CN103909477A - 机械研磨修整轮的加工方法 - Google Patents

Abstract

一种机械研磨修整轮的加工方法，包括：提供圆环柱形坯料，粗车外圆环表面、内圆环表面和两端面，形成第一半成品机械研磨修整轮；对第一半成品机械研磨修整轮进行热处理，以去除内应力；半精加工第一半成品机械研磨修整轮的外圆环表面、内圆环表面和两端面，形成第二半成品机械研磨修整轮；对第二半成品机械研磨修整轮的一端面进行钻孔处理形成背面，对第二半成品机械研磨修整轮的另一端面进行铣槽处理，形成研磨面；钻孔处理和铣槽处理后，将第二半成品机械研磨修整轮固定在全周夹具上，对第二半成品机械研磨修整轮进行精加工处理，使得背面和研磨面之间的距离、背面的平面度、背面与研磨面的平行度符合要求。采用本发明的加工方法加工精度高。

Description

机械研磨修整轮的加工方法

技术领域

本发明涉及机械加工领域，特别是一种机械研磨修整轮的加工方法。

背景技术

化学机械研磨(CMP，chemical mechanical polishing)工艺是通过化学研磨料与机械抛光相结合的方法，采用研磨垫对硅片进行研磨以达到硅片表面平坦化的目的。化学机械研磨用的研磨垫，它一般是由两种材料黏合而成，表层坚硬而底层较软，且表面有一定的粗糙度。目的是为了让表面既能够承载研磨液与研磨料，又能传递***施加的压力，还不会刮伤硅片的表面。有的化学机械研磨设备中还包括机械研磨修整轮(Pad conditioning disk)，它在研磨过程中负责修整研磨垫，使研磨垫保持一定的粗糙度，以防止研磨效率降低；它还负责清除研磨垫表面的研磨残余物，以及平均分配研磨液。

在公开号为CN201095071Y(公开日：2008年8月6日)的中国专利文献中还能发现更多的机械研磨修整轮的信息。

机械研磨修整轮的材料为不锈钢。现有技术中对由不锈钢材料制作的结构简单工件的加工方法一般为车削加工，车削加工后再配合磨床加工。但是机械研磨修整轮的结构比较复杂，很难用现有技术的加工方法对其进行加工。参考图1和图2，本发明中需要加工的机械研磨修整轮的结构具体如下：其中，机械研磨修整轮10的结构为圆环柱型，它包括背面11和研磨面12，所述背面11具有安装孔13，用于与化学机械研磨装置进行固定；研磨面12具有铣槽14，用于平均分配研磨液。另外，根据机械研磨修整轮打磨修整研磨垫的用途，现有的磨床工艺很难对其进行磨床加工。再者，根据机械研磨修整轮修整研磨垫的用途，需要研磨面和背面分别具有很高的平面度，并且研磨面与背面之间具有很高的平行度。但是，现有技术的加工方法无法保证较高的平行度和平面度。

因此，目前对机械研磨修整轮的机械加工工艺非常不成熟，对机械研磨修整轮的机械加工的加工参数的相关研究也几乎处于空白阶段，因此，加工精度非常不高。

有鉴于此，实有必要提出一种机械研磨修整轮的加工方法，避免上述缺陷。

发明内容

本发明解决的问题是目前对机械研磨修整轮的机械加工加工精度非常不高。

为解决上述问题，本发明提供一种机械研磨修整轮的加工方法，包括：

提供圆环柱形坯料，粗车外圆环表面和内圆环表面，粗车所述圆环柱形坯料的两端面，形成第一半成品机械研磨修整轮；

对所述第一半成品机械研磨修整轮进行热处理，以去除内应力；

对热处理后的第一半成品机械研磨修整轮的外圆环表面和内圆环表面进行半精加工，使得外圆环直径和内圆环直径尺寸符合要求，半精加工所述第一半成品机械研磨修整轮的两端面，形成第二半成品机械研磨修整轮；

