CN103874550A - 超声波清洗装置及其功率控制方法 - Google Patents

Abstract

本发明的课题在于提供一种能够进一步提高功率管理的可靠性的超声波清洗装置。为此，超声波清洗装置具备被清洗物(11)、清洗液(12)、超声波振子(13)、振荡器(14)、电源部(16)以及功率计(15)，振荡器(14)具有：振荡部(17)；控制部(18)，其进行控制以使得由振荡部(17)振荡产生的第1功率变为设定功率值并向超声波振子输出；检测部(19)，其检测由控制部(18)向超声波振子(13)输出的第2功率；和运算部(20)，运算部(20)具有如下功能：导出利用校正值α对第1检测功率值进行了校正的第1校正功率值，导出利用校正值β对由功率计(15)测定的测定功率值进行了校正的第2校正功率值，在第1校正功率值偏离了第2校正功率值规定值以上的情况下，将对校正值α进行了修正以使得第1校正功率值变为第2校正功率值的修正校正值α’记录到记录部(21)。

Description

超声波清洗装置及其功率控制方法

技术领域

本发明涉及对被清洗物进行超声波清洗的超声波清洗装置及其功率控制方法等。

背景技术

现有的超声波清洗装置具有向对被清洗物进行清洗的清洗液供给超声波的超声波振子、振荡器以及电源部，该振荡器具有振荡部、检测部以及运算部。在超声波振子电连接有振荡器，在振荡器电连接有电源部。由该振荡部振荡产生的功率向超声波振子输出。该输出的功率由检测部进行检测，并由运算部比较该检测出的功率值是否与设定功率值(即作为施加于超声波振子的功率合适的功率值)发生了偏离。然后，在向超声波振子输出的功率值偏离了设定功率值的情况下，向超声波振子输出控制为设定功率值的功率(例如参照专利文献1)。

为了使实际施加于超声波振子的功率变为设定功率值，需要通过检测部正确地检测施加于超声波振子的功率。该检测部，通过在工厂等对超声波清洗装置进行制造时利用功率校正器进行调整，能够正确地检测功率值。

在如上述那样现有的超声波清洗装置中，通过检测部来检测施加给超声波振子的功率值，将该功率值与设定功率值进行比较，进行控制以使得施加给超声波振子的功率值变为设定功率值。由此，即使由于环境条件(例如清洗液的温度、质量、种类或被清洗物的种类)等施加于超声波振子的功率发生变化，也能够使该功率值与设定功率值一致，其结果，能够抑制超声波清洗的效率下降。

但是，由于并不是在振荡器内部的检测部中，设置有构成为功率计的设备，因而该检测部所进行的功率管理比较简易。此外，也可以想到在超声波清洗装置中交换了超声波振子的情况下，由检测部检测出的功率值会偏离正确值的情况。

【在先技术文献】

【专利文献】

专利文献1：JP特开2000-49619号公报

发明内容

发明要解决的课题

本发明的一个方式在于，提供一种能够进一步提高功率管理的可靠性的超声波清洗装置及其功率控制方法。

解决课题的手段

本发明的一个方式的超声波清洗装置的特征在于，

所述超声波清洗装置具备：清洗液，其对被清洗物进行清洗；超声波振子，其向所述清洗液供给超声波；振荡器，其与所述超声波振子电连接；和功率计，其测定施加于所述超声波振子的功率，所述振荡器具有：振荡部；控制部，其进行控制以使得由所述振荡部振荡产生的第1功率变为设定功率值并向所述超声波振子输出；检测部，其检测由所述控制部向所述超声波振子输出的第2功率；记录部，其记录第1校正值以及第2校正值；和运算部，其分别与所述检测部、所述控制部、所述记录部以及所述功率计电连接，所述运算部具有如下功能：导出利用所述第1校正值对由所述检测部检测出的第1检测功率值进行了校正的第1校正功率值，导出利用所述第2校正值对由所述功率计测定的测定功率值进行了校正的第2校正功率值，将所述第2校正功率值与所述第1校正功率值进行比较，在所述第1校正功率值偏离了所述第2校正功率值规定值以上的情况下，将对所述第1校正值进行了修正以使得所述第1校正功率值变为所述第2校正功率值的第1修正校正值记录到所述记录部。

本发明的一个方式的超声波清洗装置，具有第1超声波清洗装置、第2超声波清洗装置以及功率计，所述超声波清洗装置的特征在于，所述第1超声波清洗装置具有：第1清洗液，其对第1被清洗物进行清洗；第1超声波振子，其向所述第1清洗液供给超声波；和第1振荡器，其与所述第1超声波振子电连接，所述第2超声波清洗装置具有：第2清洗液，其对第2被清洗物进行清洗；第2超声波振子，其向所述第2清洗液供给超声波；和第2振荡器，其与所述第2超声波振子电连接，所述功率计对施加于所述第1超声波振子的功率或施加于所述第2超声波振子的功率进行测定，所述第1超声波振子以及所述第2超声波振子经由第1开关与所述功率计电连接，所述第1振荡器以及所述第2振荡器经由第2开关与所述功率计电连接，所述第1振荡器具有：第1振荡部；第1控制部，其进行控制以使得由所述第1振荡部振荡产生的第1功率变为第1设定功率值并向所述第1超声波振子输出；第1检测部，其检测由所述第1控制部向所述第1超声波振子输出的第2功率；第1记录部，其记录第1校正值以及第2校正值；和第1运算部，其分别与所述第1检测部、所述第1控制部、所述第1记录部以及所述功率计电连接，且经由所述第2开关与所述功率计电连接，所述第1运算部具有如下功能：导出利用所述第1校正值对由所述第1检测部检测出的第1检测功率值进行了校正的第1校正功率值，导出利用所述第2校正值对由所述功率计测定的第1测定功率值进行了校正的第2校正功率值，将所述第2校正功率值与所述第1校正功率值进行比较，在所述第1校正功率值偏离了所述第2校正功率值规定值以上的情况下，将对所述第1校正值进行修正以使得所述第1校正功率值变为所述第2校正功率值的第1修正校正值记录到所述记录部，所述第2振荡器具有：第2振荡部；第2控制部，其进行控制以使得由所述第2振荡部振荡产生的第3功率变为第2设定功率值并向所述第2超声波振子输出；第2检测部，其检测由所述第2控制部向所述第2超声波振子输出的第4功率；第2记录部，其记录第3校正值以及第4校正值；和第2运算部，其分别与所述第2检测部、所述第2控制部、所述第2记录部以及所述功率计电连接，且经由所述第2开关与所述功率计电连接，所述第2运算部具有如下功能：导出利用所述第3校正值对由所述第2检测部检测出的第3检测功率值进行了校正的第4校正功率值，导出利用所述第4校正值对由所述功率计测定的第2测定功率值进行了校正的第5校正功率值，将所述第5校正功率值与所述第4校正功率值进行比较，在所述第4校正功率值偏离了所述第5校正功率值规定值以上的情况下，将对所述第3校正值进行了修正以使得所述第4校正功率值变为所述第5校正功率值的第2修正校正值记录到所述记录部。

