控制下压控振荡器2输出的频带按照由小大到的顺序依次编号为：band_1，band_2，...，band_L，band_L+1，band_L+2，...，band_m，band_m+1，band_m+2，...，band_n，band_n+1，band_n+2，...，控制字与频带是一一对应的。在本发明的一个更加优选的实施方式中，可以设计控制字0000对应频带band_1，控制字0001对应频带band_2，控制字0010对应频带band_3，依此类推。图3中频率点flock对应的是频带band_m+1，但考虑工艺角的变化时，慢的工艺角情况下，整个频带 会拉低，频带band_m+1这时也拉低了，它覆盖的频率值变低，已经不能覆盖住频率点flock，这个时候覆盖住频率点flock的就是高于频带band_m+1的频带，例如频带band_n+1。同样，在快的工艺角情况下，整个频带会抬升，频带band_m+1这时也抬升了，它覆盖的频率值变高，已经不能覆盖住频率点flock，这个时候覆盖住频率点flock的就是低于频带band_m的频带了，例如频带band_L+1。 

在本实施方式中，压控振荡器2的类型选择为基于环形振荡器的压控振荡器，这样，在同样的控制电压Vctrl下，工艺角的快慢就反映在振荡器输出频带的频率高低上。在本实施方式中，可以先设定工艺角的变化范围，通过仿真，得到在不同工艺角下，覆盖住频率点flock的频带编号信息，例如，确定m、n和L的数值，使典型的工艺角对应频带band_m+1，慢的工艺角对应频带band_n+1，快的工艺角对应频带band_L+1。因为慢的工艺角会让压控振荡器2在同样的输入电压下输出频率变低，所以当工艺角为慢的工艺角时，图3中的整个频带会向下移动。快的工艺角相反，图3中的整个频带会向上移动。在实际检测时，当鉴相器1输出的控制电压Vctrl满足阈值要求，压控振荡器2的频带稳定输出时，如果稳定频带对应的频带编号为band_L+1，则工艺角为快工艺角，如果稳定频带对应的频带编号为band_n+1，则工艺角为慢工艺角，如果稳定频带对应的频带编号为band_m+1，则工艺角为典型工艺角，L、n、m为正整数，且n＞m＞L。。 

在本实施方式中，如图4所示，自动判断纠正模块4包括第一比较器7和第二比较器8，第一比较器7的正极和第二比较器8的正极均与控制电压Vctrl相连，第一比较器7的阴极与第一阈值电压VH相连，第二比较器8的阴极与第二阈值电压VL相连，第一阈值电压VH高于第二阈值电压VL。在本 实施方式中，鉴相器1输出的控制电压Vctrl的大小要满足的阈值要求是指控制电压Vctrl小于第一阈值电压VH且大于第二阈值电压VL。在本发明另外的优选实施方式中，自动判断纠正模块4的第一比较器7和第二比较器8的输入端的连接关系也可以如下，第一比较器7的正极和第二比较器8的负极均与控制电压Vctrl相连，第一比较器7的阴极与第一阈值电压VH相连，第二比较器8的正极与第二阈值电压VL相连，此时控制电压Vctrl的大小满足的阈值要求不变，仍是控制电压Vctrl小于第一阈值电压VH且大于第二阈值电压VL。 

自动判断纠正模块4的外部频率信号Refclk和控制电压Vctrl，外部频率信号Refclk提供了时钟信号，当经过锁相环所相所需时间之后，把控制电压Vctrl和自动判断纠正模块4内的第一阈值电压VH和第二阈值电压VL进行比较，如图4所示。如果控制电压Vctrl大于第一阈值电压VH，则把自动判断纠正模块4的输出控制字增加，这样就意味对应的频带覆盖的是更高频的频带；相反，要是控制电压Vctrl小于第二阈值电压VL，则把自动判断纠正模块4的输出控制字减小，这样就意味对应的频带覆盖的是更低频的频带。要是控制电压Vctrl位于第一阈值电压VH和第二阈值电压VL之间，则说明锁定成功，此时控制字的大小与工艺角的大小相关，即此时输出控制字就能正确反映了工艺角。需要说明的是，控制电压Vctrl会受到工艺角的影响，由于本发明设计成多频带的结构，整个压控振荡器2的控制电压Vctrl对应的单个频带覆盖的范围狭窄，所以最终体现出工艺角信息的是控制字而不是控制电压Vctrl的大小。 