对所述第二半成品机械研磨修整轮的一个端面进行钻孔处理形成背面，对所述第二半成品机械研磨修整轮的另一端面进行铣槽处理，形成研磨面；

所述钻孔处理和所述铣槽处理后，将第二半成品机械研磨修整轮固定在全周夹具上，对所述第二半成品机械研磨修整轮进行精加工处理，使得所述背面和所述研磨面之间的距离、背面的平面度、背面与研磨面的平行度符合要求。

可选的，将第二半成品机械研磨修整轮固定在全周夹具上，对所述第二半成品机械研磨修整轮进行精加工处理包括：

提供全周夹具并且校正所述夹具，使所述夹具的平面度和平行度达到要求；

将第二半成品机械研磨修整轮固定在全周夹具上，所述全周夹具露出背面，第一次精加工背面；

第一次精加工背面后，翻转第二半成品机械研磨修整轮并固定在全周夹具上，所述全周夹具露出研磨面，精加工研磨面，使得研磨面的尺寸符合要求；

精加工研磨面后，翻转第二半成品机械研磨修整轮并固定在全周夹具上，所述全周夹具露出背面，第二次精加工背面，使得背面的尺寸符合要求，所述背面的平面度、所述背面与所述研磨面的平行度符合要求。

可选的，第一次精加工背面后，背面与研磨面之间的距离预留加工余量，所述加工余量为0.08毫米～0.12毫米。

可选的，所述半精加工和精加工的方法为车削。

可选的，所述机械研磨修整轮的材料为不锈钢时，所述车削中使用的刀具为不锈钢刀具。

可选的，所述半精加工的具体参数为：所述不锈钢刀具的刀尖修圆半径为0.4，不锈钢刀具的转速为450转/秒～550转/秒，进给量范为0.1毫米/转～0.2毫米/转，背吃刀量为0.1毫米～0.2毫米。

可选的，所述第一次精加工背面和精加工研磨面的具体参数为：不锈钢刀具的刀尖修圆半径为0.4，不锈钢刀具的转速为480转/秒～550转/秒，进给量范为0.05毫米/转～0.15毫米/转，背吃刀量为0.05毫米～0.15毫米。

可选的，所述第二次精加工背面的具体参数为：不锈钢刀具的刀尖修圆半径为0.2，不锈钢刀具的转速为580转/秒～650转/秒，进给量范为0.02毫米/转～0.08毫米/转，背吃刀量为0.02毫米～0.08毫米。

可选的，车削加工过程中，采用喷雾方式冷却。

可选的，所述热处理的温度为665℃～675℃，热处理的时间为55min～65min。

与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：

本发明采用全周夹具对机械研磨修整轮的加工过程中，全周夹具与第二半成品机械研磨修整轮的接触面积大，在精加工的过程中，第二半成品机械研磨修整轮，受力比较均匀，高速加工过程中比较稳定，不易产生振动，减少震动过程中刀具崩刀的现象。更重要的是，在精加工的过程中，可以保证较好的平面度和平行度，从而提高加工精度。

附图说明

图1是本发明需要加工的机械研磨修整轮的俯视示意图；

图2是本发明需要加工的机械研磨修整轮的剖面结构示意图；

图3是本发明实施例中机械研磨修整轮车削加工方法的流程示意图；

图4是本发明实施例中的第一半成品机械研磨修整轮的剖面结构示意图；

图5是本发明实施例中的第二半成品机械研磨修整轮的剖面结构示意图；

图6是现有技术中的普通内夹具夹持机械研磨修整轮的剖面结构示意图；

图7是现有技术中的普通外夹具夹持机械研磨修整轮的剖面结构示意图；

图8是现有技术中的普通外夹具夹持机械研磨修整轮的俯面结构示意图；

图9是本发明实施例中的全周夹具夹持机械研磨修整轮的剖面结构示意图；

图10是本发明实施例中的全周夹具夹持机械研磨修整轮的俯面结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图，通过具体实施例，对本发明的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的可实施方式的一部分，而不是其全部。根据这些实施例，本领域的普通技术人员在无需创造性劳动的前提下可获得的所有其它实施方式，都属于本发明的保护范围。