本发明的一个方式的超声波清洗装置的功率控制方法，所述超声波清洗装置具有：清洗液，其对被清洗物进行清洗；超声波振子，其向所述清洗液供给超声波；振荡器，其与所述超声波振子电连接；和功率计，其与所述振荡器以及所述超声波振子电连接，所述振荡器具有：振荡部；控制部，其与所述振荡部电连接；检测部，其与所述控制部电连接；运算部，其分别与所述检测部以及所述控制部电连接；和记录部，其与所述运算部电连接，所述功率控制方法的特征在于，由所述控制部进行控制以使得由所述振荡部振荡产生的第1功率变为设定功率值并向所述超声波振子输出，由所述检测部检测向所述超声波振子输出的第2功率，由所述运算部通过利用在所述记录部中记录的第1校正值对由所述检测部检测出的第1检测功率值进行校正来导出第1校正功率值，由所述功率计测定向所述超声波振子输出的所述第2功率，由所述运算部通过利用在所述记录部中记录的第2校正值对由所述功率计测定的第1测定功率值进行校正来导出第2校正功率值，由所述运算部将所述第2校正功率值与所述第1校正功率值进行比较，在所述第1校正功率值偏离了所述第2校正功率值规定值以上的情况下，将对所述第1校正值进行了修正以使得所述第1校正功率值变为所述第2校正功率值的第1修正校正值记录到所述记录部。

发明效果

根据本发明的一个方式，能够提供一种能够进一步提高功率管理的可靠性的超声波清洗装置及其功率控制方法。

附图说明

图1是表示本发明的一个方式所涉及的超声波清洗装置的构成的示意图。

图2是用于说明本发明的一个方式所涉及的超声波清洗装置的功率控制方法的示意图。

图3是表示本发明的一个方式所涉及的超声波清洗装置的构成的示意图。

具体实施方式

下面使用附图对本发明的实施方式详细地进行说明。但是，本发明并不限于下面的说明，如果是本领域技术人员就容易理解：能够不脱离本发明的主旨及其范围来对其方式以及细节进行各种变更。因此，本发明并不应限于以下所示的实施方式的记载内容地被解释。

(第1实施方式)

图1是表示本发明的一个方式所涉及的超声波清洗装置的构成的示意图。

超声波清洗装置具有：清洗液12，其对被清洗物11进行清洗；清洗槽10，其装有该清洗液12；超声波振子(负荷)13，其向清洗液12供给超声波；振荡器14，其与该超声波振子13电连接；电源部16，其与该振荡器14电连接；功率计15，其测定施加于超声波振子13的功率；和电源9，其与该功率计15电连接。另外，被清洗物11可以是半导体晶片、紧致盘(compact disc)、玻璃基板、平板显示器(flat panel display)、薄盘或基板等。

功率计15优选被校正过的功率计，例如更优选在过去1年内被校正过的功率计。此外，功率计15最好能够从超声波清洗装置容易地进行安装、拆卸即可。

功率计15的模拟输出端子与振荡器14的模拟输入端子电连接。振荡器14具有振荡部17、控制部18、检测部19、运算部20以及记录部21。功率计15与运算部20电连接。

运算部20与控制部18、检测部19以及记录部21电连接。检测部19与控制部18电连接，控制部18与振荡部17电连接。

由振荡部17振荡产生的振荡信号(第1功率)供给到控制部18，由控制部18进行控制以使得第1功率变为设定功率值，并向超声波振子13输出控制后的控制信号(第2功率)。这里的设定功率值意味着作为施加于超声波振子13的功率较为合适的功率值，该合适的功率值由于各超声波振子、清洗液的温度、质量、种类、被清洗物的种类等而不同。

检测部19检测由控制部18向超声波振子13输出的第2功率。与该检测出的第1检测功率值相对应的信号A从检测部19向运算部20输入。

运算部20利用校正值α对由检测部19检测出的第1检测功率值进行校正，并导出第1校正功率值。该第1校正功率值通过信号A与校正值α的运算(乘积)而被导出，相当于实际向超声波振子13输出的功率值。

校正值α是在工厂等对超声波清洗装置进行制造时通过功率校正器进行调整，使得能够在振荡器内部计算正确的功率值的值，记录于记录部21。

运算部20将第1校正功率值与设定功率值进行比较，在得到第1校正功率值偏离了设定功率值规定值以上这种比较结果的情况下，将该比较结果输出到控制部18。另外，规定值也可以包含0。