在本实施方式中，以慢的工艺角的情况结合自动判断纠正模块4来举例说明，由于慢的工艺角会让整个频带下降，所以频带band_m+1对应的频带范围已经不能覆盖flock这个频率点了。经过反复比较纠正，增大控制字，在 band_n+1时完成锁定，这时band_n+1对应的输出控制字就反映了慢的工艺角的情况。 

需要说明的是，由于温度的影响，不同温度下慢工艺角对应的频带也可能是band_n或者band_n+2，但是这几个频带对应的控制字是相连的，因此只要控制字在一个小的误差范围之内，都可以看作是正确反映了慢的工艺角，本发明中可对不同温度下控制字设定误差范围。同理，不同温度下快工艺角对应的频带也可能是band_L或者band_L+2，不同温度下典型工艺角对应的频带也可能是band_m或者band_m+2。 

在本发明另外的优选实施方式中，也以先通过仿真，得到在典型工艺角下，覆盖住频率点flock的频带编号信息，即确定m的数值，使典型的工艺角对应频带band_m+1，当实际检测的覆盖住频率点flock的频带编号对应的控制字超过设定的误差范围时，即认为工艺角已经不是典型的工艺角，此时，如果覆盖住频率点flock的频带编号变大，则认为工艺角为慢工艺角；如果覆盖住频率点flock的频带编号变小，则认为工艺角为快工艺角。 

如图5所示，本发明提供了一种工艺角自动检测方法，包括如下步骤： 

S1：自动判断纠正模块4向压控振荡器2输出初始控制字k； 

S2：当锁相环达到稳定状态后，判断自动判断纠正模块4输入的控制电压Vctrl与第一阈值电压VH和第二阈值电压VL的大小关系； 

S3：如果控制电压Vctrl大于第一阈值电压VH，则令k＝k-1，如果控制电压Vctrl小于第二阈值电压VL，则令k＝k+1，返回步骤S2，如果控制电压Vctrl小于第一阈值电压VH且大于第二阈值电压VL，则执行步骤S4； 

S4：输出控制字k并检查控制字k对应的频带编号，从而判断工艺角大小，在本实施方式中，根据控制字k对应的频带编号判断工艺角的方法为：将不同 控制字对应的频带按照由小大到的顺序依次编号为：band_1，band_2，...，band_L，band_L+1，band_L+2，...，band_m，band_m+1，band_m+2，...，band_n，band_n+1，band_n+2，...，当控制字k对应的频带编号为band_L+1时，工艺角为快工艺角，当控制字k对应的频带编号为band_n+1时，工艺角为慢工艺角，当控制字k对应的频带编号为band_m+1时，工艺角为典型工艺角(平均工艺角)，其中，L、n、m为正整数，且n＞m＞L。。 

在本实施方式中，在步骤S1之前还可以具有如下步骤：通过仿真，得到在不同工艺角下，覆盖住频率点flock的频带编号信息。在本方另外的优选实施方式中，在步骤S1之前还可以具有如下步骤：通过仿真，得到在典型工艺角下，覆盖住频率点flock的频带编号信息。 

在本发明的一种优选实施方式中，开始检测时，自动判断纠正模块4赋予初始输出控制字k给压控振荡器2，然后进入等待状态，等待一定时间是因为锁相环需要一定的时间来完成锁定；等待完成后，判断压控振荡器2的输入控制电压Vctrl，要是控制电压Vctrl大于第一阈值电压VH，则自动判断纠正模块4的输出控制字为k+1，然后进入等待状态，等待结束后继续进行这样的判断过程；要是控制电压Vctrl小于第二阈值电压VL，则自动判断纠正模块4输出的控制字为k-1，然后进入等待状态，等待结束后继续进行这样的判断过程；要是控制电压Vctrl大于第二阈值电压VL且小于第一阈值电压VH，则自动判断纠正模块4输出控制字为k。然后，在仿真结果中检查k值对应的频带编号，如果k为频带Band_n+1对应的控制字，则判断工艺角为慢的工艺角；如果k为对应频带Band_m+1的控制字，则判断工艺角为典型的工艺角；如果k值为对应频带Band_L+1的控制字，则判断工艺角为快的工艺角。 