图1是本发明需要加工的机械研磨修整轮的俯视示意图。图2是本发明需要加工的机械研磨修整轮的剖面示意图。图3是本发明实施例中机械研磨修整轮车削加工方法的流程图。图4是本发明实施例中的第一半成品机械研磨修整轮的剖面结构示意图。图5是本发明实施例中的第二半成品机械研磨修整轮的剖面结构示意图。下面将结合图1至图5，对具体方案进行详细描述。

参考图4，执行图3中的步骤S11，提供圆环柱形坯料，粗车外圆环表面21和内圆环表面22，粗车所述圆环柱形坯料的两端面，形成第一半成品机械研磨修整轮25。

本实施例中圆环柱型坯料的材料为不锈钢，该圆环柱型坯料的两端面为端面23和端面24。经过步骤S11，第一半成品机械研磨修整轮25的形状为机械研磨修整轮的大致形状，并且外圆环直径和内圆环直径各预留第一加工余量，圆环柱型坯料的两端面之间预留第二加工余量。第一加工余量和第二加工余量是根据后续车削加工工艺的变形量计算出来的。例如，本实施例中，第一加工余量为0.3mm～0.7mm，第二加工余量为0.6mm～1.0mm。第一加工余量、第二加工余量如果太大，使得后续去除余量的步骤变得繁琐，另一方面，容易增加车削操作的挤压变形量；第一加工余量、第二加工余量如果太小，对后续工艺产生的变形将无法修复。

接着，继续参考图4，执行图3中的步骤S12，对所述第一半成品机械研磨修整轮25进行热处理，以去除内应力。

对所述第一半成品机械研磨修整轮25进行热处理的具体步骤为：根据第一半成品机械研磨修整轮25的材料特性，本实施例中圆环柱型的材料为不锈钢，因此将第一半成品机械研磨修整轮25升温至665℃～675℃，然后保温55min～65min。如果对第一半成品机械研磨修整轮25不进行热处理，第一半成品机械研磨修整轮25的材料会发硬，在后续机械加工的过程中很容易被破坏。

本实施例中，只能在粗加工的步骤之后进行热处理，热处理产生的变形在后续的半精加工或精加工的过程中修复，但是如果在后续的半精加工或是精加工的过程中进行热处理，第一半成品机械研磨修整轮25在后续机械加工时产生的变形就没有机会被修复了。

接着，结合参考图4和图5，执行图3中的步骤S13，对热处理后的第一半成品机械研磨修整轮25的外园环表面和内圆环表面进行半精加工，使得外圆环直径和内圆环直径尺寸符合要求，半精加工所述第一半成品机械研磨修整轮的两端面，形成第二半成品机械研磨修整轮26。

整个半精加工是调整外圆和内圆的圆度，以及端面与外圆侧壁之间的垂直度、端面与内圆侧壁之间的垂直度的过程。对第一半成品机械研磨修整轮25进行半精加工，使得外圆环直径和内圆环直径尺寸到位。半精加工所述第一半成品机械研磨修整轮的端面23和端面24，使得所述端面23和端面24之间的距离预留第三加工余量，第三加工余量为0.1mm～0.5mm。

半精加工所用的刀具为不锈钢刀具。之所以选用不锈钢材料的刀具，是因为不锈钢材料的韧性比较好，在对第一半成品机械研磨修整轮进行车削操作时，不易损坏刀头。

车削加工过程中，加工刀具车削第一半成品机械研磨修整轮表面，会产生大量热量，而且第一半成品机械研磨修整轮表面与加工刀具之间具有粘附性，因此，在加工过程中，需要对加工刀具和第一半成品机械研磨修整轮进行冷却润滑，避免靶材崩裂、加工刀具损坏。