控制部18一边利用上述的比较结果一边进行控制以使得由振荡部17振荡产生的振荡信号的功率值变为设定电压值并向超声波振子13输出。由此，向超声波振子13供给的信号的功率值能够更接近设定功率值。

在图1的超声波清洗装置中，具有使向超声波振子13供给的信号的功率值进一步接近设定功率值的功能。

功率计15测定由控制部18向超声波振子13输出的第2功率。与该测定的测定功率值相对应的信号B(电压)从功率计15向运算部20输入。

运算部20利用校正值β对由功率计15测定的测定功率值进行校正，并导出第2校正功率值。该第2校正功率值通过信号B与校正值β的运算(乘积)而被导出，相当于实际向超声波振子13输出的功率值。但是，由于功率计15与检测部19相比功率测定的可靠性高，因而由功率计15测定的功率值比由检测部19检测出的功率值准确。另外，校正值β记录于记录部21。

运算部20将第2校正功率值与通过检测部19以及运算部20来求出的第1校正功率值进行比较，在第1校正功率值偏离了第2校正功率值规定值以上的情况下，将对校正值α进行了修正以使得第1校正功率值变为第2校正功率值的修正校正值α’记录到记录部。修正校正值α’是比校正值α更准确的校正值。修正校正值α’例如是对校正值α进行了修正以使得第1校正功率值变为第2校正功率值的值。另外，规定值可以包含0。

运算部20利用校正值α对由检测部19检测出的第1检测功率值进行校正，并导出第1校正功率值。通过信号A与校正值α的运算(乘积)而被导出，相当于实际向超声波振子13输出的功率值。

由检测部19检测由控制部18向超声波振子13输出的第2功率，与该检测出的第2检测功率值相对应的信号A从检测部19向运算部20输入，运算部20通过该输入的信号A与修正校正值α’的运算(乘积)来导出第3校正功率值，将该第3校正功率值与设定功率值进行比较，在得到第3校正功率值偏离了设定功率值规定值以上这种比较结果的情况下，将该比较结果输出到控制部18。另外，规定值也可以包含0。

控制部18一边利用上述的比较结果一边进行控制以使得由振荡部17振荡产生的振荡信号的功率值变为设定电压值并向超声波振子13输出。由此，能够使向超声波振子13供给的信号的功率值进一步接近设定功率值。

如上述那样使用功率计15来导出修正校正值α’的操作既可以自动执行，也可以按照规定期间来执行。通过极端地缩短规定期间，能够几乎实时并且更准确地接近设定功率值。此外，通过使用被校正过的校正器作为功率计15，能够以更准确的功率值向超声波振子13输出。

此外，在超声波清洗装置中交换了超声波振子13的情况下，即使检测部19所检测的功率值偏离了正确值，通过如上述那样使用功率计15来导出修正校正值α’，并将该修正校正值α’记录到记录部21，也能够将检测部19所检测的功率值设为更准确的值。

接着，一边参照图1一边对超声波清洗装置的功率控制方法详细地进行。该功率控制按照以下的(1)～(10)的顺序来执行。

(1)由控制部18进行控制以使得由振荡部17振荡产生的第1功率变为设定功率值并向超声波振子13输出。

(2)由检测部19对由控制部18进行控制并向超声波振子13输出的第2功率进行检测。

(3)由运算部20通过利用在记录部21中记录的校正值α按照下述式(a)对与由检测部19检测出的第1检测功率值相对应的信号A进行校正来导出第1校正功率值PA。

(a)PA＝A×α

(4)由功率计15对由控制部18进行控制并向超声波振子13输出的第2功率进行测定。

(5)由功率计15测定向超声波振子13输出的第2功率，并得到第1测定功率值，与该第1测定功率值相对应的信号B被输入到运算部20，由运算部20通过利用在记录部21中记录的校正值β按照下述式(b)对信号B进行校正来导出第2校正功率值PB。

(b)PB＝B×β

(6)由运算部20将第2校正功率值PB与第1校正功率值PA进行比较，在第1校正功率值PA偏离了第2校正功率值PB规定值以上的情况下，将按照下述式(c)对校正值α自动进行了修正以使得第1校正功率值PA变为第2校正功率值PB的修正校正值α’自动记录到记录部21。另外，规定值也可以包含0。

(c)自动调整算法PB＝PA＝A×α’

(7)将修正校正值α’记录到记录部21之后，由控制部18进行控制以使得由振荡部17振荡产生的第3功率变为设定功率值并向超声波振子13输出。

(8)由检测部19检测从控制部18向超声波振子13输出的第4功率，由运算部20通过利用修正校正值α’对由检测部19检测出的该第2检测功率值进行校正来导出第3校正功率值。

(9)由运算部20将第3校正功率值与设定功率值进行比较，在得到第3校正功率值偏离了设定功率值规定值以上这种比较结果的情况下，将比较结果输出到控制部18。

(10)由控制部18一边利用上述的比较结果一边进行控制以使得由振荡部17振荡产生的第5功率变为设定功率值并向超声波振子13输出。另外，规定值可以包含0。

(第2实施方式)

图2是用于说明本发明的一个方式所涉及的超声波清洗装置的功率控制方法的示意图。

该超声波清洗装置具有第1～第3超声波清洗装置31～33以及功率计15。

第1超声波清洗装置31具有：第1清洗液12a，其对第1被清洗物(被清洗物1)11a进行清洗；第1超声波振子(负荷1)13a，其向第1清洗液12a供给超声波；和第1振荡器(振荡器1)14a，其与第1超声波振子13a电连接。第1振荡器14a具有与图1所示的振荡器14同样的构成。

