CN103901334A - 一种可微调的晶圆测试机 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种可微调的晶圆测试机，其包含一晶圆载台、一凸轮滑块机构、一精密微调机构、一弹力放松装置、一运动停止装置、一探针测试装置。所述凸轮滑块机构来实现晶圆载台的上下移动；所述精密微调机构包括XY调整台、角度转动调整台、交叉导轨垂直调整***和观测镜头XY位移台；所述弹力放松装置通过弹簧和圆形弹性钢片来实现操作人员操作时的省时省力；所述运动停止装置通过弹簧定位销使晶圆载台在运动停止后迅速静止。本发明采用精密微调机构降低了探针的损坏避免经常更换探针；采用运动停止装置避免了由于运动停止时惯性产生的晃动，提高测试精确度和效率;采用弹力放松装置通过弹力可以使负载迅速的到达位置，缩短操作时间提高效率。
Description
技术领域
本发明涉及一种晶圆测试机,尤其涉及一种可微调的晶圆测试机。
背景技术
随着设计发展趋势朝向单位面积电路密度增加、功能增强的方向前进，电子产品所需的引脚数也随着增加，在进行***单芯片设计、多芯片模块封装或***封装时，为避免造成整组模块的报废而浪费成本，封装前的晶圆测试及单一晶粒良品的把关，使得完整及可靠的晶圆测试日趋重要，目前的晶圆测试机，都是将待测晶元放入晶圆载台上，手动将载台机构推入探针卡座位置下，旋转把手使晶圆载台机构，使晶圆接触探针，在上述测试工序中，测试机没有微调节，都是一步到位的，这样会造成探针的损坏，再者测试机需要手动两次来完成探针和晶元的接触，工作效率低，使工人容易造成疲劳。
发明内容
本发明要解决的技术问题在于避免上述现有技术的不足之处而提出一种可微调的晶圆测试机，通过凸轮滑块机构来实现晶圆载台的移动和上升动作，节省时间，提高效率。本发明进一步的目的是通过晶圆载台的微调，保护探针，确保晶元与探针接触更准确。
本发明涉及一种可微调的晶圆测试机，其包含一晶圆载台、一凸轮滑块机构、一精密微调机构、一弹力放松装置、一运动停止装置、一探针测试装置。
上述凸轮滑块机构所述凸轮滑块机构包括有凸轮，轴心，轴承座，摇柄，定位销，滑块，直线导轨，主导板，导板连接板，定位块，底板和导板；直线导轨固定在主导板上并垂直安装在底板上，轴承座垂直安装在底板上，导板平行安装在滑块上，导板连接板垂直固定于导板上，凸轮通过摇柄的拉动，连接轴的转动，带动滑块在直线导轨内上下运动，来实现晶圆载台的上下移动。
上述精密微调机构包括XY调整台、角度转动调整台、交叉导轨垂直调整***以及观测镜头XY位移台。
上述XY调整台，通过X向与Y向的两组交叉导轨以及弹簧和千分尺来实现所观测晶圆在X和Y两个方向上的位移动作.
上述角度转动调整台包括测试圆台，调整座，连接座，定位柱，千分尺，弹簧，滚珠轴承，平面轴承和挡圈；定位柱与测试圆台连接，并伸入调整座U型槽内，定位柱一侧安装弹簧，另外一侧安装千分尺，弹簧一端用无头螺丝固定，另一端顶住定位柱，通过定位柱、千分尺、弹簧和晶圆载台的机械连接来实现晶圆载台的角度转动.
上述交叉导轨垂直调整***用于调整晶圆载台Y方向的微调.
上述观测镜头XY位移台包括有观测成像装配轴，X调整块，X支撑片，X支撑轴，X调整螺杆，Y调整块，Y支撑片，Y支撑轴，Y调整螺杆，微调轮和铜套；观测成像装配轴安装于X调整块上，观测成像装置固定于观测装配轴上，通过X向与Y向的两组导柱丝杆结构的运动来实现观测镜头在X和Y两个方向上的位移动作.