通常，在加工过程中需采用冷却润滑剂，该冷却润滑剂被放置于车削车床的车削液箱或车削液槽中。

本实施例中，所述冷却润滑剂是作为车削加工的车削液。所述车削液在车削加工中的作用主要有：一，冷却作用，通过冷却润滑剂和因车削而发热的刀具(或砂轮)、切屑和第一半成品机械研磨修整轮25表面间的对流和汽化作用把车削热从刀具和第一半成品机械研磨修整轮25表面处带走，从而有效地降低车削温度，减少第一半成品机械研磨修整轮25和刀具的热变形，保持刀具硬度，提高加工精度和刀具耐用度；二，润滑作用，冷却润滑剂在车削过程中的润滑作用，可以减小前刀面与切屑，后刀面与已加工表面间的摩擦，形成部分润滑膜，从而减小车削力、摩擦和功率消耗，降低刀具与第一半成品机械研磨修整轮25摩擦部位的表面温度和刀具磨损，改善第一半成品机械研磨修整轮表面的车削加工性能；三，清洗作用，指的是冷却润滑剂在第一半成品机械研磨修整轮25车削过程中，除去生成切屑、磨屑以及铁粉、油污和砂粒，防止机床和第一半成品机械研磨修整轮、刀具的沾污，使刀具或砂轮的车削刃口保持锋利，不致影响车削效果。对于油基车削液，粘度越低，清洗能力越强，尤其是含有煤油、柴油等轻组份的车削液，渗透性和清洗性能就越好。含有表面活性剂的水基车削液，清洗效果较好，因为它能在表面上形成吸附膜，阻止粒子和油泥等粘附在第一半成品机械研磨修整轮25、刀具上，同时它能渗入到粒子和油泥粘附的界面上，把它从界面上分离，随车削液带走，保持车削液清洁。

除上述描述的车削液，本发明还提供了可以喷射到加工中的第一半成品机械研磨修整轮区域的喷雾，有较高的速度，动能较大，与车削液混合后，可以提高车削液的渗透能力。

本实施例中，该喷雾为酒精喷雾，酒精喷到加工中的第一半成品机械研磨修整轮区域时，蒸发可以带走热量，另外，酒精同时可以清洗溶于水、溶于油的杂质。再者，酒精的粘度相对于其他冷却润滑剂低。需要说明的是，酒精的质量百分比浓度最好大于95％，在喷洒酒精时，可以采用压力较高的高压空气，以加快酒精的流动性，提升冷却效果。

本实施例中，在半精加工中，将不锈钢刀具安装在车床上，所述车床加工参数设置为：车削车床上的不锈钢刀具的转速范围为450转/秒～550转/秒，进给量范围为0.1毫米/转～0.2毫米/转，背吃刀量为0.1毫米～0.2毫米。

车削车床上的不锈钢刀具的转速就是车削车床的转速，也是车削车床的主轴的转速。车削车床的转速过快，车削时温度会上升，大大缩短车削刀具的使用寿命；车削车床转速过慢，容易使得第一半成品机械研磨修整轮25的表面被加工成凸凹不平的表面，造成第一半成品机械研磨修整轮25表面粗糙。但，车削车床的转速如果比较高，则可以减小刀具对靶材的冲击力，避免产生大的应力；对于由此引起的温升，可以通过冷却介质解决。

进给量是指第一半成品机械研磨修整轮或工具每旋转一周或往复一次，或刀具每转过一齿时，第一半成品机械研磨修整轮在进给运动方向(第一半成品机械研磨修整轮的直径方向)上的相对位移。进给量与第一半成品机械研磨修整轮变形区的变形量有直接关系，进给量小，变形量也小。根据第一半成品机械研磨修整轮韧性比较强的特点，本发明选用的进给量范围为0.1毫米/转～0.2毫米/转。

车削过程是剪切与挤压并存的过程，背吃刀量为在第一半成品机械研磨修整轮厚度方向上的相对位移。如果背吃刀量过小，挤压效果大于剪切效果，使得距表层不同深度的晶粒间大小不同，造成第一半成品机械研磨修整轮表面残余应力大；如果背吃刀量过大，则在加工中易出现打滑现象。在背吃刀量一定情况下，主轴转速、进给速度对表面粗糙度影响很大，具体为：主轴转速低、进给速度高，产品表面粗糙度比较差但加工效率高；主轴转速高、进给比较慢，产品表面粗糙度好、加工效率低。本发明选用的背吃刀量范围为0.1毫米～0.2毫米。