第2超声波清洗装置32具有：第2清洗液12b，其对第2被清洗物(被清洗物2)11b进行清洗；第2超声波振子(负荷2)13b，其向第2清洗液12b供给超声波；和第2振荡器(振荡器2)14b，其与第2超声波振子13b电连接。第2振荡器14b具有与图1所示的振荡器14同样的构成。

第3超声波清洗装置33具有：第3清洗液12c，其对第3被清洗物(被清洗物3)11c进行清洗；第3超声波振子(负荷3)13c，其向第3清洗液12c供给超声波；和第3振荡器(振荡器3)14c，其与第3超声波振子13c电连接。第3振荡器14c具有与图1所示的振荡器14同样的构成。

功率计15具有与图1所示的功率计15同样的构成，并且分别与第1超声波振子13a以及第1振荡器14a的电连接也与图1相同。此外，第2超声波振子13b以及第2振荡器14b各自与功率计15的电连接也与图1相同，第3超声波振子13c以及第3振荡器14c各自与功率计15的电连接也与图1相同。

对于第1至第3超声波清洗装置31～33只要具有一个功率计15即可，并针对第1至第3超声波清洗装置31～33中的每一个能够容易地安装、拆卸功率计15。

接着，对上述的超声波清洗装置的功率控制方法进行说明。该功率控制按照以下的(1)～(14)的顺序来执行。

(1)使功率计15分别与第1超声波振子13a以及第1振荡器14a电连接，通过与图1所示的振荡器14同样的方法，由控制部18进行控制以使得第1功率变为第1设定功率值并向第1超声波振子13a输出。

(2)通过与图1所示的振荡器14同样的方法，由检测部19检测向第1超声波振子13a输出的第2功率，并由运算部20通过利用在记录部21中记录的校正值α对该检测出的第1检测功率值进行校正来导出第1校正功率值。

(3)通过与图1所示的振荡器14同样的方法，由功率计15测定向第1超声波振子13a输出的第2功率，并由运算部20通过利用在记录部21中记录的校正值β对该测定的第1测定功率值进行校正来导出第2校正功率值。

(4)通过与图1所示的振荡器14同样的方法，由运算部20将第2校正功率值与第1校正功率值进行比较，在第1校正功率值偏离了第2校正功率值规定值以上的情况下，将对第1校正值进行了修正以使得第1校正功率值变为第2校正功率值的修正校正值α’记录到记录部21。

(5)从第1超声波清洗装置31卸下功率计15，并使该功率计15分别与第2超声波清洗装置32的第2超声波振子13b以及第2振荡器14b电连接。

(6)通过与图1所示的振荡器14同样的方法，控制部18进行控制以使得由振荡部17振荡产生的第3功率变为第2设定功率值并向第2超声波振子13b输出。

(7)通过与图1所示的振荡器14同样的方法，由检测部19检测向第2超声波振子13b输出的第4功率，并由运算部20通过利用在记录部21中记录的校正值α对该检测出的第2检测功率值进行校正来导出第3校正功率值。

(8)通过与图1所示的振荡器14同样的方法，由功率计15测定向第2超声波振子13b输出的第4功率，并由运算部20通过利用在记录部21中记录的校正值β对该测定的第2测定功率值进行校正来导出第4校正功率值。

(9)通过与图1所示的振荡器14同样的方法，由运算部20将第4校正功率值与第3校正功率值进行比较，在第3校正功率值偏离了第4校正功率值规定值以上的情况下，将对第3校正值进行了修正以使得第3校正功率值变为第4校正功率值的修正校正值α’记录到记录部21。

(10)从第2超声波清洗装置32卸下功率计15，并使该功率计15分别与第3超声波清洗装置33的第3超声波振子13c以及第3振荡器14c电连接。

(11)通过与图1所示的振荡器14同样的方法，由控制部18进行控制以使得由振荡部17振荡产生的第5功率变为第3设定功率值并向第3超声波振子13c输出。

(12)通过与图1所示的振荡器14同样的方法，由检测部19检测向第3超声波振子13c输出的第6功率，并由运算部20利用在记录部21中记录的校正值α对该检测出的第3检测功率值进行校正来导出第5校正功率值。

(13)通过与图1所示的振荡器14同样的方法，由功率计15测定向第3超声波振子13c输出的第6功率，并由运算部20利用在记录部21中记录的校正值β对该测定的第3测定功率值进行校正来导出第6校正功率值。

(14)通过与图1所示的振荡器14同样的方法，由运算部20将第6校正功率值与第5校正功率值进行比较，在第5校正功率值偏离了第6校正功率值规定值以上的情况下，将对第5校正值进行了修正以使得第5校正功率值变为第6校正功率值的修正校正值α’记录到记录部21。

根据本实施方式，能够获得与第1实施方式同样的效果。

此外，根据本实施方式，通过更换一个功率计15的操作，能够利用一个功率计15进行第1～第3超声波清洗装置31～33各自的功率控制。其结果，能够以同一基准自动调整第1～第3超声波清洗装置31～33的功率控制。

另外，在本实施方式中，虽然在具有第1～第3超声波清洗装置31～33的超声波清洗装置的功率控制方法中应用了本发明的一个方式，但也能够在具有2个或4个以上的超声波清洗装置的超声波清洗装置的功率控制方法中应用本发明的一个方式。

此外，在进行上述的功率控制之前，优选先对功率计15进行校正，例如优选在过去1年内对功率计15进行校正。

(第3实施方式)

图3是表示本发明的一方式所涉及的超声波清洗装置的构成的示意图。

该超声波清洗装置具有第1～第3超声波清洗装置31～33以及自动切换功率计34。该自动切换功率计34具有功率计15、第1开关35以及第2开关36。功率计15具有与图1所示的功率计15同样的构成。