上述弹力放松装置装在凸轮滑块机构上，通过弹簧和圆形弹性钢片来实现操作人员操作时的省时省力；
上述运动停止装置通过弹簧定位销使晶圆载台在运动停止后迅速静止；
上述探针测试装置包括多个探针卡座固定在晶圆载台上，探针卡内设置夹针槽，该探针设置于夹针槽内。
附图说明
下面将结合附图及实施例对本发明作进一步说明，附图中：
图1是本发明一种可微调的晶圆测试机的结构示意图。
图2是本发明凸轮滑块机构的结构示意图。
图3是本发明角度转动调整台的结构示意图。
图4是本发明角度转动调整台的运动示意图。
图5是本发明观测镜头XY位移台的结构示意图。
图6是本发明弹力放松装置的结构示意图。
具体实施方式
下结合附图所示之优选实施例作进一步详述。
图1中，一种可微调的晶圆测试机，其包含一晶圆载台11、一凸轮滑块机构12、一精密微调机构13、一弹力放松装置14、一运动停止装置15、一探针测试装置16。图2中，所述凸轮滑块机构12包括有凸轮1101，轴心1102，轴承座1103，摇柄1104，定位销1105，滑块1106，直线导轨1107，主导板1108，导板连接板1109，定位块1110，底板1111和导板1112；直线导轨1107固定在主导板1108上并垂直安装在底板1111上，轴承座1103垂直安装在底板1111上，导板1112平行安装在滑块1106上，导板连接板1109垂直固定于导板1112上，凸轮1101通过摇柄1104的拉动，连接轴转动，带动滑块1106在直线导轨1107内上下运动，来实现晶圆载台的上下移动。精密微调机构包括XY调整台17、角度转动调整台18、交叉导轨垂直调整***19以及观测镜头XY位移台20。XY调整台17，通过X向与Y向的两组交叉导轨以及弹簧和千分尺来实现所观测晶圆在X和Y两个方向上的位移动作。图3中，角度转动调整台18包括千分尺1113，晶圆载台1114，调整座1115，连接座1116，定位柱1117，弹簧1118，滚珠轴承1119，平面轴承1120和挡圈1121；图4中，定位柱1117与晶圆载台1114连接，并伸入调整座1115U型槽内，定位柱1117一侧安装弹簧1118，另外一侧安装千分尺1113，弹簧1118一端用无头螺丝固定，另一端顶住定位柱1117，通过定位柱1117、千分尺1113、弹簧1118和晶圆载台1114的机械连接来实现晶圆载台1114的角度转动。交叉导轨垂直调整***19用于调整晶圆载台1114Y方向的微调。图5中，观测镜头XY位移台20包括观测成像装配轴1122，X调整块1123，X支撑片1124，X支撑轴1125，X调整螺杆1126，Y调整块1127，Y支撑片1128，Y支撑轴1129，Y调整螺杆1130，微调轮1131和铜套1132；观测成像装配轴1122安装于X调整块1123上，观测成像装置固定于观测装配轴1122上，通过X向与Y向的两组导柱丝杆结构的运动来实现观测镜头在X和Y两个方向上的位移动作。图6中，弹力放松装置14装在凸轮滑块机构12上，通过弹簧1133和圆形弹性钢片1134来实现操作人员操作时的省时省力。运动停止装置15通过弹簧定位销使晶圆载台1114在运动停止后迅速静止。探针测试装置16包括多个探针卡座固定在晶圆载台上，探针卡内设置夹针槽，探针设置于夹针槽内。。
Claims (9)
1.一种可微调的晶圆测试机，其包含一晶圆载台、一凸轮滑块机构、一精密微调机构、一弹力放松装置、一运动停止装置、一探针测试装置。
2.根据权利要求1所述的可微调的晶圆测试机，其特征在于，所述凸轮滑块机构包括有凸轮，轴心，轴承座，摇柄，定位销，滑块，直线导轨，主导板，导板连接板，定位块，底板和导板；直线导轨固定在主导板上并垂直安装在底板上，轴承座垂直安装在底板上，导板平行安装在滑块上，导板连接板垂直固定于导板上，凸轮通过摇柄的拉动，连接轴转动，带动滑块在直线导轨内上下运动，来实现晶圆载台的上下移动。
3.根据权利要求1所述的可微调的晶圆测试机，其特征在于，所述精密微调机构包括XY调整台、角度转动调整台、交叉导轨垂直调整***以及观测镜头XY位移台。
4.根据权利要求3所述的精密微调机构，其特征在于，所述XY调整台，通过X向与Y向的两组交叉导轨以及弹簧和千分尺来实现所观测晶圆在X和Y两个方向上的位移动作。
5.根据权利要求3所述的精密微调机构，其特征在于，所述角度转动调整台包括千分尺，晶圆载台，调整座，连接座，定位柱，弹簧，滚珠轴承，平面轴承和挡圈；定位柱与测试圆台连接，并伸入连接调整座U型槽内，定位柱一侧安装弹簧，另外一侧安装千分尺，弹簧一端用无头螺丝固定，另一端顶住定位柱，通过定位柱、千分尺、弹簧和晶圆载台的机械连接来实现晶圆载台的角度转动。