在具体加工过程中，所述不锈钢刀具的刀尖修圆半径如果太大，车削第一半成品机械研磨修整轮时，会出现角落车削不到的情况。如果不锈钢刀具的刀尖修圆半径如果太小，刀头比较容易磨损，更为严重的是刀头很容易断裂。本实施例中，不锈钢刀具的刀尖修圆半径为0.4。

因此，采用上述半精度加工的参数，可以得到加工精度较高的第二半成品机械研磨修整轮26。

接着，结合参考图4和图5，执行图3中的步骤S14，对所述第二半成品机械研磨修整轮26的一个端面(端面23)进行钻孔处理形成背面27，对所述第二半成品机械研磨修整轮26的另一端面(端面24)进行铣槽处理，形成研磨面28。

背面27是机械研磨修整轮安装在化学机械研磨设备的安装面，在背面27钻孔处理形成了安装孔271，通过安装孔271将机械研磨修整轮安装在化学机械研磨设备上。钻孔处理形成安装孔271的方法属于本领域技术人员熟知技术，在此不再赘述。

研磨面28是机械研磨修整轮对研磨垫进行修整的面，当机械研磨修整轮对研磨垫进行修整时，研磨面28上的槽281可以起到平均分配研磨液的作用。铣槽的方法属于本领域技术人员熟知技术，在此不再赘述。

需要说明的是，本实施例中的安装孔271为螺纹孔，在制作安装孔271内螺纹的过程中，会产生热量，因此，在机械研磨修整轮的背面提前喷洒酒精，防止在机械研磨修整轮产生变形。在其它实施例中，设置在背面的安装孔271也可以不为螺纹孔。

接着，参考图6至图9，执行图3中步骤S15，所述钻孔处理和所述铣槽处理后，对所述第二半成品机械研磨修整轮26进行精加工处理，使得所述背面和所述研磨面之间的距离、背面的平面度、背面与研磨面的平行度符合要求。

本实施例中，在进行精加工的过程中为了提高精度，发明人设计了全周夹具来代替现有技术中应用的普通夹具。

参考图9，全周夹具30在精加工的过程中用来固定第二半成品机械研磨修整轮26。全周夹具30分为底板31和盖板32，底板31可以安装在车床的主轴上，与主轴相贴的面为底板31的固定面36。底板31具有突出部33，突出部33上具有底板螺孔34。盖板32也具有盖板螺孔35。在精加工第二半成品机械研磨修整轮26时，将第二半成品机械研磨修整轮26通过内圆套在底板突出部33上，然后将盖板32盖在第二半成品机械研磨修整轮26的待加工面上，使得盖板32的盖板螺孔35与底板31的底板螺孔34对齐，然后用螺栓37将第二半成品机械研磨修整轮26固定在底板31和盖板32之间。当精加工第二半成品机械研磨修整轮26的背面27时，精加工第二半成品机械研磨修整轮26的研磨面28与底板31贴合，背面27与盖板32贴合。当精加工第二半成品机械研磨修整轮26的研磨面28时，需要翻转第二半成品机械研磨修整轮26，使得背面27与底板31贴合，研磨面28与盖板32贴合。

结合参考图6至图8，现有技术的普通夹具采用局部固定方式对第二半成品机械研磨修整轮26进行夹持。例如，参考图6，当加工第二半成品机械研磨修整轮26的外圆时，需要采用普通内夹具40夹持第二机械研磨修整轮26。参考图7和图8，当加工第二半成品机械研磨修整轮26的内圆时，需要采用普通外夹具41夹持第二机械研磨修整轮26。现有技术的普通夹具对第二半成品机械研磨修整轮26的夹持效果不好，使得在加工第二半成品机械研磨修整轮26时，加工精度不高。