第1～第3超声波清洗装置31～33分别具有与图2所示的第1～第3超声波清洗装置31～33同样的构成。即，第1～第3被清洗物11a～11c第1～第3清洗液12a～12c、第1～第3超声波振子13a～13c、第1～第3振荡器14a～14c与图2所示的相同。

功率计15对施加于第1超声波振子(负荷1)13a的功率、施加于第2超声波振子(负荷2)13b的功率、或第3超声波振子(负荷3)13c进行测定。

第1～第3超声波振子13a～13c经由第1开关35与功率计15电连接。第1～第3振荡器(振荡器1，振荡器2，振荡器3)14a～14c经由第2开关36与功率计15电连接。

第1振荡器14a的运算部20分别与第1振荡器14a的检测部19、控制部18以及记录部21电连接，并且经由第2开关36与功率计15电连接。

第1振荡器14a的运算部20具有如下功能：导出利用校正值α对由检测部19检测出的第1检测功率值进行了校正的第1校正功率值，导出利用校正值β对由功率计15测定的第1测定功率值进行了校正的第2校正功率值，将第2校正功率值与第1校正功率值进行比较，在第1校正功率值偏离了第2校正功率值规定值以上的情况下，将对校正值α进行修正以使得第1校正功率值变为第2校正功率值的修正校正值α’记录到记录部21。

另外，与由第1振荡器14a的检测部19检测出的第1检测功率值相对应的信号A被输入到运算部20，第1校正功率值通过信号A与校正值α的运算(乘积)而被导出。

此外，与由功率计15测定的第1测定功率值相对应的信号B被输入到运算部20，第2校正功率值通过信号B与校正值β的运算(乘积)而被导出。

此外，修正校正值α’是对校正值α进行了修正以使得第1校正功率值与第2校正功率值相等的值。

第2振荡器14b的运算部20分别与第2振荡器14b的检测部19、控制部18以及记录部21电连接，并且经由第2开关36与功率计15电连接。

第2振荡器14b的运算部20具有如下功能：导出利用校正值α对由检测部19检测出的第3检测功率值进行了校正的第4校正功率值，导出利用校正值β对由功率计15测定的第2测定功率值进行了校正的第5校正功率值，将第5校正功率值与第4校正功率值进行比较，在第4校正功率值偏离了第5校正功率值规定值以上的情况下，将对校正值α进行了修正以使得第4校正功率值变为第5校正功率值的修正校正值α’记录到记录部21。

另外，与由第2振荡器14b的检测部19检测出的第3检测功率值相对应的信号A被输入到运算部20，第4校正功率值通过信号A与校正值α的运算(乘积)而被导出。

此外，与由功率计15测定的第2测定功率值相对应的信号B被输入到运算部20，第5校正功率值通过信号B与校正值β的运算(乘积)而被导出。

此外，修正校正值α’是对校正值α进行了修正以使得第4校正功率值与第5校正功率值相等的值。

第3振荡器14c的运算部20分别与第3振荡器14c的检测部19、控制部18以及记录部21电连接，并且经由第2开关36与功率计15电连接。

第3振荡器14c的运算部20具有如下功能：导出利用校正值α对由检测部19检测出的第5检测功率值进行了校正的第7校正功率值，导出利用校正值β对由功率计15测定的第3测定功率值进行了校正的第8校正功率值，将第8校正功率值与第7校正功率值进行比较，在第7校正功率值偏离了第8校正功率值规定值以上的情况下，将对校正值α进行了修正以使得第7校正功率值变为第8校正功率值的修正校正值α’记录到记录部21。

另外，与由第3振荡器14c的检测部19检测出的第5检测功率值相对应的信号A被输入到运算部20，第7校正功率值通过信号A与校正值α的运算(乘积)而被导出。

此外，与由功率计15测定的第3测定功率值相对应的信号B被输入到运算部20，第8校正功率值通过信号B与校正值β的运算(乘积)而被导出。

此外，修正校正值α’是对校正值α进行了修正以使得第7校正功率值与第8校正功率值相等的值。

第1振荡器14a的运算部20具有如下功能：导出利用修正校正值α’对由第1振荡器14a的检测部19检测出的第2检测功率值进行了校正的第3校正功率值，将第3校正功率值与第1设定功率值进行比较，在得到第3校正功率值偏离了第1设定功率值规定值以上这样的第1比较结果的情况下，将第1比较结果输出到控制部18。另外，与由第1振荡器14a的检测部19检测出的第2检测功率值相对应的信号A被输入到运算部20，第3校正功率值通过信号A与修正校正值α’的运算(乘积)而被导出。

第1振荡器14a的控制部18一边利用第1比较结果一边进行控制以使得由第1振荡器14a的振荡部17振荡产生的第1功率变为第1设定电压值并向所述第1超声波振子13a输出。

第2振荡器14b的运算部20具有如下功能：导出利用修正校正值α’对由第2振荡器14b的检测部19检测出的第4检测功率值进行了校正的第6校正功率值，将第6校正功率值与第2设定功率值进行比较，在得到第6校正功率值偏离了第2设定功率值规定值以上这样的第2比较结果的情况下，将第2比较结果输出到控制部18。另外，与由第2振荡器14b的检测部19检测出的第4检测功率值相对应的信号A被输入到运算部20，第6校正功率值通过信号A与修正校正值α’的运算(乘积)而被导出。

第2振荡器14b的控制部18一边利用第2比较结果一边进行控制以使得由第2振荡器14b的振荡部17振荡产生第3功率变为第2设定电压值并向第2超声波振子13b输出。

第3振荡器14c的运算部20具有如下功能：导出利用修正校正值α’对由第3振荡器14c的检测部19检测出的第6检测功率值进行了校正的第9校正功率值，将第9校正功率值与第3设定功率值进行比较，在得到第9校正功率值偏离了第3设定功率值规定值以上这样的第3比较结果的情况下，将第3比较结果输出到控制部18。另外，与由第3振荡器14c的检测部19检测出的第6检测功率值相对应的信号A被输入到运算部20，第9校正功率值通过信号A与修正校正值α’的运算(乘积)而被导出。