6.根据权利要求3所述的精密微调机构，其特征在于，所述交叉导轨垂直调整***用于调整晶圆载台Y方向的微调。
7.根据权利要求3所述的精密微调机构，其特征在于，所述观测镜头XY位移台包括有观测成像装配轴，X调整块，X支撑片，X支撑轴，X调整螺杆，Y调整块，Y支撑片，Y支撑轴，Y调整螺杆，微调轮和铜套；观测成像装配轴安装于X调整块上，观测成像装置固定于观测装配轴上，通过X向与Y向的两组导柱丝杆结构的运动来实现观测镜头在X和Y两个方向上的位移动作。
8.根据权利要求1所述的可微调的晶圆测试机，其特征在于，所述弹力放松装置装在凸轮滑块机构上，通过弹簧和圆形弹性钢片来实现操作人员操作时的省时省力。
9.根据权利要求1所述的可微调的晶圆测试机，其特征在于，所述运动停止装置通过弹簧定位销使晶圆载台在运动停止后迅速静止。
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|---|---|
| CN (1) | CN103901334A (zh) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107796961A (zh) * | 2017-09-27 | 2018-03-13 | 上海旻艾信息科技有限公司 | 一种用于半导体芯片测试的微调支架 |
| CN109001607A (zh) * | 2018-06-14 | 2018-12-14 | 深圳市劲升迪龙科技发展有限公司 | 一种晶圆半自动测试机 |
| CN109683271A (zh) * | 2018-12-29 | 2019-04-26 | 上海铭源数康生物芯片有限公司 | 一种光学镜头中心对准用可调节装置 |
| CN110239947A (zh) * | 2019-07-04 | 2019-09-17 | 范群意 | 一种晶片自动测试机 |
| CN110320462A (zh) * | 2019-07-04 | 2019-10-11 | 范群意 | 一种测试装置及晶片自动测试机 |
| CN111198285A (zh) * | 2018-11-16 | 2020-05-26 | 杭州海康微影传感科技有限公司 | 一种晶圆测试探针台 |
| CN111208400A (zh) * | 2018-11-16 | 2020-05-29 | 杭州海康微影传感科技有限公司 | 一种晶圆测试设备及测试方法 |
| CN112394274A (zh) * | 2019-08-13 | 2021-02-23 | 芯恩（青岛）集成电路有限公司 | 一种晶圆测试设备 |
| CN112698111A (zh) * | 2020-12-14 | 2021-04-23 | 佛山科学技术学院 | 一种移动式三维电磁场测量装置 |
| CN113413219A (zh) * | 2021-06-16 | 2021-09-21 | 拜斯特医疗科技(北京)有限公司 | 一种手术器械定位支撑装置 |
| CN113848461A (zh) * | 2021-10-26 | 2021-12-28 | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 | 一种载片测试装置及使用方法 |
| CN114074078A (zh) * | 2020-08-21 | 2022-02-22 | 鸿劲精密股份有限公司 | 载具机构及其应用的作业设备 |
| CN116038774A (zh) * | 2023-03-31 | 2023-05-02 | 无锡卓海科技股份有限公司 | 一种晶圆载台与机械臂的平行度调节结构及调节方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1831497A (zh) * | 2005-03-07 | 2006-09-13 | 韩金龙 | 发光二极管测试机台的自动化装置 |
| CN2877897Y (zh) * | 2005-09-30 | 2007-03-14 | 南京熊猫仪器仪表有限公司 | 晶片分选装置 |
| CN201233434Y (zh) * | 2008-04-14 | 2009-05-06 | 无锡市易控***工程有限公司 | 全自动晶圆测试平台装置 |
| CN201597785U (zh) * | 2009-11-20 | 2010-10-06 | 格兰达技术（深圳）有限公司 | 紧凑型全自动ic料管编带机的热压封装装置 |
| TW201037312A (en) * | 2009-04-02 | 2010-10-16 | Hon Tech Inc | Micro-sensing IC test sorting machine |