结合参考图9和图10，使用本发明的全周夹具30夹持第二半成品机械研磨修整轮26时，全周夹具30与第二半成品机械研磨修整轮26的接触面积大，在精加工的过程中，第二半成品机械研磨修整轮26受力比较均匀，高速加工过程中比较稳定，不易产生振动，减少震动过程中刀具崩刀的现象。更重要的是，在精加工的过程中，可以保证较好的平面度和平行度。

当然，在其它实施例中，全周夹具可以只使用底板31，也能实现固定第二半成品机械研磨修整轮26的作用，只是，加工精度稍差。

对第二半成品机械研磨修整轮26的具体加工过程如下：

(1)对全周夹具30进行修整，使得全周夹具的底板31的平面度和盖板32的平面度分别为0.01mm，同时，使得底板31与盖板32之间的平行度为0.01mm。修整的方法为车削。其中，平面度为基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。平行度为两平面或者两直线平行的程度。

(2)将第二半成品机械研磨修整轮26固定在全周夹具30上，所述全周夹具30露出背面27，第一次精加工背面27，使得背面与研磨面之间的距离预留第四加工余量。

在本实施例中先精加工背面27，然后以背面27为基准进行下一步的对研磨面的精加工，是因为背面较研磨面平整，可以选作基准面。

第四加工余量在本实施例中为0.08mm～0.12mm。第四加工余量如果大太大，会增加后续车削的次数，每次车削都会使得第二半成品机械研磨修整轮26产生变形，因此，会增大第二半成品机械研磨修整轮26的变形量；第四加工余量如果太小，不锈钢材料的第二半成品机械研磨修整轮26的韧性较强，会使得后续车削形成的成品的表面质量很差，尤其是光洁度达不到要求。

需要说明的是，将第二半成品机械研磨修整轮26的研磨面固定在底板31上即可，不需要在第二半成品机械研磨修整轮26的背面施加盖板也能实施本发明。

本实施例中，第一次精加工背面的不锈钢刀具的刀尖修圆半径为0.4，不锈钢刀具的转速为480转/秒～550转/秒，进给量范为0.05毫米/转～0.15毫米/转，背吃刀量为0.05毫米～0.15毫米；其中，车削加工过程中，采用喷雾方式冷却。采用上述参数第一次精加工背面时，加工精度大大提高。

(3)预留第四加工余量后，翻转第二半成品机械研磨修整轮并固定在全周夹具上，所述全周夹具露出研磨面，精加工研磨面，使得研磨面的尺寸符合要求。

在这一步可以将研磨面的尺寸精加工到位。

将第二半成品机械研磨修整轮26的背面固定在底板上即可，不需要在第二半成品机械研磨修整轮26的研磨面施加盖板也能实施本发明。

本实施例中，精加工研磨面的不锈钢刀具的刀尖修圆半径为0.4，不锈钢刀具的转速为480转/秒～550转/秒，进给量范为0.0毫米/转～0.15毫米/转，背吃刀量为0.0毫米～0.15毫米；其中，车削加工过程中，采用喷雾方式冷却。采用上述参数精加工研磨面时，加工精度大大提高。

(4)精加工研磨面后，翻转第二半成品机械研磨修整轮并固定在全周夹具上，所述全周夹具露出背面，第二次精加工背面，使得背面的尺寸符合要求，所述背面的平面度、所述背面与所述研磨面的平行度符合要求。

第二次精加工背面以使背面的尺寸符合要求，对背面的平面度、所述背面与所述研磨面的平行度符合要求，就需要将第二半成品机械研磨修整轮固定在全周夹具的底板和盖板上。可以使得第二次精加工加工背面时更加平稳，使得背面符合平面度的要求，并且使得背面与研磨面的平行度符合要求。本实施例中，背面的平面度为0.01mm，背面与研磨面的平行度也为0.01mm。

本实施例中，所述第二次精加工背面的不锈钢刀具的刀尖修圆半径为0.2，不锈钢刀具的转速为580转/秒～650转/秒，进给量范为0.02毫米/转～0.08毫米/转，背吃刀量为0.02毫米～0.08毫米；其中，车削加工过程中，采用喷雾方式冷却。采用上述参数进行第二次精加工时，精度会大大提高。