第3振荡器14c的控制部18一边利用第3比较结果一边进行控制以使得由第3振荡器14c的振荡部17振荡产生的第3功率变为第3设定电压值并向第3超声波振子13c输出。

接着，对上述的超声波清洗装置的功率控制方法进行说明，但仅对与按照第2实施方式的(1)～(14)的顺序执行的功率控制方法不同的部分进行说明。

(1)对第1以及第2开关35、36进行切换以使得第1超声波清洗装置31的第1超声波振子13a以及第1振荡器14a分别与功率计15电连接。换言之，通过第1开关35使第1超声波振子13a与功率计15电连接，并且通过第2开关36使功率计15与第1振荡器14a电连接。

(5)对第1以及第2开关35、36进行切换以使得第2超声波清洗装置32的第2超声波振子13b以及第2振荡器14b分别与功率计15电连接。换言之，通过第1开关35使第2超声波振子13b与功率计15电连接，并且通过第2开关36使功率计15与第2振荡器14b电连接。

(10)对第1以及第2开关35、36进行切换以使得第3超声波清洗装置33的第3超声波振子13c以及第3振荡器14c分别与功率计15电连接。换言之，通过第1开关35使第3超声波振子13c与功率计15电连接，并且通过第2开关36使功率计15与第3振荡器14c电连接。

根据本实施方式，能够获得与第2实施方式同样的效果。

此外，在本实施方式中，能够按照从第1超声波清洗装置31到第3超声波清洗装置33的顺序自动地切换与功率计15的连接。

另外，在本实施方式中，在具有第1～第3超声波清洗装置31～33的超声波清洗装置中应用了本发明的一个方式，但也能够在具有2个或4个以上的超声波清洗装置的超声波清洗装置中应用本发明的一个方式。

此外，在进行上述的功率控制之前，优选先对功率计15进行校正，例如优选在过去1年内对功率计15进行校正。

【符号说明】

9电源

10清洗槽

11被清洗物

11a第1被清洗物(被清洗物1)

11b第2被清洗物(被清洗物2)

11c第3被清洗物(被清洗物3)

12清洗液

12a第1清洗液

12b第2清洗液

12c第3清洗液

13负荷(超声波振子)

13a负荷1(第1超声波振子)

13b负荷2(第2超声波振子)

13c负荷3(第3超声波振子)

14振荡器

14a振荡器1(第1振荡器)

14b振荡器2(第2振荡器)

14c振荡器3(第3振荡器)

15功率计

16电源部

17振荡部

18控制部

19检测部

20运算部

21记录部

31第1超声波清洗装置

32第2超声波清洗装置

33第3超声波清洗装置

34自动切换功率计

35第1开关

36第2开关

Claims (12)

1.一种超声波清洗装置，其特征在于，具备：

清洗液，其对被清洗物进行清洗；

超声波振子，其向所述清洗液供给超声波；

振荡器，其与所述超声波振子电连接；和

功率计，其测定施加于所述超声波振子的功率，

所述振荡器具有：

振荡部；

控制部，其进行控制以使得由所述振荡部振荡产生的第1功率变为设定功率值并向所述超声波振子输出；

检测部，其检测由所述控制部向所述超声波振子输出的第2功率；

记录部，其记录第1校正值以及第2校正值；和

运算部，其分别与所述检测部、所述控制部、所述记录部以及所述功率计电连接，

所述运算部具有如下功能：导出利用所述第1校正值对由所述检测部检测出的第1检测功率值进行了校正的第1校正功率值，导出利用所述第2校正值对由所述功率计测定的测定功率值进行了校正的第2校正功率值，将所述第2校正功率值与所述第1校正功率值进行比较，在所述第1校正功率值偏离了所述第2校正功率值规定值以上的情况下，将对所述第1校正值进行了修正以使得所述第1校正功率值变为所述第2校正功率值的第1修正校正值记录到所述记录部。

2.根据权利要求1所述的超声波清洗装置，其特征在于，

所述运算部具有如下功能：导出利用所述第1修正校正值对由所述检测部检测出的第2检测功率值进行了校正的第3校正功率值，将所述第3校正功率值与所述设定功率值进行比较，在得到所述第3校正功率值偏离了所述设定功率值规定值以上这种比较结果的情况下，将所述比较结果输出到所述控制部，