-
2012
- 2012-12-28 CN CN201210583444.3A patent/CN103901334A/zh active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1831497A (zh) * | 2005-03-07 | 2006-09-13 | 韩金龙 | 发光二极管测试机台的自动化装置 |
| CN2877897Y (zh) * | 2005-09-30 | 2007-03-14 | 南京熊猫仪器仪表有限公司 | 晶片分选装置 |
| CN201233434Y (zh) * | 2008-04-14 | 2009-05-06 | 无锡市易控***工程有限公司 | 全自动晶圆测试平台装置 |
| TW201037312A (en) * | 2009-04-02 | 2010-10-16 | Hon Tech Inc | Micro-sensing IC test sorting machine |
| CN201597785U (zh) * | 2009-11-20 | 2010-10-06 | 格兰达技术（深圳）有限公司 | 紧凑型全自动ic料管编带机的热压封装装置 |
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107796961A (zh) * | 2017-09-27 | 2018-03-13 | 上海旻艾信息科技有限公司 | 一种用于半导体芯片测试的微调支架 |
| CN109001607A (zh) * | 2018-06-14 | 2018-12-14 | 深圳市劲升迪龙科技发展有限公司 | 一种晶圆半自动测试机 |
| CN109001607B (zh) * | 2018-06-14 | 2020-11-20 | 深圳市芯探科技有限公司 | 一种晶圆半自动测试机 |
| CN111198285B (zh) * | 2018-11-16 | 2022-05-03 | 杭州海康微影传感科技有限公司 | 一种晶圆测试探针台 |
| CN111198285A (zh) * | 2018-11-16 | 2020-05-26 | 杭州海康微影传感科技有限公司 | 一种晶圆测试探针台 |
| CN111208400A (zh) * | 2018-11-16 | 2020-05-29 | 杭州海康微影传感科技有限公司 | 一种晶圆测试设备及测试方法 |
| CN109683271A (zh) * | 2018-12-29 | 2019-04-26 | 上海铭源数康生物芯片有限公司 | 一种光学镜头中心对准用可调节装置 |
| CN110239947A (zh) * | 2019-07-04 | 2019-09-17 | 范群意 | 一种晶片自动测试机 |
| CN110320462A (zh) * | 2019-07-04 | 2019-10-11 | 范群意 | 一种测试装置及晶片自动测试机 |
| CN112394274A (zh) * | 2019-08-13 | 2021-02-23 | 芯恩（青岛）集成电路有限公司 | 一种晶圆测试设备 |
| CN114074078A (zh) * | 2020-08-21 | 2022-02-22 | 鸿劲精密股份有限公司 | 载具机构及其应用的作业设备 |
| CN112698111A (zh) * | 2020-12-14 | 2021-04-23 | 佛山科学技术学院 | 一种移动式三维电磁场测量装置 |
| CN112698111B (zh) * | 2020-12-14 | 2023-09-26 | 佛山科学技术学院 | 一种移动式三维电磁场测量装置 |
| CN113413219A (zh) * | 2021-06-16 | 2021-09-21 | 拜斯特医疗科技(北京)有限公司 | 一种手术器械定位支撑装置 |
| CN113848461A (zh) * | 2021-10-26 | 2021-12-28 | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 | 一种载片测试装置及使用方法 |
| CN116038774A (zh) * | 2023-03-31 | 2023-05-02 | 无锡卓海科技股份有限公司 | 一种晶圆载台与机械臂的平行度调节结构及调节方法 |
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