本发明虽然已以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本发明，任何本领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，都可以利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案做出可能的变动和修改，因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化及修饰，均属于本发明技术方案的保护范围。

Claims (10)

1.一种机械研磨修整轮的加工方法，其特征在于，包括：

提供圆环柱形坯料，粗车外圆环表面和内圆环表面，粗车所述圆环柱形坯料的两端面，形成第一半成品机械研磨修整轮；

对所述第一半成品机械研磨修整轮进行热处理，以去除内应力；

对热处理后的第一半成品机械研磨修整轮的外圆环表面和内圆环表面进行半精加工，使得外圆环直径和内圆环直径尺寸符合要求，半精加工所述第一半成品机械研磨修整轮的两端面，形成第二半成品机械研磨修整轮；

对所述第二半成品机械研磨修整轮的一个端面进行钻孔处理形成背面，对所述第二半成品机械研磨修整轮的另一端面进行铣槽处理，形成研磨面；

所述钻孔处理和所述铣槽处理后，将第二半成品机械研磨修整轮固定在全周夹具上，对所述第二半成品机械研磨修整轮进行精加工处理，使得所述背面和所述研磨面之间的距离、背面的平面度、背面与研磨面的平行度符合要求。

2.根据权利要求1所述的机械研磨修整轮的加工方法，其特征在于，将第二半成品机械研磨修整轮固定在全周夹具上，对所述第二半成品机械研磨修整轮进行精加工处理包括：

提供全周夹具并且校正所述夹具，使所述夹具的平面度和平行度达到要求；

将第二半成品机械研磨修整轮固定在全周夹具上，所述全周夹具露出背面，第一次精加工背面；

第一次精加工背面后，翻转第二半成品机械研磨修整轮并固定在全周夹具上，所述全周夹具露出研磨面，精加工研磨面，使得研磨面的尺寸符合要求；

精加工研磨面后，翻转第二半成品机械研磨修整轮并固定在全周夹具上，所述全周夹具露出背面，第二次精加工背面，使得背面的尺寸符合要求，所述背面的平面度、所述背面与所述研磨面的平行度符合要求。

3.根据权利要求2所述的机械研磨修整轮的加工方法，其特征在于，第一次精加工背面后，背面与研磨面之间的距离预留加工余量，所述加工余量为0.08毫米～0.12毫米。

4.根据权利要求2所述的机械研磨修整轮的加工方法，其特征在于，所述半精加工和精加工的方法为车削。

5.根据权利要求4述的机械研磨修整轮的加工方法，其特征在于，所述机械研磨修整轮的材料为不锈钢时，所述车削中使用的刀具为不锈钢刀具。

6.根据权利要求5所述的机械研磨修整轮的加工方法，其特征在于，所述半精加工的具体参数为：所述不锈钢刀具的刀尖修圆半径为0.4，不锈钢刀具的转速为450转/秒～550转/秒，进给量范为0.1毫米/转～0.2毫米/转，背吃刀量为0.1毫米～0.2毫米。

7.根据权利要求5所述的机械研磨修整轮的加工方法，其特征在于，所述第一次精加工背面和精加工研磨面的具体参数为：不锈钢刀具的刀尖修圆半径为0.4，不锈钢刀具的转速为480转/秒～550转/秒，进给量范为0.05毫米～0.15毫米/转，背吃刀量为0.05毫米～0.15毫米。

8.根据权利要求5所述的机械研磨修整轮的加工方法，其特征在于，所述第二次精加工背面的具体参数为：不锈钢刀具的刀尖修圆半径为0.2，不锈钢刀具的转速为580转/秒～650转/秒，进给量范为0.02毫米/转～0.08毫米/转，背吃刀量为0.02毫米～0.08毫米。

9.根据权利要求4所述的机械研磨修整轮的加工方法，其特征在于，车削加工过程中，采用喷雾方式冷却。

10.根据权利要求1所述的机械研磨修整轮的加工方法，其特征在于，所述热处理的温度为665℃～675℃，热处理的时间为55min～65min。