所述控制部一边利用所述比较结果一边进行控制以使得由所述振荡部振荡产生的所述第1功率变为所述设定电压值并向所述超声波振子输出。

3.根据权利要求2所述的超声波清洗装置，其特征在于，

与由所述检测部检测出的所述第1检测功率值相对应的第1信号被输入到所述运算部，所述第1校正功率值通过所述第1信号与所述第1校正值的运算而被导出，

与由所述功率计测定的所述测定功率值相对应的第2信号被输入到所述运算部，所述第2校正功率值通过所述第2信号与所述第2校正值的运算而被导出，

所述第1修正校正值是对所述第1校正值进行了修正以使得所述第1校正功率值与所述第2校正功率值相等的值，

与由所述检测部检测出的所述第2检测功率值相对应的第3信号被输入到所述运算部，所述第3校正功率值通过所述第3信号与所述第1修正校正值的运算而被导出。

4.一种超声波清洗装置，其具有第1超声波清洗装置、第2超声波清洗装置以及功率计，所述超声波清洗装置的特征在于，

所述第1超声波清洗装置具有：

第1清洗液，其对第1被清洗物进行清洗；

第1超声波振子，其向所述第1清洗液供给超声波；和

第1振荡器，其与所述第1超声波振子电连接，

所述第2超声波清洗装置具有：

第2清洗液，其对第2被清洗物进行清洗；

第2超声波振子，其向所述第2清洗液供给超声波；

第2振荡器，其与所述第2超声波振子电连接，

所述功率计对施加于所述第1超声波振子的功率或施加于所述第2超声波振子的功率进行测定，

所述第1超声波振子以及所述第2超声波振子经由第1开关与所述功率计电连接，

所述第1振荡器以及所述第2振荡器经由第2开关与所述功率计电连接，

所述第1振荡器具有：

第1振荡部；

第1控制部，其进行控制以使得由所述第1振荡部振荡产生的第1功率变为第1设定功率值并向所述第1超声波振子输出；

第1检测部，其检测由所述第1控制部向所述第1超声波振子输出的第2功率；

第1记录部，其记录第1校正值以及第2校正值；和

第1运算部，其分别与所述第1检测部、所述第1控制部以及所述第1记录部电连接，并经由所述第2开关与所述功率计电连接，

所述第1运算部具有如下功能：导出利用所述第1校正值对由所述第1检测部检测出的第1检测功率值进行了校正的第1校正功率值，导出利用所述第2校正值对由所述功率计测定的第1测定功率值进行了校正的第2校正功率值，将所述第2校正功率值与所述第1校正功率值进行比较，在所述第1校正功率值偏离了所述第2校正功率值规定值以上的情况下，将对所述第1校正值进行了修正以使得所述第1校正功率值变为所述第2校正功率值的第1修正校正值记录到所述第1记录部，

所述第2振荡器具有：

第2振荡部；

第2控制部，其进行控制以使得由所述第2振荡部振荡产生的第3功率变为第2设定功率值并向所述第2超声波振子输出；

第2检测部，其检测由所述第2控制部向所述第2超声波振子输出的第4功率；

第2记录部，其记录第3校正值以及第4校正值；和

第2运算部，其分别与所述第2检测部、所述第2控制部以及所述第2记录部电连接，并经由所述第2开关与所述功率计电连接，

所述第2运算部具有如下功能：导出利用所述第3校正值对由所述第2检测部检测出的第3检测功率值进行了校正的第4校正功率值，导出利用所述第4校正值对由所述功率计测定的第2测定功率值进行了校正的第5校正功率值，将所述第5校正功率值与所述第4校正功率值进行比较，在所述第4校正功率值偏离了所述第5校正功率值规定值以上的情况下，将对所述第3校正值进行了修正以使得所述第4校正功率值变为所述第5校正功率值的第2修正校正值记录到所述第2记录部。

5.根据权利要求4所述的超声波清洗装置，其特征在于，

所述第1运算部具有如下功能：导出利用所述第1修正校正值对由所述第1检测部检测出的第2检测功率值进行了校正的第3校正功率值，将所述第3校正功率值与所述第1设定功率值进行比较，在得到所述第3校正功率值偏离了所述第1设定功率值规定值以上这样的第1比较结果的情况下，将所述第1比较结果输出到所述第1控制部，

所述第1控制部一边利用所述第1比较结果一边进行控制以使得由所述第1振荡部振荡产生的所述第1功率变为所述第1设定电压值并向所述第1超声波振子输出，

所述第2运算部具有如下功能：导出利用所述第2修正校正值对由所述第2检测部检测出的第4检测功率值进行了校正的第6校正功率值，将所述第6校正功率值与所述第2设定功率值进行比较，在得到所述第6校正功率值偏离了所述第2设定功率值规定值以上这样的第2比较结果的情况下，将所述第2比较结果输出到所述第2控制部，

所述第2控制部一边利用所述第2比较结果一边进行控制以使得由所述第2振荡部振荡产生的所述第3功率变为所述第2设定电压值并向所述第2超声波振子输出。

6.根据权利要求5所述的超声波清洗装置，其特征在于，

与由所述第1检测部检测出的所述第1检测功率值相对应的第1信号被输入到所述第1运算部，所述第1校正功率值通过所述第1信号与所述第1校正值的运算而被导出，

与由所述功率计测定的所述第1测定功率值相对应的第2信号被输入到所述第1运算部，所述第2校正功率值通过所述第2信号与所述第2校正值的运算而被导出，

所述第1修正校正值是对所述第1校正值进行了修正以使得所述第1校正功率值与所述第2校正功率值相等的值，

与由所述第1检测部检测出的所述第2检测功率值相对应的第3信号被输入到所述第1运算部，所述第3校正功率值通过所述第3信号与所述第1修正校正值的运算而被导出，

与由所述第2检测部检测出的所述第3检测功率值相对应的第4信号被输入到所述第2运算部，所述第4校正功率值通过所述第4信号与所述第3校正值的运算而被导出，

与由所述功率计测定的所述第2测定功率值相对应的第5信号被输入到所述第2运算部，所述第5校正功率值通过所述第5信号与所述第4校正值的运算而被导出，

所述第2修正校正值是对所述第3校正值进行了修正以使得所述第4校正功率值与所述第5校正功率值相等的值，

与由所述第2检测部检测出的所述第4检测功率值相对应的第6信号被输入到所述第2运算部，所述第6校正功率值通过所述第6信号与所述第2修正校正值的运算而被导出。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的超声波清洗装置，其特征在于，