本发明通过调节自动判断纠正模块输出的控制字大小，实现多频带锁相环 的自动纠正，实现了工艺角的自动检测，满足了高精度模拟电路对工艺角偏差进行修正的需要。 

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。 

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。 

Claims (7)

1.一种工艺角自动检测装置，其特征在于，包括：鉴相器、压控振荡器、环路分频器和自动判断纠正模块，所述鉴相器、压控振荡器和环路分频器构成锁相环，

所述鉴相器的输入端分别与所述环路分频器的输出端和外部频率信号相连，所述外部频率信号含有工艺角信息；

所述自动判断纠正模块的输入端与所述鉴相器的输出端相连，所述自动判断纠正模块根据所述鉴相器输出的控制电压大小向所述压控振荡器输出不同的控制字；

所述压控振荡器的输入端分别与所述鉴相器的输出端和所述自动判断纠正模块的输出端相连，所述压控振荡器在所述控制字的控制下输出频带，所述频带的大小与所述控制字的大小一一对应；

所述环路分频器的输入端与所述压控振荡器的输出端相连，所述环路分频器将所述压控振荡器输出的频带信息反馈给所述鉴相器，调整所述鉴相器输出的控制电压大小，当所述鉴相器输出的控制电压大小小于第一阈值电压且大于第二阈值电压时，根据所述自动判断纠正模块输出的控制字的大小所对应的频带大小获得所述工艺角的大小。

2.如权利要求1所述的工艺角自动检测装置，其特征在于，所述自动判断纠正模块包括第一比较器和第二比较器，所述第一比较器的正极和第二比较器的正极均与所述鉴相器输出的控制电压相连，所述第一比较器的阴极与第一阈值电压相连，所述第二比较器的阴极与第二阈值电压相连，所述第一阈值电压高于所述第二阈值电压。

3.如权利要求1所述的工艺角自动检测装置，其特征在于，在不同控制字的控制下所述压控振荡器输出的频带按照由小大到的顺序依次编号为：band_1，band_2，...，band_L，band_L+1，band_L+2，...，band_m，band_m+1，band_m+2，...，band_n，band_n+1，band_n+2，...，当所述鉴相器输出的控制电压大小小于第一阈值电压且大于第二阈值电压时，所述压控振荡器的频带稳定输出时，如果稳定频带对应的频带编号为band_L+1，则工艺角为快工艺角，如果稳定频带对应的频带编号为band_n+1，则工艺角为慢工艺角，如果稳定频带对应的频带编号为band_m+1，则工艺角为典型工艺角，所述L、n、m为正整数，所述n＞m＞L。

4.如权利要求1所述的工艺角自动检测装置，其特征在于，还包括低通滤波器，所述低通滤波器的输入端与所述鉴相器的输出端相连，所述低通滤波器的输出端与所述压控振荡器的输入端和所述自动判断纠正模块的输入端分别相连。

5.如权利要求4所述的工艺角自动检测装置，其特征在于，还包括电荷泵，所述电荷泵的输入端与所述鉴相器的输出端相连，所述电荷泵的输出端与所述低通滤波器的输入端相连。

6.一种工艺角自动检测方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1：自动判断纠正模块向压控振荡器输出初始控制字k；

S2：当锁相环达到稳定状态后，判断所述自动判断纠正模块输入的控制电压与第一阈值电压和第二阈值电压的大小关系；

S3：如果控制电压大于第一阈值电压，则令k＝k-1，如果控制电压小于第二阈值电压，则令k＝k+1，返回步骤S2，如果控制电压小于第一阈值电压且大于第二阈值电压，则执行步骤S4；

S4：输出控制字k并检查所述控制字k对应的频带编号，从而判断工艺角大小。

7.如权利要求6所述的工艺角自动检测方法，其特征在于，在所述步骤S4中根据控制字k对应的频带编号判断工艺角的方法为：将不同控制字对应的频带按照由小大到的顺序依次编号为：band_1，band_2，...，band_L，band_L+1，band_L+2，...，band_m，band_m+1，band_m+2，...，band_n，band_n+1，band_n+2，...，当控制字k对应的频带编号为band_L+1时，工艺角为快工艺角，当控制字k对应的频带编号为band_n+1时，工艺角为慢工艺角，当控制字k对应的频带编号为band_m+1时，工艺角为典型工艺角，所述L、n、m为正整数，所述n＞m＞L。