所述功率计是被校正过的功率计。

8.一种超声波清洗装置的功率控制方法，

所述超声波清洗装置具有：

清洗液，其对被清洗物进行清洗；

超声波振子，其向所述清洗液供给超声波；

振荡器，其与所述超声波振子电连接；和

功率计，其与所述振荡器以及所述超声波振子电连接，

所述振荡器具有：

振荡部；

控制部，其与所述振荡部电连接；

检测部，其与所述控制部电连接；

运算部，其分别与所述检测部以及所述控制部电连接；和

记录部，其与所述运算部电连接，

所述功率控制方法的特征在于，

由所述控制部进行控制以使得由所述振荡部振荡产生的第1功率变为设定功率值并向所述超声波振子输出，

由所述检测部检测向所述超声波振子输出的第2功率，

由所述运算部通过利用在所述记录部中记录的第1校正值对由所述检测部检测出的第1检测功率值进行校正来导出第1校正功率值，

由所述功率计测定向所述超声波振子输出的所述第2功率，

由所述运算部通过利用在所述记录部中记录的第2校正值对由所述功率计测定的第1测定功率值进行校正来导出第2校正功率值，

由所述运算部将所述第2校正功率值与所述第1校正功率值进行比较，在所述第1校正功率值偏离了所述第2校正功率值规定值以上的情况下，将对所述第1校正值进行了修正以使得所述第1校正功率值变为所述第2校正功率值的第1修正校正值记录到所述记录部。

9.根据权利要求8所述的超声波清洗装置的功率控制方法，其特征在于，

在将所述第1修正校正值记录到所述记录部之后，

由所述控制部进行控制以使得由所述振荡部振荡产生的第3功率变为所述设定功率值并向所述超声波振子输出，

由所述检测部检测向所述超声波振子输出的第4功率，

由所述运算部通过利用所述第1修正校正值对由所述检测部检测出的第2检测功率值进行校正来导出第3校正功率值，

由所述运算部将所述第3校正功率值与所述设定功率值进行比较，在得到所述第3校正功率值偏离了所述设定功率值规定值以上这种比较结果的情况下，将所述比较结果输出到所述控制部，

由所述控制部一边利用所述比较结果一边进行控制以使得由所述振荡部振荡产生的第5功率变为所述设定功率值并向所述超声波振子输出。

10.一种超声波清洗装置的功率控制方法，

所述超声波清洗装置具有第1超声波清洗装置、第2超声波清洗装置以及功率计，

所述第1超声波清洗装置具有：

第1清洗液，其对第1被清洗物进行清洗；

第1超声波振子，其向所述第1清洗液供给超声波；和

第1振荡器，其与所述第1超声波振子电连接，

所述第1振荡器具有：

第1振荡部；

第1控制部，其与所述第1振荡部电连接；

第1检测部，其与所述第1控制部电连接；

第1运算部，其分别与所述第1检测部以及所述第1控制部电连接；和

第1记录部，其与所述第1运算部电连接，

所述第2超声波清洗装置具有：

第2清洗液，其对第2被清洗物进行清洗，

第2超声波振子，其向所述第2清洗液供给超声波；和

第2振荡器，其与所述第2超声波振子电连接，

所述第2振荡器具有：

第2振荡部；

第2控制部，其与所述第2振荡部电连接；

第2检测部，其与所述第2控制部电连接；

第2运算部，其分别与所述第2检测部以及所述第2控制部电连接；和

第2记录部，其与所述第2运算部电连接，

所述功率控制方法的特征在于，

使所述第1超声波振子以及所述第1振荡器分别与所述功率计电连接，

由所述第1控制部进行控制以使得由所述第1振荡部振荡产生的第1功率变为第1设定功率值并向所述第1超声波振子输出，

由所述第1检测部检测向所述第1超声波振子输出的第2功率，

由所述第1运算部通过利用在所述第1记录部中记录的第1校正值对由所述第1检测部检测出的第1检测功率值进行校正来导出第1校正功率值，

由所述功率计测定向所述第1超声波振子输出的所述第2功率，

由所述第1运算部通过利用在所述第1记录部中记录的第2校正值对由所述功率计测定的第1测定功率值进行校正来导出第2校正功率值，

由所述第1运算部将所述第2校正功率值与所述第1校正功率值进行比较，在所述第1校正功率值偏离了所述第2校正功率值规定值以上的情况下，将对所述第1校正值进行了修正以使得所述第1校正功率值变为所述第2校正功率值的第1修正校正值记录到所述第1记录部，

使所述第2超声波振子以及所述第2振荡器分别与所述功率计电连接，

由所述第2控制部进行控制以使得由所述第2振荡部振荡产生的第3功率变为第2设定功率值并向所述第2超声波振子输出，

由所述第2检测部检测向所述第2超声波振子输出的第4功率，

由所述第2运算部通过利用在所述第2记录部中记录的第3校正值对由所述第2检测部检测出的第2检测功率值进行校正来导出第3校正功率值，

由所述功率计测定向所述第2超声波振子输出的所述第4功率，

由所述第2运算部通过利用在所述第2记录部中记录的第4校正值对由所述功率计测定的第2测定功率值进行校正来导出第4校正功率值，

由所述第2运算部将所述第4校正功率值与所述第3校正功率值进行比较，在所述第3校正功率值偏离了所述第4校正功率值规定值以上的情况下，将对所述第3校正值进行了修正以使得所述第3校正功率值变为所述第4校正功率值的第2修正校正值记录到所述第2记录部。

11.根据权利要求10所述的超声波清洗装置的功率控制方法，其特征在于，

使所述第1超声波振子以及所述第1振荡器分别与所述功率计电连接，是指通过第1开关使所述第1超声波振子与所述功率计电连接，并且通过第2开关使所述功率计与所述第1振荡器电连接，

使所述第2超声波振子以及所述第2振荡器分别与所述功率计电连接，是指通过所述第1开关使所述第2超声波振子与所述功率计电连接，并且通过所述第2开关使所述功率计与所述第2振荡器电连接。

12.根据权利要求8～11中任一项所述的超声波清洗装置的功率控制方法，其特征在于，

在进行所述功率控制之前，对所述功率计进行校正。

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